JP2002083545A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】隔壁形成および排気処理の双方の生産性に優
れ、明るく安定した表示の可能なＰＤＰの実現を目的と
する。 【解決手段】一対の基板１１，２１の対向間隙に放電ガ
スが封入され、片方の基板２１の内面上に対向間隙をセ
ル配列に合わせて区画するメッシュパターンの隔壁２９
が配置されたプラズマディスプレイパネル１において、
隔壁２９として、熱収縮特性をもつ材料の焼成体であ
り、高さ方向の熱収縮量を不均一にすることによって、
平面視において当該隔壁２９が囲む全てのガス封入空間
を通るメッシュ状の通気路を設けるように部分的に低く
形成された構造体を設ける。
れ、明るく安定した表示の可能なＰＤＰの実現を目的と
する。 【解決手段】一対の基板１１，２１の対向間隙に放電ガ
スが封入され、片方の基板２１の内面上に対向間隙をセ
ル配列に合わせて区画するメッシュパターンの隔壁２９
が配置されたプラズマディスプレイパネル１において、
隔壁２９として、熱収縮特性をもつ材料の焼成体であ
り、高さ方向の熱収縮量を不均一にすることによって、
平面視において当該隔壁２９が囲む全てのガス封入空間
を通るメッシュ状の通気路を設けるように部分的に低く
形成された構造体を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示面を構成する
セルを１個ずつ又は複数個ずつ囲むメッシュパターンの
隔壁を有したプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Pl
asma Display Panel）およびその製造方法に関する。
セルを１個ずつ又は複数個ずつ囲むメッシュパターンの
隔壁を有したプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Pl
asma Display Panel）およびその製造方法に関する。
【０００２】ＰＤＰは壁掛けテレビジョンとして商品化
されており、その画面サイズは６０インチに達してい
る。また、ＰＤＰは、２値発光セルからなるデジタル表
示デバイスであってデジタルデータの表示に好適である
ことから、マルチメディアモニターとしても期待されて
いる。ＰＤＰの用途拡大に向けて、より明るく安定した
表示が可能でかつ生産性に優れたパネル構造の開発が進
められている。
されており、その画面サイズは６０インチに達してい
る。また、ＰＤＰは、２値発光セルからなるデジタル表
示デバイスであってデジタルデータの表示に好適である
ことから、マルチメディアモニターとしても期待されて
いる。ＰＤＰの用途拡大に向けて、より明るく安定した
表示が可能でかつ生産性に優れたパネル構造の開発が進
められている。
【０００３】
【従来の技術】カラー表示用のＡＣ型ＰＤＰにおいて面
放電形式が採用されている。ここでいう面放電形式は、
輝度を確保する表示放電において陽極および陰極となる
表示電極を、前面側または背面側の基板の上に平行に配
列し、表示電極対と交差するようにアドレス電極を配列
する形式である。面放電形式のＰＤＰでは、表示電極の
長さ方向（これを行方向とする）に沿ってマトリクス表
示の列毎に放電を分離する隔壁が不可欠である。隔壁は
パネル厚さ方向の放電空間寸法を規定するスペーサの役
割も担う。
放電形式が採用されている。ここでいう面放電形式は、
輝度を確保する表示放電において陽極および陰極となる
表示電極を、前面側または背面側の基板の上に平行に配
列し、表示電極対と交差するようにアドレス電極を配列
する形式である。面放電形式のＰＤＰでは、表示電極の
長さ方向（これを行方向とする）に沿ってマトリクス表
示の列毎に放電を分離する隔壁が不可欠である。隔壁は
パネル厚さ方向の放電空間寸法を規定するスペーサの役
割も担う。
【０００４】隔壁パターン（平面視の隔壁形状）は、ス
トライプパターンとメッシュパターンとに大別される。
ストライプパターンは、放電空間を行方向に並ぶセル毎
（つまり列毎）に区画するものである。ストライプパタ
ーンでは、各列に属するセルの放電空間が分断されない
ので、ＰＤＰの製造に際して放電ガスの封入およびそれ
に先立つ内部排気が比較的に容易である。一方、メッシ
ュパターンは、放電空間を行方向および列方向の双方に
沿って区画するものである。典型的なメッシュパターン
は格子縞パターンである。メッシュパターンには、セル
毎に放電を分離することができるとともに、セルを囲む
ように隔壁側面に蛍光体を配置して発光面積を増大させ
ることができるという長所がある。反面、内部排気にお
いて隔壁上面の微妙な凹凸で生じる隙間がセル間の通気
路となるので、排気抵抗が大きく処理に長時間を要する
という短所がある。
トライプパターンとメッシュパターンとに大別される。
ストライプパターンは、放電空間を行方向に並ぶセル毎
（つまり列毎）に区画するものである。ストライプパタ
ーンでは、各列に属するセルの放電空間が分断されない
ので、ＰＤＰの製造に際して放電ガスの封入およびそれ
に先立つ内部排気が比較的に容易である。一方、メッシ
ュパターンは、放電空間を行方向および列方向の双方に
沿って区画するものである。典型的なメッシュパターン
は格子縞パターンである。メッシュパターンには、セル
毎に放電を分離することができるとともに、セルを囲む
ように隔壁側面に蛍光体を配置して発光面積を増大させ
ることができるという長所がある。反面、内部排気にお
いて隔壁上面の微妙な凹凸で生じる隙間がセル間の通気
路となるので、排気抵抗が大きく処理に長時間を要する
という短所がある。
【０００５】従来において、メッシュパターンの隔壁に
ストライプパターンの隔壁を重ね合わせた形の隔壁構造
（これを複合パターン構造と呼称する）が知られてい
る。この構造ではストライプパターンと同様に放電空間
が連続するので、ストライプパターンの隔壁を重ねない
場合よりも排気抵抗が小さい。また、複合パターン構造
