JP2002176153A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2002176153A
JP2002176153A JP2000370482A JP2000370482A JP2002176153A JP 2002176153 A JP2002176153 A JP 2002176153A JP 2000370482 A JP2000370482 A JP 2000370482A JP 2000370482 A JP2000370482 A JP 2000370482A JP 2002176153 A JP2002176153 A JP 2002176153A
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amplifier
memory device
semiconductor memory
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JP2000370482A
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Akira Kikutake
陽 菊竹
Shinichiro Shiratake
慎一郎 白武
Kuninori Kawabata
邦範 川畑
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Toshiba Corp
Fujitsu Ltd
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Toshiba Corp
Fujitsu Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/02Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
    • G11C5/025Geometric lay-out considerations of storage- and peripheral-blocks in a semiconductor storage device
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 データの読み出し時および書き込み時におけ
るデータパスの配線負荷を減らしてより高速な読み出し
・書き込み動作を実現できるようにする。 【解決手段】 複数のリードアンプ7同士を隣接させて
アンプ列の中央付近に集めて配置することにより、セン
スアンプからリードアンプ7までのリードデータパスの
距離を短くすることができるようにして、それによって
データバス線の配線抵抗による読み出し動作の遅延を抑
えることができるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に関
し、特に、リードアンプおよびライトバッファを用いて
データの読み出しおよび書き込み動作を行う半導体記憶
装置、例えばDRAM等のメモリに用いて好適なもので
ある。
【0002】
【従来の技術】図9に、半導体記憶装置の代表的な例で
あるDRAMの従来の構成例を示す。図9(a)に示す
ように、1チップのDRAM1は、4系統のバンク(B
ank0〜Bank3)に分けられている。さらに、個
々のバンクは、複数のセグメントロウデコーダ列2によ
って複数のセグメント3に分割されている。各バンクの
間に配置される周辺回路部には、複数のパッド4が設け
られている。
【0003】図9(b)は、2つのセグメントロウデコ
ーダ列2に挟まれた1つのセグメント3内の構成を示し
たものである。1つのセグメント3内には、複数のメモ
リセルを備えたメモリセルアレイ5と、それに隣接して
配置された複数のセンスアンプから成るセンスアンプ列
6とが備えられている。上記センスアンプ列6内の複数
のセンスアンプは、上記メモリセルアレイ5内の複数の
メモリセルにそれぞれ対応して設けられている。
【0004】上記セグメント3内には更に、複数のデー
タDQにそれぞれ対応して、複数のリードアンプ回路
(R/A)7とライトバッファ回路(W/B)8とが備
えられている。さらに、その複数のリードアンプ回路7
とライトバッファ回路8は、対応するデータDQ毎に隣
接して交互になるように配置されている。それぞれのリ
ードアンプ回路7およびライトバッファ回路8は、セグ
メント方向(ロウ方向)に伸びるリードグローバルデー
タバスrgdb_t/cおよびライトグローバルデータバスwgdb
_t/cに接続されている。また、これらのグローバルデー
タバスrgdb_t/c,wgdb_t/cは、センスアンプ列方向(コ
ラム方向)に伸びるリードローカルデータバスrldb_t/c
およびライトローカルデータバスwldb_t/cに接続されて
いる。
【0005】さらに、セグメントロウデコーダ列2とセ
ンスアンプ列6とのクロス部(SS-Cross部)には、ロー
カルライト選択信号lwsel_pを制御・駆動する第1の回
路9が配置されている。また、セグメントロウデコーダ
列2とアンプ列17とのクロス部には、グローバルライ
ト選択信号gwsel_pとライトバッファイネーブル信号wep
_pとを制御・駆動する第2の回路10が配置されてい
