JP4459747B2 - カセットの受け渡し方法 - Google Patents

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Description

本発明は、カセットの受け渡し方法に係り、特に、搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、液晶、有機EL、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにしたカセットの受け渡し方法に関するものである。
従来、液晶、有機EL、半導体等の電子部品の製造工場においては、図2に示すように、製造装置M1、M2との間で液晶、有機EL、半導体等の電子部品用基板の受け渡しを行うストッカStを配設するようにしている。
そして、このストッカStの入出庫口Sに対して、電子部品用基板を収容したカセットCを搬入、搬出するために、例えば、ストッカStの入出庫口S間を結ぶように形成された台車走行路R(図2は、循環路を形成した例を示したが、これに限定されない。)を走行する搬送台車1が用いられている。
また、ストッカStの入出庫口Sには、移載装置2を配置し、この移載装置2と、搬送台車1との間で、カセットCの受け渡しを行うようにしている。
ところで、従来の搬送装置においては、搬送台車1と移載装置2との間でカセットCの受け渡しを行う場合、例えば、図3−1(b)及び図3−2(b)に示すように、受け渡し位置に進入、停止した搬送台車101のカセット支持部101aを鉛直方向に貫通する鉛直空間部101bに、移載装置2の伸縮可能なカセット支持部102aを伸張、挿入し、この支持部102aを上昇させることによりカセットCを搬送台車101のカセット支持部101aから持ち上げ、ストッカStの入出庫口Sに受け入れるようにしている。なお、ストッカStの入出庫口Sから搬送台車101へのカセットCを受け渡しは、移載装置2が上記動作と逆の動作をすることにより行うようにしている。
このように、従来の搬送装置においては、カセットCの受け渡しを、搬送台車101が受け渡し位置に進入、停止した後、移載装置2の伸縮可能に構成したカセット支持部102aを伸張、挿入するようにしているため、カセットCの受け渡しに時間を要し、搬送効率、ひいては、生産効率を低下させるという問題があった。
本発明は、上記従来の搬送装置の有する問題点に鑑み、移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができるようにしたカセットの受け渡し方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本第1発明のカセットの受け渡し方法は、ストッカの入出庫口間を結ぶように形成された台車走行路を走行する搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにしたカセットの受け渡し方法において、搬送台車の走行方向に水平に貫通し、前記走行方向と直交方向の一側面を開放した水平空間部と、該水平空間部から上方に連続する搬送台車のカセット支持部を貫通する鉛直空間部とを形成した搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部を、前記搬送台車の水平空間部に位置させることによって、前記移載装置のカセット支持部を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにするとともに、搬送台車から移載装置へカセットの受け渡しを行う場合に、搬送台車が進入、停止すると、移載装置のカセット支持部を搬送台車の水平空間部から鉛直空間部を通して上昇させて、カセットを搬送台車のカセット支持部から持ち上げ、移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させて、カセットをストッカの入出庫口に受け入れるようにすることを特徴とする。
また、同じ目的を達成するため、本第2発明のカセットの受け渡し方法は、ストッカの入出庫口間を結ぶように形成された台車走行路を走行する搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにしたカセットの受け渡し方法において、移載装置のカセット支持部のアームを、カセットの側部上方から垂下させ、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、前記アームの屈曲させた先端部を、搬送台車のカセット支持部の上面に載置したカセットの下方で、かつ、搬送台車のカセット支持部の側方に位置させることによって、前記移載装置のカセット支持部を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにするとともに、搬送台車から移載装置へカセットの受け渡しを行う場合に、搬送台車が進入、停止すると、移載装置のカセット支持部を搬送台車のカセット支持部に対して相対的に上昇させて、カセットを搬送台車のカセット支持部から持ち上げ、移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させて、カセットをストッカの入出庫口に受け入れるようにすることを特徴とする。
この場合において、移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させたストッカ内にシャトル台車を配設し、移載装置のカセット支持部をシャトル台車のカセット支持部に対して相対的に降下させて、カセットをシャトル台車のカセット支持部に載置するようにすることができる。
本発明のカセットの受け渡し方法によれば、移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができ、搬送効率、ひいては、生産効率を向上することができる。
以下、本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図1〜図3−2に、本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第1実施例を示す。
この搬送装置は、従来の搬送装置と同様、図2に示すように、ストッカStの入出庫口Sに対して、液晶、有機EL、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットCを搬入、搬出するために、ストッカStの入出庫口S間を結ぶように形成された台車走行路Rを走行する搬送台車1を用いるとともに、ストッカStの入出庫口Sに移載装置2を配置し、この移載装置2と、搬送台車1との間で、カセットCの受け渡しを行うようにしたものである。
そして、この搬送装置は、搬送台車1と、ストッカStの入出庫口Sに配置した移載装置2との間で、カセットCの受け渡しを行う場合、図1、図3−1(a)及び図3−2(a)に示すように、移載装置2を、搬送台車1との間でカセットCの受け渡しを行う台車走行路Rの位置に移動させた状態で搬送台車1が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにしている。
具体的には、搬送台車1に、水平方向に貫通し、搬送台車1の一側面を開放した水平空間部1cを形成することにより、搬送台車1を前面視して略コ字状に形成するとともに、この水平空間部1cから上方に連続する搬送台車1のカセット支持部1aを貫通する鉛直空間部1bを形成するようにする。
これにより、移載装置2を、搬送台車1との間でカセットCの受け渡しを行う台車走行路Rの位置に移動させた状態で、搬送台車1が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過する際に、移載装置2の伸縮可能に構成したカセット支持部2aを、搬送台車1の水平空間部1cに位置させるようにすることができる。
そして、搬送台車1から移載装置2へカセットCの受け渡しを行う場合には、搬送台車1が進入、停止すると、搬送台車1の水平空間部1cに挿入されている移載装置2の伸張状態にあるカセット支持部2aを、搬送台車1のカセット支持部1aを貫通する鉛直空間部1bを上昇させることにより、カセットCを搬送台車1のカセット支持部1aから持ち上げ、ストッカStの入出庫口Sに受け入れるようにする。なお、ストッカStの入出庫口Sから搬送台車1へのカセットCを受け渡しは、移載装置2が上記動作と逆の動作をすることにより行うことができる。
