JP2003025198A - 面取り装置および被面取り基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 研削量のばらつきが生じず、安定した面取り
加工が可能な面取り装置および被面取り基板を提供す
る。 【解決手段】 液晶表示パネル１９が載置される回転テ
ーブル８の吸着ステージ５と、液晶表示パネル１９の端
縁を研削する回転砥石９と、回転砥石９を駆動する駆動
モータとを備え、液晶表示パネル１９と回転砥石９が接
触する部分に研削水を噴射する研削水供給ノズル５０
と、回転テーブル８および吸着テーブル５に冷却水を噴
射する保持台冷却ノズル１０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、液晶表
示装置、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置、プ
ラズマ表示装置などに使用されるガラス基板や表示パネ
ルの端縁を研削して面取りするための面取り装置、およ
びこの面取り装置によって面取りが行なわれる被面取り
基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶表示装置に使用される液晶
表示パネルは、２枚のガラス基板が所定の間隙を形成す
るように貼り合わされた構造をしており、この間隙に液
晶が封入されることにより、両ガラス基板の内側に形成
された透明電極に液晶層が挟持される構造となってい
る。

【０００３】この液晶表示パネルの端縁には、製造段階
において、液晶表示パネルが静電気によって損傷を受け
ることを防止するためのショートリングや、簡易点灯試
験に使用される共通配線が形成されている場合が多い。
このショートリングや共通配線は製造工程中にのみ利用
されるもので、製品として出荷される前には除去される
ものである。また、この液晶表示パネルの分断の際に、
その端縁にはバリが生じる。これら、ショートリング、
共通配線、バリなどの除去のため、砥石によって液晶表
示パネル端縁の面取りが行なわれる。

【０００４】以下、従来の面取り装置の一例を例示し
て、その構成および動作について説明する。図９は、従
来の面取り装置の構成を説明するための概略上面図であ
り、図１０および図１１は、この面取り装置のワーク研
削部Ｂの構造をより詳細に説明するための概略側面図で
ある。また、図１２は、液晶表示パネルを保持台である
回転テーブル上の吸着ステージに載置する際の位置決め
方法を説明するための概略上面図である。

【０００５】面取り装置の配置スペース１内には、その
中央に保持台である回転テーブル８が配設されており、
その回転方向順（図中、矢印Ｄ方向）に、ワーク供給部
Ａ、ワーク研削部Ｂ、ワーク回収部Ｃの３つの部分が構
成されている。回転テーブル８上の所定の位置には、研
削されるべき基板である液晶表示パネル１９を吸着して
保持する吸着ステージ５が、複数個載置されている。こ
の保持台の一部である吸着ステージ５は、その液晶表示
パネル１９を載置する面に複数の溝または穴を備えてお
り、バルブを介して真空源または負圧発生装置（図示せ
ず）に接続され、所定の位置に載置された液晶表示パネ
ル１９を吸着して保持するものである。

【０００６】ワーク供給部Ａでは、隣接する取出しカセ
ット２から、面取り加工を行なうワークである液晶表示
パネル１９が１枚ずつ取出され、回転テーブル８上の吸
着ステージ５に供給される。このワーク供給部Ａは、収
納カセット２から液晶表示パネル１９を取出す供給アー
ム３と、供給アーム３を移動させる供給ロボット４とを
備えている。

【０００７】ワーク研削部Ｂでは、上述のワーク供給部
Ａにて吸着ステージ５上に載置された液晶表示パネル１
９の面取り加工が行なわれる。このワーク研削部Ｂは、
図１０および図１１を参照して、液晶表示パネル１９の
端縁を研削し面取りする回転砥石９と、回転砥石９を回
転駆動する駆動モータ２７と、回転砥石９が液晶表示パ
ネル１９の端縁と接触するように回転砥石９を移動させ
る砥石ＸＹロボット１１とから構成されている。また、
回転砥石９と駆動モータ２７とは回転軸５２によって接
続されており、駆動モータ９と砥石ＸＹロボット１１と
は固定ブロック２２によって接続されている。また、吸
着ステージ５上に載置された液晶表示パネル１９と回転
砥石９とが接触して研削が行なわれる際に発生する熱を
逃がすための研削水を供給する研削水供給ノズル５０
が、回転砥石９の背後に設置されている。

