JP4937538B2 - 研磨布固定用の両面粘着テープおよびこれを備えた研磨布 - Google Patents
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Description
3 研磨布側粘着剤層 4 定盤側粘着剤層
5 定盤 6 研磨布
Claims (4)
- 基材層の両面に粘着剤層を有し研磨布を定盤に固定する両面粘着テープであって、その全体の厚みが100μm以下であり、かつ、前記研磨布に貼り付ける側の粘着剤層(研磨布側粘着剤層)が、20μm以上50μm以下の厚みと25N/25mm以上の粘着力とを有し、かつ、前記定盤に貼り付ける側の粘着剤層(定盤側粘着剤層)が、20μm以上50μm以下の厚みと15N/25mm以上の粘着力とを有する、ことを特徴とする両面粘着テープ。
- 研磨布側粘着剤層の粘着剤が熱可塑性エラストマー系粘着剤である、ことを特徴とする請求項1に記載の両面粘着テープ。
- 定盤側粘着剤層の粘着剤がブチルゴム系粘着剤である、ことを特徴とする請求項1に記載の両面粘着テープ。
- 前記請求項1ないし3のいずれか1項に記載の両面粘着テープを裏面側に備えることを特徴とする研磨布。
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