JP2004063645A - 半導体ウェハの保護部材剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハプロセスによって薄層化された半導体ウェハに貼着されるガラス基板等の保護部材を半導体ウェハにストレスや傷を付けずに確実且つ迅速に剥離することのできる半導体ウェハの保護部材剥離装置を提供することである。
【解決手段】ウェハ本体23に貼着された保護部材24を剥離する保護部材剥離装置21であって、前記保護部材24が貼着された半導体ウェハ22のウェハ本体23面を吸着するウェハチャック部25と、前記半導体ウェハ22の保護部材24面を吸着する保護部材チャック部26と、前記ウェハチャック部25及び保護部材チャック部26の吸着面を加熱するウェハ加熱装置と、前記保護部材チャック部26に備える保護部材チャックアーム33を前記半導体ウェハ22面と平行に移動させるスライド移動機構34とを備え、前記保護部材24をウェハ本体23から引き剥がすようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】ウェハ本体23に貼着された保護部材24を剥離する保護部材剥離装置21であって、前記保護部材24が貼着された半導体ウェハ22のウェハ本体23面を吸着するウェハチャック部25と、前記半導体ウェハ22の保護部材24面を吸着する保護部材チャック部26と、前記ウェハチャック部25及び保護部材チャック部26の吸着面を加熱するウェハ加熱装置と、前記保護部材チャック部26に備える保護部材チャックアーム33を前記半導体ウェハ22面と平行に移動させるスライド移動機構34とを備え、前記保護部材24をウェハ本体23から引き剥がすようにした。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バックグラインド等のウェハプロセスを終えた半導体ウェハに貼着された保護部材を剥離するための半導体ウェハの保護部材剥離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一枚の半導体ウェハから電子回路が形成された複数の半導体チップを形成する場合、前記半導体ウェハに対して、その裏面を機械的に研削して半導体ウェハを薄く加工するバックグラインド工程と、電子回路が形成されたチップ単位に半導体ウェハを切断するダイシング工程がある。これら各工程において、半導体ウェハを切削屑等から保護するために、バックグラインド工程では電子回路形成面に、また、ダイシング工程では電子回路形成面の裏面側にそれぞれ保護部材(粘着フィルム)が貼着される。
【0003】
そして、前記バックグランド工程やダイシング工程が終了した後、半導体ウェハ面に貼着している保護部材を取り除いている。この保護部材は、従来、紫外線硬化型フィルム等の薄い材質が使用され、半導体ウェハから剥がす際には、フィルムにVU照射し、粘着材の粘度を低下させた上でへら、ピンセット、ビニールテープ等の剥がし冶具で一端をめくり、そのまま引き剥がすといった方法がとられていた。
【0004】
一方、前記保護部材がガラス基板のような比較的厚みのある材料の場合は、固定台にセットした半導体ウェハ又は保護部材を加熱して粘着剤を軟化させ、アーム状の押し出し部材の先端を保護部材の側面に当てた状態でそのまま水平に押し出して半導体ウェハから離反させる剥離装置が知られている(特開平5−136016号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来から行われているような手作業でウェハに接着している保護部材を剥がす方法では、剥がす際にウェハをへらで傷を付けてしまうなどのおそれがあった。また、このような手作業で行う場合はウェハの厚みが250μm以上と厚いものに限度されるため、バックグラインド工程においては、ウェハ2の厚みが100μm以下、さらには50μm以下になるまで薄く研削されたウェハでは保護部材の剥離作業が非常に困難となってきている。
【0006】
