JP2006074033A - ミニエンバイロメントポッドと装置との間の真空インタフェース - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送ポッド1を、耐漏洩性の方式で処理装置9の物品通過開口部11に結合することができ、シーリングが、間に配置されたインタフェース周辺ガスケット16によって得られる。ポッドドア4を、インタフェースドア12に選択的に固定することができ、これらドアを、1つのユニットとして、ドアアクチュエータ14からの駆動の下で横断ストロークが後に続く軸方向ストロークに沿ってともに動かすことができる。搬送ポッド1は、保持手段15によって保持される。2つのドアの周りの周辺容積21を、ポンプ22とダクト23によってポンプ排気することができる。ポッドドア4を、ロック手段20によって搬送ポッド1にロックすることができ、ロック手段20は、搬送ポッド1が処理装置9から分離している間の良好なシーリングを保障する。
【選択図】 図1
Description
搬送ポッドを備え、各搬送ポッドが、ポッドドアによって閉鎖可能な出入口開口部を持つ耐漏洩性の周辺壁を有し、かつポッドドア前方シーリング手段を有し、機器がさらに、
装置の入口において、インタフェースドア前方シーリング手段を有するインタフェースドアによって閉鎖可能な物品通過開口部を備えた、インタフェースと、
搬送ポッドの前面と、物品通過開口部および出入口開口部の周りのインタフェースの前面との間の結合ゾーンを、外部雰囲気から隔離するための周辺シーリング手段と、
閉位置と、インタフェースの内側に向かってオフセットされる開位置との間で、ポッドドアとインタフェースドアとを移動させるための、インタフェースに取り付けられたドアアクチュエータ手段と、
ポッドドアが出入口開口部を閉じる閉位置において、ポッドドアを選択的にロックおよびアンロックするために、インタフェースに取り付けられたアクチュエータ手段によって作動可能である、搬送ポッドに備えられたポッドドアロック手段とを備え、
機器は、低圧雰囲気の下で物品を搬送するためのものであり、かつ機器がさらに、
搬送ポッドが、内部空洞に真空が存在する場合に外側大気圧に耐えるように構成され、
ポッドドア前方シーリング手段を圧縮するために、搬送ポッドの内側に向かってポッドドアに対して軸方向推力を加えるように、インタフェース内に構成されるプッシャ手段と、
弾性圧縮可能であり、かつポッドドアによって弾性的に圧縮されて保持されるように構成されたポッドドア前方シーリング手段とを備え、ポッドドア前方シーリング手段自体は、ポッドドアがロックされた閉位置にあるときに、ポッドドアロック手段によって保持される、ことを特徴とする。
ポッドドアをロックするステップ中に、十分な強度の前記軸方向推力をポッドドアに加え、次いでポッドドアロック手段を作動させてポッドドアをロックし、最終的に軸方向推力を解放し、
ポッドドアをアンロックするステップ中に、十分な強度の前記軸方向推力をポッドドアに加え、次いでロック手段を作動させてポッドドアをアンロックし、最終的に前記軸方向推力を解放するように構成されていることが好ましい。
インタフェースドア前方シーリング手段が弾性圧縮されること、および
結合された状態では、十分な強度の軸方向推力が、同時にインタフェースドア前方シーリング手段を圧縮することを準備することができる。
開位置と閉位置との間でドアを変位するための第1のアクチュエータ手段と、
十分な強度の前記軸方向推力を加えるための、第1のアクチュエータ手段とは別の第2のアクチュエータ手段とを含む。
物品通過開口部を囲む壁に対して搬送ポッドを可逆的に確保するように構成される保持手段と、
搬送ポッドと物品通過開口部を囲む壁との間で、搬送ポッドが前記壁に固定されているときに、出入口開口部と物品通過開口部との周りで外部雰囲気に対するシーリングを提供するための、インタフェース前方シーリング手段とを含む。
2 周囲壁
3 出入口開口部
4 ポッドドア
5、13、16 前方シーリング手段
6 内部空洞
7 平坦な物品
8a、8b、32 矢印
9 装置
10 耐漏洩性周囲壁
11 物品通過開口部
12 インタフェースドア
12b、12c 横断ピン
12d、12e ボールベアリング
12f インタフェースドアロック手段、シャフト
12g インボリュート形カム
14 ドアアクチュエータ手段
14a、14b 側部ユニット
14c 軸方向部分ストローク
14d 横断部分ストローク
15 保持手段
15a 頂部ジョー
15b 底部ジョー
15c ポッド保持ジョーアクチュエータ
17 耐漏洩性インタフェース
18 出口オリフィス
19 装置ドア
20 ポッドドアロック手段
21 周辺容積
22 真空ポンプデバイス
23 連結ポンプダクト
23a 入口オリフィス
24 連結ポンプ制御バルブ
25 インタフェースポンプダクト