【０００８】ワーク回収部Ｃでは、上述のワーク研削部
Ｂにおいて面取りされた液晶表示パネル１９が収納カセ
ット１４に収納される。このワーク回収部Ｃは、吸着ス
テージ５上の面取り加工された液晶表示パネル１９を取
出す回収アーム１２と、この回収アーム１２を移動させ
る回収ロボット１３とを備えている。

【０００９】以上の構成からなる面取り装置では、ワー
ク供給部Ａにおいて取り出された液晶表示パネル１９
が、回転テーブル８上の吸着ステージ５に載置され、回
転テーブル８が回転することでワーク研削部Ｂへと運ば
れる。つづいて、ワーク研削部Ｂにおいて回転砥石９に
よって液晶表示パネル１９の端縁の面取りが行なわれ、
面取り終了後は、再び回転テーブル８が回転することで
ワーク回収部Ｃへと運ばれる。このワーク取出し部Ｃに
おいて、液晶表示パネル１９は回収され、収納カセット
１４へと収納される。これらの動作を繰り返すことで、
連続的に面取り加工が行なわれる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の従来の面取り装置では、面取り装置の作動開始直後
に面取り加工された液晶表示パネルと、作動開始後一定
時間経過してから面取り加工された液晶表示パネルとで
は、その研削量に大きな差が生じる。さらには、この研
削量の変動は多数の不良品を発生させるため、歩留まり
の低下原因にもなっていた。

【００１１】この研削量の変動原因としては、（イ）研
削水の噴霧によって回転テーブル８上面が冷却され、回
転テーブル８下面との間に温度差が生じることに起因す
る回転テーブル８の反り量Ｌ１（図１０参照）と、
（ロ）駆動モータ２７の駆動に伴って発生する熱が回転
軸５２に伝導し、駆動モータ本体２７および回転軸５２
が熱膨張することにより生ずる回転砥石９の位置変動量
Ｌ２（図１１参照）と、（ハ）回転テーブル８上の吸着
ステージ５への液晶表示パネル１９の載置の際に発生す
る位置ずれ、とが挙げられる。

【００１２】（イ）については、回転テーブル８が面取
り装置の運転開始直後に一時的に大きく反るが、一定時
間連続運転することで回転テーブル８の下面の温度が徐
々に上面の温度に近づくため、次第に反り量が減少す
る。また、（ロ）については、面取り装置の運転開始時
点から徐々に駆動モータ本体２７および回転軸５２の温
度が上昇することで回転砥石９が下方へと移動する。ま
た、（ハ）については突発的に起こるため、液晶表示パ
ネル１９と回転砥石９との位置関係が不安定となる。こ
のように研削量は経時的に変化し、さらには微小な変動
であるため、その調整は困難である。

【００１３】たとえば、層型の回転砥石を使用して、こ
の回転砥石と研削する液晶表示パネルの主面との接触角
度を１７度に設定した場合、液晶表示パネルの主面側の
研削量Ｈと端面側の研削量Ｖとの比は、約３対１とな
る。このため、上下方向に液晶表示パネルまたは回転砥
石が５０μｍ変動した場合には、水平方向の研削量の変
化は１５０μｍとなり、誤差許容範囲を逸脱する。

【００１４】（イ）および（ロ）の問題を解決するため
の方法としては、適宜、面取り加工済みの液晶表示パネ
ルを抜き取って目視検査を行ない、砥石の高さを調整す
ることが考えられる。しかし、この方法では手間のわり
には効果は低く、また工数が増えることにより製造コス
トの増大につながる。また、作業者の見逃しもあるた
め、抜本的な解決には至らない。

【００１５】さらに、上述の（ハ）の問題を解決するた
めの方法として、図１２に示す位置決め治具６が使用さ
れる。この位置決めは、位置決め治具６に取付けられた
位置決めピン６１により、３方向（図中矢印Ｆ，Ｇ，Ｈ
方向）から液晶表示パネル１９を押すことで吸着ステー
ジ５上の所定位置に正確に液晶表示パネル１９を位置決
めするものである。しかし、この方法を用いたとしても
正確に位置決めされたかどうかを確認することが困難で
あり、突発的な位置ずれは起こり得る。

