JP2005012051A - 高耐圧半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高抵抗炭化珪素層102と、低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層105a、105b、105cと、この層に隣接して設けられたトレンチ104a、104bと、トレンチ底面に設けられた第2導電型の第2の炭化珪素層106a、106bと、トレンチ側面に設けられた絶縁層パターン115と、低抵抗の第3の炭化珪素層101と、ソース電極109a、109b、109cと、第2の炭化珪素層106a、106b上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層116を有するゲート電極107a、107bと、ドレイン電極108とを具備することを特徴とする高耐圧半導体装置。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高耐圧半導体装置及びその製造方法に係わり、特に電力制御用の静電誘導トランジスタやダイオード等の高耐圧半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
次世代パワーデバイス材料として炭化珪素(SiC)が期待されている。SiCはSiと比較して、バンドギャップが3倍、破壊電界強度が約10倍、及び熱伝導率が約3倍と優れた物性を有し、この特性を活用すれば超低損失かつ高温動作可能なパワーデバイスを実現することができる。
【0003】
かかるSiCの特性を利用した高耐圧半導体装置は種々存在するが、例えば静電誘導トランジスタ(以下SITと略す。)が知られている。SITは特性の優れた素子であるが、特にトレンチゲート型のものがスイッチングの特性に優れている。SiCを利用したトレンチゲート型SITとしては、特許文献1に記載されたものがある。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−172187号公報(図1等)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載されたトレンチゲート型SITでは、以下のような問題点がある。すなわち、トレンチゲート電極とトレンチ底部に設けられたp型SiC(ゲート領域)との間に大きなバンド不連続が生じ、結果としてゲート電極界面に例えば10−2Ω・cm2以上の接触抵抗が発生してしまう。このような大きな接触抵抗はゲート領域の充放電時定数RCを増加させてしまうため、SITのスイッチングの高速化を妨げてしまう。
【0006】
ここで、パワーデバイスの代表的な応用装置であるインバータ回路を考えた場合、一般にその電力損失の約半分はトランジスタのスイッチング損失によって占められる。すなわち、トランジスタの高速なスイッチング動作を実現できなければ、インバータ回路等ではSiCの物性を活かした低損失化を十分に図ることができないのである。
【0007】
なお、上記した接触抵抗は、他の素子、例えばトレンチベース型のバイポーラトランジスタやジャンクションバリアショットキーダイオード(JBS)等においても同様に存在し、高速なスイッチング動作を実現する上で問題である。
【0008】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、SiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることが可能な高耐圧半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を採用している。
【0010】
本発明の第1の高耐圧半導体装置は、第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第2の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層に設けられたソース電極と、前記第2の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するゲート電極と、前記第3の炭化珪素層に設けられたドレイン電極とを具備することを特徴とする。
【0011】
本発明の第2の高耐圧半導体装置は、第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第2の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の前記一方の面に前記第1の炭化珪素層と離間して設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層に設けられたソース電極と、前記第2の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するゲート電極と、前記第3の炭化珪素層に設けられたドレイン電極とを具備することを特徴とする。
【0012】
かかる本発明の第1、第2の高耐圧半導体装置において、第3の炭化珪素層は第1導電型であり、前記高耐圧半導体装置は静電誘導トランジスタであることが好ましい。また、第3の炭化珪素層は第2導電型であり、前記高耐圧半導体装置は静電誘導サイリスタであることが好ましい。
【0013】
本発明の第3の高耐圧半導体装置は、第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面上に設けられた第2導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層上に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層と、前記第2の炭化珪素層を挟みかつ底部が前記第1の炭化珪素層に達して設けられたトレンチと、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記トレンチの底面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第2導電型の第3の炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第4の炭化珪素層と、前記第2の炭化珪素層に設けられたエミッタ電極と、前記第3の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するベース電極と、前記第4の炭化珪素層に設けられたコレクタ電極とを具備することを特徴とする。