の改良として、特開平４−２７４１４１号公報におい
て、ストライプパターンの隔壁にセル毎に切れ目を設
け、列方向だけでなく行方向にも気体が流れる格子状の
通気路（排気パス）を形成することが開示されている。
ストライプパターンの隔壁を重ね合わせた形の隔壁構造
（これを複合パターン構造と呼称する）が知られてい
る。この構造ではストライプパターンと同様に放電空間
が連続するので、ストライプパターンの隔壁を重ねない
場合よりも排気抵抗が小さい。また、複合パターン構造
の改良として、特開平４−２７４１４１号公報におい
て、ストライプパターンの隔壁にセル毎に切れ目を設
け、列方向だけでなく行方向にも気体が流れる格子状の
通気路（排気パス）を形成することが開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した複合パターン
構造の隔壁は、メッシュパターンの隔壁のうち列方向ま
たは行方向に沿った帯状部分を高くした構造体である。
このような構造体を基板対の片方の内面上に形成しよう
とすると、隔壁形成工程が複雑になるという問題があっ
た。また、基板対の一方にメッシュパターンの隔壁を設
け、他方にストライプパターンの隔壁を設ける場合に
は、両方の基板に蛍光体を配置しなければ蛍光体の形成
面積を大きくすることができない。加えて、基板対の組
み立てにおける位置合わせが難しい。つまり、複合パタ
ーン構造の隔壁は生産性の観点において不利であった。
構造の隔壁は、メッシュパターンの隔壁のうち列方向ま
たは行方向に沿った帯状部分を高くした構造体である。
このような構造体を基板対の片方の内面上に形成しよう
とすると、隔壁形成工程が複雑になるという問題があっ
た。また、基板対の一方にメッシュパターンの隔壁を設
け、他方にストライプパターンの隔壁を設ける場合に
は、両方の基板に蛍光体を配置しなければ蛍光体の形成
面積を大きくすることができない。加えて、基板対の組
み立てにおける位置合わせが難しい。つまり、複合パタ
ーン構造の隔壁は生産性の観点において不利であった。
【０００７】なお、隔壁の一部を削るといった加工によ
って通気路を形成する手法もある。しかし、この手法に
よる場合は、加工の分だけ工数が増加するとともに、加
工時に隔壁が欠けて歩留りが低下するおそれもある。
って通気路を形成する手法もある。しかし、この手法に
よる場合は、加工の分だけ工数が増加するとともに、加
工時に隔壁が欠けて歩留りが低下するおそれもある。
【０００８】本発明は、隔壁形成および排気処理の双方
の生産性に優れ、ストライプパターンの隔壁をもつＰＤ
Ｐよりも明るく安定した表示の可能なＰＤＰの提供を目
的とする。
の生産性に優れ、ストライプパターンの隔壁をもつＰＤ
Ｐよりも明るく安定した表示の可能なＰＤＰの提供を目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明においては、熱収
縮特性をもつ材料の焼成体からなる部分的に低いメッシ
ュパターンの隔壁を、基板対の片方の内面上に配置す
る。その際、焼成における高さ方向の熱収縮量を不均一
にすることによって高低差を生じさせる。低い部分の位
置については、平面視において隔壁が囲む全てのガス封
入空間を通るメッシュ状の通気路が形成されるようにす
る。例えば、水平方向の線と垂直方向の線とが交差する
単純格子縞パターンにおいて、水平方向の線に対応した
部分を低くする。この場合、高低差を生じさせるため
に、水平方向の線に対応した部分のパターン幅（線幅）
を、垂直方向の線に対応した部分のパターン幅よりも太
くする。太い部分では細い部分と比べて幅方向の収縮が
小さく、その代わり高さ方向の収縮が大きい。
縮特性をもつ材料の焼成体からなる部分的に低いメッシ
ュパターンの隔壁を、基板対の片方の内面上に配置す
る。その際、焼成における高さ方向の熱収縮量を不均一
にすることによって高低差を生じさせる。低い部分の位
置については、平面視において隔壁が囲む全てのガス封
入空間を通るメッシュ状の通気路が形成されるようにす
る。例えば、水平方向の線と垂直方向の線とが交差する
単純格子縞パターンにおいて、水平方向の線に対応した
部分を低くする。この場合、高低差を生じさせるため
に、水平方向の線に対応した部分のパターン幅（線幅）
を、垂直方向の線に対応した部分のパターン幅よりも太
くする。太い部分では細い部分と比べて幅方向の収縮が
小さく、その代わり高さ方向の収縮が大きい。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るＰＤＰのセル
構造を示す図、図２は表示電極と隔壁との配置関係を示
す平面図である。図１では内部構造を示すため、一対の
基板構体を分離した状態が描かれている。
構造を示す図、図２は表示電極と隔壁との配置関係を示
す平面図である。図１では内部構造を示すため、一対の
基板構体を分離した状態が描かれている。
【００１１】ＰＤＰ１は一対の基板構体（基板上にセル
構成要素を設けた構造体）１０，２０からなり、表示面
ＥＳはｍ×ｎ個のセルからなる。各セルにおいて、表示
放電を生じさせるための電極対を構成する表示電極Ｘ，
Ｙがマトリクス表示の行方向（水平方向）に延び、アド
レス電極Ａが列方向（垂直方向）に延びている。
構成要素を設けた構造体）１０，２０からなり、表示面
ＥＳはｍ×ｎ個のセルからなる。各セルにおいて、表示
放電を生じさせるための電極対を構成する表示電極Ｘ，
Ｙがマトリクス表示の行方向（水平方向）に延び、アド
レス電極Ａが列方向（垂直方向）に延びている。
【００１２】表示電極Ｘ，Ｙは前面側の基板構体１０の
基材であるガラス基板１１の内面に行毎に一対ずつ配列
されている。行とは、列方向の配置順序が等しい列数分
（ｍ個）のセルの集合を意味する。表示電極Ｘ，Ｙのそ
れぞれは、面放電ギャップ（放電スリット）を形成する
透明導電膜４１とその列方向の端縁に重ねられた金属膜
（バス導体）４２とからなる。表示電極Ｘ，Ｙを被覆す
るように厚さ２０〜４０μｍ程度の誘電体層１７が設け
られ、誘電体層１７の表面には保護膜１８としてマグネ