る。
【0006】データの読み出し時には、メモリセルアレ
イ5内の所定のメモリセルから読み出されたデータが、
対応するセンスアンプでセンスされた後、リードローカ
ルデータバスrldb_t/cおよびリードグローバルデータバ
スrgdb_t/cを介してリードアンプ7へと供給される。そ
して、ここから図示しない出力回路およびパッド4を介
して外部へと出力される。
【0007】一方、データの書き込み時には、パッド4
から入力されたデータが図示しない入力回路を介してラ
イトバッファ8に供給される。ライトバッファ8は、第
2の回路10から供給されるライトバッファイネーブル
信号wep_pが活性化されることによって活性化され、そ
の出力信号がライトグローバルデータバスwgdb_t/cおよ
びライトローカルデータバスwldb_t/cを介して、書き込
みを行うメモリセルに対応するセンスアンプに供給さ
れ、ここでセンスされたデータが対応するメモリセルに
書き込まれる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図9に示すように、従
来の半導体記憶装置では、セグメント3内においてリー
ドアンプ7とライトバッファ8とを対応するデータDQ
同士で隣接させ、リードアンプ7とライトバッファ8と
が交互になるように配置していた。
【0009】しかしながら、このような従来例では、リ
ードアンプ7がセグメント3内のアンプ列17に分散さ
れて配置されるため、セグメント3のセグメントロウデ
コーダに最も近いセンスアンプを活性化してメモリセル
から読み出されたデータが、リードローカルデータバス
rldb_t/cおよびリードグローバルデータバスrgdb_t/cを
通ってセグメント3の反対側のセグメントロウデコーダ
に最も近いリードアンプ7で増幅される場合、センスア
ンプからリードアンプ7までのリードデータパスが長く
なり(図10(a)参照)、配線抵抗の影響で読み出し
動作に遅延を招くことがあるという問題があった。
【0010】逆に、セグメント3のセグメントロウデコ
ーダに最も近いライトバッファ8から駆動された書き込
みデータが、ライトグローバルデータバスwgdb_t/cおよ
びライトローカルデータバスwldb_t/cを通ってセグメン
ト3の反対側のセグメントロウデコーダに最も近い活性
化状態のセンスアンプに与えられてメモリセルへの書き
込み動作が行われる場合も、ライトバッファ8からセン
スアンプまでのライトデータパスが長くなり(図10
(b)参照)、配線抵抗の影響で書き込み動作に遅延を
招くことがあるという問題があった。
【0011】また、ライト動作に関する制御信号の配線
レイアウトを考える場合、第2の回路10から第1の回
路9まで駆動されるグローバルライト選択信号gwsel_p
は配線を通しやすい。しかし、同じく第2の回路10か
ら駆動されるライトバッファイネーブル信号wep_pは、
アンプ列内で分散配置されているライトバッファ8まで
の駆動距離が長くなり、しかもライトバッファ8の間に
リードアンプ7が存在することもあって配線は通しにく
い。このように、ライト動作に関係する回路をつなぐ配
線の整合性が良くないという問題もあった。
【0012】半導体記憶装置におけるデータの読み出し
・書き込み動作は、その半導体記憶装置の性能に関して
重要な位置を占める動作であり、読み出し・書き込み動
作を速やかに行うことが望まれる。そこで本発明は、デ
ータの読み出し時および書き込み時におけるデータパス
の配線負荷を減らしてより高速な読み出し・書き込み動
作を実現できるようにすることを第1の目的とする。ま
た、本発明は、ライト動作に関係する回路をつなぐ配線
の整合性を良好にできるようにすることを第2の目的と
する。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
では、センスアンプから転送された読み出しデータを増
幅する複数のリードアンプ回路と、書き込みデータを上
記センスアンプへ駆動する複数のライトバッファ回路と
について、少なくともどちらか一方は存在する複数の回
路同士を隣接させて配置するようにしている。例えば、
複数のリードアンプ回路同士を隣接させて集めて配置す
ることにより、リードデータパスの距離を短くすること
が可能となる。また、複数のライトバッファ回路同士を
隣接させて集めて配置することにより、ライトデータパ
スの距離を短くすることが可能となる。また、隣接配置
した複数のリードアンプ回路の両側に複数のライトバッ
ファ回路を分散して配置し、グローバルライト選択信号
とライトバッファイネーブル信号の制御・駆動を行う第
2の回路を、セグメントロウデコーダ列とアンプ列との
クロス部分もしくはその近傍に配置することで、ライト
動作に関する回路をセグメントロウデコーダ列の付近に
集めることができ、整合性の良い配線レイアウトが可能
となる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。 (第1の実施形態)図1は、第1の実施形態による半導
体記憶装置の構成を示す図であり、図9に示した構成要
素と同じものには同一の符号を付している。
【0015】図1に示すように、第1の実施形態では、
セグメント3内の全てのリードアンプ7をアンプ列17
の中央付近に隣接させて配置している。このようにすれ
