JP2002329683A - ダイシングマシン - Google Patents
ダイシングマシンInfo
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- JP2002329683A JP2002329683A JP2001131714A JP2001131714A JP2002329683A JP 2002329683 A JP2002329683 A JP 2002329683A JP 2001131714 A JP2001131714 A JP 2001131714A JP 2001131714 A JP2001131714 A JP 2001131714A JP 2002329683 A JP2002329683 A JP 2002329683A
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
蔽する遮蔽板を有するダイシングマシンにおいて、該ダ
イシングマシンが2本のスピンドルを対向配置したツイ
ンダイサであっても、回転刃の交換時に前記遮蔽板が邪
魔にならないダイシングマシンを提供すること。 【解決手段】ダイシングマシン1の遮蔽板71を、遮蔽
位置Fと退避位置Rとの間で進退可能な構造として、ワ
ークWの加工時は前記遮蔽板71を遮蔽位置に位置付
け、回転刃21を交換する時には退避位置Rに後退させ
るように構成した。
Description
関し、 特に加工部と撮像手段との間に遮蔽板を設けたダ
イシングマシンに関する。
を図7に示す。この従来のダイシングマシンの加工部
は、ワークWを加工する回転刃21が図示しない高周波
モータ内蔵型のスピンドルの先端に取付けられている。
また、ワークWはワークテーブル31に載置されて、図
のX−Xで示すX方向に切削送りされる。更に回転刃2
1には図示しない切削水ノズルと冷却水ノズルから多量
の水が供給され、加工部20内は水の飛沫とミストが充
満している。加工部20の隣には、ワークWをアライメ
ントするためにワークWを撮像する撮像手段10の顕微
鏡11が設けられている。この加工部20と顕微鏡11
との間には、加工部20内に立ち込めているミストと水
の飛沫が顕微鏡11にかからないように、遮蔽板71A
が設けられている。また、遮蔽板71Aの下方部には、
プリ洗浄ノズル26と共にエアーカーテンノズル27が
設けられ、このエアーカーテンノズル27から吹出され
るエアによるエアーカーテンが遮蔽板71Aの下方から
ミストが浸入するのを防いでいる。
71Aは加工部20の奥の図示しない壁に固定して取り
付けられているので、オペレータが両手に工具を持って
回転刃21の交換を行なおうとした時に、この遮蔽板7
1Aが邪魔になり交換し難いという問題があった。また
近年、先端に回転刃21を取り付けた2本のスピンドル
を対向して配置した、ツインダイサと呼ばれるダイシン
グマシンが脚光を浴びているが、このツインダイサの場
合には、手前側のスピンドルの回転刃21を交換する時
には腕を奥から手前側に回し込んで行うため、この問題
は特に顕著であり、どうしても解決しなければならない
問題であった。
たもので、2本のスピンドルを対向して配置したツイン
ダイサであっても、回転刃21の交換時に遮蔽板が邪魔
にならないダイシングマシンを提供することを目的とす
る。
成するために、請求項1に記載のように、ワークを加工
する加工部と、該ワークの表面を撮像する撮像手段とを
有するダイシングマシンにおいて、前記加工部と前記撮
像手段との間に切削水によるミストや水はねを防止する
遮蔽板を設け、前記遮蔽板は遮蔽位置と退避位置との間
を進退可能に構成されていることを特徴としている。
部と撮像手段との間に進退可能な遮蔽板が設けられてい
るので、切削水によるミストや水はねを防止できると共
に、不要な時には退避位置に戻すことができる。
板は、ワークを加工している時に前記遮蔽位置に位置付
けられ、ワークを加工する回転刃を交換する時には前記
退避位置に位置付けられることを特徴としている。
刃を交換する時には遮蔽板は退避位置に引っ込んでいる
ので、両手に工具を持ったオペレータが回転刃の交換を
行なう時に、この遮蔽板が邪魔にならない。
板を進退移動させる駆動手段が、密閉式のマグネット移
動型エアシリンダであることを特徴としている。
板を進退移動させる駆動手段が密閉式のシリンダである
ため、切削水やミストが充満する環境においても、シリ
ンダ内部に水が入り込むことがないので故障しない。
るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。尚各図において、同一の部材については同一の番号
又は記号を付している。
図である。ダイシングマシン1は、パターンマッチング
手法を用いてワークWをアライメントしたり、加工され
たワークWの加工品質をチェックするためにワークWの
上面を撮像する撮像手段10と、先端に回転刃21が取
付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル22、22
とワークWを吸着保持する図示しないワークテーブルと