【００１６】したがって、本発明の目的は、上述の研削
量の変動を生じない面取り装置を実現することにあり、
所望の研削量で面取りが安定して行なわれる面取り装置
および被面取り基板を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面にお
ける面取り装置は、基板を保持する保持台と、基板の端
縁を研削する砥石と、砥石を駆動する駆動手段とを備え
ており、研削されるべき基板の端縁と砥石との接触部に
研削水を供給する研削水供給手段と、保持台に研削水と
略同温の冷却水を供給する冷却水供給手段とを備えてい
る。

【００１８】本構成のように、保持台を冷却水供給手段
によって冷却し、保持台の表裏面の温度差をなくして一
定に保つことで、基板の位置変動の主要因である保持台
の反りを防止することが可能になる。これにより、面取
り装置の運転開始直後に面取りが行なわれた基板と、運
転開始後一定時間経過した時点で面取りされた基板との
研削量を一定に保つことが可能となり、常に所望の研削
量を得ることができるようになる。さらには、これによ
り歩留まりの向上が図られ、製造コストが低減する。

【００１９】本発明の第２の局面における面取り装置
は、基板を保持する保持台と、基板の端縁を研削する砥
石と、砥石を駆動する駆動手段とを備えており、駆動手
段を略雰囲気温度に冷却する冷却手段を備えている。

【００２０】本構成のように、駆動手段を冷却すること
により駆動手段の発熱を抑え、雰囲気温度と略同温に保
つことで、砥石の位置変動を防止することが可能にな
る。これにより、常に所望の研削量を得ることが可能と
なり、歩留まりの向上が図られ製造コストが低減する。

【００２１】上記本発明の第２の局面における面取り装
置は、たとえば、駆動手段が、砥石に回転力を伝達する
ための回転軸を備え、冷却手段が、回転軸を略雰囲気温
度に冷却することが望ましい。

【００２２】本構成のように、冷却手段によって駆動手
段に設けられた回転軸を冷却して雰囲気温度と略同温に
保つことで、回転軸の熱膨張を抑えることが可能とな
り、砥石の位置変動を防止することが可能となる。これ
により、上述の効果が得られるようになる。

【００２３】本発明の第３の局面における面取り装置
は、基板を保持する保持台と、基板の端縁を研削する砥
石と、砥石を駆動する駆動手段とを備えており、面取り
装置の一部が温度上昇することに起因する基板または砥
石のうちの少なくとも一方の位置ずれを検出し、この検
出した位置ずれ情報に基づいて基板または砥石のうちの
少なくとも一方の位置を調整する位置調整手段を備えて
いる。

【００２４】本構成により、砥石または研削される基板
の微弱な位置変動を検出し、この検出した位置ずれ情報
に基づいて砥石または基板の位置を位置調整手段によっ
て調整することで、砥石と基板の適切な距離が確保され
るようになる。これにより、安定した研削量を得ること
が可能となり、歩留まりが向上し、製造コストを低減す
ることが可能となる。

【００２５】上記本発明の第３の局面における面取り装
置は、たとえば、保持台の位置の変位量を検出する変位
量検出手段を備え、位置調整手段が、この変位量の情報
に基づいて基板または砥石のうちの少なくとも一方の位
置を調整してもよい。

【００２６】本構成のように、基板が載置された部分の
近傍の保持台の位置を検出することで間接的に基板の位
置を特定し、この情報に基づいて砥石または基板の位置
を調整するようにしてもよい。これにより、上述と同様
の効果が得られるようになる。

【００２７】本発明の第４の局面における面取り装置
は、基板を保持する保持台と、基板の端縁を研削する砥
石と、砥石を駆動する駆動手段とを備えており、研削さ
れるべき基板主表面を撮影する撮影手段と、撮影手段に
よって撮影された画像を処理する画像処理手段とを備え
ている。

【００２８】本構成のように、撮影手段および画像処理
手段を備えることで、従来、作業者によって行なわれて
いた各種の良否判定を自動化することが可能となるた
め、面取り装置の高効率化が図られる。これにより、作
業者の負担が減少し、製造コストの低減が図られる。

