JP2004273755A - 基板固定装置および基板固定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品実装装置の実装位置に配置されて基板13を下方から下受けして固定する基板固定装置において、開口部11aが設けられたキャリア11に基板13を保持させ、さらに部品実装位置13aに対応して開口部15aが設けられた基板当接部材15を基板13の上面に載置した状態で下受け部材5の上方に位置させる。下受け部材5によって基板13を下受けする際には、搬送レール10を下降させて下受け面7aを基板13の下面に当接させて吸着保持するとともに、吸着パッド8によって基板当接部材5に吸引力を作用させて基板13を下受け面に押し付けて固定する。これにより、様々な種類の基板を確実かつ簡易的な機構で固定することができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば電子部品実装装置において基板を下受けして固定する基板固定装置および基板固定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品実装装置では、基板に電子部品を実装する実装位置において基板の位置と姿勢を固定するための基板固定装置が用いられる。この基板固定装置では、基板を水平方向に位置決めするとともに、基板の反り変形を矯正して上面を正しく面合わせする必要がある。従来よりこの面合わせの方法として、基板の下面を支持する下受け部材によって基板を真空吸着する方法(例えば特許文献1参照)や、基板搬送用のキャリアに反り変形矯正用の基板押さえ部を設けたものを用いる方法などが知られている(例えば特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2002−134992号公報
【特許文献2】
特開平5−299828号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の方法には、次のような難点がある。まず、特許文献1に示すような真空吸着による方法は、基板の剛性がある程度以上あって姿勢保持が容易で、かつ基板に真空吸着を妨げる貫通孔が存在しないような基板に対しては有効であるものの、個片分割用のスリットが予め形成されたタイプの基板などに対しては適用が困難である。
【0005】
また特許文献2に示すような基板押さえ部を用いる方法では、基板の反りをある程度矯正することは可能であるものの、フレキシブル基板などフィルム状で薄く反り変形の大きい種類の基板に対しては、正しく面合わせした状態で基板を確実に固定することができない。このため形状や厚みの異なる種々の基板を対象とする場合には、ねじ式やばね式のクランプ機構などの基板押さえ機構を備えた専用治具を用いることも考えられるが、この場合は多種類の基板を簡易な機構で固定することが困難である。
【0006】
そこで本発明は、様々な種類の基板を確実かつ簡易的な機構で固定することができる基板固定装置および基板固定方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の基板固定装置は、作業位置において基板を下方から下受けして固定する基板固定装置であって、前記作業位置に配置され上面に前記基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材と、前記基板の上面に載置され下面が基板の上面に当接する基板当接部材と、前記下受け部材の上方に位置する前記基板当接部材に吸引力を作用させることにより前記基板を前記下受け面に押し付けて固定する吸引手段とを備えた。
【0008】
請求項2記載の基板固定装置は、請求項1記載の基板固定装置であって、前記基板当接部材は前記作業位置に基板を搬送する基板搬送手段に取り付けられ、この基板搬送手段に対して前記下受け部材を相対的に昇降させる昇降手段を備えた。
【0009】
請求項3記載の基板固定装置は、請求項1または2記載の基板固定装置であって、前記吸引手段は、前記基板当接部材を真空吸着するために前記下受け部材に設けられた吸引部およびこの吸引部から真空吸引する真空吸引手段である。
【0010】
請求項4記載の基板固定装置は、請求項3記載の基板固定装置であって、前記基板には基板を貫通する基板貫通孔が設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して前記基板当接部材を真空吸着する。