ば、セグメント3のセグメントロウデコーダに最も近い
センスアンプが活性化して読み出されたデータが、その
センスアンプから一番遠いリードアンプ7で増幅される
としても、センスアンプ列6上に配置されたリードロー
カルデータバスrldb_t/cをデータが走る距離は従来と比
べて短くすることができる(図2(a)参照)。これに
より、配線抵抗による読み出し動作の遅延を抑制するこ
とが可能となる。
【0016】また、図1に示す第1の実施形態では、全
てのライトバッファ8を2つのグループに分けて、中央
付近に集めて配置したリードアンプ7の両側(セグメン
ト3の端)にそれぞれ複数個のライトバッファ8を隣接
して配置している。これにより、第2の回路10から駆
動されるライトバッファイネーブル信号wep_pがライト
バッファ8まで走る駆動距離を従来に比べて短くするこ
とができる。しかも、ライトバッファ8の間にリードア
ンプ7が存在しないので、ライトバッファイネーブル信
号wep_pの配線も通しやすい。したがって、第2の回路
10から第1の回路9までのグローバルライト選択信号
gwsel_pの配線と、第2の回路10からライトバッファ
8までのライトバッファイネーブル信号wep_pの配線と
を整合良く配置することが可能となる。
【0017】図3は、データバス構造を示す図である。
図3に示すように、センスアンプ列6上を走るローカル
データバスrldb#_t/c,wldb#_t/c(#=0,1,2,…)と、グ
ローバルデータバスrgdb#_t/c,wgdb#_t/c(#=0,1,2,
…)とはコンタクト11のみで接続されている。また、
グローバルデータバスrgdb#_t/c,wgdb#_t/cは、対応す
るリードアンプ7またはライトバッファ8からメモリセ
ルアレイ5方向にまっすぐ伸ばして、最短距離で対応す
るローカルデータバスrldb#_t/c,wldb#_t/cと接続され
ている。
【0018】図4は、ライト選択信号gwsel_p,lwsel_p
の配線とセンスアンプの構造を示す図である。図4
(a)は、1チップのDRAMを構成する1つのバンク
内の構成を示したものである。図4(a)に示すよう
に、1つのバンク内には、ロウ(行)方向に複数個(例
えば、8個)のメモリセルアレイ5を備えたブロック1
2が、コラム(列)方向に複数ブロック備えられてい
る。
【0019】図4(b)は、1つのブロック12内の構
成を示したものである。ブロック12内の各メモリセル
アレイ5の上下にはセンスアンプ列6がそれぞれ備えら
れている。また、各メモリセルアレイ5の左右にはセグ
メントロウデコーダ列2がそれぞれ備えられている。そ
して、上記セグメントロウデコーダ列2とセンスアンプ
列6とのクロス部分には、ローカルライト選択信号lwse
l_pを制御・駆動する第1の回路9が配置されている。
【0020】図4(c)は、1つのセンスアンプの構成
を示したものである。図4(c)に示すように、センス
アンプは、ビット線BL,/BL(/は反転信号である
ことを示す)をnチャネルトランジスタのゲートで受け
るダイレクト型センスアンプである。すなわち、ビット
線BL,/BLは、2つのnチャネルトランジスタ13
のゲートに各々接続される。また、このビット線BL,
/BLは、ライト用コラム線の選択を行うためのnチャ
ネルトランジスタ15のソースもしくはドレインにも接
続される。
【0021】各トランジスタ13のソースもしくはドレ
インは、コラム線の選択を行うためのnチャネルトラン
ジスタ14を介してリードローカルデータバスrldb_c,
rldb_tに接続される。また、各nチャネルトランジスタ
13のドレインもしくはソースには、リードイネーブル
信号rdrv_nが入力される。また、各トランジスタ15の
ドレインもしくはソースは、コラム線の選択を行うため
のnチャネルトランジスタ16を介してライトローカル
データバスwldb_c,wldb_tに接続される。
【0022】上記第1の回路9に第2の回路10からの
グローバルライト選択信号gwsel_pが入力されることに
より、ローカルライト選択信号lwsel_pが駆動される。
ライト動作時には、直列に繋がるコラム選択信号csl_p
とローカルライト選択信号lwsel_pとを介して、ライト
ローカルデータバスwldb_t/cがビット線対BL,BL/
に繋がる。
【0023】図5は、上記第1の回路9の構成例を示す
図である。第1の回路9は、センスアンプブロック選択
信号sen_pとグローバルライト選択信号gwsel_pとを2入
力とするNAND回路21と、当該NAND回路21の
出力信号の論理を反転してローカルライト選択信号lwse
l_pを出力するインバータ22とから構成される。これ
により、第1の回路9は、センスアンプブロック選択信
号sen_pとグローバルライト選択信号gwsel_pとがハイレ
ベルのときにローカルライト選択信号lwsel_pを活性化
する。
【0024】図6は、上記第2の回路10の構成例を示
す図である。第2の回路10は、ライトコントロール信
号wrtctl_pと第1の語構成制御信号yx4<0>とを2入力と
するNAND回路23、ライトコントロール信号wrtctl
_pと第2の語構成制御信号yx4<1>とを2入力とするNA
ND回路24、NAND回路23の出力信号の論理を反
