JP2003054922A - 炭素被覆触媒ナノ粒子を含む構造体、該構造体を製造する方法および該構造体から炭素ナノ構造体を製造する方法。 - Google Patents
炭素被覆触媒ナノ粒子を含む構造体、該構造体を製造する方法および該構造体から炭素ナノ構造体を製造する方法。Info
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Abstract
る。 【解決手段】炭素被覆触媒ナノ粒子を含有すると共に、
増加した量および明確な品質の炭素ナノ構造体、特に単
一壁ナノチューブを製造するために後続のアーク放電法
またはレーザアブレーション法において用いられる複合
炭素構造体。また、複合炭素構造体を製造する方法、お
よびSWNTなどの炭素ナノ構造体を製造するために複
合炭素構造体を用いる方法。さらに、炭素ナノ構造体の
CVD成長用の、炭素被覆触媒ナノ粒子を含む触媒担
体。また、触媒担体を製造する方法およびCVDにより
炭素ナノ構造体を成長させるための触媒担体を用いる方
法。
Description
トルサイズの粒子(ナノ粒子)、より詳しくは、炭素被
覆触媒ナノ粒子に関する。さらに、本発明は、炭素被覆
触媒ナノ粒子から炭素ナノ構造体を製造する方法に関す
る。
ナノチューブ(MWNT)および炭素ナノ繊維などの一
次元炭素ナノ構造体に関する以前の加工物の大部分は、
少なくともマイクロメートルスケールから出発する粉末
触媒を用いて合成されている。例えば、「Helica
l Microtubuls of Graphiti
c Carbon」,by S.Iijima,Nat
ure,vol.354,Nov.7,1991,pp
56−58、「Single−Shell Carbo
n Nanotubes of 1−nm diame
ter」,byS.Iijima,Nature,vo
l.363,June.17,1993,pp603−
605、「Production of Carbon
Nanotubes」,by C.Journet
et al.Appl.Phys.Aug.1998,
vol.67,pp.1−9、「Nanotubes
from Carbon」,by P.W.Ajaya
n,Chem.Rev.,1999,vol.99,
p.1787、および「Gas−phase Puri
fication of Single−wall C
arbon Nanotubes],by J.L.Z
immerman et al,Chem.Mate
r.,2000,vol.12,p.1361を参照す
ること。
表的な反応の概略図を図5に示している。図5に示した
ように、マイクロメートルサイズのグラファイト粉末1
0およびマイクロメートルサイズの酸化物被覆触媒粒子
12は、代表的なアーク放電におけるアノードとして用
いられるか、あるいは代表的なレーザアブレーションに
おけるソース材料として用いられる炭素棒中の反応物で
ある。望ましいSWNT構造体を製造するために、アー
ク放電またはレーザアブレーションによる加熱に反応物
をさらす。矢印Xによって表されているように、1ms
より短い反応の第一部中に、反応物は、反応域において
4000Kより高い熱にさらされる。反応のこの部分の
結果として、マイクロメートルサイズの粒子は、最初
に、中間製品であるマイクロメートルサイズの炭素粒子
14、酸素物質16、金属−炭素クラスター18、酸化
物20およびナノメートルサイズの炭素粒子30に破砕
される。その後、1ms後に起きる反応の第二部におい
て、矢印Yによって表されているように、製品が熱源
(アーク放電のアークまたはレーザアブレーションのレ
ーザーのいずれか)から取り去られるにつれて温度は低
下し、製品である炭素被覆触媒粒子1、金属チップ24
を有するSWNT22、無定形炭素28、酸化物20お
よびナノメートルサイズの炭素粒子30は中間製品から
形成される。
使用は、低い触媒生産性につながる場合があり、従って
反応域において製造された最終製品の低い含有率と純度
の原因になる幾つかの欠点を含む。
の触媒は、それらがナノスケール(すなわち、ナノメー
トルサイズ)クラスター、サブナノスケールでさえあえ
るクラスターに破砕されるまで触媒活性を示さない。し
かし、反応時間は一般に非常に短い。例えば、SWNT
のレーザアブレーション合成の場合、SWNT成長のた
めに利用可能な時間は1秒未満である。従って、十分に
小さい使用可能な粒子にすべての触媒を破砕するのに十
分な時間はない。こういう訳で、触媒粒子をマイクロメ
ートルサイズで用いる時、触媒粒子の使用は非効率的で
ある。
を含有するレーザアブレーションまたはアーク放電から
の煤などの最終製品は、金属触媒粒子が非常に短い反応
時間中に十分には利用されないので好ましくなく高い金
属粒子含有率を含む。すなわち、触媒は反応中に完全に
は使い尽くされないので、最終製品中に大量の未使用の
触媒が存在し、よって最終製品は純粋ではなくなる。
の金属粉末は、触媒として用いられる時、通常、不利に
は金属酸化物の薄層で被覆されており、従って、その薄
層は反応域において酸素物質を生じさせる。そして酸素
物質(O2、O−、O2−など)は、炭素物質(C+、
C2+、C3+など)に対して非常に反応性であり、そ
れによって酸素物質は明確な炭素構造体の形成を妨げ
る。従って、酸素の妨害のために、望ましい炭素ナノ構
造体製品は欠陥を含み、相当な量の無定形炭素が生じ
る。
の触媒は、有利な割合で炭素と混合されない。すなわ