【0011】
請求項5記載の基板固定装置は、請求項4記載の基板固定装置であって、前記基板当接部材が可撓性部材である。
【0012】
請求項6記載の基板固定装置は、請求項1または2記載の基板固定装置であって、前記基板当接部材が磁性体であり、前記吸引手段は、前記基板当接部材を磁力により吸引するために前記下受け部材に設けられた引磁手段である。
【0013】
請求項7記載の基板固定方法は、作業位置において基板を下方から下受けして固定する基板固定方法であって、前記作業位置に配置され上面に前記基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材の上方に基板当接部材が上面に載置された基板を位置させる位置合わせ工程と、この下受け部材の上方に位置する前記基板当接部材に吸引手段によって吸引力を作用させることにより前記基板を前記下受け面に押し付けて固定する基板固定工程とを含む。
【0014】
請求項8記載の基板固定方法は、請求項7記載の基板固定方法であって、前記基板当接部材は、前記作業位置に基板を搬送する基板搬送手段に取り付けられ、前記基板固定工程に先立ってこの基板搬送手段に対して前記下受け部材を相対的に昇降させる基板昇降工程を含む。
【0015】
請求項9記載の基板固定方法は、請求項7または8記載の基板固定方法であって、前記基板固定工程において、前記下受け部材に設けられた吸引部から真空吸引することにより前記基板当接部材を真空吸着する。
【0016】
請求項10記載の基板固定方法は、請求項9記載の基板固定方法であって、前記基板には基板を貫通する基板貫通孔が設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して前記基板当接部材を真空吸着する。
【0017】
請求項11記載の基板固定方法は、請求項10記載の基板固定方法であって、前記基板当接部材が可撓性部材である。
【0018】
請求項12記載の基板固定方法は、請求項7または8記載の基板固定方法であって、前記基板当接部材が磁性体であり、前記基板固定工程において、前記下受け部材に設けられた引磁手段によって前記基板当接部材を磁力により吸引する。
【0019】
本発明によれば、作業位置に配置され基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材の上方に基板当接部材が上面に載置された基板を位置させ、基板当接部材に吸引手段によって吸引力を作用させて基板を下受け面に押し付けて固定することにより、様々な種類の基板を確実かつ簡易的な機構で固定することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の基板固定装置の斜視図、図2は本発明の実施の形態1の基板固定装置の側面図、図3は本発明の実施の形態1の基板固定装置の部分断面図である。
【0021】
まず図1を参照して基板固定装置の構造を説明する。この基板固定装置は、電子部品実装装置の実装位置(作業位置)に配置され、フレキシブル基板など薄くて撓み易い基板を下方から下受けして固定する機能を有するものである。図1において、Xテーブル2、Yテーブル3より成る移動テーブル1上にはベースプレート4が装着されており、ベースプレート4の上面の中央部には、基板を下受けして高さ位置を保持する下受け部材5が配設されている。
【0022】
下受け部材5は、矩形のブロック5aの上面に凸部7を設けた形状となっており、凸部7の周囲にはストッパピン6が立設されている。凸部7の上面は基板の下面に当接して下受けする下受け面7aとなっており、下受け面7aには、基板吸着用の吸着溝7bおよび後述する基板当接部材吸着用の吸着パッド8が設けられている。吸着溝7bおよび吸着パッド8は、吸引管17を介して真空吸引手段18に接続されている。
【0023】
ベースプレート4上面の下受け部材5の両側方には、シリンダ9が垂直姿勢で配設されており、シリンダ9のロッド9aはX方向に配設された搬送レール10に結合されている。搬送レール10上では薄いフィルム状の基板13を保持したキャリア11が図示しない搬送機構によって搬送され、実装位置に位置決めされる。基板13は、板状の基板当接部材15とキャリア11との間に挟み込まれた形で搬送され、この実装位置において、基板13の部品実装位置に13aには、基板当接部材15に設けられた開口部15aを介して電子部品16が実装ヘッド(図示省略)によって実装される。なお、図1においては、キャリア11を搬送レール10から、また基板当接部材15をキャリア11から離した状態を示している。搬送レール10は、基板13を搬送して位置決めする基板搬送手段となっている。
