JP2009209320A - 研磨材固定用両面粘着テープ - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、大型化した場合にあっても優れた再剥離性を有すると共に、強酸や強アルカリの存在下においても優れた粘着性を示す研磨材固定用両面粘着テープを提供する。
【解決手段】 本発明の研磨材固定用両面粘着テープ１は、研磨機Ａの定盤Ｂ上に研磨材Ｃを着脱自在に固定するために用いられる研磨材固定用両面粘着テープであって、基材となるポリエチレンテレフタレートフィルム11の一面に、キシレン系粘着付与樹脂とアクリル系共重合体を含有するアクリル系粘着剤層12が積層一体化されていると共に、上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層13が積層一体化され、上記ウレタン系粘着剤を構成するウレタン系粘着剤のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力が１．２〜７．０Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、研磨材を研磨機の定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープに関する。

従来から研磨材を研磨機の定盤に固定するにあたっては、特許文献１や特許文献２のように両面粘着テープが使用されている。

このような研磨材固定用両面粘着テープとしては、研磨工程終了後に研磨材を研磨機の定盤から剥離、除去する必要があるため、定盤から糊残りなく剥離できるものが求められている。

又、近年、電子部品の研磨工程で用いられるスラリー液として強酸や強アルカリが用いられるようになったため、研磨材固定用両面粘着テープとしては、酸やアルカリの存在下でも剥離しにくいものが求められている。

このように、研磨材固定用両面粘着テープとしては、糊残りなく剥がすことのできる再剥離性と、酸やアルカリの存在下でも剥がれにくい粘着性の２つの特性を備えたものが要望されていた。しかしながら、これら２つの特性はトレードオフの関係にあり、両立させるのが困難であった。

そこで、優れた再剥離性を有し且つ酸やアルカリの存在下においても優れた粘着性を示す研磨材固定用両面粘着テープとして、例えば、特許文献３に、基材の片面に熱活性のアクリル系接着剤層が設けられ、基材の他面に再剥離性の粘着剤層が設けられていることを特徴とする研磨材固定用両面接着テープが提案され、研磨材側の接着剤層であるアクリル系接着剤層の厚みを８０μｍ、定盤側の接着剤層である再剥離性の粘着剤層の厚みを３５μｍとすることが開示されている。

しかしながら、上記研磨材固定用両面接着テープは、過去の研磨材固定用両面粘着テープと比較すると再剥離性及び酸やアルカリの存在下における粘着性に優れたものであったが、これらの特性は何れも充分であるとはいえず、更なる改善が求められていた。

一方、表示装置の表示画面の大型化に伴って、一辺が１．５ｍ以上の平面正方形状の大型のガラス基板を効率良く研磨する技術が要望されており、特許文献４には、大型のガラス基板の研磨装置において、ガラス基板の取り外しや取扱性に困難を伴うことが指摘されている。

上述のように、大型のガラス基板を研磨する場合、このガラス基板の研磨に用いる研磨材やこの研磨材を定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープも基板に見合った大きなものとする必要がある。

しかしながら、研磨材固定用両面粘着テープを大型化すると、その定盤に対する貼着面積の増大に伴って、研磨材固定用両面粘着テープの定盤からの剥離が困難となるといった問題が発生しており、特許文献３で開示された研磨材固定用両面粘着テープであっても満足のいくものではなかった。

特開２０００−１９０２１３号公報 特開２０００−７７３６６号公報 特開２００１−３５４９２６号公報 特開２００４−１２２３５１号公報

本発明は、大型化した場合にあっても優れた再剥離性を有すると共に、強酸や強アルカリの存在下においても優れた粘着性を示す研磨材固定用両面粘着テープを提供する。

本発明の研磨材固定用両面粘着テープ１は、図１及び図２に示したように、研磨機Ａの定盤Ｂ上に研磨材Ｃを着脱自在に固定するために用いられる研磨材固定用両面粘着テープであって、基材となるポリエチレンテレフタレートフィルム11の一面に、キシレン系粘着付与樹脂とアクリル系共重合体を含有するアクリル系粘着剤層12が積層一体化されていると共に、上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層13が積層一体化され、上記ウレタン系粘着剤を構成するウレタン系粘着剤のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力が１．２〜７．０Ｎ／２５ｍｍである。

