JP2002334917A - 半導体ウエハーの端面を保持するパレット式枚葉搬送コンベヤと移載ロボット、ｉｄ読み取り装置、バッファーステーションからなる搬送設備 - Google Patents
半導体ウエハーの端面を保持するパレット式枚葉搬送コンベヤと移載ロボット、ｉｄ読み取り装置、バッファーステーションからなる搬送設備Info
- Publication number
- JP2002334917A JP2002334917A JP2001173188A JP2001173188A JP2002334917A JP 2002334917 A JP2002334917 A JP 2002334917A JP 2001173188 A JP2001173188 A JP 2001173188A JP 2001173188 A JP2001173188 A JP 2001173188A JP 2002334917 A JP2002334917 A JP 2002334917A
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- Japan
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
［課題］クリーンルーム内における製造装置間を、ウエ
ハを枚葉で搬送、移載させるシステムを提供すること。 ［解決手段］搬送用パレット１０に搬送物ウエハー１を
支えるフィンガー２を取り付けウエハーはフィンガー上
に取り付けられた４つの支持材３で受ける。パレットは
コンベヤ本体１５内の駆動ローラーによって搬送され、
所定のステーションでコンベヤのリフター１１が上昇し
てパレットを停止する。待ち受けていた移載ロボット７
のアーム５が上昇し、アーム上の４つの保持材４でウエ
ハーは掬い取られる。移載ロボットの動作中にロボット
に取り付けられたＩＤ読取り装置でウエハーＩＤを読取
り、製造装置内ステーションに移載する。製造装置内ス
テーションがウエハーを移載できない状態場合は一旦バ
ッファーステーション８にウエハーを仮置きし、製造装
置側が空けばバッファーステーションから供給する。
ハを枚葉で搬送、移載させるシステムを提供すること。 ［解決手段］搬送用パレット１０に搬送物ウエハー１を
支えるフィンガー２を取り付けウエハーはフィンガー上
に取り付けられた４つの支持材３で受ける。パレットは
コンベヤ本体１５内の駆動ローラーによって搬送され、
所定のステーションでコンベヤのリフター１１が上昇し
てパレットを停止する。待ち受けていた移載ロボット７
のアーム５が上昇し、アーム上の４つの保持材４でウエ
ハーは掬い取られる。移載ロボットの動作中にロボット
に取り付けられたＩＤ読取り装置でウエハーＩＤを読取
り、製造装置内ステーションに移載する。製造装置内ス
テーションがウエハーを移載できない状態場合は一旦バ
ッファーステーション８にウエハーを仮置きし、製造装
置側が空けばバッファーステーションから供給する。
Description
【０００１】［発明の属する技術分野］スーパークリー
ンルーム内で微細加工が要求される半導体製造工程にお
いて塵汚染を防止してウエハーを枚葉で製造装置間を連
続搬送及び移載するシステム
ンルーム内で微細加工が要求される半導体製造工程にお
いて塵汚染を防止してウエハーを枚葉で製造装置間を連
続搬送及び移載するシステム
【０００２】［従来の技術］ （１）本発明のウエハー枚葉搬送に対し、従来はカセッ
トに入れて搬送する方式であったが、製造装置はウエハ
ーを枚葉処理するものが大半であるため、各製造装置に
はウエハーを枚葉化やカセット化する機構の取り付けが
必要であった。これは設置スペースの拡大と設備投資額
の増大に繋がるものであった。 （２）従来極く部分的に使われていたウエハーの枚葉搬
送機は二本のゴムベルト上にウエハーなどを載せる方式
であった。この方式はウエハーの底面がベルトで擦れ、
擦れることによって発生する搬送物の微細片が回路製造
上の歩留まり低下の一原因になっていた。また、搬送機
のベルトは垂直回転しているので複雑なレイアウトには
直線の搬送機を数多く組み合わせる必要があり、価格が
割高になっていた。
トに入れて搬送する方式であったが、製造装置はウエハ
ーを枚葉処理するものが大半であるため、各製造装置に
はウエハーを枚葉化やカセット化する機構の取り付けが
必要であった。これは設置スペースの拡大と設備投資額
の増大に繋がるものであった。 （２）従来極く部分的に使われていたウエハーの枚葉搬
送機は二本のゴムベルト上にウエハーなどを載せる方式
であった。この方式はウエハーの底面がベルトで擦れ、
擦れることによって発生する搬送物の微細片が回路製造
上の歩留まり低下の一原因になっていた。また、搬送機
のベルトは垂直回転しているので複雑なレイアウトには
直線の搬送機を数多く組み合わせる必要があり、価格が
割高になっていた。
【０００３】［発明が解決しようとする課題］現在行わ
れているカセットによる搬送方式は高価なクリーンルー
ムに大きいスペースを要すると共に、各製造装置にウエ
ハーの枚葉化やカセット化する機構の取り付けを必要と
して設備投資額を大きくしていた。またこの解決の為に
多くの製造装置間をウエハーを枚葉で搬送、移載させる
システムは存在していなかった。本発明はこれらの課題
を解決しようとするものである。
れているカセットによる搬送方式は高価なクリーンルー
ムに大きいスペースを要すると共に、各製造装置にウエ
ハーの枚葉化やカセット化する機構の取り付けを必要と
して設備投資額を大きくしていた。またこの解決の為に