【0024】
シリンダ9を駆動することにより、搬送レール10はガイド部材10aによって案内されて上下動する。搬送レール10はキャリア11の両側部を下方から支持する支持部となっており、シリンダ9は、キャリア11に保持された基板13を下受け部材5に対して相対的に昇降させる昇降手段となっている。搬送レール10を下降させた状態では、キャリア11の下面はストッパピン6の上面に当接し、上下方向の位置が固定される。
【0025】
ここでキャリア11および基板13の上面に載置される基板当接部材15について説明する。キャリア11は矩形の板部材であり、中央部には下受け部材5の凸部7が挿通可能な開口部11aが設けられている。キャリア11のコーナ部には、位置決めピン12が立設されており、基板当接部材15に設けられた位置決め孔15bに位置決めピン12を挿通させることにより、基板当接部材15はキャリア11に対して位置決めされる。
【0026】
基板当接部材15には、開口部15aが設けられた範囲の対角位置に、位置決め孔15cが設けられている。キャリア11と基板当接部材15によって基板13を挟み込んだ状態では、キャリア11に設けられた位置決めピン14が基板13に設けられた位置決め孔および位置決め孔15cに嵌合し、これにより基板13は基板当接部材15に対して、さらにキャリア11に対して位置決めされる。
【0027】
そしてこの位置決め状態では、基板13の下面側は、両側端部のみをキャリア11によって下方から支持され、部品実装位置13aは開口部11aの中央部に位置し、その下面側は下方に露呈される。そして基板13の上面には、開口部15aの範囲を除いて基板当接部材15の下面が当接し、電子部品実装位置13aは開口部15aを介して上方に露呈される。
【0028】
キャリア11に設けられた開口部11aの長手方向寸法は、基板13の長さよりも大きく設定されている。このため、基板13をキャリア11に保持させた状態で開口部11aは完全には塞がれた状態とはならず、基板13の前後両側に吸着パッド8が挿通可能な大きさの開口が残存する。
【0029】
基板13をキャリア11に保持させた状態で搬送レール10を下降させると、下受け面7aはキャリア11の開口部11aを挿通してキャリア11上の基板13の下面に当接するとともに、吸着パッド8が基板13の前後両側に残存する開口を挿通して基板当接部材15の下面に当接する。
【0030】
下受け面7aの吸着溝7bは、基板13の各部品実装位置13aを囲む配列で配置されている。下受け面7aに基板13が当接した状態で真空吸引手段18を駆動することにより、基板13は下受け面7aに真空吸着され保持される。これとともに、基板当接部材15は吸着パッド8によって下面側から吸引され、この吸引力によって基板13は下受け面7aに押し付けられ固定される。このようにして位置決めされ、固定された基板13に対して電子部品16が実装される。
【0031】
上記構成において、吸着パッド8は基板当接部材5を真空吸着するために下受け部材5に設けられた吸引部となっている。そして吸着パッド8および真空吸引手段18は、下受け部材5の上方に位置する基板当接部材15に吸引力を作用させることにより、基板13を下受け面7aに押し付けて固定する吸引手段となっている。
【0032】
次に図2、図3を参照して基板固定方法について説明する。まず、基板13が載置され、さらにその上から基板当接部材15が装着されたキャリア11を搬送レール10によって搬送して図2(a)に示すように、実装位置に配置された下受け部材5上に位置させる(位置合わせ工程)。図3(a)は、このときのキャリア11および下受け部材5のY方向の断面を示しており、基板13の下方および基板13の前後両端側には吸着溝7b、吸着パッド8がそれぞれ位置している。
【0033】
図2(b)、図3(b)は、シリンダ9のロッド9aを没入させて搬送レール10を下降させ、吸引管17から真空吸引した状態を示している。この状態では、キャリア11の下面がストッパピン6の上端部に当接して支持され、搬送レール10から離れる。そして基板13の下面が吸着溝7bによって真空吸引されるとともに、基板当接部材15の下面には吸着パッド8が当接し、基板当接部材15には真空吸引による吸引力が作用する。そしてこの吸引力により、基板13は下受け面7aに押し付けられ固定される(基板固定工程)。