ち、所定の立方マイクロメートルサイズの体積中に炭素
に対して触媒が多すぎ、それよって触媒生産性はより低
く、最終製品の純度はより低い。
も製造されてきた。例えば、ノラン(Nolan)らに
よる米国特許第5,965,267号を参照すること。
しかし、ノラン(Nolan)は、炭素ナノ構造体を製
造するための触媒としてこれらの炭素被覆金属ナノ粒子
を認識していない。すなわち、ノラン(Nolan)の
炭素被覆金属ナノ粒子は最終製品であり、熱複合材(ヒ
ートシンクにおける接着剤など)、強化複合材および磁
気粒子記録媒体として用いられる。
技術の欠点を克服することである。より詳しくは、本発
明の目的は、炭素ナノ構造体、および特にSWNTの製
造において触媒粒子をより効率的に用いることである。
さらに、本発明の目的は、ナノ構造体製造プロセス、す
なわち、例えば、レーザアブレーションまたはアーク放
電後に存在する金属触媒粒子の量を減少させることによ
り、炭素ナノ構造体の製造純度を高めることである。さ
らに、本発明の目的は、望ましい炭素ナノ構造体を形成
する反応域内の酸素物質を減少させることにより、炭素
ナノ構造体中の製造欠陥の量を減少させ、無定形炭素の
量を減少させることである。さらに、本発明の目的は、
所定の立方マイクロメートルサイズの体積において有利
な触媒対炭素比を得ることにより触媒生産性を高めると
共に、炭素ナノ構造体のより高い純度を生じさせること
である。
および先行技術における欠点を解決するために、本発明
は、従来から用いられているマイクロメートルサイズの
触媒粒子より小さいナノメートルサイズの触媒粒子(触
媒ナノ粒子)を提供する。数百ナノメートルより小さい
触媒ナノ粒子が既に小スケールのものなので、その触媒
ナノ粒子は、炭素ナノ構造体の製造に関連した短い反応
時間中に容易に用いられる。すなわち、触媒ナノ粒子
は、使用されるべくマイクロメートルサイズから破砕さ
れる必要はなく、それらは、そのままでより容易に用い
られ、よって触媒粒子の使用に際して高い効率につなが
る。これらの触媒ナノ粒子は、例えば、レーザアブレー
ションまたはアーク放電による炭素ナノ構造体の製造の
ために使用されうる炭素−触媒棒を形成するために用い
られる。
するようには触媒ナノ粒子を破砕する必要はないので、
触媒ナノ粒子は、炭素ナノ構造体の製造に関連した短い
反応時間中により完全に使い尽くされる。従って、触媒
ナノ粒子が炭素ナノ構造体合成中により完全に使い尽く
されるので、製造されたままの炭素ナノ構造体は、より
純粋である。すなわち、触媒ナノ粒子がより効率的且つ
完全に使い尽くされるので、製造されたままの炭素ナノ
構造体中に残る触媒粒子の量は少ない。
で被覆される。炭素コーティングの形態は、無定形グラ
ファイト層から整列グラファイト層まで異なることが可
能である。炭素被覆触媒ナノ粒子が炭素で被覆されるの
で、それらの粒子は酸化されず、従って、反応域に酸素
物質を持ち込まない。そして本発明の触媒粒子が反応域
に酸素物質を持ち込まないので、望ましい炭素ナノ構造
体には欠陥がより少なく、無定形炭素の生成はより少な
い。
ので、立方マイクロメートルサイズのスケールで炭素対
触媒の比はより有利であり、それによって触媒粒子の使
用はより効率的である。すなわち、触媒ナノ粒子は、望
ましい炭素ナノ構造体最終製品のサイズと同じ次元のス
ケールで炭素の中に均一に分配される。従って、触媒粒
子と炭素は触媒の生産性を高めるために容易に相互作用
し、そして次に、望ましい炭素ナノ構造体の純度を高め
る。
を製造するための、例えば、レーザアブレーション、ア
ーク放電およびCVDなどの種々の方法において用いる
ことができる。レーザアブレーションまたはアーク放電
において用いられる時、炭素被覆触媒ナノ粒子は、それ
らの粒子を炭素粒子および結合剤と混合することにより
棒または他の構造体に形成される。CVDにおいて用い
られる時、炭素被覆触媒ナノ粒子は触媒担体材料上に配
置される。本発明は、棒または他の構造体、こうした棒
を製造する方法およびSWNTを製造するためにこうし
た棒を用いる方法を包含する。さらに、本発明は、炭素
被覆触媒ナノ粒子が上にある触媒担体材料、こうした触
媒担体を製造する方法およびこうした触媒担体を使用す
る方法を包含する。
よって取り囲まれているナノメートルサイズの触媒粒子
を各々が含む炭素被覆触媒ナノ粒子と、炭素ナノ粒子
と、前記炭素被覆触媒ナノ粒子を前記炭素ナノ粒子と結
合させる結合剤とを含む、炭素ナノ構造体を製造するた
めの複合炭素構造体を提供することにより上の目的およ
び他の目的ならびに利点を達成する。
体を第1の電極として用いる工程と、前記第1の電極と
炭素を含む第2の電極を用いてアーク放電を実施する工
程とを含む、SWNTを製造する方法を提供することに
より上の目的および他の目的ならびに利点を達成する。
あるいはSWNTを製造するためのレーザアブレーショ
ンにおけるソース材料として、上述した複合炭素構造体
を用いることができる。
填されている炭素棒を含む第1の電極と純炭素を含む第
2の電極との間で第1のアーク放電を実施することによ
り煤を発生させる工程と、前記煤を集め、前記煤を粉砕
し、そして前記煤を結合剤材料と混合して第1の中間製
品を形成させる工程と、前記第1の中間製品をプレス
し、その後前記第1の中間製品を加熱し、続いて前記第
1の中間製品を冷却し、よって前記複合炭素構造体を形
成させる工程とを含む、炭素ナノ構造体の製造用の複合