このように、搬送台車1のカセット支持部1aと移載装置2のカセット支持部2aの位置を異ならせることにより、両者が干渉しないようにして、移載装置1、具体的には、移載装置1のカセット支持部1aを、搬送台車1との間でカセットCの受け渡しを行う台車走行路Rの位置に移動させた状態で搬送台車1が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることができ、これにより、カセットCの受け渡しを短時間で行うことができる。
そして、この搬送装置によって、サイズが1800mm×1500mm以上、さらには、2200mm×1800mm以上の液晶ガラス基板等の電子部品基板を取り扱うことができる。
図4−1〜図4−10に、本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第2実施例を示す。
この搬送装置は、移載装置2を、レールR2に移動可能に垂設したクレーンにより構成したもので、搬送台車1との間でカセットCの受け渡しを行う台車走行路Rの位置に移動させた状態で、カセット支持部1aの上面にカセットCを載置した搬送台車1が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過する際に、移載装置2のカセット支持部2aの伸縮可能に構成したアーム21を、カセットCの側部上方から垂下させ、このアーム21の屈曲させた先端部22を、カセットCの下方で、かつ、搬送台車1のカセット支持部1aの側方に位置させるようにしたものである。
そして、搬送台車1から移載装置2へカセットCの受け渡しを行う場合には、搬送台車1が進入、停止すると、移載装置2のカセット支持部2aのアーム21を縮小させることにより、カセットCを搬送台車1のカセット支持部1aから持ち上げ、ストッカStの入出庫口Sに受け入れるようにする。なお、ストッカStの入出庫口Sから搬送台車1へのカセットCを受け渡しは、移載装置2が上記動作と逆の動作をすることにより行うことができる。
このように、搬送台車1のカセット支持部1aと移載装置2のカセット支持部2aの位置を異ならせることにより、両者が干渉しないようにして、移載装置1、具体的には、移載装置1のカセット支持部1aを、搬送台車1との間でカセットCの受け渡しを行う台車走行路Rの位置に移動させた状態で搬送台車1が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることができ、これにより、カセットCの受け渡しを短時間で行うことができる。
この搬送装置の動作の詳細を、ストッカSt内に配設したシャトル台車Sh、昇降可能に構成したカセット台Cd及びスタッカクレーンCrの動作と併せて、図4−2〜図4−10に示す。
なお、本実施例の搬送装置のその他の構成は、上記第1実施例の搬送装置と同様である。
ところで、上記第2実施例の搬送装置においては、移載装置2を、伸縮可能なアーム21からなるカセット支持部2aを備え、レールR2に移動可能に垂設したクレーンにより構成するようにしたが、このほか、図5に示す第1変形例のように、移載装置2を構成するクレーンのカセット支持部2aのアーム21を伸縮可能とせず、搬送台車1及びシャトル台車Shのカセット支持部を昇降可能に構成したり(この場合、カセット台Cdは昇降可能に構成する必要はない。)、図5に示す第2変形例や第3変形例のように、移載装置2を構成するクレーンのカセット支持部2aのアーム21(第2変形例の場合は、図示右側の2本のアーム、第3変形例の場合は、4本のアーム)を揺動可能に構成するとともに、搬送台車1及びシャトル台車Shのカセット支持部を昇降可能に構成する(この場合、カセット台Cdは昇降可能に構成する必要はない。)ことができる。
以上、本発明のカセットの受け渡し方法を、この方法を実施する複数の搬送装置の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
本発明のカセットの受け渡し方法は、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができることから、液晶、有機EL、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置の用途に好適に適用することができる。
本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第1実施例を示し、(a)は正面断面図、(b)は(a)のB−B断面図、(c)は(a)のC−C断面図である。 本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置を適用する電子部品の製造工場の一例を示す概略平面図である。 (a)は本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第1実施例の動作説明図、(b)は従来の搬送装置の動作説明図である。 (a)は本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第1実施例の動作説明図、(b)は従来の搬送装置の動作説明図である。 本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第2実施例を示し、(a)は正面断面図、(b)は平面図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:待機状態、搬送台車:進入状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:待機状態、搬送台車:停止状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:カセット支持部のアームを縮小させてカセットを持ち上げた状態、搬送台車:停止状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:移載装置を移動させ、カセットをストッカの入出庫口に受け入れた状態、搬送台車:走行)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:カセット支持部のアームを伸張させてカセットをシャトル台車に載置した状態、搬送台車:−)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:移動させ、待機させた状態、搬送台車:−、シャトル台車:カセット台まで移動させた状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:待機状態、搬送台車:進入、停止状態、シャトル台車:停止状態、カセット台:カセット支持部を上昇させてカセットを持ち上げた状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:待機状態、搬送台車:停止状態、シャトル台車:走行状態、カセット台:カセットを持ち上げた状態)を示す説明図である。 同搬送装置の動作状態(移載装置:カセット支持部のアームを縮小させてカセットを持ち上げた状態、搬送台車:停止状態、シャトル台車:停止状態、カセット台:カセットを持ち上げた状態、スタッカクレーンCr:カセットを受け取るためにカセット支持部を伸張させた状態)を示す説明図である。 本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第2実施例の第1変形例を示し、(a)は正面断面図、(b)は平面図である。 本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第2実施例の第2変形例を示し、(a)は正面断面図、(b)は平面図である。 本発明のカセットの受け渡し方法を実施するための搬送装置の第2実施例の第3変形例を示し、(a)は正面断面図、(b)は平面図である。
1 搬送台車
1a カセット支持部
1b 鉛直空間部
1c 水平空間部
2 移載装置
2a カセット支持部
21 アーム
22 アームの先端部
C カセット
R 台車走行路
St ストッカ
S ストッカの入出庫口
Sh シャトル台車
Cd カセット台
Cr スタッカクレーン

