JP2005345832A - 帯状ワークの露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 帯状ワーク露光装置はワーク巻出機10と、第1、第2緊張装置20、60と、第1、第2搬送固定装置30、50と、露光部40と、ワーク巻取機70から成り、露光部40の下方には上部にワーク吸引テーブル45を有するワークステージ46が装置架台2上に固定されている。そして、第1、第2搬送固定装置30、50、ワーク吸引テーブル45等が移動ユニット80に一体的に取り付けられており、移動ユニット80の帯状ワーク1の幅方向への移動と、帯状ワークの長手方向への搬送の繰り返しによって、帯状ワークの複数列に露光される。
【選択図】 図1
Description
20 第1緊張装置
22、62 吸引箱
23、24、63、64 ガイドローラ
30 第1搬送固定装置
31、51 固定グリップ
32、52 移動グリップ
40 露光部
45 ワーク吸引テーブル
47、48 昇降ローラ
50 第2搬送固定装置
60 第2緊張装置
80 移動ユニット
Claims (3)
- ワーク巻出機から巻き出された帯状ワークに、レチクル(マスク)に形成されたパターンが複数列露光されてワーク巻取機に巻き取られる帯状ワークの露光装置において、少なくとも帯状ワークの長手方向に帯状ワークを搬送して固定する第1、第2搬送固定装置と、帯状ワークへの露光の際帯状ワークを載置するワーク吸引テーブルとが帯状ワークの幅方向に移動する移動ユニットに一体的に取り付けられて、前記第1、第2搬送固定装置と移動ユニットによる帯状ワークの搬送と移動を繰り返し、帯状ワークの搬送方向における前記移動ユニットの上流側、下流側にそれぞれ設けられた第1、第2緊張装置によって、帯状ワークの搬送と移動時の前記ワーク巻出機及びワーク巻取機と前記移動ユニット間での帯状ワークの捻れを吸収しながら、帯状ワークに複数列のパターンを露光することを特徴とする帯状ワークの露光装置。
- ワーク巻出機から巻き出された帯状ワークに、レチクル(マスク)に形成されたパターンが複数列露光されてワーク巻取機に巻き取られる帯状ワークの露光装置において、帯状ワークの長手方向に帯状ワークを搬送して固定する第1、第2搬送固定装置が帯状ワークの幅方向に移動する移動ユニットに一体的に取り付けられて、前記第1、第2搬送固定装置と移動ユニットによる帯状ワークの搬送と移動を繰り返し、帯状ワークの搬送方向における前記移動ユニットの上流側、下流側にそれぞれ設けられた第1、第2緊張装置によって、帯状ワークの搬送と移動時の前記ワーク巻出機及びワーク巻取機と前記移動ユニット間での帯状ワークの捻れを吸収しながら、帯状ワークに複数列のパターンを露光することを特徴とする帯状ワークの露光装置。
- 前記第1、第2緊張装置は、ブロアーが設けられた排気ダクトが吸引箱に接続されて吸引箱内の雰囲気が吸引されるようになっており、その吸引箱内の雰囲気の吸引により吸引箱内を走行する帯状ワークに垂れ下がりが生じ、その垂れ下がりによる前記帯状ワークの弛みによって前記帯状ワークの捻れを吸収することを特徴とする請求項1又は2に記載の帯状ワークの露光装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
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