【００２９】上記本発明の第４の局面における面取り装
置は、たとえば、撮影手段は、研削されるべき基板の端
縁が研削されることで生ずる基板主表面の稜線を跨ぐよ
うに付された目印を撮影し、画像処理装置は、撮影手段
によって撮影された画像を処理して目印の残存量によっ
て基板の研削量を検出することが望ましい。

【００３０】本構成により、所望の面取り量が得られた
かどうかの良否判定を自動化することが可能となり、作
業工程の簡略化が図られる。これにより、面取り装置に
おいて発生する不良品がすべて取り除かれるため、製品
の信頼性が向上する。

【００３１】上記本発明の第４の局面における面取り装
置は、たとえば、撮影手段は、研削されるべき基板の保
持台上での位置決めのために付された目印を撮影し、画
像処理装置は、撮影手段によって撮影された画像を処理
し、目印の位置によって保持台上での基板の位置を特定
することが望ましい。

【００３２】上記構成により、基板を保持台に載置する
際の位置決めの良否判定を自動化することが可能とな
り、作業工程が簡略化される。これにより、面取り工程
における不良品の確実な選別が可能となり、製造コスト
の低減が図られる。

【００３３】本発明の第１の局面における被面取り基板
は、面取り装置によって端縁を研削される被面取り基板
であり、被面取り基板の主表面には、面取り装置によっ
て研削されることで生ずる稜線を跨ぐように目印が付さ
れていることを特徴としている。

【００３４】本構成の被面取り基板とすることで、面取
り加工の良否判定を自動化することが可能となる。これ
により、確実に不良品を選別することが可能となり、さ
らには基板の量産化が一段と促進されるため、製造コス
トの削減が図られる。

【００３５】本発明の第２の局面における被面取り基板
は、面取り装置によって端縁を研削される被面取り基板
であり、被面取り基板の主表面には、面取り装置の保持
台上での位置決めのための目印が付されていることを特
徴としている。

【００３６】本構成の被面取り基板とすることで、面取
り加工における位置決め判定を自動化することが可能と
なる。これにより、作業者の負担が減少し、さらには基
板の量産化が一段と促進されるため、製造コストの低減
化が実現される。

【００３７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
を参照して説明する。

【００３８】（実施の形態１）図１は、本実施の形態に
おける面取り装置の構成を説明するための概略上面図で
あり、図２は、本実施の形態の保持台冷却機構の構造を
説明するためのワーク研削部Ｂの概略側面図である。ま
た、図３は、位置決め良否判定機構の構成を説明するた
めの模式図であり、図４および図５は、面取り加工の良
否判定機構の構成を説明するための模式図である。本実
施の形態の面取り装置は、保持台に研削水と略同温の冷
却水を供給する機構を備えた面取り装置であり、さらに
ＣＣＤカメラやモニタなどを備えることにより、保持台
上への位置決めおよび面取り加工の良否判定を行なう機
構も備えている。

【００３９】（面取り装置の構成）図１を参照して、本
実施の形態における面取り装置では、上述の従来例に示
した面取り装置の構成とほぼ同様の構造となっている
が、面取り装置中央付近に配置されている円形の回転テ
ーブル８の中央に、冷却水を噴霧するための保持台冷却
用ノズル１０が設けられている。また、面取り装置のワ
ーク供給部Ａに隣接する回転テーブル８の吸着ステージ
５の上方には、位置決め判定用の撮影手段であるアライ
ンメントＣＣＤカメラ７が設置されている。さらに、面
取り装置の収納部Ｃに隣接する回転テーブル８の吸着ス
テージ５の上方には、面取り加工の良否判定用の撮影手
段である面取りＣＣＤカメラ１８が設置されている。な
お、この面取り装置の配置スペース１内の所定位置に
は、上述の２つのＣＣＤカメラ７，１８によって撮影さ
れた画像をモニタするためのアラインメントモニタ１７
と、面取りモニタ１６とが配置されている。

