JP2009262253A - 研磨パッド固定用両面粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨パッド、特に硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッドに対して加熱環境下でも安定した強粘着力・強せん断接着力を示し、定盤から研磨パッドごと再剥離可能かつ、研磨剤スラリーに対して強い耐性を有する研磨材固定用両面粘着テープを提供する。
【解決手段】基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨材固定用両面粘着テープであって、前記強粘着層が、ジブロック成分量が60重量%以下であるスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂をベース樹脂として含み、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されていることを特徴としている。
【選択図】 図1
【解決手段】基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨材固定用両面粘着テープであって、前記強粘着層が、ジブロック成分量が60重量%以下であるスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂をベース樹脂として含み、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されていることを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、シリコンウエハのような半導体ウエハ表面の凹凸をケミカルメカニカルポリシング法によって平坦化するために使用される研磨パッドを、研磨装置の定盤に固定する用途に用いられる両面粘着テープに関する。
ウエハ表面の凹凸を平坦化する方法としては、一般的にケミカルメカニカルポリシング(Chemical Mechanical Polishing:以下CMPと略)法が採用されている。CMPは、研磨装置の定盤と呼ばれる円盤に両面粘着テープを用いて研磨材としての研磨パッドを固定し、被研磨面を研磨パッドの研磨面に押し付けた状態で回転運動や往復運動によって、アルカリ性又は酸性に調整された水溶液に砥粒を分散させた研磨剤スラリー中で研磨する技術である。
上記研磨パッドは研磨作業により磨耗し、定期的に交換する必要がある。そのため、研磨パッド固定用両面粘着テープには、発泡体、不織布、樹脂フィルム等の基材の片面に再剥離可能な粘着層が設けられ、反対面は研磨パッド固定用に強粘着層が設けられるのが一般的である。又、強粘着層には、アクリル樹脂系粘着剤が一般に用いられている(たとえば、特許文献1参照)。
ところで、研磨パッドの表面は多孔質であり、特に硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッドに対しては、強い粘着力・せん断接着力が得られないことが多く、研磨パッドが回転研磨中に両面粘着テープから剥がれるという事故が生じることがある。又、研磨パッドの種類によっては、反りなどを招くことになるため、粘着テープを研磨パッドにラミネートする時に大きな圧力をかけられない場合がある。
又、研磨剤スラリーは、研磨する対象物によってその組成が異なり、従来のアクリル樹脂系粘着剤の場合、研磨剤スラリーよっては、研磨剤スラリーの影響によって糊の軟化を引き起こし、剥離を起こしてしまうおそれがあった。
更に、研磨工程においては50℃程度に加熱する場合があるが、従来の両面粘着テープは、上記のような加熱環境下において粘着剤層が変形しやすい。すなわち、粘着剤層が変形しやすいと、従来の両面粘着テープによって定盤に貼り合せた研磨パッドを用いて上記のような加熱環境下で研磨を行うと、研磨動作中に粘着テープが変形してしまい、研磨パッドの位置が所望の位置からずれてしまう、あるいは、研磨パッドの厚みに偏りが生じてしまって、研磨不良を招くおそれがある。
更に、研磨工程においては50℃程度に加熱する場合があるが、従来の両面粘着テープは、上記のような加熱環境下において粘着剤層が変形しやすい。すなわち、粘着剤層が変形しやすいと、従来の両面粘着テープによって定盤に貼り合せた研磨パッドを用いて上記のような加熱環境下で研磨を行うと、研磨動作中に粘着テープが変形してしまい、研磨パッドの位置が所望の位置からずれてしまう、あるいは、研磨パッドの厚みに偏りが生じてしまって、研磨不良を招くおそれがある。
本発明は、上記従来の研磨パッド固定用両面粘着テープの問題を解決するものであり、その目的は、研磨パッド、特に硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッドに対して加熱環境下でも安定した強粘着力・強せん断接着力を示し、定盤から研磨パッドごと再剥離可能かつ、研磨剤スラリーに対して強い耐性を有する研磨材固定用両面粘着テープを提供することである。
