JP2006119525A - 反射防止膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 反射防止膜の基準波長をλ0とした時、λ0における屈折率が2.1以上の高屈折率膜と1.65以下の低屈折率膜の交互層で構成される6層以上の反射防止膜において、空気側最終層がSiO2膜で形成され、可視域(405〜700nm)の各波長の反射率をR(λ)、同一基準波長をλ0を有する単層MgF2膜の各波長の反射率をR単(λ)とした時、
|R(λ)−R単(λ)|≦0.4%……(1)
(1)式を満たすことを特徴とする反射防止膜とする。
【選択図】 図1
Description
|R(λ)−R単(λ)|≦0.4%……(1)
(1)式を満たすことを特徴とする。
0.11≧nH*d1/λ0≧0.01
0.26≧nL*d2/λ0≧0.05
0.23≧nH*d3/λ0≧0.03
0.21≧nL*d4/λ0≧0.04
0.22≧nH*d5/λ0≧0.03
0.38≧nL*d6/λ0≧0.26……(21)
(21)式を満たし、且つ
0.94≧総光学膜厚/λ0≧0.8……(22)
(22)式を満たすことを特徴とする。
0.13≧nL*d1/λ0≧0.03
0.13≧nH*d2/λ0≧0.01
0.18≧nL*d3/λ0≧0.09
0.2≧nH*d4/λ0≧0.03
0.2≧nL*d5/λ0≧0.07
0.21≧nH*d6/λ0≧0.03
0.37≧nL*d7/λ0≧0.28……(31)
(31)式を満たし、且つ
1.12≧総光学膜厚/λ0≧0.81……(32)
(32)式を満たすことを特徴とする。
0.09≧nH*d1/λ0≧0.01
0.26≧nL*d2/λ0≧0.06
0.19≧nH*d3/λ0≧0.03
0.2≧nL*d4/λ0≧0.04
0.3≧nH*d5/λ0≧0.05
0.18≧nL*d6/λ0≧0.02
0.24≧nH*d7/λ0≧0.03
0.36≧nL*d8/λ0≧0.26……(41)
(41)式を満たし、且つ
1.2≧総光学膜厚/λ0≧1.01……(42)
(42)式を満たすことを特徴とする。
真空上蒸着法により、各硝子基板BSL7(n=1.52)、BSM15(n=1.62)、BaSF08(n=1.72)、TIH6(n=1.81)上にMgF2(n=1.38)単層からなる反射防止膜を形成した。目標特性は、λ0=500nmとした時、n*d=125nmの単層で得られる特性(マゼンタ)である。表11に膜構成、図11に膜特性を示す。蒸着単層膜は、カラーバランス調整用膜としては作成も簡便であり、成膜時間も短くコスト的にも有利であるが、クモリ易い硝子に対して防止効果に劣る欠点がある。
Claims (5)
- 反射防止膜の基準波長をλ0とした時、λ0における屈折率が2.1以上の高屈折率膜と1.65以下の低屈折率膜の交互層で構成される6層以上の反射防止膜において、空気側最終層がSiO2膜で形成され、可視域(405〜700nm)の各波長の反射率をR(λ)、同一基準波長をλ0を有する単層MgF2膜の各波長の反射率をR単(λ)とした時、
|R(λ)−R単(λ)|≦0.4%……(1)
(1)式を満たすことを特徴とする反射防止膜。 - 反射防止膜の基準波長をλ0とした時、λ0における屈折率が2.1以上の高屈折率膜(nH)と1.65以下の低屈折率膜(nL)の交互層で構成される6層反射防止膜であって、各層のλ0における光学膜厚(nH*d、nL*d)が基板側から、
0.11≧nH*d1/λ0≧0.01
0.26≧nL*d2/λ0≧0.05
0.23≧nH*d3/λ0≧0.03
0.21≧nL*d4/λ0≧0.04
0.22≧nH*d5/λ0≧0.03
0.38≧nL*d6/λ0≧0.26……(21)
(21)式を満たし、且つ
0.94≧総光学膜厚/λ0≧0.8……(22)
(22)式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。 - 反射防止膜の基準波長をλ0とした時、λ0における屈折率が2.1以上の高屈折率膜(nH)と1.65以下の低屈折率膜(nL)の交互層で構成される7層反射防止膜であって、各層のλ0における光学膜厚(nH*d、nL*d)が基板側から、
0.13≧nL*d1/λ0≧0.03
0.13≧nH*d2/λ0≧0.01
0.18≧nL*d3/λ0≧0.09
0.2≧nH*d4/λ0≧0.03
0.2≧nL*d5/λ0≧0.07
0.21≧nH*d6/λ0≧0.03
0.37≧nL*d7/λ0≧0.28……(31)
(31)式を満たし、且つ
1.12≧総光学膜厚/λ0≧0.81……(32)
(32)式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。 - 反射防止膜の基準波長をλ0とした時、λ0における屈折率が2.1以上の高屈折率膜(nH)と1.65以下の低屈折率膜(nL)の交互層で構成される8層反射防止膜であって、各層のλ0における光学膜厚(nH*d、nL*d)が基板側から、
0.09≧nH*d1/λ0≧0.01
0.26≧nL*d2/λ0≧0.06
0.19≧nH*d3/λ0≧0.03
0.2≧nL*d4/λ0≧0.04
0.3≧nH*d5/λ0≧0.05
0.18≧nL*d6/λ0≧0.02
0.24≧nH*d7/λ0≧0.03
0.36≧nL*d8/λ0≧0.26……(41)
(41)式を満たし、且つ
1.2≧総光学膜厚/λ0≧1.01……(42)
(42)式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。 - 全層がスパッタ法で形成されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1つに記載の反射防止膜。
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