そこで、本発明の目的は、バックグラインド工程等のウェハプロセスによって薄層化された半導体ウェハに貼着されているガラス基板等の保護部材を半導体ウェハにストレスや傷を付けずに確実且つ迅速に剥離することのできる半導体ウェハの保護部材剥離装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置は、半導体ウェハに貼着した保護部材を剥離する保護部材剥離装置であって、前記保護部材が貼着された半導体ウェハの一面を吸着する第1の吸着手段と、前記半導体ウェハの他面を吸着する第2の吸着手段と、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方に設けられた加熱手段と、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方を前記半導体ウェハ面と平行に移動させるスライド手段とを備え、前記保護部材を半導体ウェハから引き剥がすことを特徴とする。
【0008】
この発明によれば、ウェハ表面に接合されているガラス等の保護部材を剥がす際に、ウェハ面及び保護部材面をそれぞれ第1の吸着手段及び第2の吸着手段で吸着し、ウェハと保護部材とを接合している粘着剤を加熱手段によって粘着力を低下させた上で、スライド手段によってウェハと保護部材とを平行に引き剥がす構造であるため、ウェハ面を傷つけることなく、きれいに保護部材を剥離することができる。
【0009】
また、前記ウェハ面及び保護部材面を第1の吸着手段及び第2の吸着手段に備える多孔質部材で形成された吸着板を介して真空吸着させるので、ウェハ面にストレスを与えることなく安定した状態で吸着板に固定させることができる。また、吸着の解除も素早く行うことができる。
【0010】
また、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段のいずれか一方の吸着手段を固定にしておいて、ここに半導体ウェハ面を吸着する一方、他方の吸着手段をスライド可能にし、このスライド可能な吸着手段で前記半導体ウェハに貼着されている保護部材面を吸着しつつ引き剥がすようにすることで、電子回路が形成されている半導体ウェハ面に衝撃を与えずに保護部材を剥離させることができる。
【0011】
また、前記第1の吸着手段と第2の吸着手段の少なくとも一方に半導体ウェハと保護部材を接合させている粘着剤を溶融する加熱手段を備えることで、粘着剤の粘着力を弱めて半導体ウェハから保護部材を容易に剥離することができる。
【0012】
また、前記スライド手段に可動側の吸着手段の支持高さを調整する高さ調整機構を備えることで、前記固定側の吸着手段に吸着される半導体ウェハの高さに合わせて可動側の吸着手段を前記半導体ウェハ面と平行にセットすることができる。これによって、保護部材を半導体ウェハ面から剥離する操作がスムーズに行えると共に、半導体ウェハ面に対する衝撃を小さく抑えることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明の半導体ウェハの保護部材剥離装置(以下、単に剥離装置という)を説明する。図1は半導体ウェハの保護部材剥離装置の斜視図、図2は前記剥離装置の要部断面図、図3はウェハ面から保護部材を剥離する剥離工程を示す説明図である。
【0014】
本発明の剥離装置は、バックグラインド工程等のウェハプロセスでウェハ本体を加工する際に、前記ウェハ本体の表面を保護あるいは補強するために貼着されたガラス基板や保護シート等の保護部材をウェハプロセス終了後に剥離するものである。
【0015】
図1及び図2は前記剥離装置の構成を示したものである。この剥離装置21は、ウェハ本体23に保護部材24が貼着された半導体ウェハ22のウェハ本体23側を吸着する第1の吸着手段(ウェハチャック部25)と、前記保護部材24側を吸着する第2の吸着手段(保護部材チャック部26)と、前記ウェハチャック部25及び保護部材チャック部26にそれぞれ内蔵されている加熱手段(ウェハ加熱装置)及び前記保護部材チャック部26を移動させるスライド手段(スライド移動機構34)とを備えたものとなっている。
【0016】
前記ウェハチャック部25は、気密性を有するケース28と、このケース28の上部に配設されるウェハチャック台29とを備え、前記ケース28の内部には、半導体ウェハ22のウェハ本体23側を前記ウェハチャック台29に吸着する真空吸着手段及び前記ウェハチャック台29を加熱するウェハ加熱装置とが備えられている。前記真空吸着手段は、前記ケース28から延びる真空配管30と、この真空配管30の先方に接続される図示しない真空装置とで構成されている。前記ウェハチャック台29は、ウェハ本体23と略同形状の多孔質部材でできており、このウェハチャック台29の下方から前記真空吸着手段によって吸引されてウェハ本体23が動かないように固定される。ウェハ加熱装置は、前記ウェハチャック台29に載置されたウェハ本体23面を加熱してウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させるために設けられている。