上記目的を達成するために、本発明にかかる研磨材固定用両面粘着テープ(以下、「両
面粘着テープ」とのみ記す)は、基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨材固定用両面粘着テープであって、前記強粘着層が、ジブロック成分比率が60重量%以下であるスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂をベース樹脂として含み、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されていることを特徴としている。
面粘着テープ」とのみ記す)は、基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨材固定用両面粘着テープであって、前記強粘着層が、ジブロック成分比率が60重量%以下であるスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂をベース樹脂として含み、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されていることを特徴としている。
本発明の両面粘着テープは、強粘着層が、ジブロック成分比率が60重量%以下(好ましくは、40〜60重量%、更に好ましくは、50〜60重量%)のスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂(以下、SIS系共重合体樹脂とも記す)をベース樹脂として含有する必要があるが、その理由は、ジブロック成分比率が60重量%を超えると、共重合体樹脂を含有する粘着剤層が軟らかくなり、加熱時に変形する場合がある。また、ジブロック成分比率が少なすぎると粘着力が不足するおそれがある。
なお、本発明において、ジブロック成分とは、スチレン系ブロックポリマー中に、ハードセグメントとソフトセグメントとが1セットずつしかないブロック成分をいう。例えば、スチレンブロック(ハードセグメント)をS、イソプレンブロック(ソフトセグメント)をIで表した場合、SSS・・・SSSIII・・・IIIのように、スチレンブロック(S)とイソプレンブロック(I)とが1セットずつしかないものをジブロック成分という。又、SSS・・・SSSIII・・・IIISSS・・・SSSのように、スチレンブロック(S)が2セットで、イソプレンブロック(I)が1セットのものをトリブロック成分という。
そして、ジブロック成分量は、GPC等の分子量測定で、スチレン−イソプレン−スチレン共重合樹脂中の(スチレン−イソプレンモノマー)の比率により求めることができる。
なお、本発明において、ジブロック成分とは、スチレン系ブロックポリマー中に、ハードセグメントとソフトセグメントとが1セットずつしかないブロック成分をいう。例えば、スチレンブロック(ハードセグメント)をS、イソプレンブロック(ソフトセグメント)をIで表した場合、SSS・・・SSSIII・・・IIIのように、スチレンブロック(S)とイソプレンブロック(I)とが1セットずつしかないものをジブロック成分という。又、SSS・・・SSSIII・・・IIISSS・・・SSSのように、スチレンブロック(S)が2セットで、イソプレンブロック(I)が1セットのものをトリブロック成分という。
そして、ジブロック成分量は、GPC等の分子量測定で、スチレン−イソプレン−スチレン共重合樹脂中の(スチレン−イソプレンモノマー)の比率により求めることができる。
このような、ジブロック成分比率が60重量%以下のSIS系共重合体樹脂の市販品としては例えば、日本ゼオン社製「クインタック3433N」、「クインタック3435」、「クインタック3450」等が挙げられる。
これらは単一で用いてもよく、2種以上が併用されてもよい。
これらは単一で用いてもよく、2種以上が併用されてもよい。
本発明の両面粘着テープは、強粘着層を構成する粘着剤が石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む。
石油系樹脂としては、特に限定されないが、(C1〜C5)系石油樹脂が好ましい。
石油系樹脂の配合量としては、特に限定されないが、(C1〜C5)系石油樹脂の場合、上記SIS系共重合体樹脂100重量部に対して、50〜90重量部であることが好ましい。すなわち、(C1〜C5)系石油樹脂の配合量が、SIS系共重合体樹脂100重量部に対し50重量部未満であると、研磨パッドに対して十分な粘着性能が得られず、剥がれの原因となるおそれがある。