【0014】
本発明の第4の高耐圧半導体装置は、第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層とショットキー接合をなす第1の電極と、前記第1の電極を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第1の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有し前記第1の電極と電気的に接続された制御電極と、前記第2の炭化珪素層に設けられた第2の電極とを具備することを特徴とする。
【0015】
上記の本発明の第1〜第4の高耐圧半導体装置において、前記高抵抗炭化珪素層の主面が[0001]面であり、前記トレンチの側壁面が[11−20]面、又は[1−100]のいずれかであることが好ましい。この場合、前記トレンチはストライプ形状を有し、その長手方向は<1−100>方向軸、又は<11−20>方向軸のいずれかであることが好ましい。
【0016】
本発明の第1の高耐圧半導体装置の製造方法は、第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面に、前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、この第2の炭化珪素層の表面から前記高抵抗炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第3の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第3の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記第2の炭化珪素層にソース電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にゲート電極を設け、前記第1の炭化珪素層にドレイン電極を設ける工程とを具備することを特徴とする。
【0017】
本発明の第2の高耐圧半導体装置の製造方法は、第1導電型の高抵抗炭化珪素層の一方の面に前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層を選択的に形成する工程と、この第1の炭化珪素層の表面から前記高抵抗炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第2の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記一方の面に前記第1の炭化珪素層と離間して、前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層を選択的に形成する工程と、前記第1の炭化珪素層にソース電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にゲート電極を設け、前記第3の炭化珪素層にドレイン電極を設ける工程とを具備することを特徴とする。
【0018】
本発明の第3の高耐圧半導体装置の製造方法は、第1導電型の第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面に、第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、この第2の炭化珪素層上に前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第3の炭化珪素層を形成する工程と、この第3の炭化珪素層の表面から前記第2の炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に前記第2の炭化珪素層よりも低抵抗の第2導電型の第4の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第4の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記第3の炭化珪素層にエミッタ電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にベース電極を設け、前記第1の炭化珪素層にコレクタ電極を設ける工程とを具備することを特徴とする。
【0019】
本発明の第4の高耐圧半導体装置の製造方法は、第1導電型の第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第2の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記トレンチに近接する前記高抵抗炭化珪素層に当該高抵抗炭化珪素層とショットキー接合をなす第1の電極を形成し、前記アルミニウムを主成分とする膜上に前記第1の電極と電気的に接続された制御電極を形成する工程と、前記第1の炭化珪素層に第2の電極を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【0020】
なお、本明細書においては、六方晶炭化珪素単結晶層又は基板の面及び方向軸を表す場合に、本来ならば所要の数字の上にバーを付した表現内容を採用すべきであるにもかかわらず、表現手段に制約があるため、前記所要の数字の上にバーを付す代わりに、当該所要数字の前に−符号(マイナス符号)を付して、例えば[11−20]面、<1−100>方向軸などの表現を用いている。この場合の−符号(マイナス符号)はバーと全く同じ意味を有し、その直後の数にバーを付する意味である。
【0021】
(作用)
本発明によれば、アルミニウムを主成分とする膜がトレンチの底面の一導電型の炭化珪素領域に対して選択的に形成されているので、埋め込みゲート電極等の電極との接触抵抗を大幅に低減することができ、トレンチゲート等を用いた充放電を円滑且つ高速に行うことができる。従って、トレンチゲート型SITやトレンチベース型バイポーラトランジスタ等において、SiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることが可能となる。
【0022】