【0034】
これにより、フィルム状のフレキシブル基板など、薄くて撓みやすい基板13を対象とする場合にあっても、基板13を安定した状態で位置決めし、固定することができる。このとき、基板当接部材15の装着は、ねじやばねを用いた基板クランプ機構を必要とせず、単に位置決め孔によってキャリア11に位置合わせして載置するのみでよい。このためキャリア製作コストを低減するとともに、基板をキャリアにセットする際の作業を簡略化することができる。
【0035】
なお上記実施の形態では、基板13を吸引するための吸着溝7bと、基板当接部材15を吸引するための吸着パッド8を共通の真空吸引回路に接続して同時に真空吸引する例を示しているが、基板吸引用と基板当接部材吸引用とにそれぞれ個別の真空吸引回路を設けるようにしてもよい。これにより、基板と基板当接部材をそれぞれ適正吸引力・適正タイミングで吸引することができ、さらに安定した基板固定が実現される。以下に示す各実施の形態において、真空吸引によって基板および基板当接部材を固定する場合についても同様である。
【0036】
(実施の形態2)
図4は本発明の実施の形態2の基板固定装置の動作説明図である。本実施の形態2は、実施の形態1において予め基板13とともにキャリア11に装着される基板当接部材15を、実装位置に固定的に取り付けるようにしたものである。本実施の形態においては、基板13はキャリア11に保持され上面がフリーな状態で搬送される。
【0037】
図4(a)において、位置決めテーブル1上のベースプレート4には、実施の形態1と同様の下受け部材5が配置されており、下受け部材5の側方には、実施の形態1と同様に搬送レール10がシリンダ9によって昇降自在に配設されている。搬送レール10の下降時の高さ位置は、搬送レール10に設けられた位置決め部材21が、ベースプレートに設けられたストッパボルト20に当接することによって位置決めされる。
【0038】
下受け部材5の上方に位置する搬送レール10の上面には、フィルム状の可撓性部材よりなる基板当接部材15Aがボルト固定によって取り付けられている。搬送レール10には、上流側から搬送され基板当接部材15Aの下方に入り込んだキャリア11が位置決めされ、下受け部材5の上方に位置する(位置合わせ工程)。キャリア11には予め基板13がセットされており、基板13は、キャリア11に設けられた位置決めピン12によって、キャリア11に対して位置合わせされている。
【0039】
基板当接部材15Aには、図1に示す基板当接部材15と同様の開口部が設けられており、この開口部は実施の形態1に示す開口部15aと同様にキャリア11に保持された基板13の部品搭載位置13aに対応している。さらに基板当接部材15Aには、基板13の幅よりも外側に相当する位置に、基板当接部材15Aを構成する膜を蛇腹状に折り曲げた屈曲部22が長手方向に連続して設けられている。これにより屈曲部22より内側の基板当接部材15Aは、屈曲部22を介して上下方向の変位が許容されるようになっている。
【0040】
図4(b)は、シリンダ9のロッド9aを没入させて搬送レール10を下降させ、図2(b)と同様に吸着溝7bおよび吸着パッド8から真空吸引した状態を示している。搬送レール10を下降させることにより、まずキャリア11の下面がストッパピン6の上端部に当接して支持され、搬送レール10から離れる。そして位置決め部材21がストッパボルト20に当接し、搬送レール10が高さ方向に位置決めされる。
【0041】
これにより、基板13の下面が吸着溝7bによって真空吸引されるとともに、基板当接部材15Aの下面に吸着パッド8が当接し、基板当接部材15Aには真空吸引による吸引力が作用する。そしてこの吸引力により、基板当接部材15Aが下方に変位して基板13を下受け面7aに押し付け固定する(基板固定工程)。
【0042】
すなわち上記構成では、基板当接部材15Aは実装位置に基板13を搬送する搬送レール10に取り付けられ、この搬送レール10に対して下受け部材5を相対的に昇降させる昇降手段を備えた構成となっている。そして本実施の形態2における下受け部材5による基板固定においては、基板固定工程に先立って、搬送レール10を下降させて、搬送レール10に対して下受け部材5を相対的に昇降させる基板昇降工程を含む形態となっている。この構成によれば、基板13を保持するキャリア11に実施の形態1のような基板当接部材15をその都度載置する必要が無く、キャリア11への基板装着作業をさらに簡略化することができる。