転してグローバルライト選択信号gwsel0_pを出力する3
つのインバータ25、NAND回路23の出力信号の論
理を反転してライトバッファイネーブル信号wep0_pを出
力するインバータ26、NAND回路24の出力信号の
論理を反転してグローバルライト選択信号gwsel1_pを出
力する3つのインバータ27、およびNAND回路24
の出力信号の論理を反転してライトバッファイネーブル
信号wep1_pを出力するインバータ28から構成される。
【0025】上記語構成制御信号yx4<0>,yx4<1>は、読
み出しあるいは書き込みを行うデータの語構成を制御す
る信号であり、必要とするデータ語に応じてハイレベル
またはロウレベルとなる。16個のデータDQを必要と
する場合は、第1および第2の何れの語構成制御信号yx
4<0>,yx4<1>もハイレベルとなる。通常は、何れもハイ
レベルとなっている。したがって、第2の回路10は、
ライトコントロール信号wrtctl_pと語構成制御信号yx4<
0>,yx4<1>とがハイレベルのときに、対応するグローバ
ルライト選択信号gwsel0_p,gwsel1_p、ライトバッファ
イネーブル信号wep0_p,wep1_pを活性化する。
【0026】以上のように、第1の実施形態によれば、
セグメント3内の全てのリードアンプ7をアンプ列17
の中央付近に隣接させて配置しているので、配線抵抗に
よる読み出し動作の遅延を抑制することができ、より高
速な読み出し動作を実現することができる。
【0027】また、第1の実施形態によれば、リードア
ンプ7の両側、すなわち、セグメント3の端にライトバ
ッファ8を複数個ずつ配置しているので、第2の回路1
0から第1の回路9までのグローバルライト選択信号gw
sel_pの配線と、第2の回路10からライトバッファ8
までのライトバッファイネーブル信号wep_pの配線とを
整合良く配置することができる。
【0028】(第2の実施形態)図7は、第2の実施形
態による半導体記憶装置の構成を示す図であり、図1に
示した構成要素と同じものには同一の符号を付してい
る。
【0029】図7に示すように、第2の実施形態では、
セグメント3内の全てのライトバッファ8をアンプ列1
7の中央付近に隣接させて配置し、その両側に複数のリ
ードアンプ7を2つのグループに分けて配置している。
このようにすれば、セグメント3のセグメントロウデコ
ーダに最も近いライトバッファ8から駆動された書き込
みデータが、そのライトバッファ8から一番遠いセンス
アンプで書き込み動作が行われるとしても、センスアン
プ列6上に配置されたライトローカルデータバスwldb_t
/cをデータが走る距離は従来と比べて短くすることがで
きる(図2(b)参照)。これにより、配線抵抗による
書き込み動作の遅延を抑制することが可能となる。
【0030】なお、第1の実施形態では特に読み出し動
作の遅延を抑制することが可能であり、第2の実施形態
では特に書き込み動作の遅延を抑制することが可能であ
るが、どちらの構成にするかは、読み出し速度と書き込
み速度とのどちらを重視するかによって選べば良い。ま
た、書き込み動作に関する配線の整合性を良くすること
も重視する場合には、第1の実施形態の構成を選べば良
い。
【0031】(第3の実施形態)図8は、第3の実施形
態による半導体記憶装置の構成を示す図であり、図1に
示した構成要素と同じものには同一の符号を付してい
る。
【0032】図8に示すように、第3の実施形態では、
セグメント3内の全てのリードアンプ7をアンプ列17
の中央付近に隣接させて配置するとともに、セグメント
3内の全てのライトバッファ8をアンプ列17の中央付
近に隣接させて配置し、複数のリードアンプ7とライト
バッファ8とを並列に配置している。この場合は、リー
ドデータパスとライトデータパスをそれぞれ従来と比べ
て短くすることができる。これにより、配線抵抗による
読み出し動作および書き込み動作の遅延を双方とも抑制
することが可能となる。
【0033】なお、この図8に示す第3の実施形態で
は、リードグローバルデータバスrgdb_t/cとライトグロ
ーバルデータバスwgdb_t/cとの間隔が、図1および図7
に示した第1および第2の実施形態と比べて狭くなる。
そのため、バス間の容量性ノイズが発生する恐れがあ
る。そこで、リードグローバルデータバスrgdb_t/cとラ
イトグローバルデータバスwgdb_t/cのそれぞれをシール
ド配線とすることにより、ノイズの発生を抑制できるよ
うにしても良い。
【0034】以上に示した各実施形態は、本発明を実施
するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、
これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈され
てはならないものである。すなわち、本発明はその精
神、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々
な形で実施することができる。
【0035】
【発明の効果】本発明は上述したように、例えば複数の
リードアンプ回路同士を隣接させて配置することによ
り、リードデータパスの距離を短くすることができ、そ
れによってデータバス線の配線抵抗による読み出し動作
の遅延を抑えることができる。また、複数のライトバッ