また、トレンチの側面に絶縁層パターンが形成されており、アルミニウムを主成分とする膜がトレンチの底面の一導電型の炭化珪素領域に選択的に(自己整合的に)形成されているので、当該炭化珪素領域に対して選択的にゲート電位を印加することができ、一方トレンチの側面に対しては絶縁膜パターンが存在するため直接ゲート電位が印加されない。このため、トレンチの底面の角部に隣接して位置する炭化珪素領域部分に対してゲート電圧を優先的に印加することができ、当該部分に隣接する高抵抗炭化珪素層内の空乏層の延びを支配的なものとすることができるので、スイッチング特性を向上させることが可能である。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0024】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わるトレンチゲート型の静電誘導トランジスタ(以下SITと略す。)の構成を示す断面図である。本実施形態においては、第一導電型としてN型を、また第二導電型としてP型を用いた。
【0025】
最初に、不純物濃度1×1019cm−3、厚さ300μmのN型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板(又は層)101上に、エピタキシャル成長法により不純物濃度5×1015cm−3、厚さ8μmのN型高抵抗SiC層102と、不純物濃度5×1018cm−3〜1×1020cm−3、厚さ0.3〜1μmのN型低抵抗SiC層103を順次形成する。但し、ここではN型不純物としては窒素を用いたが、別の不純物、例えば燐等を用いてもよい。また、両不純物を同時に用いてもよい。また、N型低抵抗層を形成するかわりに、N型高抵抗層102の表面に燐や窒素を、基板温度500℃程度の下で加速エネルギー10〜200keV、総ドーズ5×1015cm−2の条件で選択的に多段イオン注入し、その後、1600℃程度の活性化熱処理により表面から深さ約0.3μmの領域に不純物濃度1×1020cm−3のN型低抵抗領域を形成してもよい。
【0026】
次に、N型低抵抗層103の表面にシリコン酸化膜111を形成する。その後、酸化膜111の表面にレジスト112をスピン塗布し、フォトリソグラフィ技術により、図2(a)に示すように、レジスト112をパターニングする。パターニングされたレジスト112をエッチングマスクとして用い、図2(b)に示すように、RIE等の異方性エッチング及びこれに続くCDE等によるトレンチ内の平滑化処理によりN型低抵抗層103を貫通し、底部がN型高抵抗層102に達するトレンチ104a、104bを形成する。図面ではトレンチは2個しか記載されていないが、より多数のトレンチが存在する。トレンチ104a、104bの形成により、N型低抵抗層103はストライプ状のソース領域105a、105b、105cにパターニングされる。ここで例えば、トレンチ間のメサの幅は2μmであり、またトレンチの幅は0.6μmとした。
【0027】
そして、レジスト112を除去した後、図2(c)に示すように、トレンチ104a、104bの内部にシリコン酸化膜113を形成する。この後、RIE等の異方性エッチングにより、トレンチ104a、104bの底部の酸化膜113を除去する。この時同時にトレンチ間のメサの上の酸化膜113も除去されてしまうが、その下の酸化膜111及びトレンチ側壁の酸化膜が残る。これにより、以下に続く工程のイオン注入マスク113Aが形成される。
【0028】
次に、イオン注入マスク113Aを介して、図3(a)に示すように、底部に露出したN型高抵抗層102に対して27Al+の選択イオン注入を行う。27Al+は、基板温度Tsub=室温〜700℃、ここでは500℃程度で、加速エネルギーEacc=10〜150keV、総ドーズ量Φ=2×1013cm−2の条件で多段注入する。この結果、表面から深さ0.3μmの領域に、不純物濃度1×1018cm−3の27Al+注入層114が形成される。
【0029】
その後、酸化膜113Aを除去し、基板温度Tsub=1600℃程度の活性化熱処理により、図3(b)に示すように選択的にp型拡散領域106a、106bを形成する。このp型SiC拡散領域106a、106bは、トレンチゲート型SITのゲート領域である。
【0030】
次に、基板表面及びトレンチ104a、104bの内部にシリコン酸化膜115を形成する。さらに、トレンチ間のメサの上にフォトリソグラフィ技術によりレジストをパターニングする。次にパターニングされたレジスト(図示せず。)をエッチングマスクとして用い、RIE等の異方性エッチングによりトレンチ104a、104bの底部の酸化膜115を除去する。なお、基板表面及びトレンチ104a、104bの内部にシリコン酸化膜115を形成し、さらにシリコン酸化膜115上にシリコン窒化膜を形成し、このシリコン窒化膜を異方性エッチング(シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜のエッチング選択比が高い条件を用いる。)によりトレンチ104a、104bの側壁に選択的に残してから、レジストマスクを用いてエッチング(シリコン窒化膜に対するシリコン酸化膜のエッチング選択比が高い条件を用いる。)によりトレンチ104a、104bの底部の酸化膜115を除去してもよい。この方法によれば、トレンチ104a、104bの側壁に自己整合的に絶縁膜を確実に残すことが可能である。後述する実施形態でも同様である。
【0031】
次にエッチングマスクとして用いたレジスト(図示せず。)を除去し、その後トレンチ104a、104bの内部にMOCVD法によりAl膜116を5〜100nm、望ましくは10〜80nm程度の厚さで選択的に形成する。さらに、Al膜116の上に例えばボロン添加の多結晶シリコン117をCVD法で堆積する。そして、CMPにより酸化膜が露出するまで平坦化し、Al膜116/多結晶シリコン117を、図4(a)に示すように、トレンチ104a、104bの内部に埋め込み、埋め込みゲート電極107a、107bを形成する。ここで、多結晶シリコンの代わりにW、Cu等の金属、Wシリサイド等の金属シリサイド、あるいはこれらを組み合わせて用いても良い。
【0032】