26 インタフェースポンプ制御バルブ
27 釣り合いダクト
28 バルブ
29 取り外し可能な結合手段
30 両方向矢印
33 案内経路
33a 横断肢(垂直肢)
33b 第1の軸方向肢(水平肢)
33c 第2の軸方向肢(水平肢)
34 フォーク
35 水平フォーク軸
36 リンク
36a、36b、36c リンクピン
37 アクチュエータ
38a、38b ロックアクチュエータ
39a、39b ロックペグ
40 キャリッジ
50a、50b、50c 平坦な物品のマニピュレータ
51 パージデバイス
52 熱伝達プレート
53、54、55 センサ
56 制御装置
57 バーコード
58、59 心合せ手段
58a 丸頭ペグ
58b ばね
58c ハウジング
Claims (22)
- ウェハまたはマスクなどの平坦な物品(7)を装置(9)へまたは装置(9)から搬送するための機器であって、
搬送ポッド(1)を備え、各搬送ポッド(1)が、ポッドドア(4)によって閉鎖可能な出入口開口部(3)を持つ耐漏洩性周辺壁(2)を有し、かつポッドドア前方シーリング手段(5)を有し、前記機器がさらに、
装置(9)の入口において、インタフェースドア前方シーリング手段(13)を有するインタフェースドア(12)によって閉鎖可能な物品通過開口部(11)を備えた、インタフェース(17)と、
搬送ポッド(1)の前面と、物品通過開口部(11)および出入口開口部(3)の周りのインタフェース(17)の前面との間の結合ゾーンを、外部雰囲気から隔離するための周辺シーリング手段(16)と、
閉位置と、インタフェース(17)の内側に向かってオフセットされる開位置との間で、ポッドドア(4)とインタフェースドア(12)とを移動させるための、インタフェース(17)に取り付けられたドアアクチュエータ手段(14)と、
ポッドドア(4)が出入口開口部(3)を閉じる閉位置において、ポッドドア(4)を選択的にロックおよびアンロックするために、インタフェース(17)に取り付けられたアクチュエータ手段によって作動可能である、搬送ポッド(1)に備えられたポッドドアロック手段(20)とを備え、
前記機器が、低圧雰囲気の下で物品を搬送するためのものであり、かつ前記機器がさらに、
搬送ポッド(1)が、内部空洞(6)に真空が存在する場合に外側大気圧に耐えるように構成され、
ポッドドア前方シーリング手段(5)を圧縮するために、搬送ポッド(1)の内側に向かってポッドドア(4)に対して軸方向推力を加えるように、インタフェース(17)内に構成されるプッシャ手段(14、15、12f)と、
弾性圧縮可能であり、かつ前記ポッドドアによって弾性的に圧縮されて保持されるように構成されたポッドドア前方シーリング手段(5)とを備え、ポッドドア前方シーリング手段(5)自体が、ポッドドア(4)がロックされた閉位置にあるときに、ポッドドアロック手段(20)によって保持されることを特徴とする、機器。 - プッシャ手段(14、15、12f)によって、十分な強度の軸方向推力がポッドドア(4)に加えられて、ポッドドアロック手段(20)によって提供される圧縮を超えてポッドドア前方シーリング手段(5)を圧縮することが可能になる、請求項1に記載の機器。
- プッシャ手段(14、15、12f)が、
ポッドドア(4)をロックするステップ中に、十分な強度の前記軸方向推力をポッドドア(4)に加え、次いでポッドドアロック手段(20)を作動させてポッドドア(4)をロックし、最終的に軸方向推力を解放し、
ポッドドア(4)をアンロックするステップ中に、十分な強度の前記軸方向推力をポッドドア(4)に加え、次いでロック手段を作動させてポッドドア(4)をアンロックし、最終的に前記軸方向推力を解放するように構成される、請求項2に記載の機器。 - 取り外し可能な結合手段(29)が、またポッドドア(4)とインタフェースドア(12)とに備えられ、結合された状態で、ポッドドア(4)が、インタフェースドア(12)とともに1つのユニットとして閉位置と開位置との間を移動するように、ドアアクチュエータ手段(14)の制御の下で、ポッドドア(4)をインタフェースドア(12)に対して可逆的に固定する、請求項1に記載の機器。
- インタフェースドア前方シーリング手段(13)が弾性圧縮され、かつ
結合された状態で、十分な強度の軸方向推力が、同時にインタフェースドア前方シーリング手段(13)を圧縮する、請求項4に記載の機器。 - ドアアクチュエータ手段が、
開位置と閉位置との間でドアを変位するための第1のアクチュエータ手段(14)と、
十分な強度の前記軸方向推力を加えるための、第1のアクチュエータ手段(14)とは別の第2のアクチュエータ手段(12f)とを含む、請求項4に記載の機器。 - 同じアクチュエータ手段(14)が、ドアを開位置と閉位置との間で動かし、かつ十分な強度の前記軸方向推力を加える働きをする、請求項4に記載の機器。