上記研磨材固定用両面粘着テープ１は、その基材としてポリエチレンテレフタレートフィルムが用いられている。これは、ポリエチレンテレフタレートフィルムは、耐薬品性に優れていると共に製造時において優れた厚み精度でもって製造することができるからである。

ポリエチレンテレフタレートフィルムの厚みは、薄いと、研磨精度が低下することがあり、厚いと、研磨材固定用両面粘着テープが硬くなって剥離性が低下することがあるので、１０〜２００μｍが好ましい。

ポリエチレンテレフタレートフィルムの一面にはアクリル系粘着剤層が積層一体化されている。このアクリル系粘着剤層は、キシレン系粘着付与樹脂とアクリル系共重合体とを含有する。

アクリル系粘着剤層は、キシレン系粘着付与樹脂を含有していることから非常に優れた粘着性を有していると共に優れた耐薬品性も有しており、研磨中に強酸や強アルカリが用いられた場合にあっても粘着性が殆ど低下することはなく、アクリル系粘着材層上に研磨材を安定的に固定させておくことができる。

キシレン系粘着付与樹脂としては、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物が好ましい。このようなキシレン樹脂のアルキルフェノール反応物は、例えば、フドー社から商品名「ニカノールＴシリーズ」にて市販されている。

なお、アクリル粘着剤層は、キシレン系粘着付与樹脂以外に、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂などの他の粘着付与樹脂が適宜、含有されていてもよく、これらは、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。

アクリル系粘着剤層中におけるキシレン系粘着付与樹脂の含有量は、少ないと、アクリル系粘着剤層が凝集破壊することがあり、多いと、アクリル系粘着剤層の粘着力やタックが低下することがあるので、アクリル系共重合体１００重量部に対して５〜３０重量部が好ましく、９〜２０重量部がより好ましい。

アクリル系共重合体としては、特に限定されないものの、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸を共重合成分として含む（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体（以下、単に「（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体」という）が好ましい。なお、本発明において「（メタ）アクリル酸」とは、「メタクリル酸又はアクリル酸」を意味する。

アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸−ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸−ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチルなどが挙げられ、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。

（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体には、（メタ）アクリル酸以外にもアルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他のビニルモノマーが共重合成分として含まれていてもよい。このようなビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、ｎ−メチロールアクリルアミド、無水マレイン酸、酢酸ビニル、スチレンなどが挙げられる。

（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体における、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分の含有量は、少ないと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがあるので、７０重量％以上が好ましく、８０重量％以上がより好ましく、多過ぎると、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の架橋が不十分となって凝集力が低下し、アクリル系粘着剤層が凝集破壊することがあるので、８０〜９０重量％が特に好ましい。

（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体における（メタ）アクリル酸成分の含有量は、多いと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがあるので、３０重量％以下が好ましく、少な過ぎると、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の架橋が不十分となって凝集力が低下し、アクリル系粘着剤層が凝集破壊することがあるので、１〜２０重量％がより好ましい。

（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体を得るためには、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、（メタ）アクリル酸と、必要に応じて配合する上述の他のモノマーとを、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させればよい。なお、重合方法としては、特に限定されず、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などが挙げられる。

重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレートなどが挙げられ、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレートが好ましい。なお、上記重合開始剤は単独で用いられても、二種以上が併用されてもよい。

アクリル系粘着剤層の厚みは、薄いと、アクリル系粘着剤層の粘着力が不充分となり、研磨中にアクリル系粘着剤層上に固定した研磨材が剥離することがあり、厚いと、凝集力が低下することがあるので、３０〜１００μｍが好ましく、４０〜８０μｍがより好ましく、５０〜７０μｍが更に好ましい。

アクリル粘着剤層のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力は、低いと、研磨中にスラリー液に含有された酸やアルカリによってアクリル系粘着剤が変質されてその粘着力が低下した際に、アクリル系粘着剤層から研磨材が剥離することがあり、高いと、研磨材固定用両面粘着テープに研磨材を貼着し直したい場合に不便を生じることがあるので、７〜４０Ｎ／２５ｍｍが好ましく、１０〜３０Ｎ／２５ｍｍがより好ましい。