そして、酸化膜115の上にレジスト(図示せず。)をスピン塗布し、フォトリソグラフィ技術により、レジストをパターニングする。その後、パターニングされたレジストをエッチングマスクとして用い、酸化膜115を選択的にエッチングし、ソースコンタクトホールを開口し、ソース領域105a、105bの一部を露出させる。酸化膜115のパターニングは、RIE等を用いればよい。その後、基板表面全体をレジストでカバーして、低抵抗SiC基板101の裏面に存在する薄い酸化膜を、希釈した弗酸(HF)若しくは緩衝HF等でエッチングする。n型低抵抗SiC基板101の裏面には、Ni膜を約1μmの厚さで蒸着し、ドレイン電極108を形成する(図4(b))。
【0033】
次に基板表面のレジストを除去した後、基板表面全体にTi膜を約1μmの厚さで蒸着する。Ti膜の代わりにAl,Mo等の金属、又は各種の金属シリサイドを使用してもよい。次に、Ti膜の上にレジストをスピン塗布する。そして、フォトリソグラフィ技術により、ソース領域105a、105bの上部にレジストが残るようにレジストをパターニングする。パターニングされたレジストをエッチングマスクとして用い、Ti膜をエッチングし、図4(b)に示すように、Ti膜をソース領域105a、105bの上部に選択的に残し、ソース電極109a、109b、109cを形成する。
【0034】
次に、基板温度Tsub=800〜1100℃、例えば950℃で5分程度シンター処理し、ソース電極109a、109b、109c、ドレイン電極108、ゲート電極107a、107bのオーミック接触を良好なものにする。特に、ゲート電極に用いられたAlは、シンター処理時に下地のp型SiC(27Al+注入層114)に対してAlスパイクを発生し、これがフィールドエミッタ−として機能する。その結果、ゲート電極界面の接触抵抗を大幅に削減することができる。以上により、トレンチゲート型SITの概略工程は、終了する。
【0035】
ただし、上記の埋め込みゲート電極107a、107bの作製工程において、Al膜116を100nmより厚く形成すると、950℃前後のオーミックシンター時にAl膜の凝集現象、表面荒れ、またはAl膜中の巣の発生が引き起こされる。その結果、複数にパターニング若しくは分割されたゲート領域106a、106bに均一且つ高速な信号が伝達されないため、高速なスイッチング動作を行うことができない。従って、この問題を解決し、高速なスイッチング動作を実現するためには、上述のごとくMOCVD法によりAl膜をトレンチの底部にのみ選択的に必要十分な膜厚、5〜100nm、望ましくは10 〜80nm程度の厚さで形成することが重要となる。また、MOCVD法を用いなければ、上記の幅0.6μmという微細なトレンチの底部にAl薄膜を所定の膜厚で均一に形成することは不可能である。
【0036】
また、六方晶炭化珪素(SiC)基板の主面、トレンチゲート側壁面、ゲートの長手方向の設定にも、Al膜の選択形成の観点から望ましくは配慮が必要である。例えば、基板主面に[0001]面を設定した場合には、トレンチゲート側壁面として[11−20]面、又は[1−100]面のいずれかを、ゲートの長手方向としては側壁面に対応して<1−100>方向軸([11−20]面の場合。)、又は<11−20>方向軸([1−100]面の場合。)のいずれかを選択することが望ましい。
【0037】
その理由は、RIE及びそれに続くCDEプロセスで形成されたトレンチゲート側壁の平坦性は、面方位に強く依存するからである。{11−20}面または[1−100]面であれば、最適化されたCDE条件のもとで、表面粗さの二乗平均Rmsは0.3nm程度となり、この面上に形成される絶縁膜の表面粗さの二乗平均Rmsも下地の平坦性を反映して0.5nm前後と非常に平坦性が高い。トレンチ側壁にこのような平坦性の高い絶縁膜を形成した場合には、MOCVD法によるAl膜の形成において側壁絶縁膜上にはAlの核形成の発生確率を低く抑えることができる。その結果、トレンチ底部にのみAl膜を選択性よく形成することができるのである。ここで例としてあげた面、方向軸に関しては、等価な面、等価な方向軸も含むことは言うまでもない。
【0038】
以上のように製造したトレンチゲート型SITの電気的特性を評価した結果は以下の通りである。耐圧800Vのトレンチゲート型SITで、ゲート電圧−40V及びドレイン電圧600V印加時のリーク電流は1×10−6A/cm2、またオン抵抗は3mΩcm2となった。また、電源電圧300V、主電流密度150A/cm2の条件においてターンオフ時間は10ナノ秒となり非常に高速なスイッチング動作を得ることができた。その結果、インバータ回路において電力損失の約半分を占めるスイッチング損失を大幅に削減することができる。
【0039】
一方、従来技術によるSITでは同じ耐圧800Vで比較すると、オン抵抗は3mΩcm2前後と同等であった。しかし、同条件におけるターンオフ時間は、ゲート電極界面に寄生する大きな接触抵抗の影響を受けて約300nsecと非常に遅い。その結果、これを用いたインバータ回路では、電力損失の約半分を占めるトランジスタスイッチング損失を低減することが難しいため、結局炭化珪素の優れた物性を十分に活用することができない。
【0040】
ここで、本発明によりターンオフ時間を10nsecと大幅に短縮できた理由は、p型拡散領域106a、106bと埋め込みゲート電極107a、107bとの接触抵抗を大幅に低減し、トレンチゲートを用いた充放電を円滑且つ高速に行うことを実現したからである。従って、上記のような構成をとることにより、トレンチゲート型SITにおいてSiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることができるのである。
【0041】
また、本実施形態の素子構造の他の特徴は、トレンチ104a、104bの側面に絶縁層として酸化膜115が形成されており、トレンチ104a、104bの底面には選択的にp型拡散領域(ゲート領域)106a、106bが露呈し、このゲート領域106a、106bに選択的にAl膜116が形成されている点である。かかる構造では、Al膜116/多結晶シリコン117からなる埋め込みゲート電極107a、107bは、トレンチ104a、104bの側面には直接接することは無く、トレンチ104a、104bの底面のゲート領域106a、106bに直接コンタクトしている。即ち、埋め込みゲート電極107a、107bは酸化膜115に対して自己整合的に形成されているので、トレンチ104a、104bの底面の中心領域に正確に位置する。従って、トレンチ104a、104bの底面のゲート領域106a、106bに対して選択的にゲート電位を印加することができ、トレンチ104a、104bの側面に対しては酸化膜115が存在するため直接ゲート電位が印加されない。このため、トレンチ104a、104bの底面の角部に隣接して位置するゲート領域106a、106bの部分に対してゲート電圧を優先的に印加することができ、当該部分に隣接するN型高抵抗層102内の空乏層の延びを支配的なものとすることができるので、スイッチング特性を向上させることが可能である。