炭素構造体を製造する方法を提供することにより上の目
的および他の目的ならびに利点を達成する。
わりに、例えば、触媒が充填された炭素棒を用いるレー
ザアブレーションなどの適する他のあらゆる方法によっ
て、煤を発生させることができる。
よって取り囲まれているナノメートルサイズの触媒粒子
を各々が含む炭素被覆触媒ナノ粒子と、前記炭素被覆触
媒ナノ粒子と均一に混合された無機触媒担体材料とを含
む、CVD用の触媒担体を提供することにより上の目的
および他の目的ならびに利点を達成する。
成する工程と、前記触媒担体を加熱する工程と、炭素ナ
ノ構造体を成長させるために前記触媒担体に炭素源を供
給する工程とを含む、CVDによって炭素ナノ構造体を
形成させる方法を提供することにより上の目的および他
の目的ならびに利点を達成する。
れている炭素棒を含む第1の電極と炭素を含む第2の電
極と間で第1のアーク放電を実施することにより、炭素
被覆触媒ナノ粒子を含む煤を発生させる工程と、前記煤
を集めると共に、前記煤中の前記炭素被覆触媒ナノ粒子
以外の粒子を除去することにより前記煤を精製し、よっ
て精製された煤を製造する工程と、前記精製された煤を
溶媒中に懸濁させると共に、前記精製された煤を触媒担
体材料上に分散させる工程とを含む、炭素ナノ構造体の
CVD用の触媒を製造する方法を提供することにより上
の目的および他の目的ならびに利点を達成する。
に、例えば、触媒が充填されている炭素棒のレーザアブ
レーションなどの適する他のあらゆる方法を用いること
ができる。
ならびに利点は、添付した図面を用いて本発明の好まし
い代表的な実施形態を詳細に説明することにより、より
明らかになるであろう。図面において、類似の番号は、
幾つかの図全体を通して類似部品または対応部品を表
す。
子は、主として、炭素金属複合材のレーザアブレーショ
ンまたはアーク放電によって製造された煤中に豊富にあ
る。これらの炭素被覆触媒ナノ粒子は、一般に、炭素コ
ーティングのゆえに周囲条件で極めて安定である。しか
し、十分に高い温度で迅速に炭素コーティングから触媒
ナノ粒子を放出させることが可能である。一旦それらの
粒子が不活性雰囲気において炭素コーティングから放出
されると、触媒ナノ粒子は極めて活性になり、そして粒
子は、適する技術(レーザアブレーション、電気アーク
放電または単純アーク放電、化学蒸着法(CVD)な
ど)を利用すると共に成長条件(温度、圧力など)を制
御することにより、SWNTおよび種々の形状の炭素ナ
ノ繊維などの一次元炭素ナノ構造体の合成用の触媒とし
て用いることができる。
ノ粒子は、炭素棒または他の構造体に形成される。棒ま
たは他の構造体の形状は決定的には重要でなく、アーク
放電またはレーザアブレーションのために適するあらゆ
る形状であることが可能である。炭素被覆触媒ナノ粒子
は、初期レーザアブレーション法またはアーク放電法に
おいて製造されたままで用いることができる。あるい
は、炭素被覆触媒ナノ粒子は、炭素棒または他の構造体
を形成するためにそれらの粒子を用いる前に処理する
か、あるいは精製することが可能である。この棒または
他の構造体は、その後、高純度の明確な炭素ナノ構造体
を製造するために第2のレーザアブレーションまたはア
ーク放電あるいはCVDにおいて用いることができる。
Coなどの純金属またはYC2およびCeC2などの金
属炭化物であることが可能である。これらの金属および
金属炭化物は好ましいけれども、本発明の触媒ナノ粒子
は、例えば、Mo、LaC2、Gd、三次元(3D)遷
移金属、ランタニド系列金属などの、炭素ナノ構造体の
製造において触媒として使用するために適するあらゆる
組成の粒子であることが可能である。後者の群は前者の
群ほどには効果的ではなく、そしてより高価である。従
って、前者の群は好ましい。
どには重要ではない。従って、触媒ナノ粒子は、球、立
方体、円錐などのあらゆる形状、あるいはあらゆる不規
則形状を有することが可能である。他方、触媒ナノ粒子
のサイズはより重要であり、それは0.1nm〜100
nmの範囲である。この範囲は、例えば、SWNT、M
WNT、竹状の炭素ナノ繊維などの一次元炭素ナノ構造
体の製造のために有利である。ここで、より微小なサイ
ズの粒子は、SWNTおよびMWNTの製造のために有
益であるのに対して、より大きなサイズの粒子は、炭素
ナノ繊維の製造のために有益である。好ましくは、触媒
ナノ粒子のサイズは、1nm〜50nmの範囲である。
好ましい範囲は製造するのが容易であり、炭素−金属複
合材棒上で実施されるレーザアブレーションまたはアー
ク放電から製造された煤中に最も豊富である。触媒ナノ
粒子のサイズは、初期レーザアブレーションまたはアー
ク放電のために用いられる炭素棒中の炭素対金属の比を
制御することにより制御することが可能である。炭素対
金属の比が高ければ高いほど、触媒ナノ粒子の平均サイ
ズは小さい。触媒ナノ粒子のサイズが小さすぎる場合、
触媒ナノ粒子は製造することが難しく、従って高価にな
る。他方、触媒ナノ粒子のサイズが大きすぎる場合、マ
イクロメートルサイズの触媒粒子に関して上で論じたよ
うに、最初に触媒ナノ粒子を使用前に破砕しなければな
らないので、触媒ナノ粒子は高純度の整列炭素ナノ構造
体を製造するに際して効果的でも効率的でもない。
ーティングは、無定形炭素から整列グラファイト層まで
異なることが可能である。無定形炭素を用いる場合、そ
れは、触媒ナノ粒子を完全に取り囲むのに十分でなけれ
