JP2006022185A - 両面粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【課題】 シリコンウェハ15のエッジ研磨用研磨布13を、MCナイロン製定盤12に固着する両面粘着テープに関し、シリコンウェハ15のエッジ研磨中に、研磨布13を定盤12へ固定している両面粘着テープ14が定盤12から剥離するのを防止することができる。
【解決手段】 シリコンウェハ15のエッジ研磨用研磨布13を、ナイロン製定盤12に固定する両面粘着テープ14であって、テープ基材と、テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、定盤側粘着層がアクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなるものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 シリコンウェハ15のエッジ研磨用研磨布13を、ナイロン製定盤12に固定する両面粘着テープ14であって、テープ基材と、テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、定盤側粘着層がアクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなるものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、研磨機における研磨布の固着に用いる両面粘着テープに関する。
従来から、シリコンウェハのエッジは、専用の研磨機を用いて研磨している。
研磨機は、シリコンウェハを設置するキャリアと、キャリアに設置固定したシリコンウェハの研磨部位に対向する位置に設けられた定盤と、定盤表面に固着した研磨布とから構成されている。
研磨布の定盤への固着は、両面粘着テープ30(図6)を用いて行われている。両面粘着テープ30は、テープ基材31と、テープ基材31の定盤側面に設けられた定盤側粘着層32と、テープ基材31の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層33とからなる。定盤側粘着層32には、天然ゴム系粘着剤が用いられている(例えば、特許文献1参照)。
天然ゴム系粘着剤からなる定盤側粘着層32は、SUSのような金属製の定盤への接着に適している。このため、両面粘着テープ30をナイロン製の定盤への研磨布の固着に使用した場合、シリコンウェハのエッジ研磨中に、両面粘着テープ30がナイロン製の定盤から剥離し、研磨布によるシリコンウェハのエッジの研磨が精度よく行えないという問題があった。
特開平6−158008
したがって、本発明においては、研磨布をナイロン製の定盤へ固着している両面粘着テープが、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止でき、研磨布による研磨が精度よく確実に行えることを解決しようとする課題とする。
本発明は、研磨布をナイロン製定盤に固着する両面粘着テープであって、テープ基材と、テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、定盤側粘着層が、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなるものである。
定盤側粘着層の厚みは、40μm〜100μmが好ましい。より好ましくは、50μm〜70μmである。
本発明の両面粘着テープによると、定盤側粘着層がアクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤にて形成されており、ナイロン製の定盤との接着性が向上し、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止できる。
また、定盤側粘着層の厚みを40μm〜100μmとしたことにより、研磨中に発生する粘着層のヨレに起因する定盤からの剥離を防止できる。なお、定盤側粘着層の厚みが40μm未満の場合、研磨中に剥離が生じ易く、また定盤側粘着層の厚みが100μmを超える場合、粘着層にせん断が発生するとともに研磨平坦度不良が生じる。
本発明によれば、研磨布をナイロン製の定盤へ固着している両面粘着テープが、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止でき、研磨布による研磨が精度よく確実に行える。
本発明の最良の実施形態を図1ないし図3に基づいて説明する。図1は研磨機の正面図、図2,3は両面粘着テープの部分断面図である。
図1を用いて、シリコンウェハ15のエッジを研磨する研磨機10について説明する。研磨機10は、シリコンウェハ15を設置し真空吸着等により固定するキャリア11と、キャリア11に設置したシリコンウェハ15のエッジの研磨部に対向する位置に設けたMC(モノマーキャスト)ナイロン製定盤12と、定盤12の表面に両面粘着テープ14を介して固定した研磨布13とから構成されている。そして、キャリア11を回転させるとともに、定盤12を水平移動させて研磨布13をシリコンウェハ15のエッジに当接させることで、当該エッジを研磨する。
両面粘着テープ14は、図2に示すように、テープ基材16と、テープ基材16の定盤側面に設けられた定盤側粘着層17と、テープ基材16の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層18との3層構造にて形成されている。
定盤側粘着層17は、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなる。また、定盤側粘着層17の厚みは35μmとした。
研磨布側粘着層18は、ゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤等、研磨布13を強固に固着する粘着剤であればよい。
次に、剥離試験について説明する。
表1に、剥離試験の条件を示す。剥離試験は、90度剥離試験と200gf定荷重剥離試験について行う。
200gf定荷重剥離試験とは、図5に示すように、MCナイロン板40に試験用の両面粘着テープ41の定盤側粘着面42の一部を固着し、両面粘着テープ41を180度折り返し、MCナイロン板40に対して平行(矢印方向)に200gfの荷重を2時間加え、剥離した長さを測定する試験である。剥離した長さが小さいほど、粘着力が強く、好ましいテープであると言える。
表1に示すように、90度剥離試験は、圧着後の条件(環境温度、放置時間)ならびに測定時の温度を変えた5つの異なる条件1〜5にて試験を行い、200gf定荷重剥離試験は、同様に4つの異なる条件6〜9にて試験を行った。
表2に、実施例1と比較例との剥離試験結果を示す。なお、表2中の条件1〜9は、表1中の条件1〜9に対応している。