【0043】
(実施の形態3)
図5は本実施の形態3の基板固定装置の部分斜視図である。図5は、図1に示す基板固定装置と同様の機能を有する基板固定装置を構成する各部のうち、下受け部材、キャリア、基板および基板当接部材のみを示しており、図外の位置決めテーブル、搬送レール、真空吸引手段などは、図1に示す実施の形態1と同様である。
【0044】
図5において、基板131には複数の部品搭載位置131aが形成されており、各部品搭載位置131aの両側にはスリット131cが長手方向に形成されている。基板131は実施の形態1と同様のキャリア11に保持され、基板131のキャリア11への位置決めは、基板131の位置決め穴131bにキャリア11の位置決めピン12を嵌合させることにより行われる。そして、部品搭載位置131aに対応した開口部151aが設けられた基板当接部材151は、同じ位置決めピン12を位置決め孔151bに嵌合させることによって、基板131の上面に位置合わせされ載置される。
【0045】
下受け部材51に設けられた凸部71の上面は基板131の下面に当接して下受けする下受け面71aとなっており、下受け面71aには、スリット131cの位置に対応して長手方向に連続した吸着溝71bが形成されている。下受け面71aによってキャリア11に保持された基板131を下受けして固定する際には、基板当接部材151とキャリア11との間に挟み込まれた状態の基板131の下面に対して、キャリア11の開口部11aを介して下受け面71aを当接させ、吸着溝71bから真空吸引する。
【0046】
これにより、下受け部材51に設けられた吸引部である吸着溝71bから、基板131のスリット131cを介して基板当接部材151に対して真空吸引による吸引力が作用する。そしてこの吸引力により、基板131は下受け面71aに押し付けられ固定される。すなわち、本実施の形態3においては、基板131には基板131を貫通する基板貫通孔としてのスリット131cが設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して基板当接部材151を真空吸着する形態となっている。
【0047】
(実施の形態4)
図6は本実施の形態4の基板固定装置の部分斜視図である。図6は、図1に示す基板固定装置と同様の機能を有する基板固定装置を構成する各部のうち、下受け部材、キャリア、基板および基板当接部材のみを示しており、図外の位置決めテーブル、搬送レールなどは、図1に示す実施の形態1と同様である。
【0048】
図6において、基板132には格子状に複数の部品搭載位置132aが形成されており、各部品搭載位置132aを区分する境界には、個片分割用のスリット132cが縦横方向に形成されている。基板131はキャリア11に保持され、基板132のキャリア11への位置決めは、基板132の位置決め穴132bにキャリア11の位置決めピン12を嵌合させることにより行われる。ここでキャリア11は非磁性の金属(例えばオーステナイト系ステンレス鋼など)を実施の形態1と同様の形状に加工したものである。
【0049】
基板132の上面に載置される基板当接部材152は、磁性体の金属(例えばマルテンサイト系ステンレス鋼など)で製作されている。基板当接部材152には部品搭載位置132aに対応した開口部152aが格子状に設けられており、基板当接部材152は、キャリア11の同じ位置決めピン12を位置決め孔152bに嵌合させることによって、基板132の上面に位置合わせされ載置される。
【0050】
下受け部材52に設けられた凸部72の上面は、基板132の下面に当接して下受けする下受け面72aとなっており、下受け面72aには複数のマグネット23が埋設されている。下受け部材52によってキャリア11に保持された基板132を下受けして固定する際には、基板当接部材152とキャリア11との間に挟み込まれた状態の基板132の下面に対して、キャリア11の開口部11aを介して下受け面72aを当接させる。
【0051】