を有する加工部20と、加工済みのワークWをスピン洗
浄する洗浄部52と、多数枚のワークWを収納したカセ
ットを載置するロードポート51と、ワークWを搬送す
る搬送手段53等とから構成されている。 スピンドル2
2、22は、図のようにY方向の一直線上に互いに対向
して配置されている。加工部20の構造は、図2に示す
ように、Xベース36に設けられたXガイド34、34
でガイドされ、リニアモータ35によって図のX−Xで
示すX方向に駆動されるXテーブル33があり、Xテー
ブル33にはθ方向に回転する回転テーブル32を介し
てワークテーブル31が設けられている。一方、Yベー
ス44の側面には、Yガイド42、42でガイドされ、
図示しないステッピングモータとボールスクリューによ
って図のY−Yで示すY方向に駆動されるYテーブル4
1、41があり、Yテーブル41、41には夫々図示し
ない駆動手段によってZ方向に駆動されるZテーブル4
3が設けられ、Zテーブル43には先端に回転刃21が
取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル22が固
定されている。加工部20の構造は以上のようになって
いるので、回転刃21、21はY方向にインデックス送
りされると共にZ方向に切込み送りされ、ワークテーブ
ル31はX方向に切削送りされる。
ついて説明する。図に示すように、高周波モータ内蔵型
スピンドル22の先端に取り付けられた回転刃21は前
面と下部に開口部を有するフランジカバー23で覆われ
ている。フランジカバー23には切削水ノズル24と回
転刃21の手前側と奥側(スピンドル側)とで回転刃2
1を挟み込むようにした一対の冷却水ノズル25、25
とが設けられている。切削水ノズル24は切削水供給管
24Aと、一対の冷却水ノズル25、25は冷却水供給
管25Aと夫々フランジカバー23内で連通している。
切削水ノズル24からは切削水が回転刃21の先端に射
出され、冷却水ノズル25、25からは冷却水が回転刃
21の両側面に射出される。
部分の構成について説明する。図4に示すように、加工
部20では回転刃21が高速で回転し、この回転刃21
には前述した切削水ノズル24及び冷却水ノズル25、
25から切削水と冷却水が射出される。またワークテー
ブル31に載置されたワークWは図のX−Xで示すX方
向に切削送りされる。図4上で回転刃21の右側の加工
範囲の外側に、斜め下方に開口を有する2本のパイプが
並んで設けられている。向かって左側のパイプはプリ洗
浄ノズル26であり、開口部から洗浄水が供給される。
また右側のパイプはエアーカーテンノズル27であり、
開口部からエアが供給されるようになっている。加工部
20の隣には、加工に先立ちパターンマッチング手法を
用いてワークWをアライメントしたり、加工されたワー
クWの加工品質をチェックしたりするために、ワークW
の上面を撮像する撮像手段10が設けられている。撮像
手段10は、下部に対物レンズ11A、11Aが設けら
れた顕微鏡11と、顕微鏡11で拡大されたワークWの
上面の画像を取り込んで電気信号に変換する図示しない
CCDカメラ等とから構成されている。加工部20と顕
微鏡11との間には、加工部20で発生するミストや水
しぶきが顕微鏡11や顕微鏡11の対物レンズ11A、
11Aにかかるのを防ぐために、遮蔽板71が設けられ
ている。遮蔽板71は、マグネット移動型エアシリンダ
60のスライドブロック68に固定されると共に、ガイ
ドブロック72を介してエアーカーテンノズル27をガ
イドレールにしてスライドできるようになっている。ま
た図5に示すように、マグネット移動型エアシリンダ6
0はXベース36の奥に配置されており、マグネット移
動型エアシリンダ60の外筒63をスライドするスライ
ドブロック68と遮蔽板71の下部奥側とが連結され、
遮蔽板71の下部手前側にはガイドブロック72が取り
付けられている。これにより遮蔽板71は、マグネット
移動型エアシリンダ60のスライドブロック68が前進
端に位置する時に遮蔽位置Fに、後退端に位置する時に
退避位置Rに進退駆動される。尚、遮蔽板71の遮蔽位
置Fの下部には蛇腹37が設けられ、Xガイド部を覆っ
ている。
の構造を示している。マグネット移動型エアシリンダ6
0は、アルミ合金や樹脂等の透磁率の低い材料でできた
外筒63を本体とし、外筒63の内部には外周部に溝を
有する2個のスライダ64、64がマグネット66の両
端に接着されている。スライダ64、64の外周部の溝
には夫々O−リング65が組み込まれており、マグネッ
ト66とスライダ64、64はO−リング65でシール
された状態で外筒63の内部をスライドするようになっ
ている。また、外筒63の両端には蓋67、67が取り
付けられ、手前側(図6上で左側)の蓋には手前側エア
ーチューブ62が、奥側(図6上で右側)の蓋には奥側
エアーチューブ61が組み込まれている。更に外筒63
の外周とスライドするパーマロイ等の強磁性体材料から
成るスライドブロック68が、外筒63の外側に組み込
まれている。このスライドブロック68はマグネット6