ばならない。グラファイト層を用いる場合、一般に、そ
の層は、触媒ナノ粒子を取り囲んで同心的に形成され
る。グラファイト層の数は、レーザアブレーションまた
はアーク放電によって製造された煤において最も一般的
に見られる1〜100の範囲であることが可能であり、
グラファイト層の数は、好ましくは1〜10の範囲であ
る。グラファイト層の数は、下にある触媒ナノ粒子のサ
イズに依存しないが、むしろ、以下の通り決定すること
が可能である。一つより少ないグラファイト層しか存在
しない場合、触媒ナノ粒子は酸化から十分に保護されな
い。触媒ナノ粒子を完全に取り囲むのに十分な無定形炭
素が存在しない場合に、同じことが当てはまる。他方、
グラファイト層の数が多すぎる場合、触媒ナノ粒子は、
望ましい炭素ナノ構造体を形成するために効果的には用
いられない。すなわち、グラファイト層の数が多すぎる
場合、触媒ナノ粒子を触媒として用いるために露出させ
る点に至るまで炭素コーティングを破砕するために反応
中に十分な時間がない。同様に、無定形炭素が多すぎ
る、すなわち、例えば、触媒ナノ粒子を取り囲むMWN
Tの壁が多すぎる場合、触媒ナノ粒子は、炭素ナノ構造
体に形成において触媒として効果的に用いられない。
触媒ナノ粒子の濃度は、当該棒または他の構造体から望
ましい炭素ナノ構造体を製造するための、レーザアブレ
ーション、アーク放電、CVDなどの製造の方法に基づ
いて異なる。
法を用いる時、望ましい炭素ナノ構造体の成長のための
触媒および炭素源の両方として炭素棒が用いられる。金
属触媒が多すぎる(すなわち、炭素被覆触媒ナノ粒子が
多すぎる)場合、最終製品中に金属が残り、よって悪い
ことには不純物が増加する。他方、金属触媒が十分でな
い(すなわち、炭素被覆触媒ナノ粒子が少なすぎる)場
合、都合よく炭素ナノ構造体を製造するのに十分な触媒
活性がない。理想的には、目標は望ましい炭素ナノ構造
体を製造するのに丁度十分な金属触媒を用いることであ
る。従って、本発明によると、炭素被覆触媒ナノ粒子の
重量%は1〜80の範囲である。ここで、アーク放電で
必要なよりもレーザアブレーションでは少ない炭素被覆
触媒ナノ粒子しか必要としない。棒または他の構造体の
残りは炭素、好ましくは純炭素である。さらに、これら
の方法において、炭素被覆触媒ナノ粒子の重量%は好ま
しくは2〜30の範囲である。
子を用いる代表的な反応の概略図を図1に示している。
図1に示したように、ナノメートルサイズの炭素粒子3
0および炭素被覆触媒ナノ粒子1は、例えば、代表的な
アーク放電における第1の電極として、あるいは代表的
なレーザアブレーションにおけるソース材料として用い
られる炭素棒中の反応物である。望ましいSWNTナノ
構造体22を製造するために、例えば、レーザアブレー
ションまたはアーク放電による熱に反応物をさらす。矢
印Xによって表されるように、1msより短い反応の第
一部中に、反応物は、反応域において400Kより高い
熱にさらされる。反応のこの部分の結果として、ナノメ
ートルサイズの粒子は、中間製品である、より微小なナ
ノメートルサイズの炭素粒子30および金属−炭素クラ
スター18に容易に破砕される。その後、1ms後に起
きる反応の第二部において、矢印Yによって表されるよ
うに、製品が熱源(アーク放電のアークまたはレーザア
ブレーションのレーザーのいずれか)から取り去られる
につれて温度は低下し、製品である炭素被覆触媒粒子1
および金属チップ24を有するSWNT22は中間製品
から容易に形成される。
較すると、本発明は、不純物がより少ない製品を達成し
つつ、同時に、より高い百分率の望ましいSWNTを達
成する。
素被覆触媒ナノ粒子を含有する他の物品、通常は担体)
が触媒として主として用いられる。もう一つの炭素源を
こうしたCVD法において反応域に導入する。また、C
VD法における温度(400〜1200℃、好ましくは
800〜1200℃)は、望ましい炭素ナノ構造体を製
造するCVD反応のためにより多くの触媒を必要とする
ようにレーザアブレーションまたはアーク放電おける温
度(代表的には、ほぼ4000°K)より低い。従っ
て、CVD法に関する炭素被覆触媒ナノ粒子の濃度は5
〜95重量%(wt%)の範囲であるのがよい。好まし
くは、炭素被覆触媒ナノ粒子の濃度は20〜95重量%
である。この場合、残りは、金属がCVD反応中に溶融
するにつれて金属が凝集することを防止するためのセパ
レータとして機能する担体材料である。担体材料は、例
えば、Al2O3、SiO2、シリカウェハー、多孔質
アルミニウムフィルム、シリカゼオライトなどの不活性
無機材料である。
粒子を含有する炭素棒のアーク放電によってSWNTを
製造する。第一に、炭素被覆触媒ナノ粒子を含有する炭
素棒を形成させる。第二に、第1の工程で製造された炭
素棒を用いてアーク放電を行う。
製造 カソードとして1.5X1.5X10cmの寸法の純炭
素棒を用い、アノードとして金属(15重量%Ni、6
重量%CeC2)が均一に充填された炭素棒を用いるア
ーク放電によって、煤およびカソード沈積放電(cat
hode deposit discharge)を発
生させた。煤と沈積物を以下の条件下で発生させた。7
00トルの純ヘリウム雰囲気を緩衝気体として用いた。
電流密度を180A/cm2に設定した。電圧を30〜
40Vの間であるように自動制御した。発生した煤およ
び沈積物は5〜20重量%のSWNTを含有していた。
この煤に関する代表的なTEM画像を図2Aに示してい
