JP2005082404A - インライン搬送システム - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 177
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 174
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 83
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 30
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims description 21
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 104
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 103
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 23
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 12
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
- B65G2207/06—Air cushion support of articles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
【解決手段】複数個の第N工程設備及び複数個の第N+1工程設備と、複数個の第N工程設備と複数個の第N+1工程設備との間に位置し、それぞれの第N工程設備及び第N+1工程設備の入口及び出口と連結され、搬送部材30を移動させる回転ルート形状の第1回転コンベア300と、第1回転コンベア300と所定間隔離隔されて位置する第2回転コンベア400と、第N工程設備の出口と第2回転コンベア400とを連結し、搬送部材30を第2回転コンベア400に移動させる第1搬送部材昇降機610と、第2回転コンベア400と第N+1工程設備の入口とを連結し、搬送部材30を第N+1工程設備に移動させる第2搬送部材昇降機620とを含む。
【選択図】図1
Description
<第1実施例>
[構造]
本発明の第1実施例によるインライン搬送システムについての構造を、図面を参照して詳細に説明する。
[作用]
前述したような本発明の第1実施例によるインライン搬送システムの作用を、図1乃至図6を参照して説明する。
<第2実施例>
[構造]
次に、本発明の第2実施例によるインライン搬送システムの構造を、図を用いて詳細に説明する。
[作用]
前記のような本発明の第2実施例によるインライン搬送システムの作用を、図7を参照して説明する。
100 第1工程設備
200 第2工程設備
300 第1回転コンベア
350 第1直送コンベア
400 第2回転コンベア
450 第2直送コンベア
510 第1インラインバッファー
520 第2インラインバッファー
610 第1搬送部材昇降機
620 第2搬送部材昇降機
Claims (22)
- 第N工程(Nは正の整数)及び第N+1工程を実施するインライン搬送システムであって、
複数個の第N工程設備及び複数個の第N+1工程設備と、
前記複数個の第N工程設備と前記複数個の第N+1工程設備との間に位置し、それぞれの前記第N工程設備及び前記第N+1工程設備の入口及び出口と連結され、搬送部材を移動させる回転ルート形状の第1回転コンベアと、
前記第1回転コンベアと所定間隔離隔されて位置する第2回転コンベアと、
前記第N工程設備の出口と前記第2回転コンベアとを連結し、前記搬送部材を前記第2回転コンベアに移動させる第1搬送部材昇降機と、
前記第2回転コンベアと前記第N+1工程設備の入口を連結し、前記搬送部材を前記第N+1工程設備に移動させる第2搬送部材昇降機と、
を含むインライン搬送システム。 - 前記インライン搬送システムは、第L層(Lは正の整数)において第N工程及び第N+1工程を実施し、第L+1層において第N+2工程及び第N+3工程を実施し、
第L層の搬送部材を第L+1層に搬送する第1層間昇降機と、
第L+1層の搬送部材を第L層に搬送する第2層間昇降機と、
をさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。 - 前記第1回転コンベアは、互いに対向する長いライン状の第1及び第2搬送部と、前記第1及び第2搬送部の両端部を連結する短いライン状の第3及び第4搬送部とを含んで回転ルート形状をなす請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第1回転コンベアの経路を短縮するために、前記第1回転コンベアの前記第3及び第4搬送部の間に位置し、前記第1及び第2搬送部を互いに連結し、前記第3及び第4搬送部と平行な第1直送コンベアを複数個さらに含む請求項3に記載のインライン搬送システム。
- 前記複数個の第N工程設備及び第N+1工程設備は、前記第1回転コンベアの第1及び第2搬送部に沿って一列に配設されている請求項3または4に記載のインライン搬送システム。
- 前記第2回転コンベアの経路を短縮するために、前記第2回転コンベアの内部に設けられている第2直送コンベアを複数個さらに含む請求項5に記載のインライン搬送システム。
- 前記第1回転コンベア、第2回転コンベア、第1直送コンベア及び第2直送コンベアは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置された支持板と、前記支持板上に配設されており、エアーを噴射または吸入して前記搬送部材を移送させる複数個のエアーノズルとを含む請求項6に記載のインライン搬送システム。
- 前記第1回転コンベアと前記第N工程設備の入口との間に配設された第1インラインバッファーをさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第2搬送部材昇降機と前記第N+1工程設備の入口との間に配設された第2インラインバッファーをさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 複数個の前記第N工程設備のうちのいずれか1つの第N工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足しない場合には、前記搬送部材を前記第1回転コンベアに乗せて移動させる制御手段をさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第1回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第N工程設備のうちのいずれか1つの第N工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第N工程設備のうちのいずれか1つの第N工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第N工程設備において第N工程を終えた前記搬送部材が、前記第N+1工程設備のうちのいずれか1つの第N+1工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第1直送コンベアに乗せて前記第N+1工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項4に記載のインライン搬送システム。