比較例は、図6に示す両面粘着テープ30であって、テープ基材31と、テープ基材31の定盤側面に設けられた定盤側粘着層32と、テープ基材31の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層33とからなる。定盤側粘着層32は厚み43μmの天然ゴム系粘着剤にて形成されており、研磨布側粘着層33は研磨布側粘着層18(図2)と同様の材質にて形成されている。
表2の剥離試験結果より、90度剥離試験に関しては、条件1〜5のいずれにおいても実施例1の方が、比較例より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。
また、200gf定荷重剥離試験に関しては、条件6,7では実施例1の方が、比較例より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。ただし、条件8,9では実施例1の方が、比較例より剥離した長さが大きく、粘着力が弱かった。
以上のように、条件1〜7において、アクリル系粘着剤の定盤側粘着層17の方が、天然ゴム系粘着剤の定盤側粘着層32より、ナイロン製の定盤12への接着力が大きくなり、両面粘着テープ14が剥離し難いことが判った。
表3に、実施例1と実施例2との剥離試験結果を示す。なお、表3中の条件1〜9は、表1中の条件1〜9に対応している。
実施例2は、図3に示す両面粘着テープ19であって、テープ基材20と、テープ基材20の定盤側面に設けられた定盤側粘着層21と、テープ基材20の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層22とからなる。定盤側粘着層21は定盤側粘着層17(図2)と同様の材質にて厚み60μmに形成されており、研磨布側粘着層33は研磨布側粘着層18(図2)と同様の材質にて形成されている。
表3の剥離試験結果より、90度剥離試験に関しては、条件1〜5のいずれにおいても実施例2の方が、実施例1より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。さらに、条件1〜5のいずれにおいても実施例2の方が比較例(表2)より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。
また、200gf定荷重剥離試験に関しては、常温下である条件6,7では実施例1,2はほとんど差がなかったが、高温下である条件8,9では実施例2の方が実施例1より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。さらに、条件6〜9のいずれにおいても実施例2の方が比較例(表2)より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。
以上のように、条件1〜9において、厚みが40μm〜100μmを満たしているアクリル系粘着剤の定盤側粘着層21の方が、天然ゴム系粘着剤の定盤側粘着層32より、ナイロン製の定盤12への接着力が大きくなり、両面粘着テープ14が剥離し難いことが判った。
本発明は、シリコンウェハのエッジ研磨用研磨布を、MCナイロン製定盤に固着する両面粘着テープとして有用である。
10 研磨機
11 キャリア
12 MCナイロン製定盤
13 研磨布
14,19 両面粘着テープ
15 シリコンウェハ
16,20 テープ基材
17,21 定盤側粘着層
18,22 研磨布側粘着層
11 キャリア
12 MCナイロン製定盤
13 研磨布
14,19 両面粘着テープ
15 シリコンウェハ
16,20 テープ基材
17,21 定盤側粘着層
18,22 研磨布側粘着層
Claims (2)
- 研磨布をナイロン製定盤に固着する両面粘着テープであって、
テープ基材と、前記テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、前記テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、
前記定盤側粘着層が、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなることを特徴とする両面粘着テープ。 - 前記定盤側粘着層の厚みが40μm〜100μmであることを特徴とする請求項1に記載の両面粘着テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004200777A JP2006022185A (ja) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | 両面粘着テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004200777A JP2006022185A (ja) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | 両面粘着テープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006022185A true JP2006022185A (ja) | 2006-01-26 |
Family
ID=35795699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004200777A Pending JP2006022185A (ja) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | 両面粘着テープ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006022185A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7385803B1 (ja) * | 2022-11-09 | 2023-11-24 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
JP7406693B1 (ja) * | 2022-11-09 | 2023-12-28 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、複層タイプの研磨パッド、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
JP7479194B2 (ja) | 2020-05-20 | 2024-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
-
2004
- 2004-07-07 JP JP2004200777A patent/JP2006022185A/ja active Pending
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