石油系樹脂としては、特に限定されないが、(C1〜C5)系石油樹脂が好ましい。
石油系樹脂の配合量としては、特に限定されないが、(C1〜C5)系石油樹脂の場合、上記SIS系共重合体樹脂100重量部に対して、50〜90重量部であることが好ましい。すなわち、(C1〜C5)系石油樹脂の配合量が、SIS系共重合体樹脂100重量部に対し50重量部未満であると、研磨パッドに対して十分な粘着性能が得られず、剥がれの原因となるおそれがある。
軟化点が100℃以下のテルペン樹脂は、加熱下でも変形しにくい「硬め」の粘着剤に、粘着性能を付与することができることから用いられる。すなわち、軟化点が100℃を超えるテルペン樹脂を添加しても、充分に粘着性が向上しないおそれがある。
このような軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の市販品としては、例えば、ヤスハラケミカル社製商品名YSPX800、ヤスハラケミカル社製商品名YSA800、ヤスハラケミカル社製商品名YPX300等が挙げられる。
上記テルペン樹脂の配合量は、少ないと被着体への接着が乏しく、多いと、せん断接着力が低下する場合があるので、SIS系共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部が好ましい。
このような軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の市販品としては、例えば、ヤスハラケミカル社製商品名YSPX800、ヤスハラケミカル社製商品名YSA800、ヤスハラケミカル社製商品名YPX300等が挙げられる。
上記テルペン樹脂の配合量は、少ないと被着体への接着が乏しく、多いと、せん断接着力が低下する場合があるので、SIS系共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部が好ましい。
又、強粘着層を形成する粘着剤中には、粘着付与樹脂として、上記石油系樹脂及びテルペン樹脂以外のものを必要に応じてさらに添加するようにしても構わない。例えば、凝集力向上を望むのであれば、クマロン樹脂等を更に添加すればよい。
クマロン樹脂を配合する場合の配合量としては特に限定はされないが、上記SIS系共重合体樹脂100重量部に対して10〜60重量部が好ましい。
クマロン樹脂を配合する場合の配合量としては特に限定はされないが、上記SIS系共重合体樹脂100重量部に対して10〜60重量部が好ましい。
本発明において、基材としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリウレタン又は合成ゴムなどを主原料とする発泡体、もしくは不織布、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、塩化ビニル樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)等のフィルム、もしくはこれらの積層体などが挙げられ、ポリウレタンを主原料とする発泡体あるいはポリウレタンを主原料とする発泡体を含む積層体が好適であり、中でも、ポリウレタンを主原料とする発泡体とポリエチレンテレフタレートとの積層体が好ましい。
又、基材の厚さは、特に限定されないが、ポリエチレンテレフタレート製基材の場合は23〜188μm程度、又、発泡体製基材の場合は750〜1300μm程度が好ましい。すなわち、基材が薄すぎると、研磨精度向上効果が不十分で、基材が厚すぎると、研磨パッドへの取り付け作業や生産性などに問題がでるおそれがある。
さらに、基材の表面は、必要に応じて、コロナ放電処理、プライマー処理等の易接着処理を施し、濡れ性を向上させるようにしても構わない。
さらに、基材の表面は、必要に応じて、コロナ放電処理、プライマー処理等の易接着処理を施し、濡れ性を向上させるようにしても構わない。
定盤側の再剥離性粘着剤層を形成する粘着剤としては、特に限定されないが、一般に(メタ)アクリル酸エステルポリマーを主成分とし、これに粘着付与樹脂を混合して粘着力を低く調整したものを用いることができる。又、上記(メタ)アクリル酸エステルポリマーに代えて、(メタ)アクリル酸エステルと(メタ)アクリル酸や2−ヒドロキシエチルメタクリレートのようなカルボキシル基や水酸基を有するモノマーとのコポリマーを主成分とし、これに粘着剤付与樹脂を混合し、さらにイソシアネート系の架橋剤を含有させて粘着力を低く調整したものなども使用できる。
本発明の両面粘着テープは、強粘着剤層の、研磨剤スラリーに24時間浸漬後の研磨パッドとの粘着力・せん断接着力が、研磨剤スラリーに非浸漬状態の研磨パッドとの粘着力・せん断接着力の90%以上に保持されることが好ましい。