多くの製造装置間をウエハーを枚葉で搬送、移載させる
システムは存在していなかった。本発明はこれらの課題
を解決しようとするものである。
【０００４】［課題を解決するための手段］本発明は半
導体製造装置間のウエハーの搬送をカセット方式から枚
葉方式に変えることによって、投資額の削減と製造処理
時間を短縮するものであり、それを図面で説明する。本
システムは製造装置群を結ぶループ状コンベヤ（１５）
と、各製造装置に設けられた移載ロボット（７）及び２
つのバッファステーション（８，９）更にウエハーＩＤ
読み取り装置（１６）から構成される。コンベヤ（１
５）はパレット（１０）を駆動ローラー（１４）または
駆動ベルトにより搬送するが、移載部ではリフター（１
１）またはストッパーとアンチバックによってパレット
を停止させる。パレットにはウエハーを端面で支持する
ための支持材（３）を取り付けたフィンガー（２）がコ
ンベヤ本体（１５）から外に出る構造になっていると共
に、ファン（１２）により内部を負圧にして塵が外部に
出ない構造にしている。移載ロボット（７）はロボット
アーム（５）に取り付けられた支持材（４）でウエハー
端面を受ける構造になっていると共に、ウエハーＩＤ読
み取り装置（１６）が取り付けられている。このＩＤ読
取装置はロボットの外部に置くことも可能である。ロボ
ットがコンベヤや製造装置と移載する際のタイミングが
合わない場合に備え、２つのバッファーステーション
（８，９）を設ける。
導体製造装置間のウエハーの搬送をカセット方式から枚
葉方式に変えることによって、投資額の削減と製造処理
時間を短縮するものであり、それを図面で説明する。本
システムは製造装置群を結ぶループ状コンベヤ（１５）
と、各製造装置に設けられた移載ロボット（７）及び２
つのバッファステーション（８，９）更にウエハーＩＤ
読み取り装置（１６）から構成される。コンベヤ（１
５）はパレット（１０）を駆動ローラー（１４）または
駆動ベルトにより搬送するが、移載部ではリフター（１
１）またはストッパーとアンチバックによってパレット
を停止させる。パレットにはウエハーを端面で支持する
ための支持材（３）を取り付けたフィンガー（２）がコ
ンベヤ本体（１５）から外に出る構造になっていると共
に、ファン（１２）により内部を負圧にして塵が外部に
出ない構造にしている。移載ロボット（７）はロボット
アーム（５）に取り付けられた支持材（４）でウエハー
端面を受ける構造になっていると共に、ウエハーＩＤ読
み取り装置（１６）が取り付けられている。このＩＤ読
取装置はロボットの外部に置くことも可能である。ロボ
ットがコンベヤや製造装置と移載する際のタイミングが
合わない場合に備え、２つのバッファーステーション
（８，９）を設ける。
【０００５】［発明の実施の形態］以下本発明実施の形
態について説明する。 （１）コンベヤ上のウエハーをコンベヤから製造装置
（１８から２５）に移す場合にはパレット（１０）上の
フィンガー（２）の保持材（３）に載せられたウエハー
（１）が装置前さしかかった時に、リフター（１１）が
上昇しパレットは停止する。 （２）既に製造装置前で待機していた移載ロボット
（７）のロボットアーム（５）はパレット（１０）の停
止と同時にアームを上昇させることによってウエハーを
アーム上の保持材（３）で受け、回転動作により製造装
置上に移動して下降動作を行うことによってウエハーの
移載を完了するが、その動作の途中でロボットに取り付
けられたＩＤ読取装置（１６）でウエハーに刻まれたＩ
Ｄを読取る。この場合ＩＤ読み取り装置はロボットの外
部に設置することも可能である。 （３）またフィンガー（２）からウエハーが移載される
と同時にリフターは下降してコンベヤ、両端の駆動ロー
ラー（１４）の駆動によってパレットは次のステーショ
ンへ移動する。 （４）製造装置がウエハーを受け取れない状態の時に
は、移載ロボットはイン用バッファーステーション
（８）にウエハーを仮置する。装置が受け取れる状態に
なれば移載ロボット（７）はバッファステーション
（８）から製造装置内ステーション（１７）にウエハー
を移す。 （５）製造装置でウエハーの処理が終われば、移載ロボ
ット（７）は装置からコンベヤフィンガー上にウエハー
を移載する。この移載動作中にＩＤ読み取り装置はウエ
ハーのＩＤを読取る。移載はウエハーの積み込み時と同
様にパレットを停止させる。コンベヤとの移載タイミン
グが合わない場合には移載ロボットはウエハーを一旦ア
ウト用バッファーステーション（９）に仮置きし、空の
パレットが来た時にバッファーステーション（９）から
パレットのフィンガー上にウエハーを移載する。
態について説明する。 （１）コンベヤ上のウエハーをコンベヤから製造装置
（１８から２５）に移す場合にはパレット（１０）上の
フィンガー（２）の保持材（３）に載せられたウエハー
（１）が装置前さしかかった時に、リフター（１１）が
上昇しパレットは停止する。 （２）既に製造装置前で待機していた移載ロボット
（７）のロボットアーム（５）はパレット（１０）の停
止と同時にアームを上昇させることによってウエハーを
アーム上の保持材（３）で受け、回転動作により製造装
置上に移動して下降動作を行うことによってウエハーの
移載を完了するが、その動作の途中でロボットに取り付
けられたＩＤ読取装置（１６）でウエハーに刻まれたＩ
Ｄを読取る。この場合ＩＤ読み取り装置はロボットの外
部に設置することも可能である。 （３）またフィンガー（２）からウエハーが移載される
と同時にリフターは下降してコンベヤ、両端の駆動ロー
ラー（１４）の駆動によってパレットは次のステーショ