ファ回路同士を隣接させて配置することにより、ライト
データパスの距離を短くすることができ、それによって
データバス線の配線抵抗による書き込み動作の遅延を抑
えることができる。また、隣接配置した複数のリードア
ンプ回路の両側に複数のライトバッファ回路を分散して
配置し、グローバルライト選択信号とライトバッファイ
ネーブル信号の制御・駆動を行う第2の回路を、セグメ
ントロウデコーダ列とアンプ列とのクロス部分もしくは
その近傍に配置することで、ライト動作に関する回路を
セグメントロウデコーダ列の付近に集めることができ、
整合性の良い配線レイアウトを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態による半導体記憶装置の構成を
示す図である。
【図2】第1〜第3の実施形態によるデータパスの例を
示す図である。
【図3】データバス構造を示す図である。
【図4】ライト選択信号線とセンスアンプの構造を示す
図である。
【図5】第1の回路の構成例を示す図である。
【図6】第2の回路の構成例を示す図である。
【図7】第2の実施形態による半導体記憶装置の構成を
示す図である。
【図8】第3の実施形態による半導体記憶装置の構成を
示す図である。
【図9】従来の半導体記憶装置の構成例を示す図であ
る。
【図10】従来のデータパスの例を示す図である。
【符号の説明】
1 DRAM 2 セグメントロウデコーダ列 3 セグメント 4 パッド 5 メモリセルアレイ 6 センスアンプ列 7 リードアンプ 8 ライトバッファ 9 第1の回路 10 第2の回路 rgdb_t/c リードグローバルデータバス rldb_t/c リードローカルデータバス wgdb_t/c ライトグローバルデータバス wldb_t/c ライトローカルデータバス gwsel_p グローバルライト選択信号 lwsel_p ローカルライト選択信号 wep_p ライトバッファイネーブル信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白武 慎一郎 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 川畑 邦範 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA15 BA09 BA21 BA29 CA05 CA21 5F083 KA03 LA03 LA09 LA25

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 センスアンプから転送された読み出しデ
    ータを増幅する複数のリードアンプ回路と、書き込みデ
    ータを上記センスアンプへ駆動する複数のライトバッフ
    ァ回路とを有する半導体記憶装置であって、 上記複数のリードアンプ回路および上記複数のライトバ
    ッファ回路の少なくとも一方を、互いに隣接させて配置
    したことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 上記複数のリードアンプ回路同士を隣接
    させて配置し、その両側に上記複数のライトバッファ回
    路を分散して配置したことを特徴とする請求項1に記載
    の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 上記複数のライトバッファ回路同士を隣
    接させて配置し、その両側に上記複数のリードアンプ回
    路を分散して配置したことを特徴とする請求項1に記載
    の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 上記複数のリードアンプ回路同士を隣接
    させて配置するとともに、上記複数のライトバッファ回
    路同士も隣接させて配置したことを特徴とする請求項1
    に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 上記センスアンプは、ライト動作時には
    ローカルライト選択信号によって活性化され、上記ロー
    カルライト選択信号は、センスアンプ列とセグメントロ
    ウデコーダ列とのクロス部分にある第1の回路から駆動
    されることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装
    置。
  6. 【請求項6】 上記第1の回路は、グローバルライト選
    択信号による制御を受け、また上記ライトバッファは、
    ライトイネーブル信号による制御を受けて活性化するも
    のであり、それらグローバルライト選択信号およびライ
    トイネーブル信号は同じ制御信号を受けて活性化される
    ことを特徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 上記グローバルライト選択信号およびラ
    イトイネーブル信号を制御・駆動する第2の回路は、上
    記セグメントロウデコーダ列とアンプ列とのクロス部分
    もしくはその近傍に配置されることを特徴とする請求項
    6に記載の半導体記憶装置。
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