【0042】
なお、上で述べた発明は静電誘導サイリスタにも適用できる。静電誘導サイリスタの場合、図1においてN型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板101の導電型をP型にすればよい。
【0043】
(第2の実施形態)
図5は、本発明の第2の実施形態に係わるトレンチベース型のバイポーラトランジスタ(以下BJTと略す。)の構成を示す断面図である。本実施形態において、第一導電型としてN型を、また第二導電型としてP型を用いた。
【0044】
最初に、不純物濃度1×1019cm−3、厚さ300μmのN型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板(又は層)201上にエピタキシャル成長法により不純物濃度5×1015cm−3、厚さ10μmのN型高抵抗SiC層202、不純物濃度3×1017cm−3、厚さ1μmのP型SiC層203、及び不純物濃度1×1019cm−3、厚さ1μmのN型低抵抗SiC層204を順次形成する。但し、ここではN型不純物としては窒素を用いたが、別の不純物、例えば燐等を用いてもよい。また、P型不純物としてはボロンを用いたが、別の不純物、例えばアルミニウム等を用いてもよい。また、両不純物を同時に用いてもよい。また、N型低抵抗SiC層204を形成するかわりにN型高抵抗SiC層203の表面に燐や窒素を、基板温度500℃程度の下で加速エネルギー10〜400keV、総ドーズ2×1015cm−2の条件で選択的に多段イオン注入し、その後、1600℃程度の活性化熱処理により表面から深さ約0.7μmの領域に不純物濃度1×1019cm−3のN型低抵抗領域を形成してもよい。また、P型SiC層203についても同様にアルミ、又はボロン等を用いてイオン注入により形成してもよい。
【0045】
次に、N型低抵抗層204の表面に第1の実施形態と同様にシリコン酸化膜(図示せず。)を形成する。その後、この酸化膜の表面にレジスト(図示せず。)をスピン塗布し、フォトリソグラフィ技術により、このレジストをパターニングする。そして、パターニングされたレジストをエッチングマスクとして用い、RIE等の異方性エッチング及びこれに続くCDE等によるトレンチ内の平滑化処理により、N型低抵抗層204を貫通し、底部がP型層203に達するトレンチ205a、205bを形成する。図面ではトレンチは2個しか記載されていないが、より多数のトレンチが存在する。トレンチ205a、205bの形成により、N型低抵抗層204はストライプ状のソース領域206a、206b、206cにパターニングされる。
【0046】
次に、レジストを除去した後、第1の実施形態と同様にトレンチ205a、205bの内部に酸化膜(図示せず。)を形成する。RIE等の異方性エッチングによりトレンチ205a、205bの底部の酸化膜を除去する。これにより以下に続く工程のイオン注入マスクが形成される。
【0047】
そして、このイオン注入マスクを介して、第1の実施形態と同様にトレンチ205a、205bの底部に露出したP型層203に対して27Al+の選択イオン注入を行う。27Al+は、基板温度Tsub=室温〜700℃、ここでは500℃程度で、加速エネルギーEacc=10〜150keV、総ドーズ量Φ=2×1015cm−2の条件で多段注入する。この結果、表面から深さ0.3μmの領域に、不純物濃度1×1020cm−3の27Al+注入層が形成される。
【0048】
その後、第1の実施形態と同様に基板上の酸化膜をすべて除去し、基板温度Tsub=1600℃程度の活性化熱処理により、選択的にp型拡散領域207a、207bを形成する。このp型拡散領域207a、207bはトレンチベース型BJTのベースコンタクト領域である。
【0049】
次に、基板表面及びトレンチ205a、205bの内部に第1の実施形態と同様に酸化膜を形成し、トレンチ間のメサの上にフォトリソグラフィ技術によりレジストをパターニングする。次にパターニングされたレジスト(図示せず。)をエッチングマスクとして用い、RIE等の異方性エッチングによりトレンチ205a、205bの底部の上記酸化膜を除去する。その後、トレンチ205a、205bの内部にMOCVD法によりAl膜216を5〜100nm、望ましくは10〜80nm程度の厚さで選択的に形成する。さらに、このAl膜216の上に例えばボロン添加の多結晶シリコン217をCVD法で堆積する。そして、CMPにより酸化膜が露出するまで平坦化し、Al膜216/多結晶シリコン217をトレンチ205a、205bの内部に埋め込み、埋め込みベース電極208a、208bを形成する。ここで、多結晶シリコンの代わりにW、Cu等の金属、Wシリサイド等の金属シリサイド、あるいはこれらを組み合わせて用いても良い。
【0050】
そして、酸化膜の上にレジスト(図示せず。)をスピン塗布し、フォトリソグラフィ技術により、このレジストをパターニングする。その後、パターニングされたレジストをエッチングマスクとして用い、上記酸化膜を選択的にエッチングし、エミッタコンタクトホールを開口し、エミッタ領域206a、206bの一部を露出させる。酸化膜のパターニングはRIEを用いればよい。その後、基板表面全体をレジストでカバーして、低抵抗SiC基板201の裏面に存在する薄い酸化膜を希釈した弗酸(HF)若しくは緩衝HF等でエッチングする。その後n型低抵抗SiC基板201の裏面には、Ni膜を約1μmの厚さで蒸着し、コレクタ電極209を形成する。
【0051】
次に、基板表面のレジストを除去して、今度は基板表面全体にTi膜を約1μmの厚さで蒸着する。Ti膜の代わりにAl,Mo等の金属、又は各種の金属シリサイドを使用してもよい。さらに、Ti膜の上にレジストをスピン塗布する。そして、フォトリソグラフィ技術により、エミッタ領域206a、206bの上部にレジストが残るようにレジストをパターニングする。パターニングされたレジストをエッチングマスクとして用い、Ti膜をエッチングし、Ti膜をエミッタ領域206a、206bの上部に選択的に残し、エミッタ電極210a、210b、210cを形成する。