これにより、下受け部材52に設けられた引磁手段であるマグネット23によって基板132を介して磁性体の基板当接部材152に対して吸引力としての磁力が作用する。そしてこの吸引力により、基板132は下受け面72aに押し付けられ固定される。すなわち、本実施の形態4においては、基板当接部材152が磁性体であり、マグネット23が基板152を磁力によって吸引する吸引手段となっている。
【0052】
(実施の形態5)
図7は本実施の形態5の基板固定装置の部分斜視図である。図7は、図1に示す基板固定装置と同様の機能を有する基板固定装置を構成する各部のうち、下受け部材、搬送レールに保持された基板および基板当接部材のみを示しており、図外の位置決めテーブルなどは、図1に示す実施の形態1と同様である。
【0053】
図7において、基板132Aは実施の形態4に示す基板132と同様に、格子状に複数の部品搭載位置132aが形成されており、各部品搭載位置132aを区分する境界には、個片分割用のスリット132cが縦横方向に形成されている。ここでは、部品搭載位置132a、スリット132cの図示を省略している(図6参照)。基板132Aは、搬送レール10上での搬送作業に十分な剛性を有しており、実施の形態4のようなキャリア11を用いることなく、実装位置への搬入・搬出が可能となっている。
【0054】
基板132Aの上面に載置される基板当接部材152Aは、基板当接部材152と同様に磁性体の金属で製作されており、基板当接部材152と同様の開口部152aが格子状に設けられている(図6参照)。基板当接部材152Aは、位置決めピン24を位置決め孔25に嵌合させることによって、基板132Aの上面に位置合わせされ載置される。
【0055】
下受け部材53に設けられた凸部73の上面は基板132Aの下面に当接して下受けする下受け面73aとなっており、下受け面73aには複数のマグネット23が埋設されている。下受け部材53によって基板132Aを下受けして固定する際には、上面に基板当接部材152Aが載置された状態の基板132Aの下面に対して下受け面73aを当接させる。
【0056】
これにより、下受け部材53に設けられた引磁手段であるマグネット23によって基板132Aを介して磁性体の基板当接部材152Aに対して吸引力としての磁力が作用する。そしてこの吸引力により、基板132Aは下受け面73aに押し付けられ固定される。すなわち、本実施の形態5においても、基板当接部材152Aが磁性体であり、マグネット23が基板152Aを磁力によって吸引する吸引手段となっている。
【0057】
(実施の形態6)
図8は本実施の形態6の基板固定装置の部分斜視図である。図8は、図1に示す基板固定装置と同様の機能を有する基板固定装置を構成する各部のうち、下受け部材、搬送レールの保持された状態の基板および基板当接部材のみを示しており、図外の位置決めテーブル、真空吸引手段などは、図1に示す実施の形態1と同様である。
【0058】
図8において、基板133は複数のアイランドが設けられたリードフレームであり、各アイランドには部品搭載位置133aが形成されており、各アイランドの周囲は切り欠き部133cが形成されている。基板133は搬送レール10上での搬送作業に十分な剛性を有しており、実施の形態1のようなキャリア11を用いることなく、実装位置への搬入・搬出が可能となっている。そして、部品搭載位置133aに対応した開口部153aが設けられた基板当接部材153は、位置決めピン26を基板133に設けられた位置決め孔133bに嵌合させることによって、基板133の上面に位置合わせされ載置される。
【0059】
下受け部材54に設けられた凸部74の上面は基板133の下面に当接して下受けする下受け面74aとなっており、下受け面74aには、切り欠き部133cの範囲に対応して連続した吸着用凹部74bが形成されている。吸着用凹部74b内には、真空吸引孔74cが開孔しており、真空吸引手段18(図1参照)を駆動することにより、吸着用凹部74b全体が真空吸引される。また吸着用凹部74bの底面には、部品搭載位置133aに対応した位置に下受け凸部74dが設けられている。
【0060】
下受け部材54によって基板133を下受けして固定する際には、下受け面74aを基板131の下面に当接させることにより、下受け凸部74dによって部品搭載位置133aの下面を支持し、この状態で吸着用凹部74bから真空吸引する。これにより、下受け部材54に設けられた吸引部である吸着用凹部74bから、基板133の切り欠き部133cを介して基板当接部材153に対して真空吸引による吸引力が作用する。そしてこの吸引力により、基板133は下受け面74aに押し付けられ固定される。