【００４０】（保持台冷却機構）図１および図２に示す
ように、保持台冷却機構の一部である保持台冷却用ノズ
ル１０は、回転テーブル８上の吸着ステージ５に向かっ
て分岐した構造となっており、その保持台冷却用ノズル
１０の先端は吸着ステージ５およびその近傍の回転テー
ブル８に向かって配設されている。この保持台冷却用ノ
ズル１０は冷却水の供給源（図示せず）に接続されてお
り、この供給源から冷却水が常時供給される。さらに、
この冷却水は、従来例において説明した研削水と略同温
に設定されており、回転テーブル８に噴射されること
で、回転テーブル８の温度を均一かつ一定に保つ役目を
する。なお、この保持台冷却用ノズル１０は、回転テー
ブル８の回転にあわせて回転するようになっていても、
回転テーブル８の回転には追従せず、ワーク供給部Ａ、
ワーク研削部Ｂ、ワーク回収部Ｃのそれぞれに向かって
固定されていてもどちらでもよい。また、分岐を設け
ず、回転テーブル８の全面に向かって噴出するようにな
っていてもよい。さらには、設備簡略化のために切削水
と冷却水とが同じ供給源に接続されていることが望まし
い。

【００４１】（位置決め良否判定機構）図３を参照し
て、ワーク供給部Ａの近傍に位置する吸着ステージ５の
上方には、アラインメントＣＣＤカメラ７が設置されて
おり、位置決め治具６により位置決めされて吸着ステー
ジ５上に保持された液晶表示パネル１９の所定位置に付
されたアラインメントマーク２０近傍が撮影されるよう
になっている。このアラインメントＣＣＤカメラ７にて
撮影された映像は、アラインメントモニタ１７に映し出
され、画像処理手段であるアラインメントコントローラ
（図示せず）により画像処理を行なうことで自動で位置
決めの良否判定を行なう。具体的に位置決めが正しく行
なわれているか自動で判断するには、予め液晶表示パネ
ル１９に付されたアラインメントマーク２１が誤差許容
範囲を示した領域内に収まっているかどうかを識別する
ことで行なう。なお、ミスアラインメントが発生した場
合には、警告を発して作業者に知らせ、同時に装置を停
止させてもよいし、もう一度位置決め治具６によって位
置合わせをし直してもよい。

【００４２】（面取り加工の良否判定機構）図４を参照
して、収納部Ｃの近傍に位置する吸着ステージ５の上方
には、面取りＣＣＤカメラ１８が設置されており、吸着
ステージ５上に保持された液晶表示パネル１９の所定位
置が撮影されるようになっている。この面取りＣＣＤカ
メラ１８によって撮影された映像は、面取りモニタ１６
に映し出され、画像処理手段である面取りコントローラ
（図示せず）によって画像処理を行なうことで、自動で
面取り加工の良否が判定される。具体的には、面取り加
工を施すことによって発生する稜線１９ａを面取りコン
トローラによって識別し、この稜線１９ａが所定範囲内
にあるかどうかで判断する。なお、面取りが正しく行な
われていない場合には、上述のミスアラインメント発生
時と同様に警告を発して作業者に知らせ、同時に装置を
停止させてもよい。

【００４３】さらに、図５に示すように、液晶表示パネ
ル１９上の面取り加工が行なわれることにより現れる稜
線１９ａを跨ぐように、予め液晶表示パネル表面１９に
面取り量を検知するための面取りマーク７０を付してお
き、面取り加工後にこの面取りマーク７０が消失してい
る度合いを識別することにより、面取り加工の良否を判
定することも可能である。

【００４４】（作用・効果）上述の保持台冷却機構を備
えることにより、保持台である回転テーブルの表裏面の
温度が均一に安定するため、従来発生していた反りの防
止が図られる。また、研削水と略同温とすることで、研
削水が保持台にかかる場合にも回転テーブルの温度が変
わることはい。さらには、冷却水の供給源を研削水の供
給源と共通で使用できるため、装置の大きな改造も不要
である。また、冷却水を吹きつけるという簡易な手法で
回転テーブルの冷却が行なわれるため、製造コストを増
加させることもない。

【００４５】また、上述の位置決め良否判定機構を備え
ることで、作業者の負担が軽減されるため、製造コスト
の低減が図られる。さらには、従来発生していた突発的
な位置ずれが起こった場合にも、直ちにその位置ずれの
発生を作業者が認知して措置をとることが可能となるた
め、不良品の発生を未然に防止することが可能となる。