【0052】
次に、基板温度Tsub=800〜1100℃、例えば950℃で5分程度シンター処理し、エミッタ電極210a、210b、210c、コレクタ電極209、埋め込みベース電極208a、208bのオーミック接触を良好なものにする。これでトレンチベース型BJTの概略工程は、終了する。
【0053】
ただし、上記の埋め込みベース電極208a、208bの作製工程において、Al膜216を100nmより厚く形成すると、950℃前後のオーミックシンター時にAl膜の凝集現象、表面荒れ、またはAl膜中の巣の発生が引き起こされてしまう。その結果、複数にパターニング若しくは分割されたベースコンタクト領域207a、207bに均一且つ高速なベース信号が伝達されないため、高速なスイッチング動作を行うことができない。従って、高速なスイッチング動作を実現するためには、上述のごとくMOCVD法によりAl膜をトレンチの底部にのみ選択的に必要十分な膜厚、5〜100nm、望ましくは10〜80nm程度の厚さで形成することが重要となる。
【0054】
また、六方晶炭化珪素(SiC)基板の主面、トレンチベース側壁面、ベースの長手方向の設定にも、Al膜の選択形成の観点から望ましくは十分な配慮が必要である。これに関しては第1の実施形態の場合と同様であるため、ここでは説明は省略する。
【0055】
以上のように製造したトレンチベース型BJTの電気的特性を評価した結果は以下の通りである。耐圧1600Vのトレンチゲート型BJTで、ベース電流100mA及びコレクタ電圧1200V印加時のリーク電流は1×10−6A/cm2、またオン抵抗は7mΩcm2となった。また、電源電圧500V、主電流密度150A/cm2の条件においてターンオフ時間は30ナノ秒と非常に高速なスイッチング動作を得ることができた。その結果、インバータ回路において電力損失の約半分を占めるスイッチング損失を大幅に削減することができる。
【0056】
一方、従来技術によるBJTでは同じ耐圧1600Vで比較すると、オン抵抗は8mΩcm2前後と同等であった。しかし、同条件におけるターンオフ時間は、ベース電極界面に寄生する大きな接触抵抗の影響を受けてベース電流の排出が円滑且つ高速に行われないため約300nsecと非常に遅い。その結果、これを用いたインバータ回路では、電力損失の約半分に相当するトランジスタスイッチング損失を低減することが難しいため、結局炭化珪素の優れた物性を十分に活用することができない。
【0057】
ここで、本発明によりターンオフ時間を30nsecと大幅に短縮できた理由は、p型拡散領域207a、207bと埋め込みベース電極208a、208bとの接触抵抗を大幅に低減し、ベース電流の注入及び排出を円滑且つ高速に行うことを実現したからである。従って、上記のような構成をとることにより、トレンチベース型BJTにおいてSiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることができるのである。
【0058】
(第3の実施形態)
図6は、本発明の第3の実施形態に係わるトレンチゲート型横型静電誘導トランジスタ(以下横型SITと略す。)の構成を示す断面図である。本実施形態の横型SITと第1の実施形態のSITとの異なる点は、ドレイン電極を基板裏面にではなくエピタキシャル成長等により形成されたN型高抵抗層の表面に形成している点である。
【0059】
即ち、本実施形態では、N型高抵抗層102上にエピタキシャル法等によりN型低抵抗層103を形成する第1の実施形態とは異なり、N型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板(又は層)301上のN型高抵抗SiC層302表面の所定の領域に対して燐あるいは窒素又はその両方を選択的にイオン注入することによりN型領域を形成し、このN型領域からストライプ状のN型ソース領域305a、305b、305cを形成する。このN型ソース領域305a、305b、305cを形成する方法として、第1の実施形態に示した方法を適用することができ、p型SiC拡散領域(ゲート領域)306a、306bと、シリコン酸化膜315と、Al膜316/多結晶シリコン317からなるゲート電極309a、309bも、第1の実施形態と同様の方法により形成する。
【0060】
また、N型ソース領域305a、305b、305cが形成された側と同じ側のN型高抵抗SiC層302の表面には、ゲート領域306a、306bから一定距離はなれた位置に、n型ドレイン領域308を形成する。また、N型ソース領域305a、305b、305cとn型ドレイン領域308との間には、1個又はそれ以上のp型電界緩和領域307a、307bをゲート領域306a、306bに並行して設けている。このp型電界緩和領域307a、307bは、ゲート領域306a、306b端部の電界集中を緩和するものである。
【0061】
次に、酸化膜315上にレジストマスクを形成し、ソースコンタクトホール及びドレインコンタクトホールを開口した後、N型ソース領域305a、305b、305c上にそれぞれソース電極310a、310b、310cを、n型ドレイン領域308上にドレイン電極311を形成する。ここで、ドレイン電極311はゲート電極309a、309bから所定の距離を隔てて、ゲート電極309a、309bに並行して形成することが望ましい。上記した以外の構成及び工程は、図1に示す第1の実施形態のSITと基本的に同じである。以上で横型SITを完成する。
【0062】
横型SITでは、ソース電極とドレイン電極とが同じ面に設けられているため、モノシリックICとして同一半導体チップ上に集積化するのが容易である。また、ハイブリッドIC等に組み込んで用いる場合にも配線作業が簡単となる。また、ドレイン電極が個々の半導体装置に設けられているため、表面配線や接続の自由度が増すことになり、設計が容易となる。かかる横型SITにおいても、第1の実施形態と同様にSiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることができる。
【0063】
(その他の実施形態)
上記のように、第1から第3の実施形態により本発明を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものではなく、この開示から当業者は様々な実施形態に対して本発明を適用することが可能である。