Claims (3)

  1. ストッカの入出庫口間を結ぶように形成された台車走行路を走行する搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにしたカセットの受け渡し方法において、搬送台車の走行方向に水平に貫通し、前記走行方向と直交方向の一側面を開放した水平空間部と、該水平空間部から上方に連続する搬送台車のカセット支持部を貫通する鉛直空間部とを形成した搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部を、前記搬送台車の水平空間部に位置させることによって、前記移載装置のカセット支持部を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにするとともに、搬送台車から移載装置へカセットの受け渡しを行う場合に、搬送台車が進入、停止すると、移載装置のカセット支持部を搬送台車の水平空間部から鉛直空間部を通して上昇させて、カセットを搬送台車のカセット支持部から持ち上げ、移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させて、カセットをストッカの入出庫口に受け入れるようにすることを特徴とするカセットの受け渡し方法
  2. ストッカの入出庫口間を結ぶように形成された台車走行路を走行する搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにしたカセットの受け渡し方法において、移載装置のカセット支持部のアームを、カセットの側部上方から垂下させ、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、前記アームの屈曲させた先端部を、搬送台車のカセット支持部の上面に載置したカセットの下方で、かつ、搬送台車のカセット支持部の側方に位置させることによって、前記移載装置のカセット支持部を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにするとともに、搬送台車から移載装置へカセットの受け渡しを行う場合に、搬送台車が進入、停止すると、移載装置のカセット支持部を搬送台車のカセット支持部に対して相対的に上昇させて、カセットを搬送台車のカセット支持部から持ち上げ、移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させて、カセットをストッカの入出庫口に受け入れるようにすることを特徴とするカセットの受け渡し方法
  3. 移載装置のカセット支持部を搬送台車の走行方向と直交方向に移動させたストッカ内にシャトル台車を配設し、移載装置のカセット支持部をシャトル台車のカセット支持部に対して相対的に降下させて、カセットをシャトル台車のカセット支持部に載置するようにすることを特徴とする請求項2記載のカセットの受け渡し方法
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI496732B (zh) 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
JP5617868B2 (ja) * 2012-04-11 2014-11-05 村田機械株式会社 搬送装置
CN114999968A (zh) * 2015-11-27 2022-09-02 株式会社国际电气 衬底处理装置、衬底搬送***、半导体器件的制造方法及记录介质

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990035554A (ko) * 1997-10-31 1999-05-15 윤종용 스토커 설비 구조
JP2003246410A (ja) 2002-02-26 2003-09-02 Nippon Yusoki Co Ltd 自動倉庫の入出庫ステーション

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