JP5769475B2 - 加工液供給ノズルの品質管理方法 - Google Patents
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Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
26 スピンドル
28 切削ブレード
60 ホイールカバー(ブレードカバー)
80a,80b 冷却液供給ノズル
81 冷却液噴出口
83 冷却液
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段とを備えた切削装置に配設され、該チャックテーブルで保持された被加工物に加工液を供給する加工液供給ノズルの品質管理方法であって、
該加工液供給ノズルに加工液を供給して加工液噴出口から加工液を噴出させる噴出ステップと、
該加工液噴出口から噴出した加工液を撮像手段で撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、
該撮像ステップで形成した撮像画像を基に該加工液供給ノズルの良否を判定する判定ステップと、を備え、
該加工液供給ノズルは、加工液供給源から供給された加工液が流入する流入口と、該流入口に連通して該切削ブレードの表裏両面側に配設された一対のパイプと、該切削ブレードに対面するように該各パイプに形成された前記加工液噴出口とを有しており、
前記撮像ステップでは、複数の方向から該加工液供給ノズルを撮像して複数の撮像画像を形成し、
該判定ステップでは、該加工液供給ノズルから加工液を噴出させた場合の加工液の開き角度、噴出した加工液の割れの有無、うねりの有無、噴出した加工液と該加工液供給ノズルとのなす角度を検出し、該加工液供給ノズルの良否を判定することを特徴とする加工液供給ノズルの品質管理方法。 - 前記加工液供給ノズルは固体を識別する個体識別マークを有しており、
前記撮像画像は、該加工液供給ノズルの固体を識別する個体識別番号を含んでいる請求項1記載の加工液供給ノズルの品質管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011085633A JP5769475B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 加工液供給ノズルの品質管理方法 |
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JP2012218102A JP2012218102A (ja) | 2012-11-12 |
JP5769475B2 true JP5769475B2 (ja) | 2015-08-26 |
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JP2011085633A Active JP5769475B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 加工液供給ノズルの品質管理方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5769475B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6271129B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2018-01-31 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN106425783B (zh) * | 2014-07-30 | 2018-06-26 | 中再德众科技有限公司 | 一种可视化手推式水降温的钢管电动打磨机 |
JP6918421B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2021-08-11 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び加工装置の使用方法 |
JP7001493B2 (ja) * | 2018-02-26 | 2022-01-19 | 株式会社ディスコ | 撮像画像形成ユニット |
JP6717875B2 (ja) * | 2018-04-26 | 2020-07-08 | ファナック株式会社 | 数値制御装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04224065A (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-13 | Aichi Steel Works Ltd | 連続鋳造用冷却装置の故障検知装置 |
JP4827576B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-11-30 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP4911115B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2012-04-04 | パナソニック株式会社 | 部品実装機及び部品実装機の画像認識方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012218102A (ja) | 2012-11-12 |
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Date | Code | Title | Description |
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