【0064】
例えば、既に述べた第1から第3の実施形態の説明においては、トレンチあるいは表面に形成する絶縁膜としてシリコン酸化膜を用いたが、これ以外に酸化タンタル(Ta2O5)、窒化珪素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)といった他の絶縁膜を用いてもよい。
【0065】
また、トレンチゲート型の静電誘導トランジスタや静電誘導サイリスタ、トレンチベース型のバイポーラトランジスタ以外の素子、例えば、ジャンクションバリアショットキーダイオード(JBS)に対しても本発明を適用することができ、この場合、第1の実施形態におけるソース領域の代わりにショットキーコンタクト領域を、またゲート領域の代わりにP型制御領域をそれぞれ設け、P型制御領域に設けたP型制御電極とショットキーコンタクト電極とを短絡した構造とすればよい。即ち、図7に示すように、このダイオードは、N型高抵抗SiC層402と、N型高抵抗SiC層402の一方の面に部分的に設けられN型高抵抗SiC層402とショットキー接合をなすアノード電極409a、409b、409cと、アノード電極409a、409b、409cを挟んでN型高抵抗SiC層402に設けられたトレンチ404a、404bと、トレンチ404a、404bの底面に設けられたp型SiC拡散領域(制御領域)406a、406bと、トレンチ404a、404bの側面に設けられたシリコン酸化膜パターン411と、N型高抵抗SiC層402の他方の面に設けられN型高抵抗SiC層402よりも低抵抗のN型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板(又は層)401と、p型SiC拡散領域(制御領域)上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層416と金属層417との積層構造を有しアノード電極409a、409b、409cと電気的に接続された制御電極407a、407bと、N型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板(又は層)401に設けられたカソード電極408とを備えるものである。かかるダイオードは、第1の実施形態で述べた方法を用いて作製することが可能である。上記ダイオードにおいても、第1の実施形態と同様にSiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得ると同時に、インバータ回路等に用いた場合にはダイオードの逆回復時の損失を大幅に引き下げることができる。
【0066】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【0067】
【発明の効果】
本発明によれば、SiCの物性を活用して超低オン抵抗の優れた性能を得るとともに、スイッチング損失を大幅に引き下げることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係わるトレンチゲート型の静電誘導トランジスタの構成を示す断面図。
【図2】第1の実施形態の静電誘導トランジスタを製造する方法を示す工程断面図。
【図3】図2に続く工程断面図。
【図4】図3に続く工程断面図。
【図5】本発明の第2の実施形態に係わるトレンチベース型のバイポーラトランジスタの構成を示す断面図。
【図6】本発明の第3の実施形態に係わるトレンチゲート型横型静電誘導トランジスタの構成を示す断面図。
【図7】本発明のその他の実施形態に係わるジャンクションバリアショットキーダイオードの構成を示す断面図。
【符号の説明】
101 N型低抵抗六方晶炭化珪素(SiC)基板
102 N型高抵抗SiC層
103 N型低抵抗SiC層
104a、104b トレンチ
105a、105b、105c ソース領域
106a、106b p型SiC拡散領域(ゲート領域)
107a、107b ゲート電極
108 ドレイン電極
109a、109b、109c ソース電極
111 シリコン酸化膜
112 レジスト
113 イオン注入マスク
114 27Al+注入層
115 シリコン酸化膜
116 Al膜
117 多結晶シリコン
Claims (12)
- 第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第2の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層に設けられたソース電極と、前記第2の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するゲート電極と、前記第3の炭化珪素層に設けられたドレイン電極とを具備することを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第2の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の前記一方の面に前記第1の炭化珪素層と離間して設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層に設けられたソース電極と、前記第2の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するゲート電極と、前記第3の炭化珪素層に設けられたドレイン電極とを具備することを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 第3の炭化珪素層は第1導電型であり、前記高耐圧半導体装置は静電誘導トランジスタであることを特徴とする請求項1又は2に記載の高耐圧半導体装置。
- 第3の炭化珪素層は第2導電型であり、前記高耐圧半導体装置は静電誘導サイリスタであることを特徴とする請求項1又は2に記載の高耐圧半導体装置。
