JP7141449B2 - 光学フィルム付着システム - Google Patents
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Description
110:パネル供給部
120:パネル搬送経路
130:第1光学フィルム搬送経路
140:第2光学フィルム搬送経路
150:第1検査部
160:連結部
161:メイン搬送経路
162:第1補助搬送経路
162b:第1緩衝部
163:第2補助搬送経路
163b:第2緩衝部
170:第2検査部
200:下流装置
P_a:良品判定パネル
P_d:不良判定パネル
P_a’:良品確定パネル
P_d’:不良確定パネル
Claims (9)
- パネルを供給するパネル供給部と、前記パネル供給部から供給されたパネルを搬送し、前記パネルに光学フィルムを付着させるパネル搬送経路とを含んで光学表示ユニット製造装置を含む下流装置と連結される光学フィルム付着システムであって、
前記パネル搬送経路と前記下流装置とを連結してパネルを搬送する連結部と、
前記パネル搬送経路上に位置し、光学フィルムの付着したパネルが不良か否かを自動的に検査する第1検査部と、
前記パネル搬送経路から離隔した位置に位置し、第1検査部の検査により不良判定された不良判定パネルを光学検査または作業者の肉眼で不良か否かを再検査する第2検査部と、
前記連結部を制御して前記パネルの搬送を調節する制御部と、を含み、
前記連結部は、前記パネル搬送経路の搬送方向に沿って第1搬送部および第2搬送部が順次に配列されるメイン搬送経路と、前記第1搬送部と前記第2検査部とを連結して前記メイン搬送経路からバイパスされる第1補助搬送経路と、前記第2搬送部と連結されて前記メイン搬送経路からバイパスされる第2補助搬送経路と、を含み、
前記制御部は、前記第1検査部により検査されたパネルが不良と判定されれば、前記不良判定パネルが前記第1搬送部から前記第1補助搬送経路に沿って前記第2検査部に搬送できるように連結部を制御し、前記第1検査部によりパネルが良品判定された良品判定パネルが下流装置への搬送が困難な場合には、前記第2搬送部から前記第2補助搬送経路に沿って搬送できるように連結部を制御し、
全体パネルの搬送流れを円滑にするためには、前記良品判定パネルを前記第2補助搬送経路に流入させる第1制御と、良品確定パネルを前記第2補助搬送経路に流入させる第2制御のうち前記第1制御を優先的に行い、前記第1制御を選択すれば、前記第2検査部から前記第2補助搬送経路への良品確定パネルの搬送を停止させると同時に、必要に応じて前記第2検査部の再検査も停止させ、
前記不良判定パネルの再検査のための前記第2検査部への搬送と前記良品判定パネルの前記下流装置への搬送が互いに妨げられず、光学フィルムの付着工程速度が前記下流装置での工程速度より速い場合、光学フィルムの付着工程速度を遅くしなくてもパネルの搬送流れを円滑に管理する、
光学フィルム付着システム。 - 前記第1補助搬送経路は、前記第2検査部の再検査が滞る場合、前記第1搬送部から搬送される不良判定パネルを保管する第1緩衝部を含む、請求項1に記載の光学フィルム付着システム。
- 前記第2検査部がアイドル状態の場合には、前記第1搬送部から搬送される不良判定パネルが第1緩衝部を経由して前記第2検査部に搬送できるようにし、
前記第2検査部の再検査が滞る場合には、前記第1搬送部から搬送される不良判定パネルが前記第1緩衝部に保管できるようにし、
前記第1緩衝部の上流側に位置するパネルの搬送が遅延される場合には、前記第1緩衝部に保管された不良判定パネルが前記第2検査部に搬送できるようにする、請求項2に記載の光学フィルム付着システム。 - 前記下流装置がアイドル状態の場合には、前記第2搬送部に位置したパネルが前記下流装置に搬送できるようにし、
前記下流装置が滞る場合には、前記第2搬送部に位置したパネルが前記第2補助搬送経路に沿って搬送できるようにし、
前記第2搬送部の上流側に位置するパネルの搬送が遅延される場合には、前記第2補助搬送経路に位置したパネルが前記第2搬送部に搬送できるようにする、請求項1~3のいずれか一項に記載の光学フィルム付着システム。 - 前記第2検査部の再検査により良品確定された良品確定パネルは、前記第2補助搬送経路に沿って前記第2搬送部に搬送される、請求項1~4のいずれか一項に記載の光学フィルム付着システム。
- 前記第2補助搬送経路は、前記第2搬送部から搬送されるパネルを保管する第2緩衝部を含む、請求項1または5に記載の光学フィルム付着システム。
- 前記第2緩衝部は、前記第2検査部の再検査により良品確定された良品確定パネルを保管する、請求項6に記載の光学フィルム付着システム。
- 前記第1搬送部から第2搬送部にパネルが搬送される間には、前記第2検査部から搬送される良品確定パネルが前記第2緩衝部に保管できるようにする、請求項7に記載の光学フィルム付着システム。
- 前記第2搬送部から第2補助搬送経路に沿ってパネルが搬送される間には、前記第2検査部から前記第2補助搬送経路への良品確定パネルの搬送を停止させる、請求項7または8に記載の光学フィルム付着システム。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005082404A (ja) | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン搬送システム |
JP2007069061A (ja) | 2005-09-02 | 2007-03-22 | Yanmar Co Ltd | 青果物選別システム |
JP2008051784A (ja) | 2006-08-28 | 2008-03-06 | I-Pulse Co Ltd | 基板の検査システム |
JP2011191180A (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Omron Corp | X線検査装置およびx線検査方法 |
JP2012037503A (ja) | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
JP2012073459A (ja) | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Toppan Printing Co Ltd | 共通形状欠陥の検査方法 |
JP2014186287A (ja) | 2013-02-20 | 2014-10-02 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学表示デバイスの生産システム及び生産方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4599740A (en) * | 1983-01-06 | 1986-07-08 | Cable Arthur P | Radiographic examination system |
JPS5927877U (ja) * | 1983-02-02 | 1984-02-21 | キユーピー株式会社 | 不良品自動選別装置 |
JP2003315527A (ja) | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ欠陥修正一貫ライン |
