JP2013258295A - 表面保護テープ - Google Patents
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Abstract
【課題】 環状の粘着層を確実にウエーハの外周余剰領域に対応させて貼着可能な表面保護テープを提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに貼着される表面保護テープであって、該ウエーハと同等の直径を有する基材シートと、該基材シートの片面の外周部に配設された該外周余剰領域と対応する環状粘着層と、を備え、該基材シート及び/又は該環状粘着層の少なくとも外周部が暗色に着色されていることを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに貼着される表面保護テープであって、該ウエーハと同等の直径を有する基材シートと、該基材シートの片面の外周部に配設された該外周余剰領域と対応する環状粘着層と、を備え、該基材シート及び/又は該環状粘着層の少なくとも外周部が暗色に着色されていることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、ウエーハのデバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応する領域にのみ環状粘着層を有する表面保護テープに関する。
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、シリコンや化合物半導体からなるウエーハ表面にストリートと呼ばれる格子状の分割予定ラインが形成され、分割予定ラインによって区画される各領域にIC、LSI等のデバイスが形成される。これらのウエーハは裏面が研削されて所定の厚みへと薄化された後、ストリートに沿って切削装置等によって分割されることで個々の半導体デバイスが製造される。
ウエーハの裏面研削には、例えば特開2002−200545号公報で開示されるような研削装置が用いられる。研削装置のチャックテーブルでウエーハの表面側を表面保護テープを介して保持し、ウエーハの裏面に研削砥石を当接しつつ摺動させ、研削砥石を研削送りすることで研削が遂行される。
近年、半導体デバイスの軽薄短小化を実現するための技術として、デバイス表面にバンプと呼ばれる金属突起物を複数形成し、これらのバンプを配線基板に形成された電極に相対させて直接接合するフリップチップボンディングと呼ばれる実装技術が実用化されている(例えば、特開2001−237278号公報参照)。
このようなバンプが回路面に形成されたウエーハの裏面を研削すると、バンプの段差による圧力差が裏面に直接影響し、ウエーハの表面を保護する表面保護テープのクッション性では抑えきれずに研削中にウエーハが破損したり、ディンプルとなって完成したデバイスの信頼性を損なう原因となっていた。
このような場合、従来ではウエーハの破損を起こさないように仕上げ厚みを比較的厚めにしたり、薄く研削することが必要な場合は、バンプを収容するような粘着層の厚い表面保護テープを用いてバンプを粘着層に埋め込んで研削するような対策を施していた。
しかしながら、バンプを埋め込むような粘着層を有する表面保護テープを用いた場合、表面保護テープをウエーハから剥離すると粘着層がバンプやデバイス面に残渣として残留してしまうという問題があった。
そこで、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域のみに粘着層を貼着し、比較的密に配列されたバンプを逆に粘着層の代わりに支持部材として利用し、ウエーハをチャックテーブルに固定して研削を実施するという表面保護テープ及び研削方法が提案されている(特許第4462997号公報及び特許第4447280号公報)。
しかし、ウエーハの外周余剰領域に対応させて環状の粘着層を有する表面保護テープをウエーハの表面に貼着するのは非常に難しいという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、環状の粘着層を確実にウエーハの外周余剰領域に対応させて貼着可能な表面保護テープを提供することである。
本発明によると、複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに貼着される表面保護テープであって、該ウエーハと同等の直径を有する基材シートと、該基材シートの片面の外周部に配設された該外周余剰領域と対応する環状粘着層と、を備え、該基材シート及び/又は該環状粘着層の少なくとも外周部が暗色に着色されていることを特徴とする表面保護テープが提供される。
本発明の表面保護テープによると、基材シート及び/又は環状粘着層の少なくとも外周部が暗色に着色されているため、光センサーや画像認識により表面保護テープの位置検出が容易であり、ウエーハにテープ貼着装置等を用いて表面保護テープを貼着する際に、ウエーハと表面保護テープとの位置合わせを容易に達成できるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。図1を参照すると、本発明の表面保護テープが位置決めして貼着される半導体ウエーハ11の斜視図が示されている。半導体ウエーハ(以下ウエーハと略称することがある)11は、表面11a及び裏面11bを有しており、表面11aには複数の分割予定ライン13が直交して形成されており、交差する分割予定ライン13によって区画された各領域にバンプ付きデバイス15が形成されている。
半導体ウエーハ11は、バンプ付きウエーハ15が形成されているデバイス領域17と、デバイス17を囲繞する外周余剰領域19をその表面に有している。19aは外周余剰領域19の内径である。
ここで注意すべきは、本発明の表面保護テープが貼着されるウエーハはバンプ付きデバイスが形成されたウエーハのみでなく、表面にバンプを有しないデバイスが形成されたウエーハにも同様に適用可能であることである。
図2を参照すると、本発明第1実施形態に係る表面保護テープ16をウエーハ11の表面に対面させた状態の斜視図が示されている。半導体ウエーハ11がテープ貼着装置のチャックテーブル10に吸引保持されている。チャックテーブル10には、受光素子等の受光部34が配設されている。