【0017】
保護部材チャック部26は、半導体ウェハ22の保護部材24側を吸着する保護部材チャックアーム33と、この保護部材チャックアーム33を前記ウェハチャック台29に対して接近あるいは離反させる方向に可動させるスライド移動機構34とを備えた構造となっている。
【0018】
前記保護部材チャックアーム33は、気密性を備えた円盤状の吸着部35と、この吸着部35の一端から延びる支持部36とで一体形成されている。前記吸着部35は、片面に保護部材24面を吸着するための保護部材吸着板37が設けられている。この保護部材吸着板37は、前記ウェハチャック台29と同様に多孔質部材で構成されており、保護部材チャックアーム33内から延びる真空配管38を介して外部に繋がる真空ポンプで吸引される仕組みになっている。また、前記保護部材吸着板37には前記ウェハチャック部25と同様に、加熱装置が設けられ、吸着される保護部材24を一定温度に保持する。なお、前記保護部材吸着板37を加熱するのは、前記ウェハチャック部25の加熱によってウェハ本体23と保護部材24との間に介在しているワックス31の溶融を阻害しないようにするためのものであるので、加熱温度はウェハチャック台29と同等か、それ以下に設定される。図2に示される保護部材チャックアーム33は、剥離操作直前の状態を示したものである。剥離操作を行う場合は、保護部材吸着板37が上向きになっている状態から保護部材チャックアーム33を180度回転して、前記保護部材吸着板37面がウェハチャック台29と平行になるように保持する。そして、そのままウェハチャック台29に載置されている半導体ウェハ22の保護部材24に向けてスライド移動させて吸着を行う。
【0019】
スライド移動機構34は、前記保護部材チャックアーム33を前記ウェハチャック台29に向けて平行移動させるスライド台39と、前記保護部材チャックアーム33を反転させるアーム反転部40とを備え、前記ウェハチャック部25に近接して配設されるスライド移動本体部41に組み込まれている。前記スライド台39は、保護部材チャックアーム33の支持部36が回転可能に軸支持されると共に、スライド移動本体部41内に水平方向に延びるガイドバー42に沿ってスライドして、前記保護部材チャックアーム33をウェハチャック部25に接近させたり、離反させたりする構造になっている。前記保護部材チャックアーム33によって保護部材24を剥離する際、保護部材吸着板37と保護部材24とが平行状態を維持していないと引き離すときにウェハ本体23を傷つけるおそれがある。このため、ウェハチャック台29にセットした半導体ウェハ22の厚みに応じて、前記保護部材チャックアーム33を水平に保持させるための高さ調整機構(高さ調整ネジ)が備えられている。この高さ調整ネジによって、スライド台39に保持される保護部材チャックアーム33の支持部36の高さを半導体ウェハ22の高さに合わせて可変調整することができる。
【0020】
次に、半導体ウェハ22を前記剥離装置21によって、ウェハ本体23から保護部材24を引き剥がすための剥離作業工程を図3に基づいて説明する。まず、バックグラインド等のウェハプロセスを経て搬送された半導体ウェハ22をウェハチャック部25のウェハチャック台29に載置する。前記半導体ウェハ22は、ウェハ本体23面を下にした状態で前記ウェハチャック台29に置かれる(工程1)。前記載置したウェハ本体23面を真空吸引してウェハチャック台29に吸着すると同時に加熱して、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させる(工程2)。前記ワックス31はエレクトロンワックスと呼ばれる熱硬化型の粘着剤であり、約130℃の温度で1分程度加熱させることで軟化した状態となる。次に、保護部材チャック部26に備わる保護部材チャックアーム33をスライド移動させて吸着部35をウェハチャック台29の真上に移動させる(工程3)。このスライド移動の際には保護部材チャックアーム33内の加熱装置によって保護部材吸着板37を一定温度に加熱した状態にしておく。