JP2006049454A - ストッカ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセット6を入出庫させる搬入ポート14/搬出ポート15と、前記カセット6を保管する棚23と、前記棚23から前記カセット6を載置/取出するスタッカロボット9とをストッカ本体内部に備える。前記搬入ポート14の垂直方向近傍に搬入ポート用待機領域38が設けられ、前記搬出ポート15の水平方向近傍に搬出ポート用待機領域39が設けられる。前記搬入ポート14内と前記搬入ポート用待機領域38との間で、前記カセット6を垂直移動させる昇降ユニット11と、前記搬出ポート15内と前記搬出ポート用待機領域39との間で、前記カセット6を水平移動させる水平駆動ユニット3とをそれぞれ備える。前記スタッカロボット9は搬入ポート用待機領域38及び搬出ポート用待機領域39と前記棚23との間で前記カセット6の載置/取出を行う。
【選択図】図1
Description
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とする。
本発明の第1実施形態に係るストッカの構成を図1〜図8に基づいて説明する。図1はストッカの上方斜視図である。図2はストッカを図1のa方向から見た透視図である。
ストッカ1は、図1に示すように、棚23と、マニュアルポート13と、スタッカクレーン5と、を有する。
本発明の第2実施形態に係るストッカの構成を図9に基づいて説明する。尚、第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。第2実施形態の構成が第1実施形態と異なる点は、マニュアルポート13がストッカ1の長手側面21に設けられている点である。マニュアルポート13の向かって左側が搬入ポート14、右側が搬出ポート15となっている。搬出ポート15はストッカ1の長手側面21の右端に位置し、搬入ポート14は搬出ポート15に隣接している。本実施形態のストッカは、第1実施形態のストッカに比して、搬入ポート14、搬出ポート15の位置が変わっただけであり、その作動は第1実施形態のストッカと同じであるため、その説明を省略する。
2 ストッカ
3 水平駆動ユニット(移動手段)
4 半導体製造装置
5 スタッカクレーン
6 カセット
6a 前面
7 走行軌道
8 無人車
9 スタッカロボット
9a ベースブロック
9b,9c スライドブロック
10 ベルト
11 昇降ユニット(移載手段)
13 マニュアルポート
14 搬入ポート
15 搬出ポート
16 駆動軸
17 スタッカ支柱
18 作業者
19 開口部
20 レール
21 長手側面
22 短手側面
23 棚
24 無人車搬入ポート
25 無人車搬出ポート
26 搬入ポート
27 搬出ポート
31 外側ピン
32 無人車搬入出ポート
33 内側ピン
34 外側ピン
35 昇降/旋回モータ
37 出庫テーブル
38 搬入ポート用待機領域(第1のカセット待機領域)
39 搬出ポート用待機領域(第2のカセット待機領域)
40 上方スライド台
41 下方台
42 内側受台
43 キネマティックピン
44 伸縮軸
46 昇降台
47 走行輪
48 台板
49 ラック
50 リニアピニオン
51 伸縮/旋回モータ
54 昇降軸
56 キネマティックピン
57 水平ポート台
58 駆動モータ
59 ピン
Claims (7)
- 複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、少なくとも一方の垂直方向近傍に前記カセットの待機領域が設けられ、
前記マニュアルポート内と前記カセットの待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段を備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。 - 複数のウエハを収納したカセットを入出庫させるマニュアルポートと、前記カセットを保管する棚と、前記棚に沿って走行するスタッカクレーンに設けられ、前記棚における選択された保管位置に対して前記カセットを載置/取出するスタッカロボットとをストッカ本体内部に備えたストッカにおいて、
前記マニュアルポートは搬入ポートと搬出ポートとを有し、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、一方のポートの垂直方向近傍に前記カセットの待機領域である第1のカセット待機領域が設けられ、
前記搬入ポートと前記搬出ポートのうち、他方のポートの水平方向近傍に前記カセットの待機領域である第2のカセット待機領域が設けられ、
前記一方のポート内と前記第1のカセット待機領域との間で、前記カセットを垂直移動させる移載手段と、
前記他方のポート内と前記第2のカセット待機領域との間で、前記カセットを水平移動させる移動手段と、をそれぞれ備え、
前記スタッカロボットは前記カセットの待機領域と前記棚との間で前記カセットの載置/取出を行うことを特徴とするストッカ。 - 前記第1のカセット待機領域が前記一方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられ、
前記第2のカセット待機領域が前記他方のポートに隣接されて、ストッカ本体内部に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のストッカ。 - 前記他方のポートがストッカ本体の四隅のいずれかに設けられ、前記一方のポートと隣接していることを特徴とする請求項2又は3に記載のストッカ。
- 前記移動手段は、前記カセットを水平方向に90度回転自在であり、
前記スタッカロボットが前記カセットの決められた方向から該カセットを確保するように、前記第2のカセット待機領域に載置される前記カセットを90度旋回させることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のストッカ。 - 前記搬入ポートから入庫された前記カセットが待機させられる前記カセットの待機領域の近傍に、前記カセットに取付けられたラベル或いはICタグを読取るための読取り装置が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のストッカ。
- 前記マニュアルポートの床からの高さが、850ミリメートル以上950ミリメートル以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のストッカ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004226303A JP4466264B2 (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | ストッカ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004226303A JP4466264B2 (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | ストッカ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006049454A true JP2006049454A (ja) | 2006-02-16 |
JP4466264B2 JP4466264B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=36027684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004226303A Expired - Fee Related JP4466264B2 (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | ストッカ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4466264B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090928 |
|
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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