る。
後、ピッチまたは炭素ペーストなどの結合剤材料1〜5
重量%と混合した。炭素を含む結合剤が好ましいけれど
も、それは必須ではない。適するあらゆる結合剤を用い
ることができる。さらに、結合剤の量は、棒が強くて取
扱い易いように十分であるのがよい。その後、混合物を
1X10X10cmの寸法のステンレススチール金型に
充填し、高圧、すなわち、1〜10トン/cm2下でプ
レスした。金型のサイズおよび形状は、容易に取り扱う
ことができる固定形状に煤、カソード沈着物および結合
剤を成形するのに十分な圧力を加えることができるかぎ
り決定的には重要でない。プレスした後、炭素被覆触媒
ナノ粒子を含有するプレスされた煤を金型と一緒に炉に
入れ、真空、Ar雰囲気、あるいは他の不活性ガス雰囲
気において10時間にわたり400〜800℃で加熱処
理した。炉温度および加熱時間は異なることが可能であ
る。例えば、より短い時間をより高い温度と合わせて用
いることができ、より長い時間をより低い温度と合わせ
て用いることができる。重要な要素は、結合剤を完全に
乾かすおよび/または固化させることと、炭素被覆触媒
ナノ粒子が灰化されることを防止することである。完全
に冷却、すなわち、室温に冷却した後、プレスされた煤
を金型から開放し、その後、1X1X20cmのより小
さい棒に切断した。金型およびプレスされた煤をこの実
施例において完全に冷却させたけれども、こうしたこと
は必須ではない。
た煤(および従ってそれから切断されたより小さい棒)
は、炭素で被覆されている高い%のナノメートルサイズ
の金属触媒粒子、すなわち、炭素被覆触媒ナノ粒子を含
む。これらの炭素被覆触媒ナノ粒子は、非常に耐酸素性
で耐化学侵食性である。さらに、これらのより小さい炭
素棒中の炭素被覆触媒ナノ粒子は、殆ど1〜20nmの
範囲内である。金属の百分率は20重量%であり、ここ
でNiは純金属状であるのに対してCeは炭化物の形態
を取っている。炭素棒上の酸素および水分の吸着を防ぐ
ために、炭素棒は通常用いられるまで不活性雰囲気内で
貯蔵される。
ク放電において、これらのより小さい棒を用いた。
放電 その後、第2のアーク放電においてカソードとして純炭
素棒(1.5X1.5X10cm)を用い、上で調製さ
れたより小さい炭素棒をアノードとして用いた。この第
2のアーク放電の条件は、第1のアーク放電において上
述した条件と同じであった。すなわち、700トルの純
ヘリウム雰囲気を緩衝気体として用いた。電流密度を1
80A/cm2に設定した。電圧を30〜40Vの間で
あるように自動制御した。この第2のアーク放電におい
て発生した煤および沈積物は40〜60重量%のSWN
Tを含有していた。この煤の代表的なTEM画像を図2
Bに示している。
T含有率は、第1のアーク放電より著しく高かった。こ
うしたことは図2Aと2Bの比較からも分かる。しか
し、アーク放電ごとのアーク条件は、アノードの組成を
除いて厳密に同じであった。従って、第2のアーク放電
におけるより高いSWNT含有率は、金属触媒として
の、高い触媒生産性と低い酸素含有率を示す炭素被覆触
媒ナノ粒子の使用に起因している。より詳しくは、高い
SWNT含有率は、(a)炭素コーティングから開放さ
れると触媒活性を直接示す、(b)触媒ナノ粒子が酸化
されることを防止する、それは続いてアークプラズマ領
域における酸素含有率を劇的に減少させる(触媒粒子が
酸化されるとすれば、それらは直ちに空気中で燃え尽き
るであろうが。)、(c)炭素と金属触媒の優れた混合
をもたらす、炭素被覆触媒ナノ粒子の性質によりもので
ある。
を第1のアーク放電から集められたまま用い、それらを
第2のアーク放電用のアノードを形成する前に最初に精
製しなかったことに留意することは重要である。従っ
て、高価で時間がかかる精製プロセスはSWNTのこの
高い収率を達成するために不要である。あるいは、第2
のアーク放電用のアノードを形成する前に第1のアーク
放電からの煤および沈着物を精製するなら(すなわち、
炭素被覆触媒ナノ粒子以外の粒子を除去するために)、
一層より高い百分率のSWNTを得ることが可能であ
る。
oナノ粒子からCVDによって竹状の炭素ナノ繊維を製
造する。
た。詳しくは、純炭素棒をカソードとして用い、20重
量%Coが均一に充填された炭素棒をアノードとして用
いた。アーク放電の条件は実施例1と同じであった。ア
ーク放電によって生じた煤と沈積物を集め、それらは、
無定形炭素、炭素ナノチューブ、フラーネス、炭素で全
く被覆されていなかった少量の金属および炭素被覆触媒
ナノ粒子などを含有していることが判明した。従って、
炭素被覆触媒ナノ粒子の品質を更に改善するために、す
なわち、炭素被覆触媒ナノ粒子以外の粒子を除去するた
めに、煤と沈積物を濃硝酸にさらし、濾過し、純水で洗
浄して精製された炭素被覆触媒ナノ粒子を生成させた。
精製された炭素被覆触媒ナノ粒子のTEM画像を図3に
示している。その後、精製された炭素被覆触媒ナノ粒子
をシリカウェハ触媒担体上で分散させるためにアセトン
中で懸濁させた。
硝酸を用いる代わりに、適するあらゆる他の方法を用い
ることができる。また、シリカウェハ触媒担体の代わり
に、例えば、AlO2、SiO2、多孔質アルミニウム
フィルムまたはシリカゼオライトなどの適する他の担体
を用いることができる。
体上の炭素被覆触媒ナノ粒子に達する前にCOを400
〜1000℃の間に予熱した。この温度で、COの大部
分は分解する傾向があり、よってCn +は、触媒との反