シア（ＭｇＯ）が被着されている。なお、行間の電極間
隙（逆スリットと呼称される）には、コントラストを高
める目的で、塗料をガラス基板１１の外面に塗ったり、
マンガン、酸化鉄、クロム、他の顔料などのフィラーを
含む着色ガラス層をガラス基板１１の内面側に形成した
りすることによって、ブラックストライプと呼称される
暗色層６５が配置されている（図２参照）。
基材であるガラス基板１１の内面に行毎に一対ずつ配列
されている。行とは、列方向の配置順序が等しい列数分
（ｍ個）のセルの集合を意味する。表示電極Ｘ，Ｙのそ
れぞれは、面放電ギャップ（放電スリット）を形成する
透明導電膜４１とその列方向の端縁に重ねられた金属膜
（バス導体）４２とからなる。表示電極Ｘ，Ｙを被覆す
るように厚さ２０〜４０μｍ程度の誘電体層１７が設け
られ、誘電体層１７の表面には保護膜１８としてマグネ
シア（ＭｇＯ）が被着されている。なお、行間の電極間
隙（逆スリットと呼称される）には、コントラストを高
める目的で、塗料をガラス基板１１の外面に塗ったり、
マンガン、酸化鉄、クロム、他の顔料などのフィラーを
含む着色ガラス層をガラス基板１１の内面側に形成した
りすることによって、ブラックストライプと呼称される
暗色層６５が配置されている（図２参照）。
【００１３】アドレス電極Ａは背面側の基板構体２０の
基材であるガラス基板２１の内面に１列に１本ずつ配列
されており、誘電体層２４で被覆されている。誘電体層
２４の上に本発明に特有の部分的に低い立体構造をもつ
格子パターンの隔壁２９が設けられている。隔壁２９
は、低融点ガラスの焼成体であって、放電空間を列毎に
区画する部分（以下、垂直壁という）２９１と、放電空
間を行毎に区画する部分（以下、水平壁という）２９２
とからなる。垂直壁２９１と水平壁２９２との交差部分
は互いの共通部分である。水平壁２９２は垂直壁２９１
より１０μｍ程度低い。誘電体層２４の表面および隔壁
２９の側面を被覆するように、カラー表示のためのＲ，
Ｇ，Ｂの３色の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが設け
られている。図中の斜体文字（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は蛍光体の
発光色を示す。色配列は各列のセルを同色としたＲ，
Ｇ，Ｂの繰り返しパターンである。蛍光体層２８Ｒ，２
８Ｇ，２８Ｂは該当するセル内の放電ガスが放つ紫外線
によって励起されて発光する。
基材であるガラス基板２１の内面に１列に１本ずつ配列
されており、誘電体層２４で被覆されている。誘電体層
２４の上に本発明に特有の部分的に低い立体構造をもつ
格子パターンの隔壁２９が設けられている。隔壁２９
は、低融点ガラスの焼成体であって、放電空間を列毎に
区画する部分（以下、垂直壁という）２９１と、放電空
間を行毎に区画する部分（以下、水平壁という）２９２
とからなる。垂直壁２９１と水平壁２９２との交差部分
は互いの共通部分である。水平壁２９２は垂直壁２９１
より１０μｍ程度低い。誘電体層２４の表面および隔壁
２９の側面を被覆するように、カラー表示のためのＲ，
Ｇ，Ｂの３色の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが設け
られている。図中の斜体文字（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は蛍光体の
発光色を示す。色配列は各列のセルを同色としたＲ，
Ｇ，Ｂの繰り返しパターンである。蛍光体層２８Ｒ，２
８Ｇ，２８Ｂは該当するセル内の放電ガスが放つ紫外線
によって励起されて発光する。
【００１４】図２のように各表示電極Ｘ，Ｙの金属膜４
２は、それによる遮光を避けかつ隔壁２９を部分的に隠
して外光の反射を低減するため、隔壁２９と重なる位置
に配置されている。透明導電膜４１は、放電電流を抑制
して発光効率を高めるため、面放電に係わる部分と金属
膜４２に重なる部分とを実質的に分断するようにパター
ニングされている。４２インチ型ワイドＶＧＡ仕様の場
合、透明導電膜４１のうち表示放電に係わる部分を水平
壁２９２から３０μｍ以上離すことにより、３０μｍ未
満とする場合と比べてエネルギー損失が大幅に小さくな
る。放電電流が５％以上減少するように水平壁２９２と
透明導電膜４１との距離を設定するのが望ましい。
２は、それによる遮光を避けかつ隔壁２９を部分的に隠
して外光の反射を低減するため、隔壁２９と重なる位置
に配置されている。透明導電膜４１は、放電電流を抑制
して発光効率を高めるため、面放電に係わる部分と金属
膜４２に重なる部分とを実質的に分断するようにパター
ニングされている。４２インチ型ワイドＶＧＡ仕様の場
合、透明導電膜４１のうち表示放電に係わる部分を水平
壁２９２から３０μｍ以上離すことにより、３０μｍ未
満とする場合と比べてエネルギー損失が大幅に小さくな
る。放電電流が５％以上減少するように水平壁２９２と
透明導電膜４１との距離を設定するのが望ましい。
【００１５】以上の構造のＰＤＰ１は次の手順で製造さ
れる。 （１）各ガラス基板１１，２１について別個に所定の構
成要素を設けて基板構体１０，２０を作製する。 （２）基板構体１０，２０を重ね合わせて対向領域の周
縁を封止する。 （３）背面側の基板構体２０に設けてある通気孔を介し
て内部の排気と放電ガスの充填とを行う。 （４）通気孔を塞ぐ。
れる。 （１）各ガラス基板１１，２１について別個に所定の構
成要素を設けて基板構体１０，２０を作製する。 （２）基板構体１０，２０を重ね合わせて対向領域の周
縁を封止する。 （３）背面側の基板構体２０に設けてある通気孔を介し
て内部の排気と放電ガスの充填とを行う。 （４）通気孔を塞ぐ。
【００１６】図３は隔壁パターンを示す平面図、図４は
隔壁の立体構造を示す図である。図３のように、隔壁パ
ターンはセルＣを個々に囲む格子パターンである。ただ
し、単純な格子縞パターンではない。すなわち、隔壁２