ンへ移動する。 （４）製造装置がウエハーを受け取れない状態の時に
は、移載ロボットはイン用バッファーステーション
（８）にウエハーを仮置する。装置が受け取れる状態に
なれば移載ロボット（７）はバッファステーション
（８）から製造装置内ステーション（１７）にウエハー
を移す。 （５）製造装置でウエハーの処理が終われば、移載ロボ
ット（７）は装置からコンベヤフィンガー上にウエハー
を移載する。この移載動作中にＩＤ読み取り装置はウエ
ハーのＩＤを読取る。移載はウエハーの積み込み時と同
様にパレットを停止させる。コンベヤとの移載タイミン
グが合わない場合には移載ロボットはウエハーを一旦ア
ウト用バッファーステーション（９）に仮置きし、空の
パレットが来た時にバッファーステーション（９）から
パレットのフィンガー上にウエハーを移載する。
【０００６】［発明の効果］ （１）従来製造装置群内はカセット単位の搬送が主力で
あり、装置はウエハーを枚葉処理するために、各装置に
ウエハーの枚葉化とカセット化の機構が必要であった
が、これらの機構は不要となる。 （２）ウエハーをカセット化せずに次々搬送できるの
で、製造工程の稼働率が向上し、生産性向上に繋がる。 （３）ウエハーをカセット化すると寸法、重量共大きく
なり大きい搬送機を必要としたが、枚葉搬送であり搬送
機は小型にでき、高価なクリーンルーム内での設置スペ
ースが小さくなる。
あり、装置はウエハーを枚葉処理するために、各装置に
ウエハーの枚葉化とカセット化の機構が必要であった
が、これらの機構は不要となる。 （２）ウエハーをカセット化せずに次々搬送できるの
で、製造工程の稼働率が向上し、生産性向上に繋がる。 （３）ウエハーをカセット化すると寸法、重量共大きく
なり大きい搬送機を必要としたが、枚葉搬送であり搬送
機は小型にでき、高価なクリーンルーム内での設置スペ
ースが小さくなる。
【図１】本発明の平面図である。
【図２】本発明の断面図である。
【図３】本発明コンベヤ部の側面図である。
【図４】製造装置群と搬送設備のシステム構成図であ
る。
る。
【図５】ウエハー保持状態の詳細図である。
１はウエハーである。 １６は力ＩＤ読
み取り装置である。 ２はフィンガーである。 １７は製造装置
内ステーションである。 ３はフィンガーの保持材である。 １８から２５は
製造装置である。 ４はロボットアームの保持材である。 ５はロボットアームである。 ６はコンベヤのスリットである。 ７は移載ロボット本体である。 ８はイン用バッファーステーションである。 ９はアウト用バッファーステーションである。 １０はパレットである。 １１はリフターである。 １２は排気ファンである。 １３は排気ダクトである。 １４は駆動ローラーである。 １５はコンベヤ本体である。
み取り装置である。 ２はフィンガーである。 １７は製造装置
内ステーションである。 ３はフィンガーの保持材である。 １８から２５は
製造装置である。 ４はロボットアームの保持材である。 ５はロボットアームである。 ６はコンベヤのスリットである。 ７は移載ロボット本体である。 ８はイン用バッファーステーションである。 ９はアウト用バッファーステーションである。 １０はパレットである。 １１はリフターである。 １２は排気ファンである。 １３は排気ダクトである。 １４は駆動ローラーである。 １５はコンベヤ本体である。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体製造工程において、ウエハーを加工
処理する順番に製造装置を並べるレイアウトにおいて、 （１）フィンガーでウエハー端面を受けるウエハー枚葉
パレット式防塵対策コンベヤ （２）イン用とアウト用バッファーステーション （３）ＩＤ読み取り装置 （４）コンベヤと製造装置間の移載、コンベヤとバッフ
ァーステーション間の移載、バッファーステーションと
装置間の移載、ＩＤ読み取りのための動作、これらすべ
てを、ウエハーの端面を持って動作する移載ロボット これらの構成から成り立つシステム
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001173188A JP2002334917A (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 半導体ウエハーの端面を保持するパレット式枚葉搬送コンベヤと移載ロボット、ｉｄ読み取り装置、バッファーステーションからなる搬送設備 |
| PCT/JP2001/005409 WO2002059961A1 (fr) | 2001-01-24 | 2001-06-25 | Systeme de transfert d'une seule tranche en semi-conducteur et unite de transfert associee |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001173188A JP2002334917A (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 半導体ウエハーの端面を保持するパレット式枚葉搬送コンベヤと移載ロボット、ｉｄ読み取り装置、バッファーステーションからなる搬送設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002334917A true JP2002334917A (ja) | 2002-11-22 |
Family