すなわち、強粘着剤層の、研磨剤スラリーに24時間浸漬後の研磨材との粘着力・せん断接着力が、研磨剤スラリーに非浸漬状態の研磨パッドとの粘着力・せん断接着力の90%以上に保持されるようなものを選択すれば、研磨パッドの交換時まで研磨パッドが剥離することがほぼなくなる。
すなわち、強粘着剤層の、研磨剤スラリーに24時間浸漬後の研磨材との粘着力・せん断接着力が、研磨剤スラリーに非浸漬状態の研磨パッドとの粘着力・せん断接着力の90%以上に保持されるようなものを選択すれば、研磨パッドの交換時まで研磨パッドが剥離することがほぼなくなる。
本発明の両面粘着テープは、両面粘着テープの強粘着層面の一方の端に200gの荷重を掛けた場合の3分間のズレ量(変形量)が、100μm未満であることが好ましい。変形量が100μmを超えると、研磨動作中に粘着テープが変形してしまい、研磨パッドの位置が所望の位置からずれてしまう、あるいは、研磨パッドの厚みに偏りが生じてしまって、研磨不良を招くおそれがある。
また、上記変形量を測定した後に、荷重を外して3分間の戻り量(回復量)を計測して得られる回復率が、25℃程度及び50℃程度のいずれの温度においても90%以上であることが好ましい。いずれかの温度において回復率が90%未満のものを用いると、研磨動作中に粘着テープが変形してしまい、研磨パッドの位置が所望の位置からずれてしまう、あるいは、研磨パッドの厚みに偏りが生じてしまって、研磨不良を招くおそれがある。
なお、変形量とは、粘着剤層がずれた際に動いた距離(ずれた後の端部と元の端部)を意味し、回復率とは、ずれた際に動いた距離をX1、一旦ずれた後にズレが解消される方向に動いた距離をX2とした場合に、(X2/X1)×100で求められる値である。
なお、変形量とは、粘着剤層がずれた際に動いた距離(ずれた後の端部と元の端部)を意味し、回復率とは、ずれた際に動いた距離をX1、一旦ずれた後にズレが解消される方向に動いた距離をX2とした場合に、(X2/X1)×100で求められる値である。
本発明の両面粘着テープは、以上のように、基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨材固定用両面粘着テープであって、強粘着層が、ジブロック成分比率が60重量%以下のスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂と、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されているので、研磨パッド、特に硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッドに対して、低圧でラミネートしても高い接着性と高いせん断接着性を示す。又、酸性もしくはアルカリ性のスラリー溶液中において、その粘着テープ性能が概ね保持される。
又、軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の配合量を、スチレンーイソプレン−スチレン共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部とすれば、研磨パッドをより確実に安定して接着することができる。
以下に、本発明を、その実施の形態をあらわす図面を参照しつつ詳しく説明する。
図1は、本発明の両面粘着テープの1つの実施の形態をあらわしている。
図1は、本発明の両面粘着テープの1つの実施の形態をあらわしている。
図1に示すように、この両面粘着テープ1は、基材2の一方の面に定盤用の再剥離性粘着層3が積層され、他方の面に研磨パッド用の強粘着層4が積層されている。
強粘着層4は、ジブロック成分比率が60重量%以下のスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂と、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含み、軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の配合量が、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部である粘着剤で形成されている。
強粘着層4は、ジブロック成分比率が60重量%以下のスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂と、石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含み、軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の配合量が、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部である粘着剤で形成されている。
又、強粘着剤層4は、研磨剤スラリーに非浸漬状態の研磨パッドとの粘着力・せん断接着力の90%以上に保持されるようになっている。