- 物品通過開口部(11)を囲む壁に対して搬送ポッド(1)を可逆的に固定するように構成される保持手段(15)と、
搬送ポッド(1)と物品通過開口部(11)を囲む壁との間で、搬送ポッド(1)が前記壁に固定されているときに、出入口開口部(3)と物品通過開口部(11)との周りで外部雰囲気に対するシーリングを提供するための、インタフェース前方シーリング手段(16)とを含む、請求項4に記載の機器。 - 搬送ポッド(1)がインタフェース(17)の前壁に対して固定され、かつドア(4、12)が閉位置にあるときに、ポッドドア(4)、インタフェースドア(12)、ポッドドア前方シーリング手段(5)、インタフェースドア前方シーリング手段(13)、およびインタフェース前方シーリング手段(16)の間のガスケット間ゾーンに閉じ込め保持されているガスの周辺容積(21)をポンプで出すように構成される連結ポンプ手段(22〜28、56)をさらに備える、請求項8に記載の機器。
- 互いに結合された状態で、ポッドドア(4)の外面(104)が、隙間も張り出しもなくて覆っているインタフェースドア(12)の外面(112)を直接押圧する、請求項9に記載の機器。
- 連結ポンプ手段(22〜28、56)が、搬送ポッド(1)がインタフェース(17)に対して固定され、かつポッドドア(4)およびインタフェースドア(12)は両方とも閉位置にあるとき、搬送ポッド(1)の内部の圧力と実質的に等しいガス圧力を周辺容積(21)内に確立するように構成される、請求項9に記載の機器。
- 連結ポンプ手段(22〜28、56)が、搬送ポッド(1)がインタフェース(17)に対して固定され、かつポッドドア(4)、インタフェースドア(12)、および装置ドア(19)の3つすべてが閉位置にあるとき、搬送ポッド(1)内の圧力と実質的に等しいガス圧力をインタフェース(17)内に確立するように構成される、請求項9に記載の機器。
- 連結ポンプ手段(22〜28、56)が、ポッドドア(4)とインタフェース(17)が開いているが、装置ドア(19)は閉じているとき、インタフェース(17)と搬送ポッド(1)において、装置(9)内の圧力と実質的に等しいガス圧力、または搬送ポッド(1)において望まれる圧力と実質的に等しいガス圧力を選択的に確立するよう構成される、請求項9に記載の機器。
- 連結ポンプ手段が、連結ポンプダクト(23)を備え、該連結ポンプダクト(23)が、インタフェース前方シーリング手段(16)とインタフェースドア前方シーリング手段(13)との間の周辺容積(21)と連絡する入口オリフィス(23a)を有し、また真空ポンプデバイス(22)に連結された出口を有する、請求項9に記載の機器。
- 連結ポンプ制御バルブ(24)が、連結ポンプダクト(23)の間に配置される、請求項14に記載の機器。
- 前記真空ポンプデバイスが、また、インタフェースポンプダクト(25)を介してインタフェース(17)の内側空間に連結され、インタフェースポンプ制御バルブ(26)が、前記インタフェースポンプダクトの間に配置される、請求項15に記載の機器。
- 前記連結ポンプ手段(22〜28、56)が、前記周辺容積(21)内に、機器の外側の周囲圧力と実質的に等しい圧力を確立するように構成される、請求項9に記載の機器。
- 釣り合いバルブ(28)を備えた釣り合いダクト(27)が、周辺容積(21)を機器の外側に連結させる、請求項17に記載の機器。
- ドアアクチュエータ手段(14)が、ドア(4、12)を2つの部分ストロークに沿って移動させ、特に、閉位置とインタフェース(17)の内側に向かって軸方向にセットバックされる位置との間の軸方向部分ストローク(14c)と、軸方向のセットバック位置と、搬送ポッド(1)と装置(9)との間で平坦な物品(7)の通路を解放する側方向に後退した位置との間の、横断部分ストローク(14d)とに沿って移動させる、請求項1に記載の機器。
- ドアアクチュエータ手段(14)が、装置(9)の入口に取り付けられたインタフェース(17)に備えられる、請求項1に記載の機器。
- 少なくとも1つの心合せ手段(58、59)が、またインタフェースドア(12)および/またはポッドドア(4)に備えられ、ポッドドア(4)をインタフェースドア(12)に向けて案内し、かつ2つのドア(4、12)がともに結合されると2つのドアを保持する、請求項4に記載の機器。
- 少なくとも1つの心合せ手段(58)が、インタフェースドア(12)に備えられ、インタフェースドアにおけるガイド形成ハウジング(58c)に収容された球形ヘッドペグ(58a)およびばね(58b)を含み、少なくとも1つの心合せ手段(59)が、ポッドドア(4)に備えられ、インタフェースドア(12)の対応する心合せ手段(58)を受け入れるために適したハウジングを有する、請求項21に記載の機器。
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