JP2008258412A - シリコンウエハの個片化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】DBG法によりシリコンウエハを個片化する際において、裏面にダイアタッチフィルムが貼着された状態で個片化されたシリコンチップを得る。
【解決手段】シリコンウエハの回路形成面に保護材を貼付し、保護材貼付面と対向面からシリコンウエハを研削し、シリコンウエハの研削面にダイアタッチフィルムを貼付し、ダイアタッチフィルム上にウエハ保持材を接着し、保護材を除去し、シリコンウエハの回路形成面側からウエハ保持材に切断刃が到達するようにシリコンウエハを個片のチップにダイシングし、チップの回路形成面に保護材を貼付し、ウエハ保持材をダイアタッチフィルムが出るまで研削し、ダイアタッチフィルムに保持テープを貼付し、ダイアタッチフィルムと共にチップを保持テープに転写させ、チップから保護材を除去する。
【選択図】図1
【解決手段】シリコンウエハの回路形成面に保護材を貼付し、保護材貼付面と対向面からシリコンウエハを研削し、シリコンウエハの研削面にダイアタッチフィルムを貼付し、ダイアタッチフィルム上にウエハ保持材を接着し、保護材を除去し、シリコンウエハの回路形成面側からウエハ保持材に切断刃が到達するようにシリコンウエハを個片のチップにダイシングし、チップの回路形成面に保護材を貼付し、ウエハ保持材をダイアタッチフィルムが出るまで研削し、ダイアタッチフィルムに保持テープを貼付し、ダイアタッチフィルムと共にチップを保持テープに転写させ、チップから保護材を除去する。
【選択図】図1
Description
本発明はシリコンウエハの個片化方法に関し、より詳細には、先ダイシング法に用いて好適なシリコンウエハの個片化方法に関する。
半導体装置に用いられるシリコンウエハは、半導体装置の生産性向上のため大径化および薄型化が進んでいる。このような大径化および薄型化したシリコンウエハを破損させることなく個片化するための加工方法として、先ダイシング(DBG:Dicing Before Grinding)法(以下、単にDBG法という)が広く用いられている。
DBG法は、シリコンウエハを個片化する際において、シリコンウエハをねらい通りの厚さ寸法に研削する前に、シリコンウエハを回路形成面側からハーフカットし、シリコンウエハの裏面側からハーフカットした位置まで研削して、シリコンウエハを所定の厚さ寸法に整えると同時に、シリコンウエハを個片化するシリコンウエハの個片化方法である。DBG法により個片化されたシリコンチップは、接着剤を用いてリードフレーム等の配線基板に接合されて半導体装置に形成される。このように、DBG法により個片化されたシリコンチップは、配線基板との接合面に接着剤を後付けして搭載される。
特開2000−294522号公報
半導体装置の小型化にともなって、シリコンウエハもまたさらに細かく個片化されるようになってきた。したがってDBG法によってシリコンウエハを個片化する方法の場合は、個々のシリコンチップに個別に接着剤を塗布しなければならないから、シリコンチップの接合面に接着剤を均一に塗布する作業が非常に煩雑であるという課題がある。
また、半導体装置にはシリコンチップを積み重ねて搭載する形態の製品もある。このような製品では、シリコンチップを平坦に積み重ねる必要があるから、接着剤のかわりにダイアタッチフィルムなどの両面粘着フィルムを用いて接着する方法が用いられるようになった。しかしながら、従来のDBG法では、シリコンウエハを個片化することは可能であっても、ダイアタッチフィルムを貼着した状態で個片化することは不可能である。そこで個片化したシリコンウエハのそれぞれにダイアタッチフィルムを貼り付ける必要が生じるが、シリコンチップへダイアタッチフィルムを貼り付る作業はきわめて非効率的である。
また、DBG法では、シリコンウエハは研削加工によりねらいとする厚さ寸法に整えられて個片化されるが、研削加工を施すことによってシリコンウエハの研削面に破砕層が形成されひずみが残留してしまう。この残留ひずみによりシリコンチップの抗折強度が低下してしまうため、研削加工後に研磨加工を施して残留ひずみを取り除く(ストレスリリーフ)工程がなされる場合がある。しかしながらこの研磨加工は個片化されたシリコンチップの表面を研磨することになるから、保持シートに支持されているシリコンチップ間の溝内にコンタミが堆積してしまい、研磨加工が的確に行うことができないといった課題や、研磨加工によりチップ剥がれが生じ、歩留まりが低下するといった課題も有している。