そして、載置されている半導体ウェハ22の保護部材24上に前記保護部材吸着板37が接するようにして載置した後、真空吸引して保護部材24面を保護部材吸着板37に吸着する(工程4)。次に、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31が溶融した状態で、ウェハチャック部25及び保護部材チャックアーム33の真空吸引を維持しながら前記保護部材チャックアーム33をウェハ本体23面と平行方向にウェハチャック台29から離反させる(工程5)。このように、前記ワックス31が溶融した段階で前記保護部材チャックアーム33を操作することで、ウェハ本体23と保護部材24との間に無理な力が入らず両者をきれいに分離することができる。最後にウェハチャック部25及び保護部材チャックアーム33による真空引きを停止させて、分離されたウェハ本体23及び保護部材24を所定の収納領域に排出する(工程6)。なお、前記分離されたウェハ本体23の表面にワックス31が残留している場合があるので、洗浄装置に移送してワックス31を完全に除去する。一方、保護部材24はまとめて回収された後、洗浄してから再利用される。
【0021】
前記剥離工程によれば、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させた状態で、ウェハ本体23面及び保護部材24面をウェハチャック台29及び保護部材チャックアーム33によってそのまま平行移動させながら分離しているので、ウェハ本体23にストレスを掛けずに剥離作業が行える。なお、本実施形態の剥離装置21は、半導体ウェハ22のウェハ本体23面をウェハチャック部25で吸着し、保護部材24面を保護部材チャック部26で吸着させたが、前記ウェハチャック部25で保護部材24面を吸着し、保護部材チャック部26でウェハ本体23面を吸着させて剥離するといった使用方法も可能である。
【0022】
上記示した剥離装置21は、半導体ウェハ22のセット、剥離工程及び剥離したウェハ本体23と保護部材24の排出を手動で行わせる構成であるが、これを全て自動で行わせる構成にすることができる。例えば、バックグラインド工程を終えた半導体ウェハ22を複数枚スタックした保護部材付ウェハ格納カセットと、前記剥離装置21によって剥離されたウェハ本体23と保護部材24とをそれぞれ格納するウェハ格納カセット及び保護部材回収カセットとを装置本体に配設し、搬送アームで各処理台上や各カセット間を移動するような構成にすれば、人手を介さずにウェハ本体23と保護部材24とを剥離することが可能となる。
【0023】
上記実施形態では半導体ウェハとしてガリウムヒ素ウェハを用いたが、ガリウムヒ素以外にもシリコン、セレン,ゲルマニウムなどの酸化物で構成されたウェハ等にも応用可能であり、ウェハチャック部及び保護部材チャック部の構成要素を大型化すれば、8インチ以上の大口径ウェハにも同様の剥離装置構成で対応が可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置によれば、ウェハ表面に接合されているガラス等の保護部材を剥がす際に、ウェハ面及び保護部材面の双方に対してそれぞれ真空吸引して引き剥がす構造になっているので、剥離作業を行っている最中に位置ずれを起こさずきれいに剥離することができる。
【0025】
また、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方に半導体ウェハのウェハ本体面と保護部材面とを接合している粘着剤を溶融する加熱手段を備えることで、粘着剤の粘着力を弱めることができる。そして、前記粘着力が弱まった状態でウェハ本体面及び保護部材面をそれぞれ第1の吸着手段と第2の吸着手段によって挟持されながらスライド剥離させるため、ウェハ本体面にストレスを与えることなく、迅速且つ確実に保護部材を剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置の斜視図である。
【図2】上記剥離装置の要部断面図である。
【図3】上記剥離装置を用いた剥離手順を示す工程図である。
【符号の説明】
21 剥離装置(半導体ウェハの保護部材剥離装置)
22 半導体ウェハ
23 ウェハ本体
24 保護部材
25 ウェハチャック部
26 保護部材チャック部
29 ウェハチャック台
31 ワックス
33 保護部材チャックアーム
34 スライド移動機構
37 保護部材吸着板
【発明の属する技術分野】