再剥離性粘着層3および強粘着層4の基材3と反対側の面には、図示していないが、必
要に応じてたとえば、PET製の離型シートを添設してもよい。
再剥離性粘着層3および強粘着層4の基材3と反対側の面には、図示していないが、必
要に応じてたとえば、PET製の離型シートを添設してもよい。
この両面粘着テープ1は、図示していないが、たとえば、まず、硬質ウレタン樹脂製研磨パッド等の研磨材の表面に強粘着層4側を押し付けて研磨材に接着したのち、再剥離性粘着層3側を定盤に接着し、両面粘着テープ1を介して研磨材を定盤に固定し、従来と同様にしてCMP法を用いて研磨装置でシリコンウエハ等の研磨物を研磨することができる。
以下に、本発明の実施例及び比較例を示す。
(実施例1〜9)
図2(a)に示すように、PET製の離型シート5上に再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液(積水化学工業社製の「固形分40% WHD糊」と日本ポリウレタン社製の架橋剤
「コロネートL55E 1.6部」とからなるもの)3aを乾燥後の厚みが60μmになるように
塗工した。
図2(a)に示すように、PET製の離型シート5上に再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液(積水化学工業社製の「固形分40% WHD糊」と日本ポリウレタン社製の架橋剤
「コロネートL55E 1.6部」とからなるもの)3aを乾燥後の厚みが60μmになるように
塗工した。
未乾燥状態の再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液3aの上に、片面PETフィルム21付きウレタン樹脂発泡体22からなる基材(PETフィルム(50μm)/ポリウレタン樹脂発泡体(750μm))2を、PETフィルム21側が再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液3a側にくるように積層し、更に図2(c)に示すように、強粘着層用である以下の表1に示す配合の固形分55%の合成ゴム系粘着剤4aをそれぞれ乾燥後の厚みが以下に示す表1の通りになるように塗工し、再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液3a及び合成ゴム系粘着剤4aを乾燥させて図1に示すような両面粘着テープ1を作製した。
(比較例1〜3)
実施例の強粘着層用の粘着剤に代えて、表1に示す配合の粘着剤を用いた以外は、上記実施例1〜3と同様にして両面粘着テープを得た。
実施例の強粘着層用の粘着剤に代えて、表1に示す配合の粘着剤を用いた以外は、上記実施例1〜3と同様にして両面粘着テープを得た。
なお、表1中、SIS系共重合体Iは日本ゼオン社製商品名クインタック#3433N(SIジブロック成分比率56%品)、SIS系共重合体IIは日本ゼオン社製商品名クインタック#3520(SIジブロック成分比率78%品)、SIS系共重合体IIIは日本ゼオン社製商品名クインタック#3450(SIジブロック成分比率30%品)、SIS系共重合体IVは日本ゼオン社製商品名クインタック#3435(SIジブロック成分比率40%品)、石油系樹脂は日本ゼオン社製商品名クイントンM100(C5系)、クマロン樹脂は新日鐵化学株式会社製商品名エスクロンV−120、テルペンフェノール樹脂はヤスハラケミカル社製商品名YSポリスターT−80(軟化点80℃)を意味する。
テルペン樹脂1はヤスハラケミカル社製商品名YSPX800(軟化点80℃)を、テルペン樹脂2はヤスハラケミカル社製商品名PX1150(軟化点115℃)を、テルペン樹脂3はヤスハラケミカル社製商品名PX1150N(軟化点115℃)を意味する。
又、表1中、数字の単位はすべて重量部である。
テルペン樹脂1はヤスハラケミカル社製商品名YSPX800(軟化点80℃)を、テルペン樹脂2はヤスハラケミカル社製商品名PX1150(軟化点115℃)を、テルペン樹脂3はヤスハラケミカル社製商品名PX1150N(軟化点115℃)を意味する。
又、表1中、数字の単位はすべて重量部である。
上記実施例1〜9および比較例1〜3で得られた両面粘着テープのそれぞれについて、対パッド剥離粘着力、研磨剤スラリー浸漬24時間後の対パッド剥離粘着力、常態凝集力、加温時凝集力、常態低速せん断接着力、加温時低速せん断接着力、研磨剤スラリー浸漬24時間後の低速せん断接着力を調べ、その結果を表1及び表2に示した。
なお、対パッド剥離粘着力、研磨剤スラリー浸漬24時間後の対パッド剥離粘着力、凝集力、低速せん断接着力は、以下のように評価した。
なお、対パッド剥離粘着力、研磨剤スラリー浸漬24時間後の対パッド剥離粘着力、凝集力、低速せん断接着力は、以下のように評価した。
(1)常態対パッド剥離粘着力