そこで本願発明は、DBG法によりシリコンウエハを個片化する際において、裏面にダイアタッチフィルムが貼着された状態で個片化されたシリコンチップを得ることができると共に、歩留まりを低下させることなくシリコンウエハを容易に研磨加工することができるシリコンウエハの個片化方法の提供を目的としている。
本発明は、シリコンウエハの回路形成面に第1の保護材を貼付した後、該第1の保護材を貼付した面と対向する側の面から前記シリコンウエハを研削する工程と、該シリコンウエハの研削面にダイアタッチフィルムを貼付し、次いで該ダイアタッチフィルム上にウエハ保持材を接着し、前記第1の保護材を除去する工程と、前記シリコンウエハの回路形成面側から前記ウエハ保持材に切断刃が到達するように前記シリコンウエハを個片のチップにダイシングする工程と、前記ウエハ保持材に保持されたすべてのチップにわたってチップの回路形成面に第2の保護材を貼付する工程と、前記ウエハ保持材を前記ダイアタッチフィルムがあらわれるまで研削した後、前記ダイアタッチフィルムに保持テープを貼付し、前記ダイアタッチフィルムと共に前記チップを前記保持テープに転写させる工程と、前記チップから前記第2の保護材を除去する工程と、を有していることを特徴とするシリコンウエハの個片化方法である。
また、前記シリコンウエハを研削する工程が、前記シリコンウエハを研削する工程と、該研削後に研磨する工程からなることを特徴とする。かかる研磨工程は、ドライポリッシングによるものであることが好ましい。これにより、抗折強度を向上させるためにシリコンチップに研磨加工を施しても、シリコンチップ間に形成された溝内へのコンタミ堆積を防ぐことができ、効率的かつ高精度な研磨加工を施すことができる。
また、前記ウエハ保持材として、ベアシリコンウエハを使用することを特徴とする。これにより、シリコンウエハの研磨に用いる設備やシリコンウエハの処理方法をそのまま適用することができるため、大規模な設備投資が不要であり、オペレータの作業負担を軽減することができる。加えてシリコンウエハの加工精度の向上が期待できる。
本発明にかかるシリコンウエハの個片化方法によれば、シリコンウエハにダイアタッチフィルムを貼着した状態で、シリコンウエハとダイアタッチフィルムを同時に個片化することができる。また、研削加工時にシリコンウエハのチッピングが発生しやすいシリコンウエハの裏面側がダイアタッチフィルムにより支持されて研削加工されるから、シリコンウエハを研磨処理する際にチッピングの発生を防止することができる。さらには、従来のDBGプロセスに用いた設備をそのまま適用することができるため、大規模な設備投資をする必要がなく経済的である。
以下、本発明にかかるシリコンウエハの個片化方法の実施形態について、図面に基づいて説明する。図1は、本実施形態におけるシリコンウエハの個片化方法の工程順を示すフロー図である。図2〜図16は、各工程におけるシリコンウエハの状態を示す説明図である。
まず、図2に示すように所定の大きさに形成されたシリコンウエハ10の片側面に図示しない回路を形成する(ステップ1)。次に図3に示すようにシリコンウエハ10の回路形成面12に第1の保護材であるバックグラインド保護テープ20(以下、BG保護テープ20という)を貼り付ける(ステップ2)。BG保護テープ20は、バックグラインド処理時において研削(研磨)装置30のチャックテーブル(図示せず)がシリコンウエハ10を吸着保持する際に、シリコンウエハ10に形成された回路および回路部品を保護するものである。次に図4に示すように、BG保護テープ20が貼り付けられた面と対向するシリコンウエハ10の面をバックグラインド砥石32による研削加工する(ステップ3)。このようにしてバックグラインド砥石32によりシリコンウエハ10は板厚が設計寸法になるまでバックグラインド処理される。
シリコンウエハ10の板厚寸法が設計寸法になったら、研削工程を終了し、次に図5に示すように研削面を研磨する研磨工程を実行する(ステップ4)。この研磨工程においては、ポリッシャー用砥石34を用いる研磨装置30を用いて研磨加工する。研磨工程にはドライポリッシングが好適に用いられる。
このようにシリコンウエハ10の研削面をポリッシャー用砥石34で研磨することにより、研削加工時に生じたシリコンウエハ10の研削面における残留ひずみを取り除くことができる。シリコンウエハ10の残留ひずみを取り除くことによりシリコンウエハ10の抗折強度を向上させることができるので、シリコンウエハ10の取り扱い時における破損を大幅に削減することができ、歩留まりが向上する。