6の磁力によって、マグネット66の移動に伴って手前
側から奥側までスライドする。以上がマグネット移動型
エアシリンダ60の構造である。
シングマシン1の作用を説明する。先ず、多数枚のワー
クWを収納したカセットがロードポート51に載置され
ると、ワークWは搬送手段53によってカセットから引
出されてワークテーブル31に載置され、加工部20へ
向けて搬送される。ワークWは途中、撮像手段10のC
CDカメラで上面が撮像され、パターンマッチング手法
を用いてアライメントされる。
ット移動型エアシリンダ60では、図示しない電磁バル
ブの切替えにより、手前側エアーチューブ62側が大気
に開放されると同時に奥側エアーチューブ61側から圧
縮エアが供給され、スライダ64、64と一体に接着さ
れたマグネット66が手前側前進端に移動する。マグネ
ット66が手前側前進端に移動するとこれに伴ってスラ
イドブロック68が前進端に移動し、遮蔽板71がエア
ーカーテン27上をスライドして図5の実線で示す遮蔽
位置Fに位置付けられる。
Y方向に送られて最初の加工ラインに位置決めされる。
次いで切削水が切削水供給管24Aを通って切削ノズル
24から回転刃21の刃先に供給されると共に、冷却水
が冷却水供給管を通って一対の冷却水ノズル25、25
から回転刃21の側面に供給される。回転刃21の先端
に供給された切削水は、回転刃21に乗って加工ポイン
トに供給される。また一対の冷却水ノズル25、25か
ら回転刃21の両側面に供給された冷却水は、回転刃2
1が加工熱のため温度上昇するのを防いでいる。この状
態でワークWがX方向に切削送りされることにより、最
初の1ラインの加工が行われる。次に回転刃21はY方
向に1ピッチインデックス送りされ、次のラインが順次
加工される。
の高速回転であり、ここに多量の切削水と冷却水が供給
されるので、加工部20内は水しぶきが飛び交い充満し
たミストが立ち込めている。しかし、遮蔽板71が遮蔽
位置Fに位置付けられているので、しぶきやミストが顕
微鏡11にかかる事はない。またエアーカーテンノズル
から吹出したエアのカーテンにより、ミストが遮蔽板7
1の下部から浸入して顕微鏡11の対物レンズ11A、
11Aを曇らすこともない。更に蛇腹37がXガイド部
分を保護している。
ズル26の下を移動しながら洗浄水で予備洗浄された後
搬送手段53で洗浄部52へ搬送され、スピン洗浄され
る。洗浄が終わったワークWは再び搬送手段53によっ
て元のカセットに戻される。以上がダイシング装置1で
加工される一枚のワークWの流れである。
れると、回転刃21は摩耗して、あるいは欠けなどが生
じて回転刃21を交換する必要性が生じてくる。ここで
オペレータが工具を用いて回転刃Wを新しいものと交換
する。この時には、前記マグネット移動型エアシリンダ
60の奥側エアーチューブ61側が大気に開放されると
同時に手前側エアーチューブ62側から圧縮エアが供給
され、マグネット66が奥側後退端に移動する。マグネ
ット66が奥側後退端に移動するとこれに伴って遮蔽板
71が図5上で 2点鎖線で示す退避位置Rに位置付けら
れ、回転刃21の側方が開放される。そこでオペレータ
は、遮蔽板71のない広い空間で回転刃21の交換作業
を行うことができる。
イシングマシン1の回転刃21を交換するに当り、遮蔽
板71が退避位置に後退しているのでオペレータの作業
の邪魔にならない。
工部と撮像手段との間に進退可能な遮蔽板が設けられ、
回転刃を交換する時には遮蔽板は自動的に退避位置に引
っ込んでいるので、2本のスピンドルを対向して配置し
たツインダイサであっても、オペレータが回転刃の交換
を行なう時にこの遮蔽板が邪魔にならない。
密閉式のシリンダであるため、切削水やミストが充満す
る環境においても、シリンダ内部に水が入り込むことが
ないので故障しない。
外観斜視図
加工部の構造を説明する斜視図
回転刃周辺の構成について説明する斜視図
主要部分の構成を説明する正面配置図
主要部分の配置を説明する斜視図
マグネット移動型エアシリンダの構造を説明する一部断
面図
ングマシン、10…撮像手段、20…加工部、21…回
転刃、60…マグネット移動型エアシリンダ、71…遮
蔽板
Claims (3)
- 【請求項1】ワークを加工する加工部と、該ワークの表
面を撮像する撮像手段とを有するダイシングマシンにお
いて、前記加工部と前記撮像手段との間に切削水による
ミストや水はねを防止する遮蔽板を設け、前記遮蔽板は
前記加工部を遮蔽する遮蔽位置と前記加工部を開放する
退避位置との間を進退可能に構成されていることを特徴
とするダイシングマシン。 - 【請求項2】前記遮蔽板は、ワークを加工している時に
前記遮蔽位置に位置付けられ、ワークを加工する回転刃
を交換する時には前記退避位置に位置付けられることを
特徴とする請求項1に記載のダイシングマシン。 - 【請求項3】前記遮蔽板を進退移動させる駆動手段が、
密閉式のマグネット移動型エアシリンダであることを特
徴とする請求項1又は請求項2に記載のダイシングマシ
ン。
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