【0061】
すなわち、本実施の形態3においては、基板133には基板133を貫通する基板貫通孔としての切り欠き部133cが設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して基板当接部材153を真空吸着する形態となっている。
【0062】
(実施の形態7)
図9は本実施の形態7の基板固定装置の部分斜視図、図10は本発明の実施の形態7の基板固定装置に用いられるキャリアおよび基板の斜視図である。図9は、図1に示す基板固定装置と同様の機能を有する基板固定装置を構成する各部のうち、下受け部材、搬送レールの保持された状態の基板および基板当接部材のみを示しており、図外の位置決めテーブル、真空吸引手段などは、図1に示す実施の形態1と同様である。
【0063】
図9において、基板134に複数の部品搭載位置134aが形成されており、各部品搭載位置134aの周囲には、個片分割用のスリット134cが縦横方向に形成されている。基板134は搬送レール10上での搬送作業に十分な剛性を有しており、実施の形態1のようなキャリア11を用いることなく、実装位置への搬入・搬出が可能となっている。
【0064】
基板134の上面には、予め基板当接部材154が載置されており、基板当接部材154は、位置決めピン27を基板134に設けられた位置決め孔134bに嵌合させることによって、基板134に位置合わせされる。基板当接部材154は、金属製の枠部材の内部に可撓性に富む樹脂フィルム28を貼張した構成となっており、樹脂フィルム28には部品搭載位置134aに対応した開口部154aが設けられている。
【0065】
下受け部材54は、実施の形態6と同様の構成となっており、下受け部材54によって基板134を下受けして固定する際には、下受け面74aを基板134の下面に当接させることにより、下受け凸部74dによって部品搭載位置134aの下面を支持し、この状態で吸着用凹部74bから真空吸引する。これにより、下受け部材54に設けられた吸引部である吸着用凹部74bから基板134のスリット134cを介して、基板当接部材154の樹脂フィルム28に対して真空吸引による吸引力が作用する。そしてこの吸引力により、基板134は下受け面74aに押し付けられ固定される。
【0066】
すなわち、本実施の形態7においては、基板134には基板133を貫通する基板貫通孔としてのスリット134cが設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して、可撓性部材である樹脂フィルム28を真空吸着する形態となっている。なお本実施の形態7は、キャリアに保持させた基板に対しても適用可能である。
【0067】
例えば図10に示すように、実施の形態1に示すものと同様の開口部が設けられたキャリア11に基板134を保持させ、キャリア11の上面に基板134を押さえつけるための樹脂フィルム29を直接装着するようにしてもよい。基板134および樹脂フィルム29は、位置決めピン12によってキャリア11に位置合わせされる。位置決めピン12は樹脂フィルム29に設けられた位置決め孔29bに挿通する。基板134の下受け時には、スリット134cを介して樹脂フィルム29が真空吸引され、基板134を下受け面74aに押し付ける。そしてこの状態で樹脂フィルム29に設けられた開口部29aを介して電子部品が搭載される。
【0068】
上記各実施の形態において示したように、本発明の基板固定装置は、基板の上面に載置された基板当接部材に対して下受け部材に設けられた吸引手段によって吸引力を作用させることにより、基板を下受け部材に押し付けるようにしたものである。これにより、個片分割用のスリットが予め形成された基板であっても、確実に下受けして固定することができる。またフレキシブル基板などフィルム状で薄く反り変形の大きい種類の基板であっても、基板押さえ機構を備えた専用治具を用いること無く、反りを矯正した状態で固定することができ、様々な種類の基板を確実かつ簡易的な機構で固定することができる。
【0069】
【発明の効果】
本発明によれば、作業位置に配置され基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材の上方に基板当接部材が上面に載置された基板を位置させ、基板当接部材に吸引手段によって吸引力を作用させて基板を下受け面に押し付けて固定するようにしたので、様々な種類の基板を確実かつ簡易的な機構で固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の基板固定装置の斜視図