TWI249058B (en) * | 2004-07-15 | 2006-02-11 | Hannstar Display Corp | Apparatus and method of attaching optical films |
JP2007086578A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の検査方法及び検査装置 |
PL2093041T3 (pl) * | 2006-10-17 | 2013-08-30 | Nitto Denko Corp | Sposób przyklejania elementu optycznego i urządzenie wykorzystujące ten sposób |
KR101592028B1 (ko) * | 2009-04-20 | 2016-02-04 | 이세용 | 대형필름 검사 및 적재장치 |
JP4503691B1 (ja) * | 2009-10-13 | 2010-07-14 | 日東電工株式会社 | 液層表示素子の連続製造方法及び装置 |
KR101215371B1 (ko) * | 2009-12-16 | 2012-12-26 | (주) 루켄테크놀러지스 | 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 |
JP4728447B1 (ja) | 2009-12-25 | 2011-07-20 | 日東電工株式会社 | 液晶表示素子の連続製造方法及び装置 |
KR101226252B1 (ko) * | 2011-06-30 | 2013-01-25 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 검사유닛을 포함하는 oled 제조장치 |
JP5427929B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-26 | 日東電工株式会社 | 光学表示パネルの連続製造方法及び光学表示パネルの連続製造システム |
JP5616494B1 (ja) * | 2013-07-04 | 2014-10-29 | 日東電工株式会社 | 積層体基板の形成方法および装置 |
JP6156820B2 (ja) | 2013-08-22 | 2017-07-05 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システム |
JP2015049349A (ja) | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 住友化学株式会社 | 光学部材貼合体の製造方法 |
JP6196116B2 (ja) * | 2013-10-08 | 2017-09-13 | イーデーエム株式会社 | 空袋供給検査装置 |
KR101495763B1 (ko) * | 2014-02-28 | 2015-02-25 | 주식회사 엘지화학 | 광학 필름 라미네이팅 시스템 및 이를 이용한 디스플레이 유닛 제조방법 |
KR20160005243A (ko) * | 2014-07-04 | 2016-01-14 | (주)에스에이치엔지니어링 | 인라인형 패널 검사 및 분류 시스템 |
CN204296163U (zh) * | 2014-11-19 | 2015-04-29 | 日东电工株式会社 | 内置式光学膜贴合*** |
CN204264991U (zh) * | 2014-11-19 | 2015-04-15 | 日东电工株式会社 | 缓冲设备 |
KR101554276B1 (ko) * | 2015-01-13 | 2015-09-18 | 엘지전자 주식회사 | 불량영역을 자동으로 배출하는 필름 라미네이트 장치 |
KR102012701B1 (ko) * | 2015-06-30 | 2019-08-21 | 주식회사 엘지화학 | 편광필름 라미네이팅 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 유닛 제조 시스템 |
-
2017
- 2017-09-26 KR KR1020170123998A patent/KR102124184B1/ko active IP Right Grant
-
2018
- 2018-09-14 TW TW107132383A patent/TWI680330B/zh active
- 2018-09-14 WO PCT/KR2018/010816 patent/WO2019066334A1/ko active Application Filing
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- 2018-09-14 JP JP2020517297A patent/JP7141449B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005082404A (ja) | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン搬送システム |
JP2007069061A (ja) | 2005-09-02 | 2007-03-22 | Yanmar Co Ltd | 青果物選別システム |
JP2008051784A (ja) | 2006-08-28 | 2008-03-06 | I-Pulse Co Ltd | 基板の検査システム |
JP2011191180A (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Omron Corp | X線検査装置およびx線検査方法 |
JP2012037503A (ja) | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
JP2012073459A (ja) | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Toppan Printing Co Ltd | 共通形状欠陥の検査方法 |
JP2014186287A (ja) | 2013-02-20 | 2014-10-02 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学表示デバイスの生産システム及び生産方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111148624B (zh) | 2022-02-08 |
CN111148624A (zh) | 2020-05-12 |
JP2020535412A (ja) | 2020-12-03 |
KR20190035129A (ko) | 2019-04-03 |
KR102124184B1 (ko) | 2020-06-17 |
TWI680330B (zh) | 2019-12-21 |
WO2019066334A1 (ko) | 2019-04-04 |
US20200307117A1 (en) | 2020-10-01 |
TW201930977A (zh) | 2019-08-01 |
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