９における行間部分（列方向に並ぶセルどうしの間の部
分）２９３は、２本の水平壁２９２と垂直壁２９１の一
部とからなる。行間部分２９３の平面視パターンを梯子
パターンとし、列方向に並ぶセルＣのそれぞれに対応し
たガス封入空間３２の間にもガス封入空間３３を形成す
ることにより、放電ガスの誘電率が隔壁材料として一般
的な低融点ガラスの約１／８であることから、隣り合う
行どうしの表示電極間の静電容量を低減し、無駄な電力
消費を低減しかつ駆動制御の応答性を高めることができ
る。格子縞パターンでは、垂直壁２９１の側面および水
平壁２９２の側面に蛍光体を設けることにより、発光面
積を拡げて発光効率を高めることができる。
隔壁の立体構造を示す図である。図３のように、隔壁パ
ターンはセルＣを個々に囲む格子パターンである。ただ
し、単純な格子縞パターンではない。すなわち、隔壁２
９における行間部分（列方向に並ぶセルどうしの間の部
分）２９３は、２本の水平壁２９２と垂直壁２９１の一
部とからなる。行間部分２９３の平面視パターンを梯子
パターンとし、列方向に並ぶセルＣのそれぞれに対応し
たガス封入空間３２の間にもガス封入空間３３を形成す
ることにより、放電ガスの誘電率が隔壁材料として一般
的な低融点ガラスの約１／８であることから、隣り合う
行どうしの表示電極間の静電容量を低減し、無駄な電力
消費を低減しかつ駆動制御の応答性を高めることができ
る。格子縞パターンでは、垂直壁２９１の側面および水
平壁２９２の側面に蛍光体を設けることにより、発光面
積を拡げて発光効率を高めることができる。
【００１７】本実施形態のＰＤＰ１においては、隔壁２
９のうち行間部分２９３が他の部分よりも１０μｍ程度
低くなっており、これによって列方向および行方向の通
気が可能な平面視格子状の排気パス９０が形成されてい
る。行間部分２９３の幅Ｗ２０は十分に大きく、排気コ
ンダクタンスはストライプパターンの場合と同程度であ
る。隔壁２９に係る具体的寸法は次のとおりである。
９のうち行間部分２９３が他の部分よりも１０μｍ程度
低くなっており、これによって列方向および行方向の通
気が可能な平面視格子状の排気パス９０が形成されてい
る。行間部分２９３の幅Ｗ２０は十分に大きく、排気コ
ンダクタンスはストライプパターンの場合と同程度であ
る。隔壁２９に係る具体的寸法は次のとおりである。
【００１８】 行ピッチＰ１ ：１０８０μｍ 列ピッチＰ２ ：３６０μｍ 垂直壁２９１の上面の幅Ｗ１１：約７０μｍ 垂直壁２９１の底面の幅Ｗ１２：約１４０μｍ 垂直壁２９１の高さＨ１ ：約１４０μｍ 水平壁２９２の上面の幅Ｗ２１：約１００μｍ 水平壁２９２の底面の幅Ｗ２２：約２００μｍ 水平壁２９２の高さＨ２ ：約１３０μｍ 空間３２の列方向寸法Ｄ１１ ：約６８０μｍ 空間３２の行方向寸法Ｄ２２ ：約２９０μｍ 空間３３の列方向寸法Ｄ１２ ：約２００μｍ 行間部分２９３の幅Ｗ２０ ：約４００μｍ ここで重要なことは、行間部分２９３の幅Ｗ２０が垂直
壁２９１の幅Ｗ１１よりも十分に大きく、この寸法差に
よって行間部分２９３と他の部分との高低差が生じてい
ることである。すなわち、一般的な低融点ガラスのよう
に熱収縮性をもつ材料の焼成においては、図５に模式的
に示されるように、高さ方向の収縮量がパターン幅に依
存する。パターン幅が小さい部分２９Ａでは全体的に幅
方向と高さ方向の２方向に収縮することが可能である。
これに対して、パターン幅が大きい部分２９Ｂでは、幅
方向の中央に近いほど幅方向の収縮が抑制され、その抑
制分だけ高さ方向に大きく収縮する。したがって、太い
部分２９Ｂの方が細い部分２９Ａよりも低くなる。ま
た、壁状の材料層の上部ではどの方向にも収縮しやすく
等方性の収縮が起こるのに対し、底部では基板に束縛さ
れて基板面方向の収縮が抑制されるので、必然的に高さ
方向の収縮量が基板面方向の収縮量よりも多くなる。す
なわち、焼成前において上面の幅が同程度であっても、
底面の幅が異なれば、底面の幅の大きい材料層の方が底
面の幅の小さい材料層よりも焼成後の高さが低くなる。
これを踏まえて、本明細書では隔壁に関するパターン幅
を、“底面からの距離が高さの１０％である位置の寸
法”と定義する。排気に十分な高低差を生じさせるに
は、太い部分のパターン幅を細い部分のパターン幅の１
３０％以上とするのが望ましい。上述の隔壁寸法の場
合、梯子パターンの行間部分２９３において、２本の水
平壁２９２とそれらの間の部分（垂直壁２９１の一部）
とがほぼ同様に高さ方向に収縮し、行間部分２９３が全
体的に低い隔壁２９が得られた。
壁２９１の幅Ｗ１１よりも十分に大きく、この寸法差に
よって行間部分２９３と他の部分との高低差が生じてい
ることである。すなわち、一般的な低融点ガラスのよう
に熱収縮性をもつ材料の焼成においては、図５に模式的
に示されるように、高さ方向の収縮量がパターン幅に依
存する。パターン幅が小さい部分２９Ａでは全体的に幅
方向と高さ方向の２方向に収縮することが可能である。
これに対して、パターン幅が大きい部分２９Ｂでは、幅
方向の中央に近いほど幅方向の収縮が抑制され、その抑
制分だけ高さ方向に大きく収縮する。したがって、太い
部分２９Ｂの方が細い部分２９Ａよりも低くなる。ま
た、壁状の材料層の上部ではどの方向にも収縮しやすく
等方性の収縮が起こるのに対し、底部では基板に束縛さ
れて基板面方向の収縮が抑制されるので、必然的に高さ
方向の収縮量が基板面方向の収縮量よりも多くなる。す
なわち、焼成前において上面の幅が同程度であっても、
底面の幅が異なれば、底面の幅の大きい材料層の方が底
面の幅の小さい材料層よりも焼成後の高さが低くなる。
これを踏まえて、本明細書では隔壁に関するパターン幅
を、“底面からの距離が高さの１０％である位置の寸
法”と定義する。排気に十分な高低差を生じさせるに
は、太い部分のパターン幅を細い部分のパターン幅の１
３０％以上とするのが望ましい。上述の隔壁寸法の場
合、梯子パターンの行間部分２９３において、２本の水
平壁２９２とそれらの間の部分（垂直壁２９１の一部）
とがほぼ同様に高さ方向に収縮し、行間部分２９３が全