【図2】本発明の実施の形態1の基板固定装置の側面図
【図3】本発明の実施の形態1の基板固定装置の部分断面図
【図4】本発明の実施の形態2の基板固定装置の動作説明図
【図5】本発明の実施の形態3の基板固定装置の部分斜視図
【図6】本発明の実施の形態4の基板固定装置の部分斜視図
【図7】本発明の実施の形態5の基板固定装置の部分斜視図
【図8】本発明の実施の形態6の基板固定装置の部分斜視図
【図9】本発明の実施の形態7の基板固定装置の部分斜視図
【図10】本発明の実施の形態7の基板固定装置に用いられるキャリアおよび基板の斜視図
【符号の説明】
5、51,52,53,53、54 下受け部材
7a、71a、72a、73a、74a 下受け面
7b、71b、 吸着溝
9 シリンダ
10 搬送レール
11 キャリア
12 位置決めピン
13、131,132,133,134 基板
15,151,152,153,154 基板当接部材
18 真空吸引手段
23 マグネット
Claims (12)
- 作業位置において基板を下方から下受けして固定する基板固定装置であって、前記作業位置に配置され上面に前記基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材と、前記基板の上面に載置され下面が基板の上面に当接する基板当接部材と、前記下受け部材の上方に位置する前記基板当接部材に吸引力を作用させることにより前記基板を前記下受け面に押し付けて固定する吸引手段とを備えたことを特徴とする基板固定装置。
- 前記基板当接部材は前記作業位置に基板を搬送する基板搬送手段に取り付けられ、この基板搬送手段に対して前記下受け部材を相対的に昇降させる昇降手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の基板固定装置。
- 前記吸引手段は、前記基板当接部材を真空吸着するために前記下受け部材に設けられた吸引部およびこの吸引部から真空吸引する真空吸引手段であることを特徴とする請求項1または2記載の基板固定装置。
- 前記基板には基板を貫通する基板貫通孔が設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して前記基板当接部材を真空吸着することを特徴とする請求項3記載の基板固定装置。
- 前記基板当接部材が可撓性部材であることを特徴とする請求項4記載の基板固定装置。
- 前記基板当接部材が磁性体であり、前記吸引手段は、前記基板当接部材を磁力により吸引するために前記下受け部材に設けられた引磁手段であることを特徴とする請求項1または2記載の基板固定装置。
- 作業位置において基板を下方から下受けして固定する基板固定方法であって、前記作業位置に配置され上面に前記基板に当接して下受けする下受け面が設けられた下受け部材の上方に基板当接部材が上面に載置された基板を位置させる位置合わせ工程と、この下受け部材の上方に位置する前記基板当接部材に吸引手段によって吸引力を作用させることにより前記基板を前記下受け面に押し付けて固定する基板固定工程とを含むことを特徴とする基板固定方法。
- 前記基板当接部材は、前記作業位置に基板を搬送する基板搬送手段に取り付けられ、前記基板固定工程に先立ってこの基板搬送手段に対して前記下受け部材を相対的に昇降させる基板昇降工程を含むことを特徴とする請求項7記載の基板固定方法。
- 前記基板固定工程において、前記下受け部材に設けられた吸引部から真空吸引することにより前記基板当接部材を真空吸着することを特徴とする請求項7または8記載の基板固定方法。
- 前記基板には基板を貫通する基板貫通孔が設けられており、この基板貫通孔の少なくとも一部を介して前記基板当接部材を真空吸着することを特徴とする請求項9記載の基板固定方法。
- 前記基板当接部材が可撓性部材であることを特徴とする請求項10記載の基板固定方法。
- 前記基板当接部材が磁性体であり、前記基板固定工程において、前記下受け部材に設けられた引磁手段によって前記基板当接部材を磁力により吸引することを特徴とする請求項7または8記載の基板固定方法。
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