なお、アクリル粘着剤層のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力を測定するにあたっては、研磨材固定用両面粘着テープからなる試験片を試験板（ステンレス板）に貼着させてから１８０°ピール力の測定を行うまでに、温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気中に３０分間静置するものとする。

ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にはウレタン系粘着剤層が積層一体化されている。ウレタン系粘着剤層は、ポリウレタンポリオールと多官能イソシアネート系硬化剤とを反応させて得られるウレタン系粘着剤を含有していることが好ましい。多官能イソシアネート系硬化剤を用いることによって、ウレタン系粘着剤の架橋密度を適切にコントロールすることができ、その結果、ウレタン系粘着剤層に優れた再剥離性を付与することができる。

上記ポリウレタンポリオールは、ウレタン結合を有すると共に多官能イソシアネート系硬化剤と反応可能な水酸基を有している。ポリウレタンポリオールは、主としてポリオールと多官能イソシアネートとを触媒の存在下で反応させることにより得られる。

ポリウレタンポリオールを製造するためのポリオールとしては、例えば、ポリエステルポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートポリオール、ポリカプロラクトンポリオールなどが挙げられる。

ポリウレタンポリオールを製造するための多官能イソシアネートとしては、フェニレンジイソシアネート、ジフェニルジイソシアネート、トルイレンジイソシアネート、トリイソシアネートトルエン、トリイソシアネートベンゼン、ジフェニルエーテルジイソシアネート、ナフチレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネート、ブチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートなどの脂肪族ポリイソシアネート；ジイソシアネートジメチルベンゼン、ジイソシアネートジエチルベンゼン、テトラメチルキシリレンジイソシアネートなどの芳香脂肪族ポリイソシアネート、シクロペンタンジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ビス（イソシネートメチル）シクロヘキサン、トリメチルシクロヘキシルイソシアネートなどの脂環族ポリイソシアネートなどが挙げられる。

ポリウレタンポリオールは、ポリオールと多官能イソシアネートに加えて、鎖延長剤、特にジアミンを反応させたウレタン・ウレア結合型であることが好ましい。又、ポリウレタンポリオールの数平均分子量は１０，０００〜３００，０００であることが好ましい。

ポリウレタンポリオールは、例えば、武田薬品工業社から商品名「タケラックＵ」にて、一方社油脂工業社から商品名「バインゾールＵ」にて、東洋インキ製造社から商品名「サイアバインＳＰ２０５」にて市販されている。

なお、ポリウレタンポリオールは、溶剤によって適宜、希釈してもよい。このような溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、酢酸エチル、トルエン、キシレン、アセトンなどが挙げられる。

上記多官能イソシアネート系硬化剤としては、２以上のイソシアネート基を有する化合物であればよく、例えば、ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、１，５−ナフチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トルイレンジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、４，４′−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネートなどの脂肪族又は脂環式ジイソシアネートが挙げられる。

なお、多官能イソシアネート系硬化剤は、例えば、武田製薬社から商品名「タケネートＤ」にて、一方社油脂工業社から商品名「Ｂ−４５」にて、東洋インキ社から商品名「Ｔ−５０１」にて市販されている。

ウレタン系粘着剤中における多官能イソシアネート系硬化剤の含有量は、ポリウレタンポリオール１００重量部に対して０．１〜１０重量部が好ましく、０．１５〜９重量部がより好ましい。

ウレタン系粘着剤層を構成するウレタン系粘着剤のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力は、低いと、研磨工程中にスラリー液に含有された酸やアルカリによってウレタン系粘着剤が変質されてその粘着力が低下した際に、研磨材固定用両面粘着テープが研磨機の定盤から剥離してしまうことがあり、高いと、研磨材を研磨機の定盤から剥離する際の剥離性が低下し、特に、研磨材固定用両面粘着テープが大型化した際に作業性が低下するので、１．２〜７.０Ｎ／２５ｍｍに限定される。