応のために利用できる(ここでnは自然数である)。C
Oを予熱すると同時に、800〜1200℃の間の温度
を有する炉内で触媒担体を加熱した。この温度で、炭素
コーティング内の触媒金属は溶融し始め出始める。その
後、触媒担体を含む炉に予熱された気相を導入した。炉
内に気相を導入すると、炭素コーティングは、分解しな
かった少量のCOによって部分的にエッチングされ、よ
って触媒ナノ粒子を炭素コーティングから出させる。触
媒が炭素コーティングから出て、(分解COガスからの
Cn +を含む)気相と接触するにつれて、触媒は炭素ナ
ノ繊維の成長のための強い触媒活性を示す。
ように、以下のメカニズムにより竹状のナノ繊維を製造
した。炭素被覆触媒ナノ粒子1を図4Aに示しており、
それは炭素コーティング4によって取り囲まれた触媒ナ
ノ粒子2を含む。炭素被覆触媒ナノ粒子1は800〜1
200℃の温度の炉内で加熱されているので、触媒ナノ
粒子2は、図4Bに示したように、金属触媒2’へと溶
融し始め炭素コーティング4から出始める。さらに、気
相(400〜1000℃の範囲の温度に予熱されたCn
+およびCOを含む)が炉に導入され、炭素被覆触媒ナ
ノ粒子1が昇温し続けるにつれて、炭素コーティング4
は、気相中でCOによってエッチングされるか、あるい
はコーティングのより高い温度のために開放され、よっ
て炭素シェル4’になる。いずれにせよ、金属触媒2’
は、図4Cに示したように、炭素シェル4’を出始め
る。この時点で、気相からの炭素は金属触媒2’に溶解
し、炭素シェル4’に向かって触媒2’を通して移行す
るのに対して、触媒は、炭素シェル4’を更に出て、図
4Dに示したように第2の炭素シェル4’’を置き去り
にする。触媒が炭素を溶解するプロセスを繰り返すと共
に(炭素はその後、前に形成された炭素シェルに向けて
触媒を通して移行する)、その後、炭素シェルを出るに
つれて、触媒は図4Eに示したように竹状の炭素ナノ繊
維を形成する。
素を用いたけれども、例えば、有機化合物、CH4およ
びベンゼンなどの適するあらゆる他の炭素源を用いるこ
とができる。さらに、この実施例において竹状のナノ繊
維を製造したけれども、技術上知られているように、成
長温度、気相組成および触媒粒子サイズを制御すること
により、炭素ナノ繊維の他の種々の形状を成長させるこ
とが可能である。
イズの触媒粒子より遥かに小さいナノメートルサイズの
触媒粒子(触媒ナノ粒子)を提供する。触媒ナノ粒子が
既にこうした小スケールの粒子であるので、炭素ナノ構
造体の製造に関連した短い反応時間中に触媒ナノ粒子は
容易に用いられる。すなわち、触媒ナノ粒子は使用する
べくマイクロメートルサイズから破砕する必要はなく、
それらは、そのままでより容易に用いられ、よって触媒
粒子の使用に際して高い効率につながる。これらの触媒
ナノ粒子は、例えば、レーザアブレーションまたはアー
ク放電による炭素ナノ構造体の製造のために使用されう
る炭素−触媒棒を形成するために用いられる。
するようには触媒ナノ粒子を破砕する必要はないので、
触媒ナノ粒子は、炭素ナノ構造体の製造に関連した短い
反応時間中により完全に使い尽くされる。従って、触媒
ナノ粒子が炭素ナノ構造体合成中により完全に使い尽く
されるので、製造されたままの炭素ナノ構造体は、より
純粋である。すなわち、触媒ナノ粒子がより効率的且つ
完全に使い尽くされるので、製造されたままの炭素ナノ
構造体中に残る触媒粒子の量は少ない。
で被覆される。炭素コーティングの形態は、無定形グラ
ファイト層から整列グラファイト層まで異なることが可
能である。炭素被覆触媒ナノ粒子が炭素で被覆されるの
で、それらの粒子は酸化されず、従って、反応域に酸素
物質を持ち込まない。そして本発明の触媒粒子が反応域
に酸素物質を持ち込まないので、望ましい炭素ナノ構造
体には欠陥がより少なく、無定形炭素の生成はより少な
い。
ので、立方マイクロメートルサイズのスケールで炭素対
触媒の比はより有利であり、それによって触媒粒子の使
用はより効率的である。すなわち、触媒ナノ粒子は、望
ましい炭素ナノ構造体のサイズと同じ次元のスケールで
炭素の中に均一に分配される。従って、触媒粒子と炭素
は触媒の生産性を高めるために容易に相互作用し、そし
て次に、望ましい炭素ナノ構造体の純度を高める。
明の精神と範囲から逸脱せずに、本発明による炭素被覆
触媒ナノ粒子含有構造体、該構造体を製造する方法およ
び該構造体を使用する方法に対して多くの修正をなすこ
とが可能であることは考慮されている。
時のSWNTの形成メカニズムの概略図である。
表的なTEM画像において、従来の触媒を用いて製造さ
れ、本発明の第1のアーク放電において製造された煤の
画像である。
表的なTEM画像において、炭素被覆触媒ナノ粒子を用
いることにより、すなわち、本発明による第2のアーク
放電に従って製造された煤の画像である。
触媒ナノ粒子のTEM画像である。
ズムの概略図である。
製造されたSWNTの形成メカニズムの概略図である。
を表す第1の反応矢印 Y 4000Kより低い温度および1msより長い時間
を表す第2の反応矢印
Claims (49)
- 【請求項1】 炭素コーティングによって取り囲まれて
いるナノメートルサイズの触媒粒子を各々が含む炭素被
覆触媒ナノ粒子と、炭素ナノ粒子と、前記炭素被覆触媒
ナノ粒子を前記炭素ナノ粒子と結合させる結合剤とを含
