JP2005149832A - プラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマディスプレイ - Google Patents
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Abstract
跳ね上がりやパターン欠陥のない隔壁を形成し、表示品位に優れたプラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマディスプレイを低コストで提供する。
【解決手段】
基板上にパターンを形成する工程を含むプラズマディスプレイ用部材の製造方法であって、パターンを形成する工程が、下記の(A)〜(D)の工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
(A)1層目の感光性塗布膜を形成する工程、
(B)1層目の感光性塗布膜を第1のフォトマスクを介して露光する工程、
(C)2層目の感光性塗布膜を1層目の感光性塗布膜幅よりも広く形成する工程、
(D)2層目の感光性塗布膜を第2のフォトマスクを介して露光する工程。
【選択図】 なし
Description
(A)1層目の感光性塗布膜を形成する工程、
(B)1層目の感光性ペースト塗布膜を第1のフォトマスクを介して露光する工程、
(C)2層目の感光性塗布膜を1層目の感光性塗布膜幅よりも広く形成する工程、
(D)2層目の感光性塗布膜を第2のフォトマスクを介して露光する工程。
(a) 前記第2のフォトマスクの線幅が前記第1のフォトマスクの線幅より広いこと。
(b) 前記感光性塗布膜が感光性隔壁ペーストにより形成されること。
(c) 前記感光性塗布膜がダイコーターにより形成されること。
酸化ビスマス :10〜40重量部
酸化ケイ素 : 3〜50重量部
酸化ホウ素 :10〜40重量部
酸化バリウム : 8〜20重量部
酸化アルミニウム:10〜30重量部。
酸化リチウム : 2〜15重量部
酸化ケイ素 :15〜50重量部
酸化ホウ素 :15〜40重量部
酸化バリウム : 2〜15重量部
酸化アルミニウム: 6〜25重量部。
感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合された後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。
10μm≦Tr≦Tb≦50μm
10μm≦Tg≦Tb≦50μm
なる関係を有することにより、より本発明の効果を発揮できる。つまり、発光輝度の低い青色について、厚さを緑色、赤色よりも厚くすることにより、より色バランスに優れた(色温度の高い)プラズマディスプレイを作製することができる。蛍光体層の厚さとしては、10μm以上とすることで十分な輝度を得ることができる。また、蛍光体層の厚さを50μm以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得ることができる。この場合の蛍光体層の厚さは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚さとして測定する。つまり、放電空間(セル内)の底部に形成された蛍光体層の厚さとして測定する。
上記のように塗着させた蛍光体層を必要に応じて、400〜550℃の温度で焼成することにより、本発明のプラズマディスプレイ用部材を作製することができる。
まず、前面板を作製した。旭硝子社製ガラス基板PD200上に、ITOを用いて、ピッチ375μm、線幅150μmのスキャン電極を形成した。また、そのガラス基板上に感光性銀ペーストを塗布した後に、フォトマスクを介したマスク露光、0.3%炭酸ナトリウム水溶液を用いた現像、および580℃15分間の焼成工程を経て、線幅50μm、厚さ3μmのバス電極を形成した。次に、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラスの粉末を70%、エチルセルロース20%、およびテルピネオール10%を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように50μmの厚さで塗布した後に、570℃の温度で15分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚さ0.5μmの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。
隔壁パターンの形成において、1層目の感光性塗布膜の露光時に図3に示すフォトマスクCを用いた他は、実施例1と同様に行った。フォトマスクCは、アドレス電極と平行方向にピッチ250μm、線幅20μm、アドレス方向と垂直方向に線幅60μmのパターンが形成されたものであり、パターンの一部に疑似欠陥部5、6を形成した。パターン形成後は、壁状の突起部が隔壁と交差する方向に隔壁より低く形成された形となる。得られた隔壁および壁状の突起部のパターンには、欠けや隔壁端部の跳ね上がりは見られなかった。さらに、得られたPDPのスキャン電極に電圧を印加して発光させた。その輝度計を用いて輝度を測定したところ、260cd/m2であり、高い輝度の表示特性を得ることができた。また、面内で表示むらは見られなかった。
隔壁パターン形成において、2層目の塗布幅を1層目と同じ幅(520mm)とし、2層目の露光時にフォトマスクを1層目と同じようにフォトマスクAを用いた他は、実施例1と同様に行った。得られた隔壁パターンには、マスク欠陥に起因する欠けや端部の跳ね上がりが観察させた。さらに、得られたPDPのスキャン電極に電圧を印加して発光させたところ、隔壁パターンの欠け部や端部の跳ね上がり部に表示むらが現れ、表示特性は不良であった。
2 線幅
3 疑似欠陥
4 疑似欠陥
5 疑似欠陥
6 疑似欠陥
Claims (5)
- 基板上にパターンを形成する工程を含むプラズマディスプレイ用部材の製造方法であって、パターンを形成する工程が下記の(A)〜(D)の工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
(A)1層目の感光性塗布膜を形成する工程、
(B)1層目の感光性塗布膜を第1のフォトマスクを介して露光する工程、
(C)2層目の感光性塗布膜を1層目の感光性塗布膜幅よりも広く形成する工程、
(D)2層目の感光性塗布膜を第2のフォトマスクを介して露光する工程。 - 第2のフォトマスクの線幅が第1のフォトマスクの線幅より広いことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
- 感光性塗布膜が感光性隔壁ペーストにより形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
- 感光性塗布膜がダイコーターにより形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法で得られたプラズマディスプレイ用部材を用いてなるプラズマディスプレイ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008059885A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用背面板の製造方法 |
Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59232418A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微細パタ−ン形成法 |
JPH0577287B2 (ja) * | 1987-04-15 | 1993-10-26 | Rohm Kk | |
JPH05335196A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-17 | Hitachi Ltd | フォトマスクパターンの形成方法およびネガ型感光性樹脂の露光方法ならびに基板 |
JPH06333804A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Fujitsu Ltd | X線露光方法及びx線マスク製造方法 |
JPH08335439A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Dainippon Printing Co Ltd | Dc型プラズマディスプレイパネルの陰極及びその形成方法 |
JPH10241580A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