なお、ウレタン系粘着剤層のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力を測定するにあたっては、研磨材固定用両面粘着テープからなる試験片を試験板（ステンレス板）に貼着させてから１８０°ピール力の測定を行うまでに、温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気中に３０分間静置するものとする。

ウレタン系粘着剤層の厚みは、薄いと、ウレタン系粘着剤の粘着性が低下して、研磨中に、研磨材固定用両面粘着テープが定盤上から脱離することがあり、厚いと、研磨材固定用両面粘着テープの定盤上からの剥離性が低下することがあるので、１０〜１００μｍが好ましく、２０〜７０μｍがより好ましい。

本発明の研磨材固定用両面粘着シートの製造方法としては、例えば、先ず、一面に離型処理が施されてなる離型フィルム２枚と、アクリル系粘着剤層用のアクリル系粘着剤溶液と、ウレタン系粘着剤層用のウレタン系粘着剤溶液とを用意する。

続いて、アクリル系粘着剤溶液を一方の離型フィルムの離型処理面に塗布して、アクリル系粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより離型フィルムの離型処理面上にアクリル粘着剤層が形成されてなるアクリル系粘着剤積層フィルムを作製する。

一方、ウレタン系粘着剤層用のウレタン系粘着剤溶液を他方の離型フィルムの離型処理面に塗布して、ウレタン系粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより離型フィルムの離型処理面上にウレタン系粘着剤層が形成されてなるウレタン系粘着剤積層フィルムを作製する。

しかる後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを基材として用意し、このポリエチレンテレフタレートフィルムの一面に上記アクリル系粘着剤積層フィルムをそのアクリル系粘着剤層がポリエチレンテレフタレートフィルムに対向した状態となるように積層させる一方、ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層積層フィルムをそのウレタン系粘着剤層がポリエチレンテレフタレートフィルムに対向した状態となるように積層させて積層体を作製する。

そして、この積層体をゴムローラなどによって厚み方向に加圧することによって、ウレタン系粘着剤層、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びアクリル系粘着剤層がこの順に積層一体化されてなり、且つ、そのウレタン系粘着剤層及びアクリル系粘着剤層の表面に離型フィルムが剥離可能に積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープを得ることができる。

次に、研磨材固定用両面粘着テープの使用要領について説明する。この研磨材固定用両面粘着テープ１は、研磨機Ａの定盤Ｂ上に研磨材Ｃを着脱自在に固着させるために用いられる。

研磨機Ａは、図２に示したように、下面に駆動軸B1が一体的に設けられて所定方向に回転し且つ上面に研磨材Ｃを着脱自在に配設可能するための配設面B2を有する円盤状の定盤Ｂと、この定盤Ｂの上方に配設されて、大型ガラス基板やウエハなどの被研磨物Ｅを固定するための回転プレートＤとを備えている。

回転プレートＤは、その上面に駆動軸D1が一体的に設けられて所定方向に回転可能に構成されていると共に、汎用の部材（図示せず）を用いて下面に被研磨物Ｅを着脱自在に固着可能に構成されている。

そして、研磨材固定用両面粘着テープ１を用意し、この研磨材固定用両面粘着テープ１のアクリル系粘着剤層12上に研磨材Ｃを積層して両側から厚み方向に押圧することによって貼着一体化して研磨材積層体２を作製する。次に、研磨材積層体２をそのウレタン系粘着剤層13が定盤Ｂの配設面B2に対向した状態に該配設面B2上に載置し押圧することによって、研磨材Ｃを研磨材固定用両面粘着テープ１を介して定盤Ｂの配設面B2上に貼着一体化させる。一方、回転プレートＤの下面に汎用の手段を用いて大型ガラス基板やウエハなどの被研磨物Ｅを着脱自在に固定させる。

しかる後、定盤Ｂの駆動軸B1を駆動させて定盤Ｂを一定方向に回転させると共に、回転軸D1を駆動させて回転プレートＤを一定方向に回転させる。すると、回転プレートの下面に配設された被研磨物Ｅの下面が定盤Ｂ上に配設された研磨材Ｃによって研磨される。