【００４６】また、上述の面取り加工の良否判定機構を
備えることで、良・不良の判定が簡易かつ確実に行なえ
るようになる。さらには、自動化することで作業者の負
担が軽減され、製造コストの削減が図られる。

【００４７】（実施の形態２）図６は、実施の形態２に
おける面取り装置の駆動手段冷却機構の構造を説明する
ためワーク研削部Ｂの概略側面図である。本実施の形態
の面取り装置は、駆動モータの発熱による砥石の位置変
動を防止するための冷却手段を備えたものである。

【００４８】（駆動手段冷却機構）本実施の形態におけ
る面取り装置の駆動モータ２７は、上述の従来例同様、
固定ブロック２２を介して砥石ＸＹロボット１１に取付
けられている。この駆動モータ２７は、回転砥石９を回
転させるための回転軸５２を備え、この回転軸５２によ
って回転力が回転砥石９に伝達されることで回転砥石９
が回転して液晶表示パネル１９の端辺を研削する。本実
施の形態における駆動モータ２７は、その本体を覆うよ
うに螺旋状に駆動モータ冷却管２８が取付けられてお
り、この駆動モータ冷却管２８内に冷媒である水などの
流体を連続的に流すことで、駆動モータ２７を冷却す
る。このときの冷媒である水は、たとえば上述の研削水
と略同温度とし、研削水の供給源と共通の供給源とする
ことも可能である。さらには、上記実施の形態１の保持
台を冷却する冷却水の供給源と共通化することも可能で
ある。また、駆動モータ２７の上部には放熱フィン５５
が取付けられており、この放熱フィン５５によっても駆
動モータ２７で発生する熱を大気に放出することが可能
である。

【００４９】回転軸５２を冷却する手段としては、たと
えば、砥石ＸＹロボット１１に冷風を噴出する回転軸冷
却用ノズル５１を取付けることが考えられる。この場
合、回転軸冷却用ノズル５１から噴出する冷風により駆
動モータ本体２７から伝導した熱を大気に放出すること
で、回転軸５２を冷却する。なお、冷風を送る手段とし
て、送風機を直接回転軸５２の近傍に設置してもよい。

【００５０】（作用・効果）上記構成の駆動モータ本体
および回転軸を冷却する冷却手段を設けることで、駆動
モータ本体が発熱しておこる駆動モータ本体および回転
軸の熱膨張が防止されるため、砥石の位置変動が防止さ
れる。これにより、面取り加工の不良の発生が防止さ
れ、歩留まりが向上する。

【００５１】（実施の形態３）図７は、本発明の実施の
形態３における面取り装置の研削量制御機構の構成を説
明するための模式図であり、図８は、ワーク研削部Ｂの
側面図である。本実施の形態の面取り装置は、保持台の
反りによる研削面の位置変動および駆動モータの発熱に
よる研削面の位置変動を検出し、回転砥石の高さを調節
する研削量制御機構を備えた面取り装置である。

【００５２】（研削量制御機構）本実施の形態の面取り
装置では、回転テーブル８の所定位置の上方に保持台の
変位量検出手段であるレーザー変位計２４が備えられて
おり、このレーザー変位計２４により面取りが行なわれ
る液晶表示パネル１９が載置された吸着ステージ５の高
さが測定される。このレーザ変位計２４は、面取り加工
のためにワーク研削部Ｂに搬送される直前に測定される
よに設置することが望ましい。このレーザ変位計２４に
より測定された吸着ステージ５の高さの情報は、レーザ
変位計用アンプ２５を介して面取り装置の制御部２６に
送られる。

【００５３】また、駆動モータ２７の所定位置には、駆
動モータ２７の温度を検出する温度センサ２９が取付け
られており、この温度センサ２９により検出された駆動
モータ２７の温度情報が、温度センサ用アンプ３０を介
して面取り装置の制御部２６へと伝送される。