JPH1190827A (ja) * | 1997-09-16 | 1999-04-06 | Fujitsu Ltd | サンドブラスト方法 |
JP2000156151A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-06-06 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネル、及びその製造方法 |
JP2000181074A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Sharp Corp | 感光層の露光方法 |
JP2001101970A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの誘電体と隔壁の形成方法 |
JP2001110305A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
JP2001176401A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用部材およびその製造方法ならびにプラズマディスプレイ |
JP2001236892A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極及び電極の製造方法及びプラズマディスプレイ表示装置及びプラズマディスプレイ表示装置の製造方法 |
JP2001307623A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | Ac型プラズマディスプレイパネル用基板の製造方法、ac型プラズマディスプレイパネル用基板、ac型プラズマディスプレイパネル及びac型プラズマディスプレイ装置 |
JP2002015662A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマディスプレイ |
JP2002216618A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイ表示装置の製造方法 |
JP2003162065A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 露光装置、露光マスク、露光方法、表示装置及び電子部品 |
JP2004265634A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2004265867A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Toray Ind Inc | ディスプレイ部材の製造方法およびこれを用いたディスプレイ部材ならびにディスプレイ |
JP2004273447A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-30 | Toray Ind Inc | ディスプレイ部材の製造方法およびこれを用いたディスプレイ部材ならびにディスプレイ |
JP2004342348A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
-
2003
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Patent Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59232418A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微細パタ−ン形成法 |
JPH0577287B2 (ja) * | 1987-04-15 | 1993-10-26 | Rohm Kk | |
JPH05335196A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-17 | Hitachi Ltd | フォトマスクパターンの形成方法およびネガ型感光性樹脂の露光方法ならびに基板 |
JPH06333804A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Fujitsu Ltd | X線露光方法及びx線マスク製造方法 |
JPH08335439A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Dainippon Printing Co Ltd | Dc型プラズマディスプレイパネルの陰極及びその形成方法 |
JPH10241580A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
JPH1190827A (ja) * | 1997-09-16 | 1999-04-06 | Fujitsu Ltd | サンドブラスト方法 |
JP2000156151A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-06-06 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネル、及びその製造方法 |
JP2000181074A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Sharp Corp | 感光層の露光方法 |
JP2001101970A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの誘電体と隔壁の形成方法 |
JP2001110305A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
JP2001236892A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極及び電極の製造方法及びプラズマディスプレイ表示装置及びプラズマディスプレイ表示装置の製造方法 |
JP2001176401A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用部材およびその製造方法ならびにプラズマディスプレイ |
JP2001307623A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | Ac型プラズマディスプレイパネル用基板の製造方法、ac型プラズマディスプレイパネル用基板、ac型プラズマディスプレイパネル及びac型プラズマディスプレイ装置 |
JP2002015662A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマディスプレイ |
JP2002216618A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイ表示装置の製造方法 |
JP2003162065A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 露光装置、露光マスク、露光方法、表示装置及び電子部品 |
JP2004265867A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Toray Ind Inc | ディスプレイ部材の製造方法およびこれを用いたディスプレイ部材ならびにディスプレイ |
JP2004273447A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-30 | Toray Ind Inc | ディスプレイ部材の製造方法およびこれを用いたディスプレイ部材ならびにディスプレイ |
JP2004265634A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2004342348A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008059885A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイ用背面板の製造方法 |
JP4670774B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-04-13 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイ用背面板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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