- 第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面上に設けられた第2導電型の第1の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層上に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層と、前記第2の炭化珪素層を挟みかつ底部が前記第1の炭化珪素層に達して設けられたトレンチと、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記トレンチの底面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第2導電型の第3の炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第4の炭化珪素層と、前記第2の炭化珪素層に設けられたエミッタ電極と、前記第3の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有するベース電極と、前記第4の炭化珪素層に設けられたコレクタ電極とを具備することを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 第1導電型の高抵抗炭化珪素層と、前記高抵抗炭化珪素層の一方の面に部分的に設けられ前記高抵抗炭化珪素層とショットキー接合をなす第1の電極と、前記第1の電極を挟んで前記高抵抗炭化珪素層に設けられたトレンチと、前記トレンチの底面に設けられた第2導電型の第1の炭化珪素層と、前記トレンチの側面に設けられた絶縁層パターンと、前記高抵抗炭化珪素層の他方の面に設けられ前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層と、前記第1の炭化珪素層上に選択的に形成されたアルミニウムを主成分とする層を有し前記第1の電極と電気的に接続された制御電極と、前記第2の炭化珪素層に設けられた第2の電極とを具備することを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 前記高抵抗炭化珪素層の主面が[0001]面であり、前記トレンチの側壁面が[11−20]面、又は[1−100]のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の高耐圧半導体装置。
- 前記トレンチはストライプ形状を有し、その長手方向は<1−100>方向軸、又は<11−20>方向軸のいずれかであることを特徴とする請求項7に記載の高耐圧半導体装置。
- 第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面に、前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、この第2の炭化珪素層の表面から前記高抵抗炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第3の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第3の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記第2の炭化珪素層にソース電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にゲート電極を設け、前記第1の炭化珪素層にドレイン電極を設ける工程とを具備することを特徴とする高耐圧半導体の製造方法。
- 第1導電型の高抵抗炭化珪素層の一方の面に前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第1の炭化珪素層を選択的に形成する工程と、この第1の炭化珪素層の表面から前記高抵抗炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第2の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記一方の面に前記第1の炭化珪素層と離間して、前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第3の炭化珪素層を選択的に形成する工程と、前記第1の炭化珪素層にソース電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にゲート電極を設け、前記第3の炭化珪素層にドレイン電極を設ける工程とを具備することを特徴とする高耐圧半導体の製造方法。
- 第1導電型の第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面に、第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、この第2の炭化珪素層上に前記高抵抗炭化珪素層よりも低抵抗の第1導電型の第3の炭化珪素層を形成する工程と、この第3の炭化珪素層の表面から前記第2の炭化珪素層にいたるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に前記第2の炭化珪素層よりも低抵抗の第2導電型の第4の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第4の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記第3の炭化珪素層にエミッタ電極を設け、前記アルミニウムを主成分とする膜にベース電極を設け、前記第1の炭化珪素層にコレクタ電極を設ける工程とを具備することを特徴とする高耐圧半導体の製造方法。
- 第1導電型の第1の炭化珪素層とこの第1の炭化珪素層よりも高抵抗の第1導電型の高抵抗炭化珪素層とが積層された構造を形成する工程と、前記高抵抗炭化珪素層の前記第1の炭化珪素層と反対側の面にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの底面に第2導電型の第2の炭化珪素層を形成する工程と、前記トレンチの側面に絶縁層パターンを形成する工程と、前記絶縁層パターンから露呈する前記第2の炭化珪素層に気相成長法によりアルミニウムを主成分とする膜を選択的に形成する工程と、前記トレンチに近接する前記高抵抗炭化珪素層に当該高抵抗炭化珪素層とショットキー接合をなす第1の電極を形成し、前記アルミニウムを主成分とする膜上に前記第1の電極と電気的に接続された制御電極を形成する工程と、前記第1の炭化珪素層に第2の電極を形成する工程とを具備することを特徴とする高耐圧半導体の製造方法。
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