【００５４】面取り装置の制御部２６では、予め入力さ
れている換算データを用いて上記吸着ステージ５の高さ
情報および駆動モータ２７の温度情報を併合して回転砥
石９の適切な高さを算出し、固定ブロック２２と砥石Ｘ
Ｙロボット１１との間に取付けられている砥石Ｚ軸ロボ
ット２３に伝達する。これを受けた砥石Ｚ軸ロボット２
２は、回転砥石９が適切な高さとなるように上下方向
（図中、矢印Ｅ方向）に調整する。

【００５５】（作用・効果）上記構成の研削量制御機構
を備えることにより、常に液晶表示パネルと回転砥石と
の距離が最適値となるように制御されるため、安定した
研削量を得ることが可能となる。これにより、従来問題
となっていた研削量のばらつきを抑えることができるた
め、不良品の発生を大幅に低減することが可能となる。
さらには、自動化が可能となるため作業者の手間が省か
れ、製造コストも低減することが可能となる。なお、本
実施の形態では、保持台の高さを検出する機構と駆動モ
ータの温度を検出する機構の２つの機構を併せ備えてい
るが、これらのうちの１つを備えているだけでも十分な
効果が得られる。

【００５６】なお、今回開示した上記各実施の形態はす
べての点で例示であって、制限的なものではない。本発
明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、ま
た特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内での
すべての変更を含むものである。

【００５７】

【発明の効果】本発明により、従来困難であった面取り
加工における研削量のばらつきを抑えることが可能にな
り、歩留まりが向上する。さらには、基板の位置決めや
面取り加工の良否判定を自動化することが可能となるた
め、作業者の負担が軽減され、製造コストの低減が図ら
れる。また、本発明の適用にあたっては、従来の面取り
装置に若干の改良を加えるのみで済むため、安価に行な
うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１における面取り装置の
構成を示した概略上面図である。

