JP2008085148A - 接着剤フィルムの接着力発現方法および接着力発現装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着剤フィルム24の接着力発現装置が、表面保護フィルム3が表面に貼付けられているウェーハ20の裏面22を上方に向けた状態でウェーハを保持するウェーハ保持手段25と、ウェーハ保持手段により保持されたウェーハの裏面に接着剤フィルムを貼付ける接着剤フィルム貼付手段と、ウェーハ保持手段に保持されたウェーハの裏面に対向するように配置されていてウェーハの裏面に貼付けられた接着剤フィルムを加熱する加熱手段41とを具備する。加熱手段は、複数の加熱ランプであってよい。また、ウェーハ保持手段が冷却手段26を含んでいてもよい。
【選択図】図5
Description
すなわち2番目の発明においては、接着剤フィルムが加熱されている場合においても、表面保護フィルムの温度を比較的低く維持できる。従って、表面保護フィルムの耐熱性は比較的小さくて済む。
すなわち3番目の発明においては、加熱手段の寸法が比較的小さくて足りるので、加熱手段を現状の装置に容易に組込むことができる。
すなわち5番目の発明においては、加熱手段により接着剤フィルムが加熱されている場合においても、表面保護フィルムの温度を比較的低く維持できる。従って、表面保護フィルムの耐熱性は比較的小さくて済む。
すなわち6番目の発明においては、加熱手段の寸法が比較的小さくて足りるので、加熱手段を現状の装置に容易に組込むことができる。
図1はウェーハ処理装置の略平面図である。図1に示されるウェーハ処置装置10は、ウェーハ20の裏面22を研削する裏面研削ユニット80と、ウェーハ20にダイアタッチフィルムを貼付けるダイアタッチフィルム貼付ユニット30と、ウェーハ20にダイシングテープを貼付けるダイシングテープ貼付ユニット50とを含んでいる。これら各ユニットは、後述する制御装置11によって制御されている。
10 ウェーハ処置装置
11 制御装置
20 ウェーハ
21 表面
22 裏面
23 貼付部
24 ダイアタッチフィルム
25 保持テーブル
26 冷却手段
27 巻取ロール
28A、28B ガイドロール
29 貼付ロール
30 ダイアタッチフィルム貼付ユニット
39 ロボットアーム
41 加熱手段
50 ダイシングテープ貼付ユニット
59 ダイシングテープ
60 ダイシングユニット
70 気体供給部
71、72 釜
80 裏面研削ユニット
81A、81B ウェーハカセット
82A、82B ロボットアーム
83 回転ステージ
84 吸着部
85A、85B 研削部
Claims (6)
- 表面保護フィルムが表面に貼付けられているウェーハの裏面を上方に向けた状態でウェーハ保持手段により前記ウェーハを保持し、
該ウェーハ保持手段により保持された前記ウェーハの裏面に接着剤フィルムを貼付け、
前記ウェーハの前記裏面に貼付けられた前記接着剤フィルムを前記ウェーハ保持手段とは反対側から加熱して前記接着剤フィルムに所望の接着力を発現させる接着剤フィルムの接着力発現方法。 - 前記接着剤フィルムを加熱するときには、前記ウェーハ保持手段を冷却する請求項1に記載の接着力発現方法。
- 前記加熱作用は、前記ウェーハ保持手段に対向して配置された加熱ランプにより行われる請求項1または2に記載の接着力発現方法。
- 表面保護フィルムが表面に貼付けられているウェーハの裏面を上方に向けた状態で前記ウェーハを保持するウェーハ保持手段と、
該ウェーハ保持手段により保持された前記ウェーハの裏面に接着剤フィルムを貼付ける接着剤フィルム貼付手段と、
前記ウェーハ保持手段に保持された前記ウェーハの前記裏面に対向するように配置されていて前記接着剤フィルムを加熱する加熱手段とを具備する接着剤フィルムの接着力発現装置。 - さらに、前記ウェーハ保持手段を冷却する冷却する冷却手段を具備する請求項4に記載の接着力発現装置。
- 前記加熱手段が加熱ランプである請求項4または5に記載の接着力発現装置。
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