この際、研磨材固定用両面粘着テープ１は、粘着剤層として、特定のアクリル系粘着剤層及びウレタン系粘着剤層を有しているので、定盤Ｂ上の研磨材固定用両面粘着テープ１のウレタン系粘着剤層13は、被研磨物Ｅの研磨中に用いられる強酸や強アルカリの存在にもかかわらず強固な粘着性を維持し、研磨中に、研磨材固定用両面粘着テープ１が定盤Ｂの配設面B2から離脱することがないと共に、定盤Ｂ上の研磨材固定用両面粘着テープ１のアクリル系粘着剤層12も研磨中に凝集破壊を生じることはなく、よって、研磨材Ｃを研磨材固定用両面粘着テープ１を介して定盤Ｂ上に安定的に且つ確実に貼着一体化させておくことができ、被研磨物Ｅの研磨を円滑に行なうことができる。

そして、被研磨物Ｅの研磨が終了した後は、研磨材固定用両面粘着テープ１を定盤Ｂの配設面B2上から剥離することとなるが、上述のように、研磨材固定用両面粘着テープ１は特定のウレタン系粘着剤層13によって定盤Ｂの配設面B2上に着脱自在に固定されていることから、ウレタン系粘着剤層13が凝集破壊を生じることはなく糊残りなしに研磨材固定用両面粘着テープ１を定盤Ｂの配設面B2から剥離させることができ、特に、研磨材固定用両面粘着テープ１が大型である場合にも定盤Ｂの配設面B2から円滑に剥離することができる。

更に、研磨材固定用両面粘着テープ１のアクリル系粘着剤層は特定のアクリル系粘着剤を含有していることから、研磨材固定用両面粘着テープ１を定盤Ｂの配設面B2上から剥離するにあたって、研磨材Ｃと研磨材固定用両面粘着テープ１とが不測に分離するようなことはなく、定盤Ｂの配設面B2上から、研磨材Ｃ及び研磨材固定用両面粘着テープ１を一体的に剥離、除去することができる。

本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、研磨機の定盤上に研磨材を着脱自在に固定するために用いられる研磨材固定用両面粘着テープであって、ポリエチレンテレフタレートフィルムの一面に、キシレン系粘着付与樹脂とアクリル系共重合体を含有するアクリル系粘着剤層が積層一体化されていると共に、上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層が積層一体化され、上記ウレタン系粘着剤層を構成するウレタン系粘着剤のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力が１．２〜７．０Ｎ／２５ｍｍであるので、研磨工程中に供給される強酸や強アルカリにもかからず充分な粘着性能を維持して研磨機の定盤上に安定的に貼着し、研磨材が定盤上から不足に脱離するのを確実に防止する一方、研磨工程の終了後には凝集破壊を生じることなく定盤上から容易に離脱させることができ再剥離性に優れている。

そして、本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、その基材としてポリエチレンテレフタレートフィルムを用いているので、アクリル系粘着剤層及びウレタン系粘着剤層を強固に一体化させることができ、研磨中に、アクリル系粘着剤層及びウレタン系粘着剤層と、ポリエチレンテレフタレートフィルムとの界面において層間剥離を生じることはなく安定的に研磨作業を行うことができると共に、研磨材固定用両面粘着テープを定盤上から剥離、除去するにあたっても研磨材固定用両面粘着テープを一体的に定盤上から確実に剥離することができる。

以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。

（実施例１）
アクリル酸−ｎ−ブチルとアクリル酸−２−エチルヘキシルとアクリル酸エチルとアクリル酸を共重合してなるアクリル系共重合体（積水化学社製「ＷＨＤ」、アクリル酸−ｎ−ブチル成分：３８重量％、アクリル酸−２−エチルヘキシル成分：５４．９重量％、アクリル酸エチル成分：４．２重量％、アクリル酸成分：２．９重量％）１００重量部に粘着付与樹脂としてキシレン樹脂（三菱化学社製 商品名「ニカノールＴ」）１０重量部及び硬化剤（日本ポリウレタン社製 商品名「コロネートＬ５５」）１．２重量部を添加して均一に混合してアクリル系粘着剤Ａを得た。