【図２】 本発明の実施の形態１における面取り装置の
保持台冷却機構の構造を説明するためのワーク研削部Ｂ
の概略側面図である

【図３】 本発明の実施の形態１における位置決め良否
判定機構の構成を説明するための模式図であ。

【図４】 本発明の実施の形態１における面取り加工良
否確認機構の構成を説明するための模式図であ。

【図５】 本発明の実施の形態１における面取り加工良
否確認機構の他の形態の構成を説明するための模式図で
あ。

【図６】 本発明の実施の形態２における駆動手段冷却
機構の構造を説明するためのワーク研削部Ｂの概略側面
図である。

【図７】 本発明の実施の形態３における研削量制御機
構の構成を説明するための模式図である。

【図８】 本発明の実施の形態３におけるワーク研削部
Ｂの構造を説明するための概略側面図である。

【図９】 従来の面取り装置の構成を説明するための概
略上面図である。

【図１０】 従来の面取り装置におけるワーク研削部Ｂ
の構造を説明するための概略側面図である。

【図１１】 従来の面取り装置における回転砥石および
駆動モータ近傍の構造を説明するための概略側面図であ
る。

【図１２】 従来の面取り装置における位置決め機構の
構成を説明するための概略上面図である。

【符号の説明】

Ａ ワーク供給部、Ｂ ワーク研削部、Ｃ ワーク回収
部、１ 面取り装置配置スペース、２ 取出しカセッ
ト、３ 供給アーム、４ 供給ロボット、５ 吸着ステ
ージ、６ 位置決め治具、７ アラインメントＣＣＤカ
メラ、８ 回転テーブル、９ 回転砥石、１０ 回転テ
ーブル冷却用ノズル、１１ 砥石ＸＹロボット、１２
回収アーム、１３ 回収ロボット、１４ 収納カセッ
ト、１６ 面取りモニタ、１７ アラインメントモニ
タ、１８ 面取りＣＣＤカメラ、１９液晶表示パネル、
１９ａ 稜線、２０ アラインメントマーク、２１ ア
ラインメントコントローラ、２２ 固定ブロック、２３
砥石Ｚ軸ロボット、２４ レーザ変位計、２５ レー
ザ変位計用アンプ、２６ 制御部、２７ 駆動モータ、
２８ 駆動モータ冷却管、２９ 温度センサ、３０ 温
度センサ用アンプ、５０研削水供給ノズル、５１ 回転
軸冷却用ノズル、５２ 回転軸、５３ 回転テーブル固
定軸、５５ 放熱フィン、６１ 位置決めピン、７０
面取りマーク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｂ 55/02 Ｂ２４Ｂ 55/02 Ｚ ３Ｃ０４９ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ ５Ｃ０５４ 1/1333 ５００ 1/1333 ５００ Ｈ０４Ｎ 7/18 Ｈ０４Ｎ 7/18 Ｃ Ｆターム(参考） 2H088 FA05 FA30 HA01 MA20 2H090 JB02 JC00 JC02 JC14 3C029 AA01 AA40 3C034 AA13 AA19 BB92 BB93 CA02 CA12 CA19 CA26 3C047 FF09 GG00 3C049 AA04 AA18 AC02 AC04 BA01 BA02 BA07 BB01 BC03 CA01 CA06 CB01 CB05 5C054 AA01 CA04 CC02 CD03 CF05 CG01 FC15 HA03 HA05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する保持台と、前記基板の端
   縁を研削する砥石と、前記砥石を駆動する駆動手段とを
   備えた面取り装置であって、 前記研削されるべき基板の端縁と前記砥石との接触部に
   研削水を供給する研削水供給手段と、 前記保持台に前記研削水と略同温の冷却水を供給する冷
   却水供給手段とを備えた、面取り装置。
2. 【請求項２】 基板を保持する保持台と、前記基板の端
   縁を研削する砥石と、前記砥石を駆動する駆動手段とを
   備えた面取り装置であって、 前記駆動手段を略雰囲気温度に冷却する冷却手段を備え
   た、面取り装置。
3. 【請求項３】 前記駆動手段が、前記砥石に回転力を伝
   達するための回転軸を備え、前記冷却手段が、前記回転
   軸を略雰囲気温度に冷却する、請求項２に記載の面取り
   装置。
4. 【請求項４】 基板を保持する保持台と、前記基板の端
   縁を研削する砥石と、前記砥石を駆動する駆動手段とを
   備えた面取り装置であって、 前記面取り装置の一部が温度上昇することに起因する前
   記基板または前記砥石のうちの少なくとも一方の位置ず
   れを検出し、この検出した位置ずれ情報に基づいて前記
   基板または前記砥石のうち少なくとも一方の位置を調整
   する位置調整手段を備えた、面取り装置。
5. 【請求項５】 前記面取り装置が、前記保持台の位置の
   変位量を検出する変位量検出手段を備え、前記位置調整
   手段が、この変位量の情報に基づいて前記基板または前
   記砥石のうち少なくとも一方の位置を調整する、請求項
   ４に記載の面取り装置。
6. 【請求項６】 基板を保持する保持台と、前記基板の端
   縁を研削する砥石と、前記砥石を駆動する駆動手段とを
   備えた面取り装置であって、 前記研削されるべき基板主表面を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段によって撮影された画像を処理する画像処
   理手段とを備えた、面取り装置。
7. 【請求項７】 前記撮影手段は、前記研削されるべき基
   板の端縁が研削されることで生ずる前記基板主表面の稜
   線を跨ぐように付された目印を撮影し、前記画像処理装
   置は、前記撮影手段によって撮影された画像を処理し、
   前記目印の残存量によって前記基板の研削量を検出す
   る、請求項６に記載の面取り装置。
8. 【請求項８】 前記撮影手段は、前記研削されるべき基
   板の前記保持台上での位置決めのために付された目印を
   撮影し、前記画像処理装置は、前記撮影手段によって撮
   影された画像を処理し、前記目印の位置によって前記保
   持台上での前記基板の位置を特定する、請求項６に記載
   の面取り装置。
9. 【請求項９】 面取り装置によって端縁を研削される被
   面取り基板であって、 前記被面取り基板の主表面には、前記面取り装置によっ
   て研削されることで生ずる稜線を跨ぐように目印が付さ
   れていることを特徴とする、被面取り基板。
10. 【請求項１０】 面取り装置によって端縁を研削される
    被面取り基板であって、 前記被面取り基板の主表面には、前記面取り装置の保持
    台上での位置決めのための目印が付されていることを特
    徴とする、被面取り基板。