体的に低い隔壁２９が得られた。
【００１９】隔壁２９の材料である低融点ガラスの組成
を表１に示す。
を表１に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】隔壁２９の光学特性については、膜厚３０
μｍあたりの可視光の吸収率が８０％程度の半透明であ
ることが望ましい。半透明であれば、隔壁の頂上付近で
発光した光が隔壁を透過して輝度の向上に寄与し、隔壁
に入射した外光は隔壁底面で反射して前面に戻る間に隔
壁に吸収されるので、表示のコントラストの良好な表示
が可能である。
μｍあたりの可視光の吸収率が８０％程度の半透明であ
ることが望ましい。半透明であれば、隔壁の頂上付近で
発光した光が隔壁を透過して輝度の向上に寄与し、隔壁
に入射した外光は隔壁底面で反射して前面に戻る間に隔
壁に吸収されるので、表示のコントラストの良好な表示
が可能である。
【００２２】隔壁２９の形成手順は次のとおりである。 （１）表１の組成の低融点ガラス粉末とビヒクルとが均
等に混ざったペーストからなる厚さ２００μｍ程度の隔
壁材料層を誘電体層２４を覆うように形成する。形成方
法は、スクリーン印刷法、グリーンシートを転写するラ
ミネート法、その他の方法のいずれでもよい。 （２）隔壁材料層を乾燥させた後、感光性ドライフィル
ムを貼り付け（またはレジスト材を塗布し）、露光・現
像を含むフォトリソグラフィにより隔壁２９に対応した
格子パターンの切削マスクを形成する。マスクパターン
寸法については、熱収縮量を見込んで所望の隔壁寸法よ
り大きい値に選定する。 （３）サンドブラストによって隔壁材料層の非マスキン
グ部分を誘電体層２４が露出するまで切削する（隔壁材
料層のパターニング）。 （４）図６の焼成プロファイルの加熱処理を行い、隔壁
材料層を焼成して隔壁２９を形成する。
等に混ざったペーストからなる厚さ２００μｍ程度の隔
壁材料層を誘電体層２４を覆うように形成する。形成方
法は、スクリーン印刷法、グリーンシートを転写するラ
ミネート法、その他の方法のいずれでもよい。 （２）隔壁材料層を乾燥させた後、感光性ドライフィル
ムを貼り付け（またはレジスト材を塗布し）、露光・現
像を含むフォトリソグラフィにより隔壁２９に対応した
格子パターンの切削マスクを形成する。マスクパターン
寸法については、熱収縮量を見込んで所望の隔壁寸法よ
り大きい値に選定する。 （３）サンドブラストによって隔壁材料層の非マスキン
グ部分を誘電体層２４が露出するまで切削する（隔壁材
料層のパターニング）。 （４）図６の焼成プロファイルの加熱処理を行い、隔壁
材料層を焼成して隔壁２９を形成する。
【００２３】図７および図８は隔壁パターンの変形例を
示す図である。図７の隔壁２９ｂは垂直壁２９１と水平
壁２９２ｂとからなり、図３の隔壁２９における行間部
分２９３を水平壁２９２ｂに置き換えたものに相当す
る。図８（ａ）の隔壁２９ｃは垂直壁２９１ｃと水平壁
２９２ｃとからなり、その平面視パターンは隣り合う行
どうしでセルの位置が半ピッチずれるメッシュパターン
である。隔壁２９ｃでは、水平壁２９２ｃのパターン幅
を垂直壁２９１ｃのパターン幅よりも太くすることによ
って、水平壁２９２ｃが垂直壁２９１ｃよりも低くなっ
ており、メッシュ状の排気パス９０ｃが形成されてい
る。図８（ｂ）の隔壁２９ｄは垂直壁２９１ｄと水平壁
２９２ｄとからなり、その平面視パターンはハニカムメ
ッシュパターンである。隔壁２９ｄにおいても、ジグザ
グ帯状の水平壁２９２ｄのパターン幅を垂直壁２９１ｄ
のパターン幅よりも太くすることにより、水平壁２９２
ｄが垂直壁２９１ｄよりも低くなっており、メッシュ状
の排気パス９０ｄが形成されている。隔壁２９ｃ，２９
ｄを有するＰＤＰにおいて、アドレス電極Ａの配列に関
しては、半ピッチずれたセルを縫うようにを蛇行させる
形態、および垂直壁２９１ｃ，２９１ｄと重ねて直線状
のアドレス電極Ａを配置する形態がある。表示電極Ｘ，
Ｙに関しては、図２と同様に各行に１対ずつ配列する形
態、および２行に３本の割合で配列して各表示電極を隣
り合う２行の表示に共用する形態がある。どちらの形態
においても、バス導体の全体を水平壁２９２ｃ，２９２
ｄと重ねることにより、遮光を避けることができる。
示す図である。図７の隔壁２９ｂは垂直壁２９１と水平
壁２９２ｂとからなり、図３の隔壁２９における行間部
分２９３を水平壁２９２ｂに置き換えたものに相当す
る。図８（ａ）の隔壁２９ｃは垂直壁２９１ｃと水平壁
２９２ｃとからなり、その平面視パターンは隣り合う行
どうしでセルの位置が半ピッチずれるメッシュパターン
である。隔壁２９ｃでは、水平壁２９２ｃのパターン幅
を垂直壁２９１ｃのパターン幅よりも太くすることによ
って、水平壁２９２ｃが垂直壁２９１ｃよりも低くなっ
ており、メッシュ状の排気パス９０ｃが形成されてい
る。図８（ｂ）の隔壁２９ｄは垂直壁２９１ｄと水平壁
２９２ｄとからなり、その平面視パターンはハニカムメ
ッシュパターンである。隔壁２９ｄにおいても、ジグザ
グ帯状の水平壁２９２ｄのパターン幅を垂直壁２９１ｄ
のパターン幅よりも太くすることにより、水平壁２９２
ｄが垂直壁２９１ｄよりも低くなっており、メッシュ状
の排気パス９０ｄが形成されている。隔壁２９ｃ，２９
ｄを有するＰＤＰにおいて、アドレス電極Ａの配列に関
しては、半ピッチずれたセルを縫うようにを蛇行させる
形態、および垂直壁２９１ｃ，２９１ｄと重ねて直線状
のアドレス電極Ａを配置する形態がある。表示電極Ｘ，
Ｙに関しては、図２と同様に各行に１対ずつ配列する形
態、および２行に３本の割合で配列して各表示電極を隣
り合う２行の表示に共用する形態がある。どちらの形態
においても、バス導体の全体を水平壁２９２ｃ，２９２
ｄと重ねることにより、遮光を避けることができる。
【００２４】図９〜図１２は表示電極パターンの変形例
を示す図である。図９（ａ）の表示電極Ｘｂ，Ｙｂは、
透明導電膜４１ｂと金属膜４２ｂとからなり、図２の表
示電極Ｘ，Ｙの透明導電膜４１のパターンを代えたもの