ポリウレタンポリオール溶液（東洋インキ社製 商品名「サイアバインＳＰ２０５」、ポリウレタンポリオール固形分：６０重量％）に、多官能イソシアネート系硬化剤溶液（東洋インキ社製 商品名「Ｔ−５０１Ｂ」、多官能イソシアネート系硬化剤固形分：５０重量％）をポリウレタンポリオール１００重量部に対して多官能イソシアネート系硬化剤が２．５重量部となるように添加して均一に混合しウレタン系粘着剤用溶液Ａを得た。

基材として厚み７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（帝人デュポンフィルム社製、商品名「テイジンテトロンフィルムＨＳ７５」）を用意し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの一面にアクリル系粘着剤Ａを乾燥後の厚みが５５μｍとなるように塗布し乾燥させてアクリル系粘着剤層を形成した。

次に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面に、ウレタン系粘着剤用溶液Ａを乾燥後の厚みが６０μｍとなるように塗布し、１００℃で３分間に亘って乾燥させることによってウレタンポリオールと多官能イソシアネート系硬化剤とを反応させてウレタン系粘着剤層を形成して、ポリエチレンテレフタレートフィルムの一面にアクリル系粘着剤層が積層一体化されていると共にポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープを得た。

（実施例２）
ウレタン系粘着剤用溶液Ａの代わりに、武田薬品工業社から商品名「タケラックＵＷ１」にて市販されているポリウレタンポリオール溶液（ポリウレタンポリオール固形分）に、多官能イソシアネート系硬化剤溶液として、武田薬品工業社から商品名「タケネートＤ１６０Ｎ」にて市販されている多官能イソシアネート系硬化剤溶液を多官能イソシアネート系硬化剤がポリウレタンポリオール１００重量部に対して１．２重量部となるように添加して均一に混合して得られたウレタン系粘着剤用溶液Ｂを用いたこと、このウレタン系粘着剤用溶液Ｂをポリエチレンテレフタレートフィルムの他面に乾燥後の厚みが７０μｍとなるように塗布したこと以外は実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを得た。

（実施例３）
ウレタン系粘着剤用溶液Ａを乾燥後の厚みが６０μｍの代わりに４５μｍとなるように塗布したこと以外は実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを得た。

（比較例１）
ウレタン系粘着剤用溶液Ａの代わりに、アクリル酸−ｎ−ブチルとアクリル酸−２−エチルヘキシルとアクリル酸エチルとを共重合してなるアクリル系共重合体（積水化学社製「ＷＨＤ」、アクリル酸−ｎ−ブチル成分：３８重量％、アクリル酸−２−エチルヘキシル成分：５４．９重量％、アクリル酸エチル成分：４．２：重量％）１００重量部に硬化剤（日本ポリウレタン社製 商品名「コロネートＬ５５」）１．２重量部を添加して均一に混合して得られたアクリル系粘着剤Ｂを用い、このアクリル系粘着剤Ｂをポリエチレンテレフタレートフィルムの他面に乾燥後の厚みが３５μｍとなるように塗布したこと以外は実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを得た。

（比較例２）
アクリル系粘着剤Ａ及びウレタン系粘着剤用溶液Ａの代わりにウレタン系粘着剤用溶液Ｂを用いたこと、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にウレタン系粘着剤用溶液Ｂを乾燥後の厚みが７０μｍとなるように塗布したこと以外は、実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを得た。

（比較例３）
ウレタン系粘着剤用溶液Ａの代わりに、ポリウレタンポリオール溶液（東洋インキ社製 商品名「サイアバインＳＨ１０１」）に、多官能イソシアネート系硬化剤溶液（東洋インキ社製 商品名「Ｔ−５０１Ｂ」、多官能イソシアネート系硬化剤固形分：５０重量％）をポリウレタンポリオール１００重量部に対して多官能イソシアネート系硬化剤が３重量部となるように添加して均一に混合して得られたウレタン系粘着剤用溶液Ｃを用いたこと、このウレタン系粘着剤用溶液Ｃをポリエチレンテレフタレートフィルムの他面に乾燥後の厚みが３０μｍとなるように塗布したこと以外は実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを得た。