本発明は、バックグラインド等のウェハプロセスを終えた半導体ウェハに貼着された保護部材を剥離するための半導体ウェハの保護部材剥離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一枚の半導体ウェハから電子回路が形成された複数の半導体チップを形成する場合、前記半導体ウェハに対して、その裏面を機械的に研削して半導体ウェハを薄く加工するバックグラインド工程と、電子回路が形成されたチップ単位に半導体ウェハを切断するダイシング工程がある。これら各工程において、半導体ウェハを切削屑等から保護するために、バックグラインド工程では電子回路形成面に、また、ダイシング工程では電子回路形成面の裏面側にそれぞれ保護部材(粘着フィルム)が貼着される。
【0003】
そして、前記バックグランド工程やダイシング工程が終了した後、半導体ウェハ面に貼着している保護部材を取り除いている。この保護部材は、従来、紫外線硬化型フィルム等の薄い材質が使用され、半導体ウェハから剥がす際には、フィルムにVU照射し、粘着材の粘度を低下させた上でへら、ピンセット、ビニールテープ等の剥がし冶具で一端をめくり、そのまま引き剥がすといった方法がとられていた。
【0004】
一方、前記保護部材がガラス基板のような比較的厚みのある材料の場合は、固定台にセットした半導体ウェハ又は保護部材を加熱して粘着剤を軟化させ、アーム状の押し出し部材の先端を保護部材の側面に当てた状態でそのまま水平に押し出して半導体ウェハから離反させる剥離装置が知られている(特開平5−136016号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来から行われているような手作業でウェハに接着している保護部材を剥がす方法では、剥がす際にウェハをへらで傷を付けてしまうなどのおそれがあった。また、このような手作業で行う場合はウェハの厚みが250μm以上と厚いものに限度されるため、バックグラインド工程においては、ウェハ2の厚みが100μm以下、さらには50μm以下になるまで薄く研削されたウェハでは保護部材の剥離作業が非常に困難となってきている。
【0006】
そこで、本発明の目的は、バックグラインド工程等のウェハプロセスによって薄層化された半導体ウェハに貼着されているガラス基板等の保護部材を半導体ウェハにストレスや傷を付けずに確実且つ迅速に剥離することのできる半導体ウェハの保護部材剥離装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置は、半導体ウェハに貼着した保護部材を剥離する保護部材剥離装置であって、前記保護部材が貼着された半導体ウェハの一面を吸着する第1の吸着手段と、前記半導体ウェハの他面を吸着する第2の吸着手段と、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方に設けられた加熱手段と、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方を前記半導体ウェハ面と平行に移動させるスライド手段とを備え、前記保護部材を半導体ウェハから引き剥がすことを特徴とする。
【0008】
この発明によれば、ウェハ表面に接合されているガラス等の保護部材を剥がす際に、ウェハ面及び保護部材面をそれぞれ第1の吸着手段及び第2の吸着手段で吸着し、ウェハと保護部材とを接合している粘着剤を加熱手段によって粘着力を低下させた上で、スライド手段によってウェハと保護部材とを平行に引き剥がす構造であるため、ウェハ面を傷つけることなく、きれいに保護部材を剥離することができる。
【0009】
また、前記ウェハ面及び保護部材面を第1の吸着手段及び第2の吸着手段に備える多孔質部材で形成された吸着板を介して真空吸着させるので、ウェハ面にストレスを与えることなく安定した状態で吸着板に固定させることができる。また、吸着の解除も素早く行うことができる。
【0010】
また、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段のいずれか一方の吸着手段を固定にしておいて、ここに半導体ウェハ面を吸着する一方、他方の吸着手段をスライド可能にし、このスライド可能な吸着手段で前記半導体ウェハに貼着されている保護部材面を吸着しつつ引き剥がすようにすることで、電子回路が形成されている半導体ウェハ面に衝撃を与えずに保護部材を剥離させることができる。
