JP4474151B2 - モータおよびそれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施例1に係る平面モータを表す図であり、図2は図1(b)のコイル支持装置を表す図である。ここで、図1では分かりやすくするために、可動部10の移動面となる定盤を省略しているため、コイル101が露出した状態になっているが、実際の装置ではコイル101は定盤に覆われている。対象物としてのステージ10は磁石部11を有し、ベース13上のコイル101に選択して電流を流すことによって、ステージをXY方向に駆動させることができる。
図6は参考例を示した図である。図6(a)はY方向から見たコイル支持装置の拡大図であり、図6(b)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図6(a)における2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。参考例では、スペーサ102が推力方向のうちX方向にも、長円方向(Y方向)にもリブ103と突き当たっていない。Z方向に積層されたスペーサ102間にはシム108が設けられ、シム108がリブに対してXY方向で突き当てられている。
図7に実施例2を示す。図7(a)はY方向からコイル支持装置を見た図であり、図7(b)〜(e)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図7(a)の2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。本実施例の特徴の1つとして、実施例1がスペーサを長円方向に摺動可能としたのに対し、本実施例ではコイルをスペーサに対して摺動可能としていることが挙げられる。コイル201の支持に異方性バネである板ばね202’を用い、一方向にのみコイル201を移動可能としたものである。板ばね202’はコイル201とコイル支持部としてのリブ203間のスペーサ202と一体となっている。
図8に本発明の実施例3を示す。図8(a)はY方向から見たコイル支持装置の拡大図であり、図8(b)はY方向に長円を有するコイル(たとえば図8(a)の2層目のコイル)をZ方向から見た図である。実施例1と同様の構成については、詳細な説明を省略する。実施例3でも実施例2と同様にコイルをスペーサに対して摺動可能としている。
図10は、上記と同様のステージ装置をウエハステージとする半導体デバイス製造用の露光装置を示す。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図11は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
10 平面モータ可動子
11 磁石列
13 ベース
14,14’ ジャケット
20 コイル
101 コイル
102 スペーサ
103 リブ
104 さらばね
105 ジャケット天板
106 ジャケット
107 シム
201 コイル
202 スペーサ
202’ 板ばね
203 リブ
204 さらばね
205 ジャケット天板
206 ジャケット
207 シム
501 照明系ユニット
502 レチクルステージ
503 投影レンズ
504 ウエハステージ
505 露光装置本体
Claims (12)
- 第1方向に長く、該第1方向に直交する第2方向に並べられた複数のコイルを含む固定子と、磁石を含む可動子とを備え、前記複数のコイルに通電することにより前記可動子を前記第2方向に駆動するモータであって、
前記第1方向に離間して設けられ、前記複数のコイルの各々を支持する複数のリブと、
前記複数のコイルの各々の、前記複数のリブに対応する位置に取り付けられる複数のスペーサと、を備え、
前記複数のスペーサが前記複数のリブに接触することによって、前記複数のコイルの前記第2方向への移動が拘束され、かつ、前記複数のスペーサが前記複数のリブに接触する面において前記第1方向に摺動することによって、前記複数のコイルの前記第1方向への移動が許容されることを特徴とするモータ。 - 前記複数のコイルが前記複数のリブに対して取り外し可能に支持されることを特徴とする請求項1に記載のモータ。
- 前記複数のコイルを覆い、前記複数のリブが固定される筐体と、
前記複数のリブに対応する位置に設けられ、前記複数のスペーサに前記第1及び第2方向に直交する第3方向の力を付与する複数の力付与手段とを備え、
前記複数の力付与手段が前記複数のスペーサを筐体に押し付けることによって、前記複数のリブに対応する各位置において、前記複数のコイルが前記第3方向に支持されることを特徴とする請求項1または2に記載のモータ。 - 前記力付与手段は、前記複数のコイルに対して、前記可動子とは反対側に設けられることを特徴とする請求項3に記載のモータ。
- 第1方向に長く、該第1方向に直交する第2方向に並べられた複数のコイルを含む固定子と、複数の磁石を含む可動子とを備え、前記複数のコイルに通電することにより前記可動子を前記第2方向に駆動するモータであって、
前記第1方向に離間して設けられ、前記複数のコイルの各々を支持する複数のリブと、
前記複数のリブに前記第1及び第2方向で突き当てられる複数のスペーサと、該複数のスペーサと各コイルとを連結し、前記第1方向に柔で前記第2方向に剛な複数の板ばねと、を備え、
前記複数のコイルが、前記複数のスペーサを介して支持されることを特徴とするモータ。 - 前記複数のコイルの各々はくさび形状を有し、該くさび形状により前記複数のコイルの各々は前記複数のスペーサに対して前記第2方向に拘束され、かつ、前記第1方向に摺動可能に支持されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のモータ。
- 前記複数のコイルには絶縁膜が形成され、前記複数のコイルと前記複数のスペーサが接触する面において前記絶縁膜を保護する保護材が設けられることを特徴とする請求項6に記載のモータ。
- 前記固定子は、前記第2方向に長く、該第1方向に並べられた複数のコイルをさらに備え、該複数のコイルは前記第1方向を長手方向とする複数のコイルに対して前記第1及び第2方向に直交する第3方向に積層され、2つの層でリブが共用されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のモータ。
- 前記筐体は、前記複数のコイルを冷却する冷媒を流すための冷却ジャケットであることを特徴とする請求項3に記載のモータ。
- 前記モータは平面モータであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載のモータ。
- 請求項1〜10のいずれか1つに記載のモータを用いて基板または原版を搭載するステージを駆動することを特徴とする露光装置。
- 請求項11に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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