得られた研磨材固定用両面粘着テープについて、１８０°ピール力、再剥離性及び保持性について下記の要領で測定し、その結果を表１に示した。

（１８０°ピール力）
研磨材固定用両面粘着テープから縦１５０ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片のアクリル系粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着してから温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて３０分間に亘って放置した後、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°ピール力を測定した。

次に、試験片のウレタン系粘着剤層をステンレス板上に上述と同様の要領で貼着させて、上述と同様の要領で引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して１８０°ピール力を測定した。

（再剥離性）
１８０°ピール力の測定方法と同様の要領で試験片のウレタン系粘着剤層をステンレス板上に貼着し、試験片をステンレス板から剥離した際のステンレス板上の糊残りの有無を目視観察し、下記基準に基づいて判断した。
○：ステンレス板上に糊残りはなかった。
△：ステンレス板上に部分的に糊残りを生じた。
×：ウレタン系粘着剤層に凝集破壊を生じ、ステンレス板上に全面的に糊残りを生じた。

（保持性）
得られた研磨材固定用両面粘着シートのアクリル粘着剤層上に研磨パッド（ロデールニッタ社製 商品名「硬質ウレタン樹脂パッド」）を積層し、ゴムロールを用いて、アクリル系粘着剤層上に研磨パッドを貼着した。なお、比較例１、３の研磨材固定用両面粘着テープでは、アクリル系粘着剤Ａ層上に、比較例２の研磨材固定用両面粘着テープでは何れかのウレタン系粘着剤層上に研磨パッドを貼着させた。

そして、研磨材固定用両面粘着テープのウレタン粘着剤層を研磨装置（ｓｔｒａｓｂａｕｇｈ社製）定盤上に載せて、研磨パッド側からゴムロールを押し当てて、研磨材固定用両面粘着テープを定盤上に固定した。なお、比較例１の研磨材固定用両面粘着テープでは、アクリル系粘着剤Ｂ層を定盤に貼着させた。

ガラス板を被研磨物とし、研磨圧力６．９ｋＰａ、回転数３０ｒｐｍで１５分間に亘って研磨パッドを稼動させた。その後、研磨材固定用両面テープと定盤との界面、及び、研磨材固定両面テープと研磨パッドとの界面について、剥離状態を目視観察し、以下の基準で評価した。比較例２では、粘着力不足によって研磨パッドの一部が研磨材固定用両面粘着テープから剥離していた。比較例３では研磨定盤に対する粘着力不足で研磨材固定用両面粘着テープの一部が定盤から剥離していた。
○：研磨パッド側及び定盤側の何れの界面においても剥離は見られなかった。
×：研磨パッド側又は定盤側の何れか少なくとも一方の界面において剥離が見られた。

本発明の研磨材固定用両面粘着テープを示した縦断面図である。 研磨材固定用両面粘着テープの使用状態を示した一部を断面とした模式正面図である。

符号の説明

１ 研磨材固定用両面粘着テープ
11 ポリエチレンテレフタレートフィルム
12 アクリル系粘着剤層
４ ウレタン系粘着剤層
Ａ 研磨機
Ｂ 定盤
Ｃ 研磨材

Claims (4)

1. 研磨機の定盤上に研磨材を着脱自在に固定するために用いられる研磨材固定用両面粘着テープであって、ポリエチレンテレフタレートフィルムの一面に、キシレン系粘着付与樹脂とアクリル系共重合体を含有するアクリル系粘着剤層が積層一体化されていると共に、上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの他面にウレタン系粘着剤層が積層一体化され、上記ウレタン系粘着剤層を構成するウレタン系粘着剤のＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力が１．２〜７．０Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ。
2. ウレタン系粘着剤層は定盤に着脱自在に貼着させるための定盤用粘着剤層に、アクリル系粘着剤層は研磨材を着脱自在に貼着させるための研磨材用粘着材層に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
3. ウレタン系粘着剤層は、ポリウレタンポリオールと多官能イソシアネート系硬化剤とを反応させてなるウレタン系粘着剤を含有することを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
4. アクリル系共重合体は、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸を共重合成分として含有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体を含有していることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。

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