JP2013145827A - 保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法 - Google Patents
保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明に係る保護テープ剥離装置は、ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離装置であって、先端面に少なくとも1つの穴を有するこてと、該こてに接続されたヒータと、該こてに接続された、該少なくとも1つの穴の空気を吸気するポンプと、該先端面が該保護テープにあたるように該こてを制御し、該ヒータにより該こてを加熱して該保護テープを加熱し、該ポンプにより該少なくとも1つの穴の直下の該保護テープを該ウエハから剥離させる制御装置と、該保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、該ウエハから該剥離用粘着テープと該保護テープを同時に引き剥がす手段と、を備える。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る保護テープ剥離装置を示す図である。この保護テープ剥離装置は、ウエハの表面を覆う保護テープを剥離するものである。保護テープ剥離装置は、こて10を有している。図1において、こて10は、その断面が描かれている。こて10は、平坦な先端面12を有している。先端面12には穴14が形成されている。こて10にはヒータ16が接続されている。ヒータ16は、こて10全体を加熱するものである。こて10にはバルブ18を経由してポンプ20が接続されている。ポンプ20は穴14の空気を吸気するものである。
本発明の実施の形態2に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法で用いられるこての形状は、実施の形態1に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法で用いたこての形状と相違する。しかしそれ以外の点では実施の形態1と同じである。
Claims (4)
- ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離装置であって、
先端面に少なくとも1つの穴を有するこてと、
前記こてに接続されたヒータと、
前記こてに接続された、前記少なくとも1つの穴の空気を吸気するポンプと、
前記先端面が前記保護テープにあたるように前記こてを制御し、前記ヒータにより前記こてを加熱して前記保護テープを加熱し、前記ポンプにより前記少なくとも1つの穴の直下の前記保護テープを前記ウエハから剥離させる制御装置と、
前記保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、前記ウエハから前記剥離用粘着テープと前記保護テープを同時に引き剥がす手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。 - 前記先端面の面積は、前記ウエハの主面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の保護テープ剥離装置。
- ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離方法であって、
先端面に少なくとも1つの穴を有するこての前記先端面を、前記保護テープにあてて、前記こてを加熱しつつ、前記少なくとも1つの穴の空気を吸気し、前記少なくとも1つの穴の直下の前記保護テープを前記ウエハから剥離させる剥離工程と、
前記剥離工程の後に、前記こてを前記保護テープから退避させ、前記保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、前記ウエハから前記剥離用粘着テープと前記保護テープを同時に引き剥がす工程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 前記先端面の面積は、前記ウエハの主面の面積よりも大きく、
前記穴は複数形成され、
前記剥離工程では、前記保護テープが複数の場所で前記ウエハから剥離することを特徴とする請求項3に記載の保護テープ剥離方法。
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