- 前記第N工程設備において第N工程を終えた前記搬送部材が、前記第N+1工程設備のうちのいずれか1つの第N+1工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、が満足しない場合には、前記搬送部材を前記第1搬送部材昇降機に乗せて前記第2回転コンベアに搬送し、前記第2回転コンベアに乗せて移動させる制御手段をさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第2回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第N+1工程設備のうちのいずれか1つの第N+1工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第2搬送部材昇降機に乗せて前記第N+1工程設備のうちのいずれか1つの第N+1工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記搬送部材が複数個の前記第N工程設備及び第N+1工程設備のうちのいずれか1つに搬入されず、前記第1回転コンベア及び前記第2回転コンベアに乗って移動する時間が所定時間になる場合、臨時に前記搬送部材を保存し、前記第1回転コンベア及び前記第2回転コンベアの一部に連結されたオフラインバッファーをさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 前記第2回転コンベアと所定間隔離隔されて設けられた複数個の回転コンベアをさらに含む請求項1に記載のインライン搬送システム。
- 複数個の第1検査設備及び複数個の第2検査設備と、
前記複数個の第1検査設備と前記複数個の第2検査設備との間に位置し、それぞれの前記第1検査設備及び前記第2検査設備の入口と連結され、搬送部材を移動させる回転ルート形状の回転コンベアと、
を含むインライン搬送システム。 - 前記搬送部材が前記回転コンベアに乗って移動する途中、前記複数個の第1検査設備及び前記第2検査設備のうちのいずれか1つに前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、条件を満足する場合に、前記複数個の第1検査設備及び前記第2検査設備のうちのいずれか1つに前記搬送部材を搬入させて検査を行なう制御手段をさらに含む請求項17に記載のインライン搬送システム。
- 前記第1検査設備及び第2検査設備の出口と連結され、前記搬送部材を分類する複数個の搬送部材分類器と連結されている分類コンベアをさらに含む請求項17に記載のインライン搬送システム。
- 前記回転コンベアは、互いに対向する長いライン状の第1及び第2搬送部と、前記第1及び第2搬送部の両端部を連結する短いライン状の第3及び第4搬送部とを含んで回転ルート形状をなす請求項17に記載のインライン搬送システム。
- 前記第3及び第4搬送部の間に位置し、前記第1及び第2搬送部を互いに連結し、前記第3及び第4搬送部と平行な直送コンベアをさらに含む請求項20に記載のインライン搬送システム。
- 前記複数個の第1検査設備及び複数個の第2検査設備のそれぞれは互いに対向し、前記回転コンベアの第1及び第2搬送部に沿って一列に配設されている請求項20に記載のインライン搬送システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2003-062205 | 2003-09-05 | ||
KR1020030062205A KR100956348B1 (ko) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 인라인 반송 시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005082404A true JP2005082404A (ja) | 2005-03-31 |
JP4833530B2 JP4833530B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=34309403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004258929A Expired - Fee Related JP4833530B2 (ja) | 2003-09-05 | 2004-09-06 | インライン搬送システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7393159B2 (ja) |
JP (1) | JP4833530B2 (ja) |
KR (1) | KR100956348B1 (ja) |
CN (1) | CN100590043C (ja) |
TW (1) | TWI365838B (ja) |
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CN100590043C (zh) | 2010-02-17 |
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TWI365838B (en) | 2012-06-11 |
CN1590251A (zh) | 2005-03-09 |
JP4833530B2 (ja) | 2011-12-07 |
KR20050024950A (ko) | 2005-03-11 |
TW200519010A (en) | 2005-06-16 |
US20050063791A1 (en) | 2005-03-24 |
KR100956348B1 (ko) | 2010-05-06 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R371 | Transfer withdrawn |
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R250 | Receipt of annual fees |
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