常態対パッド剥離粘着力は、硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッド(トーヨー・アドバンスト・テクノロジー社製)に両面粘着テープの強粘着層側を貼り付けた状態で、ゴムローラで2kg/cm2の圧力を加えながら圧着速度5mm/秒、1往復で圧着し、常態(23℃)の雰囲気中で24時間保持した後に対研磨パッド90°剥離粘着力(引張速度:300mm/分)を測定した。
(2)研磨剤スラリー浸漬24時間後の対パッド剥離粘着力
対パッド剥離粘着力の測定時と同様にして両面粘着テープを研磨パッドに圧着し、この圧着体を23℃の酸性研磨剤スラリー(キャボット社製)に24時間浸漬した後の対研磨パッド90°剥離粘着力(引張速度:300mm/分)を測定した。
常態対パッド剥離粘着力は、硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッド(トーヨー・アドバンスト・テクノロジー社製)に両面粘着テープの強粘着層側を貼り付けた状態で、ゴムローラで2kg/cm2の圧力を加えながら圧着速度5mm/秒、1往復で圧着し、常態(23℃)の雰囲気中で24時間保持した後に対研磨パッド90°剥離粘着力(引張速度:300mm/分)を測定した。
(2)研磨剤スラリー浸漬24時間後の対パッド剥離粘着力
対パッド剥離粘着力の測定時と同様にして両面粘着テープを研磨パッドに圧着し、この圧着体を23℃の酸性研磨剤スラリー(キャボット社製)に24時間浸漬した後の対研磨パッド90°剥離粘着力(引張速度:300mm/分)を測定した。
(3)常態凝集力
山本式平板型凝集力測定機(旭精工株式会社製)を用い、試験方法は両面粘着テープの強粘着層面を測定機(被着体、ステンレス製、貼り付け面積、5mm×20mm)に貼り付け、一旦、左右のバランス(ゼロ点校正)をとり、一方に200gの荷重を掛け、3分間のズレ量(変形量)を計測し、その後、荷重を外して、3分間の戻り量(回復量)を計測した。
なお、変形量とは、粘着剤層がずれた際に動いた距離(ずれた後の端部と元の端部)を意味し、回復率とは、ずれた際に動いた距離をX1、一旦ずれた後にズレが解消される方向に動いた距離をX2とした場合に、(X2/X1)×100で求められる値である。
山本式平板型凝集力測定機(旭精工株式会社製)を用い、試験方法は両面粘着テープの強粘着層面を測定機(被着体、ステンレス製、貼り付け面積、5mm×20mm)に貼り付け、一旦、左右のバランス(ゼロ点校正)をとり、一方に200gの荷重を掛け、3分間のズレ量(変形量)を計測し、その後、荷重を外して、3分間の戻り量(回復量)を計測した。
なお、変形量とは、粘着剤層がずれた際に動いた距離(ずれた後の端部と元の端部)を意味し、回復率とは、ずれた際に動いた距離をX1、一旦ずれた後にズレが解消される方向に動いた距離をX2とした場合に、(X2/X1)×100で求められる値である。
(4)加温時凝集力
圧着体を50℃の雰囲気中で1時間保持した以外は、常態凝集力と同様にして測定した。
圧着体を50℃の雰囲気中で1時間保持した以外は、常態凝集力と同様にして測定した。
(5)常態低速せん断接着力
硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッド(トーヨー・アドバンスト・テクノロジー社製)に両面粘着テープの強粘着層側を、アルミニウム板に再剥離性粘着剤層を沿わせた状態で、ゴムローラで2kg/cm2の圧力を加えながら圧着速度5mm/秒、1往復で圧着し、圧着体を常態(23℃)の雰囲気中で24時間放置した後に引っ張り試験機(オリエンテック社製商品名テンシロン)を用いて 対研磨パッド低速せん断接着力(引張速度:20mm/分)を測定した。
(6)加温時低速せん断接着力
圧着体を50℃の雰囲気中で1時間放置した以外は、常態低速せん断接着力と同様にして測定した。
(7)研磨剤スラリー浸漬24時間後の低速せん断接着力(23℃)
圧着体を23℃の酸性研磨剤スラリー(キャボット社製)に24時間浸漬した後に測定した以外は、常態低速せん断接着力と同様にして測定した。
硬質ウレタン発泡体からなる研磨パッド(トーヨー・アドバンスト・テクノロジー社製)に両面粘着テープの強粘着層側を、アルミニウム板に再剥離性粘着剤層を沿わせた状態で、ゴムローラで2kg/cm2の圧力を加えながら圧着速度5mm/秒、1往復で圧着し、圧着体を常態(23℃)の雰囲気中で24時間放置した後に引っ張り試験機(オリエンテック社製商品名テンシロン)を用いて 対研磨パッド低速せん断接着力(引張速度:20mm/分)を測定した。
(6)加温時低速せん断接着力
圧着体を50℃の雰囲気中で1時間放置した以外は、常態低速せん断接着力と同様にして測定した。
(7)研磨剤スラリー浸漬24時間後の低速せん断接着力(23℃)