ID=19014694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001173188A Pending JP2002334917A (ja) | 2001-01-24 | 2001-05-07 | 半導体ウエハーの端面を保持するパレット式枚葉搬送コンベヤと移載ロボット、ｉｄ読み取り装置、バッファーステーションからなる搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002334917A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005082404A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン搬送システム |
| US7032739B2 (en) | 2003-03-31 | 2006-04-25 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product carrying apparatus, and intermediate product carrying method |
| US7108121B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-09-19 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product transferring apparatus and carrying system having the intermediate product transferring apparatus |
| US7182201B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-02-27 | Seiko Epson Corporation | Wafer carrying apparatus and wafer carrying method |
| US7308757B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-12-18 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product manufacturing apparatus, and intermediate product manufacturing method |
| CN115711529A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-02-24 | 湖南中伟智能制造有限公司 | 一种连续式电池粉体智能干燥线 |
-
2001
- 2001-05-07 JP JP2001173188A patent/JP2002334917A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7308757B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-12-18 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product manufacturing apparatus, and intermediate product manufacturing method |
| US7108121B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-09-19 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product transferring apparatus and carrying system having the intermediate product transferring apparatus |
| US7182201B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-02-27 | Seiko Epson Corporation | Wafer carrying apparatus and wafer carrying method |
| US7032739B2 (en) | 2003-03-31 | 2006-04-25 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product carrying apparatus, and intermediate product carrying method |
| CN1306558C (zh) * | 2003-03-31 | 2007-03-21 | 精工爱普生株式会社 | 制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法 |
| JP2005082404A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン搬送システム |
| CN115711529A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-02-24 | 湖南中伟智能制造有限公司 | 一种连续式电池粉体智能干燥线 |
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