【0011】
また、前記第1の吸着手段と第2の吸着手段の少なくとも一方に半導体ウェハと保護部材を接合させている粘着剤を溶融する加熱手段を備えることで、粘着剤の粘着力を弱めて半導体ウェハから保護部材を容易に剥離することができる。
【0012】
また、前記スライド手段に可動側の吸着手段の支持高さを調整する高さ調整機構を備えることで、前記固定側の吸着手段に吸着される半導体ウェハの高さに合わせて可動側の吸着手段を前記半導体ウェハ面と平行にセットすることができる。これによって、保護部材を半導体ウェハ面から剥離する操作がスムーズに行えると共に、半導体ウェハ面に対する衝撃を小さく抑えることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明の半導体ウェハの保護部材剥離装置(以下、単に剥離装置という)を説明する。図1は半導体ウェハの保護部材剥離装置の斜視図、図2は前記剥離装置の要部断面図、図3はウェハ面から保護部材を剥離する剥離工程を示す説明図である。
【0014】
本発明の剥離装置は、バックグラインド工程等のウェハプロセスでウェハ本体を加工する際に、前記ウェハ本体の表面を保護あるいは補強するために貼着されたガラス基板や保護シート等の保護部材をウェハプロセス終了後に剥離するものである。
【0015】
図1及び図2は前記剥離装置の構成を示したものである。この剥離装置21は、ウェハ本体23に保護部材24が貼着された半導体ウェハ22のウェハ本体23側を吸着する第1の吸着手段(ウェハチャック部25)と、前記保護部材24側を吸着する第2の吸着手段(保護部材チャック部26)と、前記ウェハチャック部25及び保護部材チャック部26にそれぞれ内蔵されている加熱手段(ウェハ加熱装置)及び前記保護部材チャック部26を移動させるスライド手段(スライド移動機構34)とを備えたものとなっている。
【0016】
前記ウェハチャック部25は、気密性を有するケース28と、このケース28の上部に配設されるウェハチャック台29とを備え、前記ケース28の内部には、半導体ウェハ22のウェハ本体23側を前記ウェハチャック台29に吸着する真空吸着手段及び前記ウェハチャック台29を加熱するウェハ加熱装置とが備えられている。前記真空吸着手段は、前記ケース28から延びる真空配管30と、この真空配管30の先方に接続される図示しない真空装置とで構成されている。前記ウェハチャック台29は、ウェハ本体23と略同形状の多孔質部材でできており、このウェハチャック台29の下方から前記真空吸着手段によって吸引されてウェハ本体23が動かないように固定される。ウェハ加熱装置は、前記ウェハチャック台29に載置されたウェハ本体23面を加熱してウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させるために設けられている。
【0017】
保護部材チャック部26は、半導体ウェハ22の保護部材24側を吸着する保護部材チャックアーム33と、この保護部材チャックアーム33を前記ウェハチャック台29に対して接近あるいは離反させる方向に可動させるスライド移動機構34とを備えた構造となっている。
【0018】
前記保護部材チャックアーム33は、気密性を備えた円盤状の吸着部35と、この吸着部35の一端から延びる支持部36とで一体形成されている。前記吸着部35は、片面に保護部材24面を吸着するための保護部材吸着板37が設けられている。この保護部材吸着板37は、前記ウェハチャック台29と同様に多孔質部材で構成されており、保護部材チャックアーム33内から延びる真空配管38を介して外部に繋がる真空ポンプで吸引される仕組みになっている。また、前記保護部材吸着板37には前記ウェハチャック部25と同様に、加熱装置が設けられ、吸着される保護部材24を一定温度に保持する。なお、前記保護部材吸着板37を加熱するのは、前記ウェハチャック部25の加熱によってウェハ本体23と保護部材24との間に介在しているワックス31の溶融を阻害しないようにするためのものであるので、加熱温度はウェハチャック台29と同等か、それ以下に設定される。図2に示される保護部材チャックアーム33は、剥離操作直前の状態を示したものである。剥離操作を行う場合は、保護部材吸着板37が上向きになっている状態から保護部材チャックアーム33を180度回転して、前記保護部材吸着板37面がウェハチャック台29と平行になるように保持する。そして、そのままウェハチャック台29に載置されている半導体ウェハ22の保護部材24に向けてスライド移動させて吸着を行う。