圧着体を23℃の酸性研磨剤スラリー(キャボット社製)に24時間浸漬した後に測定した以外は、常態低速せん断接着力と同様にして測定した。
1 両面粘着テープ
2 基材
21 PETフィルム
22 ウレタン樹脂発泡体
3 再剥離性粘着層
3a 再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液(再剥離性粘着層用)
4 強粘着層
4a 合成ゴム系粘着剤(強粘着層用)
5 離型シート
2 基材
21 PETフィルム
22 ウレタン樹脂発泡体
3 再剥離性粘着層
3a 再剥離性架橋型アクリル系粘着剤溶液(再剥離性粘着層用)
4 強粘着層
4a 合成ゴム系粘着剤(強粘着層用)
5 離型シート
Claims (2)
- 基材の片面に再剥離性粘着剤層が積層され、基材の他面に強粘着層を備える研磨パッド固定用両面粘着テープであって、
前記強粘着層が、ジブロック成分比率が60重量%以下であるスチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂をベース樹脂として含み、
石油系樹脂及び軟化点が100℃以下のテルペン樹脂を粘着付与樹脂として含む粘着剤によって形成されていることを特徴とする、研磨パッド固定用両面粘着テープ。 - 軟化点が100℃以下のテルペン樹脂の配合量が、スチレン−イソプレン−スチレン共重合体樹脂100重量部に対して20〜60重量部である、請求項1に記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008112225A JP2009262253A (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 研磨パッド固定用両面粘着テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008112225A JP2009262253A (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 研磨パッド固定用両面粘着テープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009262253A true JP2009262253A (ja) | 2009-11-12 |
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ID=41388749
Family Applications (1)
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JP2008112225A Pending JP2009262253A (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 研磨パッド固定用両面粘着テープ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009262253A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017082110A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社スリーボンド | スクリーン印刷用粘着剤組成物 |
JP2017149938A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | デンカ株式会社 | 粘着剤組成物およびそれを用いた粘着テープ |
WO2020059791A1 (ja) * | 2018-09-21 | 2020-03-26 | 積水化学工業株式会社 | 両面粘着テープ |
-
2008
- 2008-04-23 JP JP2008112225A patent/JP2009262253A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112601795A (zh) * | 2018-09-21 | 2021-04-02 | 积水化学工业株式会社 | 双面粘合带 |
JPWO2020059791A1 (ja) * | 2018-09-21 | 2021-09-24 | 積水化学工業株式会社 | 両面粘着テープ |
CN112601795B (zh) * | 2018-09-21 | 2023-06-06 | 积水化学工业株式会社 | 双面粘合带 |
JP7377210B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-11-09 | 積水化学工業株式会社 | 両面粘着テープ |
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