JP4424733B2 - コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4424733B2 JP4424733B2 JP2004166133A JP2004166133A JP4424733B2 JP 4424733 B2 JP4424733 B2 JP 4424733B2 JP 2004166133 A JP2004166133 A JP 2004166133A JP 2004166133 A JP2004166133 A JP 2004166133A JP 4424733 B2 JP4424733 B2 JP 4424733B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- longitudinal direction
- power receiving
- stage
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Windings For Motors And Generators (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
本発明の好適な実施形態によれば、前記コイルの空芯部にはスペーサーが固定され、前記支持部材は、前記スペーサーと前記支持部材とが前記短手方向に当接することで前記コイルを支持し、前記長手方向に前記スペーサーと前記支持部材との間に隙間が設けられる。
図1は、本発明の電磁アクチュエータの好適な実施形態としての平面モータの概略構成を示す図である。平面モータ100は、可動子としてのステージ116と、固定子としての定盤107とを有する。ステージ116は、磁石ユニット117を有する。定盤107は、コイルユニットとして、又は、コイルユニットを含む構造体として、構成されている。
図4は、第1実施形態として例示的に示された本発明の電磁アクチュエータをステージ装置の構成部品として採用した本発明の第2実施形態としての露光装置の構成を概略的に示す図である。
次に、本発明の第3の実施形態として、第2実施形態として例示的に説明された露光装置を適用したデバイス製造方法の一例として、半導体デバイスの製造方法について説明する。図5は、半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
102 スタッド
103 スタッド
104 スペーサ
105 さらばね
106 締結部材(ボルト)
107 固定子定盤
108 上蓋
109、109a、109b 受電部
110、110a、110b 給電部
111 シールワッシャー
112 シール部(Oリング)
113 ダミースペーサ
114 導線
115 弾性部材(バネ)
116 ステージ(平面モータ可動子)
117 磁石
119、119a、119b 受電端子
120、120a、120b 給電端子
500 露光装置
501 照明系ユニット
502 原板ステージ
503 投影レンズ
504 基板ステージ
Claims (10)
- 長手方向と短手方向とを有する形状で、かつ空心部を有するコイルと、
前記コイルに固定された受電部と、
前記コイルを支持する支持体と、
前記支持体に固定された給電部とを備え、
前記受電部は、前記コイルに電気的に接続された受電端子を有し、
前記給電部は、給電端子を有し、
前記受電端子は、前記給電端子に対して前記長手方向への熱膨張を許すように摺動可能な状態で接触し、
前記支持体は、定盤と、前記空心部に配置され、前記長手方向及び前記短手方向に直交する方向に前記定盤から延びた状態で前記定盤に固定される支持部材とを含み、前記支持部材は、前記コイルと前記支持部材とが前記短手方向に当接することで前記コイルを支持し、前記長手方向に前記コイルと前記支持部材との間に隙間が設けられることを特徴とするコイルユニット。 - 前記コイルの空芯部にはスペーサーが固定され、
前記支持部材は、前記スペーサーと前記支持部材とが前記短手方向に当接することで前記コイルを支持し、前記長手方向に前記スペーサーと前記支持部材との間に隙間が設けられることを特徴とする請求項1に記載のコイルユニット。 - 前記長手方向と短手方向とを有する形状は、略長円形または略長方形であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコイルユニット。
- 前記受電端子と前記給電端子とを圧接させるための弾性部材を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のコイルユニット。
- 前記コイルを複数備え、
前記複数のコイルは、それらの各長手方向が第1方向に沿うように配置された第1コイル群を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のコイルユニット。 - 前記複数のコイルは、それらの各長手方向が前記第1方向に直交する第2方向に沿うように配置された第2コイル群を含むことを特徴とする請求項5に記載のコイルユニット。
- 請求項5又は請求項6に記載のコイルユニットを有する第1要素と、
前記第1要素の前記コイルユニットに電流を流したときに発生する磁界との電磁的相互作用によって前記第1要素に対して相対的に移動する第2要素とを備え、
前記第1コイル群に電流を流したときに、前記第2要素は前記第1要素に対して前記短手方向に相対的に移動することを特徴とする電磁アクチュエータ。 - 基板ステージと、
原版ステージと、
前記原版ステージに保持された原版のパターンを前記基板ステージに保持された基板に投影する投影系とを備え、
前記基板ステージ及び前記原版ステージの少なくとも一方を請求項7に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。 - 基板ステージと投影系とを有し、
前記基板ステージに保持された基板に前記投影系を介して露光エネルギーを照射して潜像パターンを形成する露光装置であって、
前記基板ステージを請求項7に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。 - デバイス製造方法であって、
基板に感光剤を塗布する工程と、
前記基板上の感光剤に請求項8又は請求項9に記載の露光装置によって潜像パターンを形成する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004166133A JP4424733B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004166133A JP4424733B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005348539A JP2005348539A (ja) | 2005-12-15 |
JP2005348539A5 JP2005348539A5 (ja) | 2007-07-19 |
JP4424733B2 true JP4424733B2 (ja) | 2010-03-03 |
Family
ID=35500404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004166133A Expired - Fee Related JP4424733B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4424733B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018117469A (ja) * | 2017-01-19 | 2018-07-26 | 本田技研工業株式会社 | 回転電機のステータ |
-
2004
- 2004-06-03 JP JP2004166133A patent/JP4424733B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005348539A (ja) | 2005-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6084319A (en) | Linear motor, and stage device and exposure apparatus provided with the same | |
US20030141769A1 (en) | Linear motor, stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing apparatus | |
KR101278775B1 (ko) | 리니어 모터, 및 그것을 이용한 스테이지 장치, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 | |
KR101151575B1 (ko) | 리니어 모터, 스테이지 장치 및 노광 장치 | |
JP2005253179A (ja) | 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP2006211812A (ja) | 位置決め装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
TW200532770A (en) | Stage device and exposure apparatus | |
US7768156B2 (en) | Coil support unit, motor and exposure apparatus using the same, and device manufacturing method | |
US7301602B2 (en) | Stage apparatus and exposure apparatus | |
TW200411334A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
JP2001025227A (ja) | リニアモータ並びにこれを有するステージ装置および露光装置 | |
JP2001037201A (ja) | モータ装置、ステージ装置及び露光装置 | |
JP2004364392A (ja) | リニアモータ、及びこれを備えるステージ装置、露光装置並びにデバイス製造方法 | |
JP2004146492A (ja) | Euv露光装置 | |
JP2018113854A (ja) | 電磁アクチュエータ用電機子コイル、電磁アクチュエータ、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP3278380B2 (ja) | リニアモータ | |
JP4424733B2 (ja) | コイルユニット、電磁アクチュエータ、露光装置及びデバイス製造方法 | |
WO2001020755A1 (fr) | Bobine, et procede et appareil pour la fabrication de celle-ci | |
JP3592292B2 (ja) | リニアモータを有するステージ装置、露光装置 | |
JP2004281654A (ja) | 駆動機構及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法 | |
US20130135603A1 (en) | C-core actuator for moving a stage | |
JP2002078313A (ja) | 積層シートコイル、電機子、リニアモータ、これを用いたステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
JP2018072662A (ja) | 光学装置、それを備えた露光装置、および物品の製造方法 | |
JP2006006050A (ja) | 電機子ユニット、電磁アクチュエータ、ステージ装置、及び露光装置 | |
JP4653189B2 (ja) | リニアモータ製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070531 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070531 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080829 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091204 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131218 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |