JP2006035853A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. インクを吐出するための複数の吐出口と、該複数の吐出口にそれぞれ連通する複数のインク流路と、該複数のインク流路に液体を供給するためのインク供給口と、を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
   シリコン基板を用意する工程と、
   該シリコン基板の第１の面に、蓄熱層を形成する工程と、
   該蓄熱層に、前記インク供給口と連通するための複数の貫通孔を形成する工程と、
   該蓄熱層の上にインクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する発熱体を形成する工程と、
   前記蓄熱層と前記発熱体上に前記発熱体の保護層を形成する工程と、
   該保護層の上に、前記複数の吐出口と前記複数のインク流路とを構成する流路構成部材を形成する工程と、
   前記シリコン基板に、前記インク供給口を、基板の前記第１の面と対向する第２の面側から異方性エッチングによって形成する工程と、
   前記保護膜の一部を、前記貫通孔が形成された前記蓄熱層をマスクとして除去し、前記複数の貫通孔によるフィルタを形成する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 前記保護層は酸化シリコンまたはチッ化シリコンを含む、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 前記保護層の形成後、該保護層の前記発熱体に対応する部位上にタンタル膜を積層する工程をさらに有する、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
4. 前記保護層の形成後、該保護層上に、前記流路構成部材と前記保護層との密着を向上させるための熱可塑性樹脂からなる密着向上層を形成する工程をさらに有する、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。