JP2005168089A - コイル支持装置およびそれを用いたモータならびに露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可動部に推力を発生させるコイルを支持するコイル支持コイル支持装置であって、前記コイルを推力方向に拘束し、移動面において該推力方向と垂直な方向に摺動可能に支持することを特徴とするコイル支持装置。
【選択図】 図5
Description
図1は本発明の実施例1に係る平面モータを表す図であり、図2は図1(b)のコイル支持装置を表す図である。ここで、図1では分かりやすくするために、可動部10の移動面となる定盤を省略しているため、コイル101が露出した状態になっているが、実際の装置ではコイル101は定盤に覆われている。対象物としてのステージ10は磁石部11を有し、ベース13上のコイル101に選択して電流を流すことによって、ステージをXY方向に駆動させることができる。
図6は実施例2を示した図である。図6(a)はY方向から見たコイル支持装置の拡大図であり、図6(b)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図6(a)における2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。実施例2では、スペーサ102が推力方向のうちX方向にも、長円方向(Y方向)にもリブ103と突き当たっていない。Z方向に積層されたスペーサ102間にはシム108が設けられ、シム108がリブに対してXY方向で突き当てられている。
図7に実施例3を示す。図7(a)はY方向からコイル支持装置を見た図であり、図7(b)〜(e)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図7(a)の2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。本実施例の特徴の1つとして、実施例1や実施例2がスペーサを長円方向に摺動可能としたのに対し、本実施例ではコイルをスペーサに対して摺動可能としていることが挙げられる。コイル201の支持に異方性バネである板ばね202’を用い、一方向にのみコイル201を移動可能としたものである。板ばね202’はコイル201とコイル支持部としてのリブ203間のスペーサ202と一体となっている。
図8に本発明の実施例4を示す。図8(a)はY方向から見たコイル支持装置の拡大図であり、図8(b)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図8(a)の2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。実施例4でも実施例3と同様にコイルをスペーサに対して摺動可能としている。
図10は、上記と同様のステージ装置をウエハステージとする半導体デバイス製造用の露光装置を示す。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図11は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
10 平面モータ可動子
11 磁石列
13 ベース
14,14’ ジャケット
20 コイル
101 コイル
102 スペーサ
103 リブ
104 さらばね
105 ジャケット天板
106 ジャケット
107 シム
201 コイル
202 スペーサ
202’ 板ばね
203 リブ
204 さらばね
205 ジャケット天板
206 ジャケット
207 シム
501 照明系ユニット
502 レチクルステージ
503 投影レンズ
504 ウエハステージ
505 露光装置本体
Claims (20)
- 可動部に推力を発生させるコイルをコイル支持部に支持するコイル支持装置であって、前記コイルを推力方向に拘束し、前記可動部の移動面において該推力方向と垂直な方向に摺動可能に支持することを特徴とするコイル支持装置。
- 前記コイルが略長円形コイルであり、前記摺動方向が前記コイルの長円方向であることを特徴とする請求項1に記載のコイル支持装置。
- 前記コイルが前記コイル支持部に対して取り外し可能に支持されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のコイル支持装置。
- 前記コイルと前記コイル支持部との間にスペーサを有し、該スペーサが前記コイル支持部に対して前記摺動方向に摺動可能に支持されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイルが複数のスペーサを有する略長円形コイルであり、前記コイル支持部が長円方向に沿って並べられた複数のリブを有することを特徴とする請求項4に記載のコイル支持装置。
- 前記コイル面の摩擦力によって前記コイルを拘束することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記移動面に垂直な方向に前記コイルに予圧力を付与する予圧力付勢手段を有することを特徴とする請求項6に記載のコイル支持装置。
- 前記摩擦力を前記推力よりも大きくし、前記コイルの摺動方向の熱膨張力よりも小さくすることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイルを異方性バネによって前記コイル支持部に支持することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイルが、該コイルと前記コイル支持部との間にスペーサを有し、該スペーサが前記異方性バネを有することを特徴とする請求項9に記載のコイル支持装置。
- 前記コイルがくさび部を有し、該くさび部において前記コイルを支持することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイルと前記コイルが摺動する摺動面との間に保護材が設けられていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイルは前記移動面に垂直な方向に並べた多層コイルを有することを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載のコイル支持装置。
- 前記コイル支持部がリブを有し、前記多層コイルを同一のリブによって支持することを特徴とする請求項13に記載のコイル支持装置。
- 前記多層コイルを前記移動面に垂直な方向に予圧力を付勢する予圧力付勢手段を有し、前記予圧力付勢手段が前記移動面と垂直な方向で前記コイルに対して前記可動部と反対側に設けられていることを特徴とする請求項12または請求項13に記載のコイル支持装置。
- 前記コイルを支持するコイル支持部が前記コイルを冷却する冷却ジャケットの一部であり、前記コイルが冷却ジャケット内で冷却されることを特徴とする請求項1〜15に記載のコイル支持装置。
- 請求項1〜16のいずれか1つに記載のコイル支持装置によってコイルを支持することを特徴とするリニアモータ。
- 請求項1〜16のいずれか1つに記載のコイル支持装置によってコイルを支持することを特徴とする平面モータ。
- 請求項17または請求項18に記載のモータを用いることを特徴とする露光装置。
- 請求項19に記載の露光装置によって、デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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