JP2005037383A - セラミックダイアフラム及びその製法並びに圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状のダイアフラム本体3及び該ダイアフラム本体3を支持する環状支持部4を有するセラミックダイアフラム1であって、ダイアフラム本体3の内面中央部が凹形状であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
次に、本発明のセラミックダイアフラムの製法を、概略断面図である図2、3を基に説明する。
Raで0.4μmとした。
1.7倍以上の強度を示す結果となった。
1a・・セラミックダイアフラムの内面の上面部
2・・・圧力センサ
3・・・ダイアフラム本体
4・・・環状支持部
5・・・ダイアフラム本体と環状支持部の連結部
6・・・厚膜抵抗体
7・・・連結部と側面の境界
8・・・開口部
9・・・上パンチ
10・・・ダイス
11・・・浮動下パンチ
12・・・固定下パンチ
13・・・セラミック原料粉末
14・・・ダイアフラム成形体
15・・・凸部
Claims (9)
- 板状のダイアフラム本体及び該ダイアフラム本体を支持する環状支持部を有するセラミックダイアフラムであって、内面の上面部が凹形状であることを特徴とするセラミックダイアフラム。
- 前記内面の上面部における中央部が凹形状であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックダイアフラム。
- 前記内面の上面部が全面にわたって凹形状であり、その凹み量bと、前記上面部の厚みtの比(b/t)が、1.2〜6.0であることを特徴とする請求項1記載のセラミックダイアフラム。
- 前記内面の上面部における中央部の凹み量aと、前記上面部の厚みtの比(a/t)が、0.02〜0.20であることを特徴とする請求項2記載のセラミックダイアフラム。
- 少なくとも前記ダイアフラム本体の表面粗さが算術平均粗さ(Ra)で0.2μm〜0.6μmであることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のセラミックダイアフラム。
- 少なくとも前記ダイアフラム本体がアルミナ−ジルコニア系セラミックスからなることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のセラミックダイアフラム。
- セラミック粉末を乾式プレスして、セラミックダイアフラム成形体を作製する工程と、該セラミックダイアフラム成形体を焼成する工程とを具備するセラミックダイアフラムの製法であって、前記乾式プレスに用いるプレス用金型のダイアフラム本体内面の上面部を形成する面が凸形状であることを特徴とするセラミックダイアフラムの製造方法。
- 請求項1〜6の何れかに記載のセラミックダイアフラムを用いた圧力センサであって、前記ダイアフラム本体の外面中央部にセンサ素子を設けてなることを特徴とする圧力センサ。
- 請求項1〜6の何れかに記載のセラミックダイアフラムを用いた圧力センサであって、前記ダイアフラム本体の外面に厚膜抵抗体を設けてなることを特徴とする圧力センサ。
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