に相当する。表示電極Ｘｂ，Ｙｂでは、透明導電膜４１
のうちの放電面となる部分と金属膜４２ｂに重なる部分
との連結が隔壁２９の垂直壁と重ならない位置で行われ
ている。図９（ｂ）の表示電極Ｘｃ，Ｙｃは、透明導電
膜４１ｃと金属膜４２ｃとからなる。金属膜４２ｃは隔
壁２９の水平壁と重ならない位置に配置されている。図
１０（ａ）の表示電極Ｘｄ，Ｙｄでは、透明導電膜４１
ｄのうちの面放電ギャップを形成して放電面となる部分
が列毎に分断されてＴ字状となっている。透明導電膜４
１ｄのうちの金属膜４２ｂと重なる部分は複数の列に跨
がっている。図１０（ｂ）の表示電極Ｘｅ，Ｙｅは、列
毎に分断されたＴ字状の透明導電膜４１ｅとそれらに給
電するための金属膜４２ｂとからなる。図１０（ａ）
（ｂ）のように透明導電膜を分断する構成は、放電電流
の抑制および電極間の静電容量の低減に効果的である。
を示す図である。図９（ａ）の表示電極Ｘｂ，Ｙｂは、
透明導電膜４１ｂと金属膜４２ｂとからなり、図２の表
示電極Ｘ，Ｙの透明導電膜４１のパターンを代えたもの
に相当する。表示電極Ｘｂ，Ｙｂでは、透明導電膜４１
のうちの放電面となる部分と金属膜４２ｂに重なる部分
との連結が隔壁２９の垂直壁と重ならない位置で行われ
ている。図９（ｂ）の表示電極Ｘｃ，Ｙｃは、透明導電
膜４１ｃと金属膜４２ｃとからなる。金属膜４２ｃは隔
壁２９の水平壁と重ならない位置に配置されている。図
１０（ａ）の表示電極Ｘｄ，Ｙｄでは、透明導電膜４１
ｄのうちの面放電ギャップを形成して放電面となる部分
が列毎に分断されてＴ字状となっている。透明導電膜４
１ｄのうちの金属膜４２ｂと重なる部分は複数の列に跨
がっている。図１０（ｂ）の表示電極Ｘｅ，Ｙｅは、列
毎に分断されたＴ字状の透明導電膜４１ｅとそれらに給
電するための金属膜４２ｂとからなる。図１０（ａ）
（ｂ）のように透明導電膜を分断する構成は、放電電流
の抑制および電極間の静電容量の低減に効果的である。
【００２５】図１１および図１２の例は、逆スリットを
隠すようにバス導体を設け、それによってブラックスト
ライプの形成工程の省略を可能にする例である。図１１
および図１２において、隔壁２９ｅは、垂直壁２９１と
水平壁２９２ｅとからなり、図３の隔壁２９における行
間部分２９３を３本の水平壁２９２ｅに置き換えたもの
に相当する。ただし、図２の隔壁２９、図７の隔壁２９
ｂにも次の電極構成を適用することができる。
隠すようにバス導体を設け、それによってブラックスト
ライプの形成工程の省略を可能にする例である。図１１
および図１２において、隔壁２９ｅは、垂直壁２９１と
水平壁２９２ｅとからなり、図３の隔壁２９における行
間部分２９３を３本の水平壁２９２ｅに置き換えたもの
に相当する。ただし、図２の隔壁２９、図７の隔壁２９
ｂにも次の電極構成を適用することができる。
【００２６】図１１において、表示電極Ｘｆ，Ｙｆは、
透明導電膜４１ｆと金属膜４２ｄとからなり、隣り合う
行どうしの隣り合う電極が同種となるように配列されて
いる（例えばＸ−Ｙ−Ｙ−Ｘ−Ｘ−Ｙ…の順）。透明導
電膜４１ｆについては、金属膜４２ｄと重なる部分の寸
法条件を除いて、基本的には図９（ａ）の透明導電膜４
１ｂと同様にパターニングされている。表示電極Ｘｆ，
Ｙｆの特徴は、バス導体としての金属膜４２ｄが、隣り
合う２本の水平壁２９２ｅに跨がる広い幅を有している
ことである。図は表示面に近いものが上側となるように
描かれているので、図中の金属膜４２ｄの一部が透明導
電膜４１ｆで覆われている。しかし、実際には表示面側
からの観察において、透明導電膜４１ｆを透して金属膜
４２ｄが見える。すなわち、金属膜４２ｄの全体がその
下方の構造体を隠す遮光体として機能する。したがっ
て、行間部分（逆スリット）に別途に遮光体（ブラック
ストライプ）を設ける必要がなくなり、ＰＤＰの製造工
数を削減することができる。また、金属膜４２ｄの幅が
広くなることによって、各表示電極Ｘｆ，Ｙｆのライン
抵抗が小さくなるので、ジュール熱の発生量が減少し、
放電電流が流れたときの電圧降下も減少する。
透明導電膜４１ｆと金属膜４２ｄとからなり、隣り合う
行どうしの隣り合う電極が同種となるように配列されて
いる（例えばＸ−Ｙ−Ｙ−Ｘ−Ｘ−Ｙ…の順）。透明導
電膜４１ｆについては、金属膜４２ｄと重なる部分の寸
法条件を除いて、基本的には図９（ａ）の透明導電膜４
１ｂと同様にパターニングされている。表示電極Ｘｆ，
Ｙｆの特徴は、バス導体としての金属膜４２ｄが、隣り
合う２本の水平壁２９２ｅに跨がる広い幅を有している
ことである。図は表示面に近いものが上側となるように
描かれているので、図中の金属膜４２ｄの一部が透明導
電膜４１ｆで覆われている。しかし、実際には表示面側
からの観察において、透明導電膜４１ｆを透して金属膜
４２ｄが見える。すなわち、金属膜４２ｄの全体がその
下方の構造体を隠す遮光体として機能する。したがっ
て、行間部分（逆スリット）に別途に遮光体（ブラック
ストライプ）を設ける必要がなくなり、ＰＤＰの製造工
数を削減することができる。また、金属膜４２ｄの幅が
広くなることによって、各表示電極Ｘｆ，Ｙｆのライン
抵抗が小さくなるので、ジュール熱の発生量が減少し、
放電電流が流れたときの電圧降下も減少する。
【００２７】図１２において、表示電極Ｘｇ，Ｙｇは、
透明導電膜４１ｇと金属膜４２ｅとからなり、各表示電
極を隣り合う２行の表示に共用するように２行に３本の
割合で配列されている（Ｘ−Ｙ−Ｘ−Ｙ…の順）。表示
電極Ｘｇ，Ｙｇの金属膜４２ｅは、隣り合う３本の水平
壁２９２ｅに跨がる広い幅を有している。図１２の例に
も図１１の例と同様に、製造工数の削減およびライン抵
抗の低減を図ることができるという利点がある。
透明導電膜４１ｇと金属膜４２ｅとからなり、各表示電
極を隣り合う２行の表示に共用するように２行に３本の
割合で配列されている（Ｘ−Ｙ−Ｘ−Ｙ…の順）。表示
電極Ｘｇ，Ｙｇの金属膜４２ｅは、隣り合う３本の水平
壁２９２ｅに跨がる広い幅を有している。図１２の例に
も図１１の例と同様に、製造工数の削減およびライン抵