このようにシリコンウエハ10の研削面をポリッシャー用砥石34で研磨することにより、研削加工時に生じたシリコンウエハ10の研削面における残留ひずみを取り除くことができる。シリコンウエハ10の残留ひずみを取り除くことによりシリコンウエハ10の抗折強度を向上させることができるので、シリコンウエハ10の取り扱い時における破損を大幅に削減することができ、歩留まりが向上する。
研磨工程が終了した後、図6に示すようにシリコンウエハ10の研磨面14にダイアタッチフィルム40を貼り付ける(ステップ5)。ダイアタッチフィルム40は熱可塑性材料からなり、ダイアタッチフィルム40の厚さ寸法は15〜40マイクロメートルである。
シリコンウエハ10の研磨面14にダイアタッチフィルム40を貼り付けた後、図7に示すようにダイアタッチフィルム40の上にウエハ保持材であるベアシリコン50を重ねて貼り付けする(ステップ6)。本実施形態におけるベアシリコン50は、ステップ1で用いたシリコンウエハ10と同一のものを用いている。ダイアタッチフィルム40とベアシリコン50の貼り付けは、ダイアタッチフィルム40を120〜150℃に加熱して粘着性をもたせた後に、ベアシリコン50を重ね合わせることによりなされる。
シリコンウエハ10の研磨面14にダイアタッチフィルム40を貼り付けた後、図7に示すようにダイアタッチフィルム40の上にウエハ保持材であるベアシリコン50を重ねて貼り付けする(ステップ6)。本実施形態におけるベアシリコン50は、ステップ1で用いたシリコンウエハ10と同一のものを用いている。ダイアタッチフィルム40とベアシリコン50の貼り付けは、ダイアタッチフィルム40を120〜150℃に加熱して粘着性をもたせた後に、ベアシリコン50を重ね合わせることによりなされる。
ダイアタッチフィルム40にベアシリコン50を貼り付けた後、自然冷却または強制冷却して常温状態にした後、図8に示すように第1の保護材であるBG保護テープ20を剥離して除去する(ステップ7)。次に、図9に示すようにシリコンウエハ10の回路形成面側から切断刃であるダイシングソー60によりダイシングする(ステップ8)。ダイシング工程においては、ダイシングソー60の刃先がベアシリコン50の一部にまで到達するようにしておこなわれる。ダイシング工程により、シリコンウエハ10とダイアタッチフィルム40が個片化されるが、ダイアタッチフィルム40がベアシリコン50に予め貼り付けされているため、個片化されたそれぞれのシリコンチップ16は、ダイシング前における平面位置と同じ位置を維持することができ、シリコンチップ16どうしの配列が乱れることはない。
ダイシング工程が済んだら、図10に示すようにシリコンウエハ10(シリコンチップ16)の回路形成面12に第2の保護材であるバックグラインド保護テープ70(以下、BG保護テープ70という)を貼り付ける(ステップ9)。このBG保護テープ70は、第1の保護材で用いたBG保護テープ20と同じものを用いることができる。BG保護テープ70を貼り付けた後、図11に示すようにバックグラインド処理によりベアシリコン50を研削する(ステップ10)。本実施形態においては、ウエハ保持材としてシリコンウエハ10と同じ材料からなるベアシリコン50を用いているため、通常のDBG法において用いられる研削(研磨)装置30を用いることができる。また、研削(研磨)装置30の砥石はステップ4で用いたバックグラインド砥石32を用い、ステップ4と同様の研削方法を適用することができ、オペレータへの作業負担が非常に少ないため好都合である。
バックグラインド処理によりベアシリコン50をすべて研削すると、ベアシリコン50の下にあるダイアタッチフィルム40があらわれ、ダイアタッチフィルム40が個片化された状態でシリコンチップ16を得ることができる(図12)。この研削工程においては、チッピングが発生しやすいシリコンウエハ10(シリコンチップ16)の研磨面14側がダイアタッチフィルム40により保持されているので、シリコンウエハ10のチッピング発生を防止することができ、歩留りが向上する。
ダイアタッチフィルム40が研削面にあらわれたらバックグラインド処理を終了し、図13に示すように保持テープであるダイシングテープ80にシリコンチップ16と、シリコンチップ16に対応して個片化されたダイアタッチフィルム40とを転写し(ステップ11)、図14に示すようにシリコンチップ16,16・・・からBG保護テープ70を剥離して除去する(ステップ12)。
ダイアタッチフィルム40が研削面にあらわれたらバックグラインド処理を終了し、図13に示すように保持テープであるダイシングテープ80にシリコンチップ16と、シリコンチップ16に対応して個片化されたダイアタッチフィルム40とを転写し(ステップ11)、図14に示すようにシリコンチップ16,16・・・からBG保護テープ70を剥離して除去する(ステップ12)。