符号12はテープユニットを示しており、テープユニット12は送り出しロール22と巻き取りロール24とに巻回された剥離シート14と、剥離シート14にその巻回方向に所定間隔離間して配設され、剥離シート14に貼着された基材シート18と、各基材シート18の外周部に貼着された環状粘着層20とを有する複数の表面保護テープ16とを含んでいる。
剥離シート14は透明材料から形成されており、例えば透明な樹脂シートから形成されている。本実施形態では、基材シート18は、例えば黒、濃紺等の暗色に着色されている。
26,28は調整ローラであり、上下方向に移動可能に構成されているとともに、テープユニット12をチャックテーブル10に保持されたウエーハ11に対して弛まずにピーンと張るように調整する。
30はテープユニット12をロール状に巻回するのを許容する離型紙(セパレーター)であり、送り出しロール22からテープユニット12が送り出される際にテープユニット12から剥離される。矢印Aはテープユニット12の送り出し方向である。
32は発光素子又は光ファイバー等から構成される発光部であり、発光部32と受光部34を結ぶ直線が鉛直線から所定角度傾斜するように発光部32及び受光部34が配設されている。
本実施形態では受光部34がウエーハ11の手前側に配設されているため、発光部32はテープユニット12の長手方向中心線に対して奥側の上方に配設されている。発光部32が光ファイバーから構成される場合には、光ファイバー32は発光素子に光学的に接続されている。
次に、図3を参照して、テープ貼着装置で本発明第1実施形態の表面保護テープ16をウエーハ11に位置合わせする方法について説明する。図3(A)に示すように、テープユニット12は矢印A方向に送り出される。図3(A)に示した状態では、発光部32から出射された光が透明な剥離シート14を透過して受光部34で受光されるため、光センサーはオンとなる。
図3(B)に示すように、テープユニット12が矢印A方向に更に送り出されると、発光部32から出射された光は表面保護テープ16の暗色に着色された基材シート18に遮られ、受光部34には到達しない。
よって、光センサーはオフとなり、表面保護テープ16の端部がチャックテーブル10に保持されたウエーハ11の端部に一致したことが検出される。従って、この段階でテープユニット12の送りを停止し、図3(C)に示すように、貼着ローラ36を矢印A方向に移動して表面保護テープ16をウエーハ11の表面11aに貼着する。
このとき、環状粘着層20は円形の基材シート18の外周部に配設されているので、環状粘着層20はウエーハ11の外周余剰領域19に貼着される。そして、剥離シート14は、表面保護テープ16から剥離されて巻き取りロール24に巻き取られる。
図4を参照すると、本発明第2実施形態の表面保護テープ16Aの斜視図が示されている。表面保護テープ16Aは透明材料から形成された剥離シート14に貼着されている。第1実施形態と同様に、複数の表面保護テープ16Aが剥離シート14の巻回方向に所定間隔離間して剥離シート14に配設されている。
本実施形態の表面保護テープ16Aは、図5に示すように、基材シート18の外周部18aが黒又は濃紺等の暗色に着色されている。基材シート18の外周部にはウエーハ11の外周余剰領域19に対応して環状粘着層20が配設されている。
次に、図5及び図3を参照して、本実施形態の表面保護テープ16Aのエッジ検出方法について説明する。図5に示すように、テープユニット12Aを矢印A方向に送り出す。図5に示す状態では、発光部32から出射された光は透明部材から形成された剥離シート14を透過して受光部34で受光されるため、光センサーはオンとなっている。
テープユニット12Aを更に送り出して、表面保護テープ16Aが図3(B)に示す位置まで到達すると、発光部32から出射された光は表面保護テープ16Aの基材シート18の外周部18aにより遮られるため、受光部34に到達せずに光センサーはオフとなる。
この状態で発光部32及び受光部34とからなる光センサーが表面保護テープ16Aのエッジがウエーハ11のエッジに整列したことを検出したことになるため、テープユニット12Aの送りを直ちに停止し、図3(C)に示すように、貼着ローラ36を矢印A方向に転動させることにより表面保護テープ16Aをチャックテーブル10に保持されたウエーハ11の表面11aに貼着する。
このとき、環状粘着層20は円形の基材シート18の外周部に配設されているので、環状粘着層20はウエーハ11の外周余剰領域19に貼着される。そして、剥離シート14は、表面保護テープ16Aから剥離されて巻き取りロール24に巻き取られる。
上述した実施形態の表面保護テープ16,16Aでは、基材シート18の全体又は基材シート18の外周部18aを暗色に着色しているが、これに替えて環状粘着層20を暗色に着色するようにしてもよい。
また、発光部32及び受光部34とから構成される光センサーにより表面保護テープ16,16Aのエッジを検出しているが、光センサーに替えてテープユニット14を上方から撮像し、画像認識により表面保護テープ16,16Aのエッジを検出するようにしてもよい。
10 チャックテーブル
11 半導体ウエーハ
14 剥離シート
16,16A 表面保護テープ
17 デバイス領域
18 基材シート
18a 基材シートの外周部
19 外周余剰領域
20 環状粘着層
32 発光部
34 受光部
36 貼着ローラ
11 半導体ウエーハ
14 剥離シート
16,16A 表面保護テープ
17 デバイス領域
18 基材シート
18a 基材シートの外周部
19 外周余剰領域
20 環状粘着層
32 発光部
34 受光部
36 貼着ローラ
Claims (1)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウエーハに貼着される表面保護テープであって、
該ウエーハと同等の直径を有する基材シートと、
該基材シートの片面の外周部に配設された該外周余剰領域と対応する環状粘着層と、を備え、
該基材シート及び/又は該環状粘着層の少なくとも外周部が暗色に着色されていることを特徴とする表面保護テープ。
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-
2012
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