抗の低減を図ることができるという利点がある。
【００２８】以上の実施形態において、隔壁２９の寸法
および材料は例示に限らない。隔壁２９，２９ｂ〜ｅの
平面視パターンはセルを１個ずつ囲むものに限らず、複
数個のセルを単位として囲むメッシュパターンであって
もよい。
および材料は例示に限らない。隔壁２９，２９ｂ〜ｅの
平面視パターンはセルを１個ずつ囲むものに限らず、複
数個のセルを単位として囲むメッシュパターンであって
もよい。
【００２９】
【発明の効果】請求項１乃至請求項９の発明によれば、
隔壁形成および排気処理の双方の生産性に優れ、ストラ
イプパターンの隔壁をもつＰＤＰよりも明るく安定した
表示の可能なＰＤＰを実現することができる。
隔壁形成および排気処理の双方の生産性に優れ、ストラ
イプパターンの隔壁をもつＰＤＰよりも明るく安定した
表示の可能なＰＤＰを実現することができる。
【図１】本発明に係るＰＤＰのセル構造を示す図であ
る。
る。
【図２】表示電極と隔壁との配置関係を示す平面図であ
る。
る。
【図３】隔壁パターンを示す平面図である。
【図４】隔壁の立体構造を示す図である。
【図５】隔壁形成に係る熱収縮の模式図である。
【図６】隔壁形成における焼成プロファイルを示す図で
ある。
ある。
【図７】隔壁パターンの変形例を示す図である。
【図８】隔壁パターンの変形例を示す図である。
【図９】表示電極パターンの変形例を示す図である。
【図１０】表示電極パターンの変形例を示す図である。
【図１１】表示電極パターンの変形例を示す図である。
【図１２】表示電極パターンの変形例を示す図である。
１ ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル） １１，２１ ガラス基板 ２９，２９ｂ，３２９ｃ，２９ｄ，２９ｅ 隔壁 ３２，３３ ガス封入空間 ９０，９０ｃ，９０ｄ 排気パス（通気路） ＥＳ 表示面 Ｃ セル ２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ 蛍光体層（蛍光体） ２９３ 行間部分 ４１，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆ，４１
ｇ 透明導電膜 ４２，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ，４２ｅ 金属膜 Ｘ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄ，Ｘｅ，Ｘｆ，Ｘｇ 表示電極
（電極） Ｙ，Ｙｂ，Ｙｃ，Ｙｄ，Ｙｅ，Ｙｆ，Ｙｇ 表示電極
（電極）
ｇ 透明導電膜 ４２，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ，４２ｅ 金属膜 Ｘ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄ，Ｘｅ，Ｘｆ，Ｘｇ 表示電極
（電極） Ｙ，Ｙｂ，Ｙｃ，Ｙｄ，Ｙｅ，Ｙｆ，Ｙｇ 表示電極
（電極）
フロントページの続き (72)発明者 川浪 義実 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 山本 健一 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 横山 敦史 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 矢島 裕介 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 金具 慎次 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 若林 泰浩 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 藤本 晃広 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 (72)発明者 南都 利之 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 富士通日立プラズマディスプレイ株式会 社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 GF03 GF12 GF19 JA12 JA19 MA03 MA26
Claims (9)
- 【請求項１】一対の基板の対向間隙に放電ガスが封入さ
れ、片方の基板の内面上に前記対向間隙をセル配列に合
わせて区画するメッシュパターンの隔壁が配置されたプ
ラズマディスプレイパネルであって、 前記隔壁は、熱収縮特性をもつ材料の焼成体であり、高
さ方向の熱収縮量を不均一にすることによって、平面視
において当該隔壁が囲む全てのガス封入空間を通るメッ
シュ状の通気路を設けるように部分的に低く形成された
構造体であることを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネル。 - 【請求項２】前記隔壁の上面の高低差の最大高さに対す
る比が５％以上である請求項１記載のプラズマディスプ
レイパネル。 - 【請求項３】前記隔壁の上面の高低差が１０μｍ以上で
ある請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項４】表示面を構成する各セルにおいて、前記隔
壁の行方向および列方向の側面に蛍光体が配置された請
求項１記載のプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項５】前記隔壁の平面視パターンは、前記対向間
隙をマトリクス表示の行方向および列方向の双方におい
てセル毎に区画する格子縞パターンであり、 前記隔壁のうちの行どうしの境界壁となる行間部分が他
の部分よりも低い請求項１記載のプラズマディスプレイ
パネル。 - 【請求項６】前記行間部分は、各列に少なくとも１個の