【0019】
スライド移動機構34は、前記保護部材チャックアーム33を前記ウェハチャック台29に向けて平行移動させるスライド台39と、前記保護部材チャックアーム33を反転させるアーム反転部40とを備え、前記ウェハチャック部25に近接して配設されるスライド移動本体部41に組み込まれている。前記スライド台39は、保護部材チャックアーム33の支持部36が回転可能に軸支持されると共に、スライド移動本体部41内に水平方向に延びるガイドバー42に沿ってスライドして、前記保護部材チャックアーム33をウェハチャック部25に接近させたり、離反させたりする構造になっている。前記保護部材チャックアーム33によって保護部材24を剥離する際、保護部材吸着板37と保護部材24とが平行状態を維持していないと引き離すときにウェハ本体23を傷つけるおそれがある。このため、ウェハチャック台29にセットした半導体ウェハ22の厚みに応じて、前記保護部材チャックアーム33を水平に保持させるための高さ調整機構(高さ調整ネジ)が備えられている。この高さ調整ネジによって、スライド台39に保持される保護部材チャックアーム33の支持部36の高さを半導体ウェハ22の高さに合わせて可変調整することができる。
【0020】
次に、半導体ウェハ22を前記剥離装置21によって、ウェハ本体23から保護部材24を引き剥がすための剥離作業工程を図3に基づいて説明する。まず、バックグラインド等のウェハプロセスを経て搬送された半導体ウェハ22をウェハチャック部25のウェハチャック台29に載置する。前記半導体ウェハ22は、ウェハ本体23面を下にした状態で前記ウェハチャック台29に置かれる(工程1)。前記載置したウェハ本体23面を真空吸引してウェハチャック台29に吸着すると同時に加熱して、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させる(工程2)。前記ワックス31はエレクトロンワックスと呼ばれる熱硬化型の粘着剤であり、約130℃の温度で1分程度加熱させることで軟化した状態となる。次に、保護部材チャック部26に備わる保護部材チャックアーム33をスライド移動させて吸着部35をウェハチャック台29の真上に移動させる(工程3)。このスライド移動の際には保護部材チャックアーム33内の加熱装置によって保護部材吸着板37を一定温度に加熱した状態にしておく。そして、載置されている半導体ウェハ22の保護部材24上に前記保護部材吸着板37が接するようにして載置した後、真空吸引して保護部材24面を保護部材吸着板37に吸着する(工程4)。次に、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31が溶融した状態で、ウェハチャック部25及び保護部材チャックアーム33の真空吸引を維持しながら前記保護部材チャックアーム33をウェハ本体23面と平行方向にウェハチャック台29から離反させる(工程5)。このように、前記ワックス31が溶融した段階で前記保護部材チャックアーム33を操作することで、ウェハ本体23と保護部材24との間に無理な力が入らず両者をきれいに分離することができる。最後にウェハチャック部25及び保護部材チャックアーム33による真空引きを停止させて、分離されたウェハ本体23及び保護部材24を所定の収納領域に排出する(工程6)。なお、前記分離されたウェハ本体23の表面にワックス31が残留している場合があるので、洗浄装置に移送してワックス31を完全に除去する。一方、保護部材24はまとめて回収された後、洗浄してから再利用される。
【0021】
前記剥離工程によれば、ウェハ本体23と保護部材24とを接合しているワックス31を溶融させた状態で、ウェハ本体23面及び保護部材24面をウェハチャック台29及び保護部材チャックアーム33によってそのまま平行移動させながら分離しているので、ウェハ本体23にストレスを掛けずに剥離作業が行える。なお、本実施形態の剥離装置21は、半導体ウェハ22のウェハ本体23面をウェハチャック部25で吸着し、保護部材24面を保護部材チャック部26で吸着させたが、前記ウェハチャック部25で保護部材24面を吸着し、保護部材チャック部26でウェハ本体23面を吸着させて剥離するといった使用方法も可能である。
【0022】