む、炭素ナノ構造体を製造するための複合炭素構造体。 - 【請求項2】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の各
々は0.1〜100nmの範囲のサイズを有する請求項
1に記載の炭素構造体。 - 【請求項3】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の各
々は1〜50nmの範囲のサイズを有する請求項1に記
載の炭素構造体。 - 【請求項4】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の各
々は、Ni、Co、YC2およびCeC2から成る群か
ら選択される請求項1に記載の炭素構造体。 - 【請求項5】 前記炭素コーティングの各々は、前記ナ
ノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを完全に取
り囲む少なくとも一つのグラファイト層である請求項1
に記載の炭素構造体。 - 【請求項6】 前記炭素コーティングの各々は、前記ナ
ノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを取り囲む
実質的に同心の1〜100のグラファイト層を含む請求
項5に記載の炭素構造体。 - 【請求項7】 前記炭素コーティングの各々は、前記ナ
ノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを完全に取
り囲む実質的に同心の1〜10のグラファイト層を含む
請求項5に記載の炭素構造体。 - 【請求項8】 前記炭素触媒ナノ粒子は、前記炭素構造
体の1〜80重量%を構成する請求項1に記載の炭素構
造体。 - 【請求項9】 前記炭素被覆触媒ナノ粒子は、前記炭素
構造体の2〜30重量%を構成する請求項1に記載の炭
素構造体。 - 【請求項10】 前記結合剤は炭素を含む請求項1に記
載の炭素構造体。 - 【請求項11】 前記結合剤は、前記炭素構造体を取り
扱うために十分に強くするのに十分な量で存在する請求
項1に記載の炭素構造体。 - 【請求項12】 前記結合剤は、前記炭素構造体の1〜
5重量%を構成する請求項1に記載の炭素構造体。 - 【請求項13】 前記炭素構造体は棒形状である請求項
1に記載の炭素構造体。 - 【請求項14】 請求項1〜13のいずれか1項に記載
の複合炭素構造体を第1の電極として用いる工程と、前
記第1の電極と炭素を含む第2の電極を用いてアーク放
電を実施する工程とを含むSWNTを製造する方法。 - 【請求項15】 前記第1の電極はアノードであり、前
記第2の電極はカソードである請求項14に記載のSW
NTを製造する方法。 - 【請求項16】 前記アーク放電を実施する工程は、前
記アノードと前記カソードをヘリウムの緩衝雰囲気に入
れる工程と、前記アノードと前記カソードを30〜40
Vの間の電圧に供する工程とを含む請求項15に記載の
SWNTを製造する方法。 - 【請求項17】 前記アーク放電を実施する工程は、1
時間において前記アノードを消費することを含む請求項
15に記載のSWNTを製造する方法。 - 【請求項18】 請求項1〜13のいずれか1項に記載
の複合炭素構造体を形成する工程と、前記複合炭素構造
体上でレーザアブレーションを実施する工程を含むSW
NTを製造する方法。 - 【請求項19】 触媒が充填されている炭素棒を用いて
煤を発生させる工程と、前記煤を集め、前記煤を粉砕
し、そして前記煤を結合剤材料と混合して第1の中間製
品を形成させる工程と、前記第1の中間製品をプレス
し、その後前記第1の中間製品を加熱し、続いて前記第
1の中間製品を冷却し、よって前記複合炭素構造体を形
成させる工程とを含む、炭素ナノ構造体を製造するため
の複合炭素構造体を製造する方法。 - 【請求項20】 前記煤を発生させる工程は、煤を発生
させるために、前記触媒が充填されている炭素棒を含む
アノードと純炭素を含むカソードと間で第1のアーク放
電を実施することを含む請求項19に記載の複合炭素構
造体を製造する方法。 - 【請求項21】 前記第1のアーク放電を実施する工程
は、前記アノード中の前記触媒としてNiおよびCeO
2を用いる工程と、前記アノードと前記カソードをヘリ
ウムの緩衝雰囲気に入れる工程と、前記アノードと前記
カソードを30〜40Vの間の電圧に供する工程とを含
む請求項20に記載の複合炭素構造体を製造する方法。 - 【請求項22】 前記煤を結合剤材料と混合する工程
は、前記煤を1〜5重量%の炭素系結合剤と混合して前
記第1の中間製品を形成させることを含む請求項19に
記載の複合炭素構造体を製造する方法。 - 【請求項23】 前記プレスする工程は、1〜10トン
/cm2の圧力で前記第1の中間製品をプレスすること
を含む請求項19に記載の複合炭素構造体を製造する方
法。 - 【請求項24】 前記第1の中間製品を加熱する工程
は、前記プレスされた第1の中間製品を400〜800
℃の温度で不活性雰囲気を有する炉に10時間にわたり
入れることを含む請求項23に記載の複合炭素構造体を
製造する方法。 - 【請求項25】 前記冷却する工程は室温に冷却するこ
とを含む請求項24に記載の複合炭素構造体を製造する
方法。 - 【請求項26】 炭素コーティングによって取り囲まれ
ているナノメートルサイズの触媒粒子を各々が含む炭素
被覆触媒ナノ粒子と、前記炭素被覆触媒ナノ粒子と均一
に混合された無機触媒担体材料とを含むCVD用の触媒