空間を囲む平面視パターンをもつ請求項５記載のプラズ
マディスプレイパネル。 - 【請求項７】前記行間部分の平面視パターンは梯子パタ
ーンである請求項６記載のプラズマディスプレイパネ
ル。 - 【請求項８】前記隔壁は背面側の基板上に配置され、 前面側の基板上に、透明導電膜と全ての列に跨がる金属
膜とからなる電極が配列され、平面視において前記金属
膜と前記行間部分とが重なる請求項５記載のプラズマデ
ィスプレイパネル。 - 【請求項９】請求項１記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法であって、 基板上に熱収縮特性をもつ隔壁材料からなる層を形成
し、当該層をその平面視パターンがセルを囲む環状パタ
ーンのパターン幅が部分的に大きいメッシュパターンと
なるようにパターニングし、パターニングされた層を焼
成する手順によって前記隔壁を形成することを特徴とす
るプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (9)
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|---|---|---|---|
| JP2000269569A JP3701185B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
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| TW090101956A TW484159B (en) | 2000-09-06 | 2001-01-31 | Plasma display panel and method for manufacturing the same |
| US09/778,879 US6608441B2 (en) | 2000-09-06 | 2001-02-08 | Plasma display panel and method for manufacturing the same |
| DE60135614T DE60135614D1 (de) | 2000-09-06 | 2001-02-09 | Plasmaanzeigetafel und Verfahren zur Herstellung derselben |
| EP01301155A EP1187166B8 (en) | 2000-09-06 | 2001-02-09 | Plasma display panel and method for manufacturing the same |
| CNB011376058A CN1311502C (zh) | 2000-09-06 | 2001-09-06 | 等离子体显示板及其制造方法 |
| CN2007100854632A CN101013645B (zh) | 2000-09-06 | 2001-09-06 | 等离子体显示板及其制造方法 |
| US11/113,337 USRE40502E1 (en) | 2000-09-06 | 2005-04-25 | Plasma display panel and method for manufacturing the same |
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| JP2004366619A Division JP4059880B2 (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | プラズマディスプレイパネル |
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|---|---|
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| DE (1) | DE60135614D1 (ja) |
| TW (1) | TW484159B (ja) |
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| KR100502919B1 (ko) * | 2003-07-11 | 2005-07-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| KR100508933B1 (ko) * | 2003-07-24 | 2005-08-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JP2006147584A (ja) * | 2004-11-23 | 2006-06-08 | Lg Electronics Inc | プラズマディスプレイパネル |
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| KR100669427B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2007-01-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법 |
| KR100670312B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2007-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
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| US7208876B2 (en) | 2003-07-22 | 2007-04-24 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Plasma display panel |
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