ダイシングテープ80に転写されたシリコンチップ16と個片化されたダイアタッチフィルム40は、図15に示すように搬送手段であるピックアップ装置90により個別にピックアップされ、図16に示すように配線基板Kにダイアタッチフィルム40によって接着される(ステップ13)。
以上に、本発明にかかるシリコンウエハの個片化方法について、実施形態に基づいて詳細に説明してきたが、本願発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で各種の改変を行っても本願発明の技術的範囲に属することはもちろんである。
例えば、以上の実施形態においては、ステップ3のシリコンウエハ10の研削工程の後にシリコンウエハ10表面の残留ひずみを取り除くドライポリッシングによる研削面の研磨工程(ステップ4)を実行する形態について説明しているが、シリコンウエハ10の表面に研削工程(ステップ3)による残留ひずみがない場合や、抗折強度に大きな影響を与えない程度の残留ひずみであれば、シリコンウエハ10の研削面を研磨する研磨工程を省略することも可能である。
例えば、以上の実施形態においては、ステップ3のシリコンウエハ10の研削工程の後にシリコンウエハ10表面の残留ひずみを取り除くドライポリッシングによる研削面の研磨工程(ステップ4)を実行する形態について説明しているが、シリコンウエハ10の表面に研削工程(ステップ3)による残留ひずみがない場合や、抗折強度に大きな影響を与えない程度の残留ひずみであれば、シリコンウエハ10の研削面を研磨する研磨工程を省略することも可能である。
また、以上に説明した実施形態においては、ウエハ保持材としてベアシリコン50を用いた例について説明を行っているが、ウエハ保持材は他の材料により形成されたものであってもよいのはもちろんである。要は、ウエハ保持材はバックグラインド処理により研削されるものであるから、研削装置30で容易に研削することができる材料が好ましい。例えば、アルミナなどのセラミック製のウエハ保持材の他、エポキシ樹脂等の合成樹脂製のウエハ保持材を用いても良い。また、ウエハ保持材は安価な材料で形成されていればなお好適である。
10 シリコンウエハ
12 回路形成面
14 研磨面
16 シリコンチップ
20,70 BG保護テープ
30 研削(研磨)装置
32 バックグラインド砥石
34 ポリッシャー用砥石
40 ダイアタッチフィルム
50 ベアシリコン
60 ダイシングソー
80 ダイシングテープ
90 ピックアップ装置
K 配線基板
12 回路形成面
14 研磨面
16 シリコンチップ
20,70 BG保護テープ
30 研削(研磨)装置
32 バックグラインド砥石
34 ポリッシャー用砥石
40 ダイアタッチフィルム
50 ベアシリコン
60 ダイシングソー
80 ダイシングテープ
90 ピックアップ装置
K 配線基板
Claims (4)
- シリコンウエハの回路形成面に第1の保護材を貼付した後、該第1の保護材を貼付した面と対向する側の面から前記シリコンウエハを研削する工程と、
該シリコンウエハの研削面にダイアタッチフィルムを貼付し、次いで該ダイアタッチフィルム上にウエハ保持材を接着し、前記第1の保護材を除去する工程と、
前記シリコンウエハの回路形成面側から前記ウエハ保持材に切断刃が到達するように前記シリコンウエハを個片のチップにダイシングする工程と、
前記ウエハ保持材に保持されたすべてのチップにわたってチップの回路形成面に第2の保護材を貼付する工程と、
前記ウエハ保持材を前記ダイアタッチフィルムがあらわれるまで研削した後、前記ダイアタッチフィルムに保持テープを貼付し、前記ダイアタッチフィルムと共に前記チップを前記保持テープに転写させる工程と、
前記チップから前記第2の保護材を除去する工程と、を有していることを特徴とするシリコンウエハの個片化方法。 - 前記シリコンウエハを研削する工程が、前記シリコンウエハを研削する工程と、該研削後に研磨する工程からなることを特徴とする請求項1記載のシリコンウエハの個片化方法。
- 前記研磨する工程は、ドライポリッシングによるものであることを特徴とする請求項2記載のシリコンウエハの個片化方法。
- 前記ウエハ保持材として、ベアシリコンウエハを使用することを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載のシリコンウエハの個片化方法。
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