担体。 - 【請求項27】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の
各々は0.1〜100nmの範囲のサイズを有する請求
項26に記載の触媒担体。 - 【請求項28】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の
各々は1〜50nmの範囲のサイズを有する請求項26
に記載の触媒担体。 - 【請求項29】 前記ナノメートルサイズの触媒粒子の
各々は、Ni、Co、YC2およびCeC2から成る群
から選択される請求項26に記載の触媒担体。 - 【請求項30】 前記炭素コーティングの各々は、前記
ナノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを完全に
取り囲む少なくとも一つのグラファイト層である請求項
26に記載の触媒担体。 - 【請求項31】 前記炭素コーティングの各々は、前記
ナノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを取り囲
む実質的に同心の1〜100のグラファイト層を含む請
求項30に記載の触媒担体。 - 【請求項32】 前記炭素コーティングの各々は、前記
ナノメートルサイズの触媒粒子のそれぞれ一つを取り囲
む実質的に同心の1〜10のグラファイト層を含む請求
項30に記載の触媒担体。 - 【請求項33】 前記炭素被覆触媒ナノ粒子は、前記炭
素担体の5〜95重量%を構成する請求項26に記載の
触媒担体。 - 【請求項34】 前記炭素被覆触媒ナノ粒子は、前記炭
素担体の20〜95重量%を構成する請求項26に記載
の触媒担体。 - 【請求項35】 前記無機触媒担体は、Al2O3、S
iO2、シリカウェハー、多孔質アルミニウムフィルム
およびシリカゼオライトから成る群から選択される請求
項26に記載の触媒担体。 - 【請求項36】 請求項26〜35のいずれか1項に記
載の触媒担体を形成する工程と、前記触媒担体を加熱す
る工程と、炭素ナノ構造体を成長させるために前記触媒
担体に炭素源を供給する工程とを含む、CVDによって
炭素ナノ構造体を形成させる方法。 - 【請求項37】 前記触媒担体を加熱する工程は、40
0〜1200℃の温度にある炉に前記触媒担体を入れる
ことを含む請求項36に記載の炭素ナノ構造体を形成さ
せる方法。 - 【請求項38】 前記炉温度、前記炭素源および前記触
媒粒子サイズは、竹状の炭素繊維を形成するために選択
される請求項37に記載の炭素ナノ構造体を形成させる
方法。 - 【請求項39】 前記触媒担体を加熱する工程は、80
0〜1200℃の温度にある炉に前記触媒担体を入れる
ことを含む請求項36に記載の炭素ナノ構造体を形成さ
せる方法。 - 【請求項40】 前記触媒担体に炭素源を供給する工程
の前に実施される前記炭素源を予熱する工程をさらに含
む請求項36に記載の炭素ナノ構造体を形成させる方
法。 - 【請求項41】 前記炭素源を予熱する工程は、400
〜1000℃の温度に前記炭素源を加熱することを含む
請求項40に記載の炭素ナノ構造体を形成させる方法。 - 【請求項42】 前記炭素源を供給する工程は、気相に
おいて炭素源を供給することを含む請求項36に記載の
炭素ナノ構造体を形成させる方法。 - 【請求項43】 前記炭素源を供給する工程は、CO、
CH4およびベンゼンから成る群から選択された炭素源
を供給することを含む請求項42に記載の炭素ナノ構造
体を形成させる方法。 - 【請求項44】 煤が炭素被覆触媒ナノ粒子を含むよう
に、触媒が充填されている炭素棒から前記煤を発生させ
る工程と、前記煤を集めると共に、前記煤中の前記炭素
被覆触媒ナノ粒子以外の粒子を除去することにより前記
煤を精製し、よって精製された煤を生じさせる工程と、
前記精製された煤を溶媒中に懸濁させると共に、前記精
製された煤を触媒担体材料上に分散させる工程とを含
む、炭素ナノ構造体のCVD用の触媒を製造する方法。 - 【請求項45】 前記煤を発生させる工程は、煤を発生
させるために、前記触媒が充填されている炭素棒を含む
アノードと純炭素を含むカソードと間で第1のアーク放
電を実施することを含む請求項44に記載の触媒を製造
する方法。 - 【請求項46】 前記第1のアーク放電を実施する工程
は、前記アノード中の前記触媒としてNiおよびCeO
2を用いる工程と、前記アノードと前記カソードをヘリ
ウムの緩衝雰囲気に入れる工程と、前記アノードと前記
カソードを30〜40Vの間の電圧に供する工程とを含
む請求項45に記載の触媒を製造する方法。 - 【請求項47】 前記煤を精製する工程は、前記煤およ
び硝酸を含む溶液を形成し、前記煤を濾過し、前記煤を
水で洗浄することを含む請求項44に記載の触媒を製造
する方法。 - 【請求項48】 前記精製された煤を前記溶液中に懸濁
させる工程は、アセトン、水、ベンゼン、アルコール、
トルエンおよびクロロホルムから成る群から選択された
溶媒中に前記精製された煤を懸濁させることを含む請求
項44に記載の触媒を製造する方法。 - 【請求項49】 前記煤を触媒担体材料上に分散させる
工程は、Al2O3、SiO2、シリカウェハー、多孔
質アルミニウムフィルムおよびシリカゼオライトから成
る群から選択された触媒担体材料上に煤を分散させるこ
とを含む請求項44に記載の触媒を製造する方法。
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