上記示した剥離装置21は、半導体ウェハ22のセット、剥離工程及び剥離したウェハ本体23と保護部材24の排出を手動で行わせる構成であるが、これを全て自動で行わせる構成にすることができる。例えば、バックグラインド工程を終えた半導体ウェハ22を複数枚スタックした保護部材付ウェハ格納カセットと、前記剥離装置21によって剥離されたウェハ本体23と保護部材24とをそれぞれ格納するウェハ格納カセット及び保護部材回収カセットとを装置本体に配設し、搬送アームで各処理台上や各カセット間を移動するような構成にすれば、人手を介さずにウェハ本体23と保護部材24とを剥離することが可能となる。
【0023】
上記実施形態では半導体ウェハとしてガリウムヒ素ウェハを用いたが、ガリウムヒ素以外にもシリコン、セレン,ゲルマニウムなどの酸化物で構成されたウェハ等にも応用可能であり、ウェハチャック部及び保護部材チャック部の構成要素を大型化すれば、8インチ以上の大口径ウェハにも同様の剥離装置構成で対応が可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置によれば、ウェハ表面に接合されているガラス等の保護部材を剥がす際に、ウェハ面及び保護部材面の双方に対してそれぞれ真空吸引して引き剥がす構造になっているので、剥離作業を行っている最中に位置ずれを起こさずきれいに剥離することができる。
【0025】
また、前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方に半導体ウェハのウェハ本体面と保護部材面とを接合している粘着剤を溶融する加熱手段を備えることで、粘着剤の粘着力を弱めることができる。そして、前記粘着力が弱まった状態でウェハ本体面及び保護部材面をそれぞれ第1の吸着手段と第2の吸着手段によって挟持されながらスライド剥離させるため、ウェハ本体面にストレスを与えることなく、迅速且つ確実に保護部材を剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ウェハの保護部材剥離装置の斜視図である。
【図2】上記剥離装置の要部断面図である。
【図3】上記剥離装置を用いた剥離手順を示す工程図である。
【符号の説明】
21 剥離装置(半導体ウェハの保護部材剥離装置)
22 半導体ウェハ
23 ウェハ本体
24 保護部材
25 ウェハチャック部
26 保護部材チャック部
29 ウェハチャック台
31 ワックス
33 保護部材チャックアーム
34 スライド移動機構
37 保護部材吸着板
Claims (6)
- 半導体ウェハに貼着した保護部材を剥離する保護部材剥離装置であって、
前記保護部材が貼着された半導体ウェハの一面を吸着する第1の吸着手段と、前記半導体ウェハの他面を吸着する第2の吸着手段と、
前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方に設けられた加熱手段と、
前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の少なくとも一方を前記半導体ウェハ面と平行に移動させるスライド手段とを備え、前記保護部材を半導体ウェハから引き剥がすことを特徴とする半導体ウェハの保護部材剥離装置。 - 前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段は、多孔質部材で形成された吸着板を備え、この吸着板を介して半導体ウェハを真空吸着する請求項1記載の半導体ウェハの保護部材剥離装置。
- 前記第1の吸着手段及び第2の吸着手段の一方が固定で、他方が前記スライド手段によって可動する請求項1記載の半導体ウェハの保護部材剥離装置。
- 前記保護部材が貼着された半導体ウェハは、前記固定側の吸着手段によって半導体ウェハ面が吸着され、可動側の吸着手段によって保護部材面が吸着される請求項3記載の半導体ウェハの保護部材剥離装置。
- 前記加熱手段は、前記固定側及び可動側の吸着手段の少なくとも一方の吸着手段に設けられる請求項1又は3記載の半導体ウェハの保護部材剥離装置。
- 前記スライド手段は、前記固定側の吸着手段に載置される半導体ウェハの高さに合わせて、可動側の吸着手段の高さを調整する高さ調整機構を備えてなる請求項1,3,5のいずれかに記載の半導体ウェハの保護部材剥離装置。
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