JP2005236032A - 保護シートおよび半導体ウエハの加工方法 - Google Patents
保護シートおよび半導体ウエハの加工方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る保護シートは、多層基材上に粘着剤層が設けられてなり、真空下において発熱反応を伴う加工処理を半導体ウエハに施す際に、ウエハの片面に貼着される保護シートであって、
多層基材が収縮率の異なる2層以上の構成層を有し、
粘着剤層に近い構成層の、100℃における収縮率が−5〜+5%であり、
粘着剤層から遠い構成層の、100℃における収縮率が10〜30%であることを特徴としている。
【選択図】 図3
Description
とも一層は、収縮率 が0.5〜20%の熱収縮性 フィルムからなり、少なくとも一層が非収縮性 フィルムからなり、かつ非収縮性 フィルム上に粘着剤層が塗布されてなることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート」が開示されている。しかし、特許文献1に記載の粘着シートは、主としてダイシングテープに関するものであり、ダイシング工程後に紫外線照射等により発生するシートの伸びやシワを防止でき、しかもダイシングラインが不均一になったり、粘着剤と基材 との密着性が低下することがないウエハ貼着用粘着シート
を提供することを目的としており、上述したような、半導体ウエハの真空下における発熱反応を伴う加工処理については、何ら考慮されていない。
多層基材が収縮率の異なる2層以上の構成層を有し、
粘着剤層に近い構成層の、100℃における収縮率が−5〜+5%であり、
粘着剤層から遠い構成層の、100℃における収縮率が10〜30%であることを特徴としている。
該半導体ウエハに、真空下において発熱反応を伴う加工処理を施すことを特徴としている。
導体ウエハに貼着され、真空下において発熱反応を伴う加工処理が半導体ウエハ裏面のプラズマエッチング、スパッタリングの何れかである。
多層基材1が収縮率の異なる2層以上の構成層を有し、
粘着剤層2に近い構成層3の、100℃における収縮率が−5〜+5%、好ましくは−3〜+3%であり(以下、構成層3を「低収縮性フィルム3」と記載することがある)、
粘着剤層2から遠い構成層4の、100℃における収縮率が10〜30%、好ましくは15〜25%である(以下、構成層4を「高収縮性フィルム4」と記載することがある)。
プロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のフィルムが好ましく用いられる。
レート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどを反応させて得られる。
加工処理の具体例については、後述する。
(実施例)
低収縮性フィルム3として100℃における熱収縮率が0.1%のポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ50μm)に強粘着性のアクリル粘着剤(リンテック社製、PK)を厚さ10μmとなるように塗布乾燥し、その粘着剤面上に、高収縮性フィルム4として100℃における熱収縮率が25%のポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ25μm)を積層し多層基材1とした。
レタンアクリレート200重量部とイソシアナート系架橋剤2重量部からなる粘着剤を配合し、これを剥離シート(リンテック社製、SP-PET3811)の剥離面上に、厚さ20μmとなるよう塗布乾燥し、多層基材1の低収縮性フィルム側3に貼付し、表面保護シート10を作成した。
(比較例)
表面保護シートの基材を100℃における熱収縮率が0.1%のポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ125μm)の単層フィルムとした以外は、実施例と同様にして実験を行った。
2…粘着剤層
3…低収縮性フィルム
4…高収縮性フィルム
11…半導体ウエハ
12…加工テーブル
Claims (3)
- 多層基材上に粘着剤層が設けられてなり、真空下において発熱反応を伴う加工処理を半導体ウエハに施す際に、ウエハの片面に貼着される保護シートであって、
多層基材が収縮率の異なる2層以上の構成層を有し、
粘着剤層に近い構成層の、100℃における収縮率が−5〜+5%であり、
粘着剤層から遠い構成層の、100℃における収縮率が10〜30%である保護シート。 - 半導体ウエハの片面に、収縮率の異なる2層以上の構成層を有する多層基材上に粘着剤層が設けられてなり、粘着剤層に近い構成層の、100℃における収縮率が−5〜+5%であり、粘着剤層から遠い構成層の、100℃における収縮率が10〜30%である保護シートを貼着し、
該半導体ウエハに、真空下において発熱反応を伴う加工処理を施すことを特徴とする半導体ウエハの加工方法。 - 保護シートが該半導体ウエハに貼着され、真空下において発熱反応を伴う加工処理が半導体ウエハ裏面のプラズマエッチング、スパッタリングの何れかである請求項2に記載の半導体ウエハの加工方法。
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