JP4084393B2 - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents
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なお、前記支持部は金属を有することが好ましい。
Claims (4)
- 基板上に電子部品を実装する部品実装装置において、
基板を搬送する基板搬送ユニットと、
前記基板搬送ユニットにより搬送された基板の縁部を支持するバックアップツールと、
前記基板を挟んで前記バックアップツールに対向して設けられ前記基板の縁部に電子部品を圧着する圧着ツールとを備え、
前記基板搬送ユニットは、搬送ステージと、この搬送ステージの縁部に設けられ前記基板の下面を吸着する複数の吸着パッドと、当該吸着パッドと別体を構成し、前記搬送ステージの縁部に設けられ前記吸着パッドと協働して前記基板の下面を支持する複数の支持部とを有し、
吸着パッドによる下方向への吸着力と支持部による上方向への反力とによって、基板の変形を矯正するとともに、支持部の上端の高さを基準として基板の高さを均一に保つことを特徴とする部品実装装置。 - 前記吸着パッドおよび前記支持部は各々、前記搬送ステージに対する前記吸着パッドおよび前記支持部の高さを調整するための機構を個別に有することを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置。
- 支持部は、金属を有することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の部品実装装置。
- 基板上に電子部品を実装する部品実装方法において、
搬送ステージに設けられた複数の吸着パッドと複数の支持部とにより当該搬送ステージ上で基板を支持する工程と、
前記搬送ステージ上で支持された前記基板の変形状態を測定する工程と、
測定された前記基板の変形状態に応じて、前記吸着パッドの吸着力、前記搬送ステージ上での前記吸着パッドの取付位置、前記搬送ステージ上での前記支持部の取付位置、および前記支持部の高さのうちの少なくとも一つを調整する工程と、
前記搬送ステージを移動させることにより、前記搬送ステージ上で支持されている前記基板を実装位置へ搬送する工程と、
前記実装位置へ搬送された前記基板上に部品を実装する工程とを含み、
前記搬送ステージ上で基板を支持する工程において、搬送ステージの縁部に設けられ前記基板の下面を吸着する複数の吸着パッドと、当該吸着パッドと別体を構成し、前記搬送ステージの縁部に設けられ前記吸着パッドと協働して前記基板の下面を支持する複数の支持部と、によって前記基板が支持され、
吸着パッドによる下方向への吸着力と支持部による上方向への反力とによって、基板の変形が矯正されるとともに、支持部の上端の高さを基準として基板の高さが均一に保たれることを特徴とする部品実装方法。
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