JPH11329255A - Ac型カラープラズマディスプレイパネル用前面基板とその製造方法 - Google Patents
Ac型カラープラズマディスプレイパネル用前面基板とその製造方法Info
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- JPH11329255A JPH11329255A JP10134735A JP13473598A JPH11329255A JP H11329255 A JPH11329255 A JP H11329255A JP 10134735 A JP10134735 A JP 10134735A JP 13473598 A JP13473598 A JP 13473598A JP H11329255 A JPH11329255 A JP H11329255A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可視光の取り出し効率を高くし、輝度の向上
を図ったAC型カラープラズマディスプレイパネル用前
面基板とその製造方法の提供が望まれている。 【解決手段】 AC型カラープラズマディスプレイパネ
ル用前面基板である。表層部にストライプ状のリブ22
が互いに略平行に並列配置され、リブ22の上面又は上
面及び側面に黒色絶縁材料からなるブラックマスク25
が形成され、リブ22の側面に金属材料からなる膜状の
バス電極26が形成されている。隣り合う一対のリブ2
2のうちの一方側には対をなす放電用電極27のうちの
一方が形成され、他方側には対をなす放電用電極27の
うちの他方が形成されている。ブラックマスク25、バ
ス電極26、放電用電極27を覆って透明な高誘電体層
28が形成され、透明高誘電体層28上に透明な耐放電
保護膜29が形成されている。
を図ったAC型カラープラズマディスプレイパネル用前
面基板とその製造方法の提供が望まれている。 【解決手段】 AC型カラープラズマディスプレイパネ
ル用前面基板である。表層部にストライプ状のリブ22
が互いに略平行に並列配置され、リブ22の上面又は上
面及び側面に黒色絶縁材料からなるブラックマスク25
が形成され、リブ22の側面に金属材料からなる膜状の
バス電極26が形成されている。隣り合う一対のリブ2
2のうちの一方側には対をなす放電用電極27のうちの
一方が形成され、他方側には対をなす放電用電極27の
うちの他方が形成されている。ブラックマスク25、バ
ス電極26、放電用電極27を覆って透明な高誘電体層
28が形成され、透明高誘電体層28上に透明な耐放電
保護膜29が形成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、AC型カラープラ
ズマディスプレイパネル用の前面基板とその製造方法、
およびAC型カラープラズマディスプレイパネルに関す
る。
ズマディスプレイパネル用の前面基板とその製造方法、
およびAC型カラープラズマディスプレイパネルに関す
る。
【0002】
【従来の技術】AC型カラープラズマディスプレイパネ
ル(PDP)としては、図4に示すように対をなす放電
用の透明電極(放電用電極)1a、1bを有した前面基
板2と、情報を書き込むためのデータ電極3を有した背
面基板4とを対向させ、貼合封着して構成する3電極構
造の面放電型のものが現在のところ一般的である。
ル(PDP)としては、図4に示すように対をなす放電
用の透明電極(放電用電極)1a、1bを有した前面基
板2と、情報を書き込むためのデータ電極3を有した背
面基板4とを対向させ、貼合封着して構成する3電極構
造の面放電型のものが現在のところ一般的である。
【0003】このAC型カラープラズマディスプレイパ
ネルにおいて前面基板2には、透明ガラス基板5の内面
に前述した対をなす放電用の透明電極1a、1b…が並
列した状態で多数対ストライプ状に形成され、さらにこ
れら対のそれぞれの間にブラックマスク6…がやはり並
列した状態でストライプ状に形成されている。透明電極
1a、1bの上(内面側)には、その長さ方向に沿って
該透明電極1a、1bの側端部にそれぞれバス電極7が
形成されている。バス電極7は、これが形成された透明
電極1a(1b)の配線抵抗を下げるために形成された
ものである。
ネルにおいて前面基板2には、透明ガラス基板5の内面
に前述した対をなす放電用の透明電極1a、1b…が並
列した状態で多数対ストライプ状に形成され、さらにこ
れら対のそれぞれの間にブラックマスク6…がやはり並
列した状態でストライプ状に形成されている。透明電極
1a、1bの上(内面側)には、その長さ方向に沿って
該透明電極1a、1bの側端部にそれぞれバス電極7が
形成されている。バス電極7は、これが形成された透明
電極1a(1b)の配線抵抗を下げるために形成された
ものである。
【0004】そして、これら透明電極1a、1b…、ブ
ラックマスク6…、バス電極7…を覆って透明の誘電体
層8が形成されており、さらに該誘電体層8を覆ってM
gOからなる保護膜9が形成されている。ここで、誘電
体層8は放電電流を制限するもので、コンデンサのた
め、放電をすると自動的に放電を停止する機能をもった
ものである。また、このような機能を発揮するべく、誘
電体層8は高い透過率と高い絶縁耐圧とを有したものと
なっている。保護膜9は、放電の電圧を下げ、寿命を延
ばす役割を果たすように機能するものである。
ラックマスク6…、バス電極7…を覆って透明の誘電体
層8が形成されており、さらに該誘電体層8を覆ってM
gOからなる保護膜9が形成されている。ここで、誘電
体層8は放電電流を制限するもので、コンデンサのた
め、放電をすると自動的に放電を停止する機能をもった
ものである。また、このような機能を発揮するべく、誘
電体層8は高い透過率と高い絶縁耐圧とを有したものと
なっている。保護膜9は、放電の電圧を下げ、寿命を延
ばす役割を果たすように機能するものである。
【0005】一方、背面基板4には、透明ガラス基板1
0の内面に前述したデータ電極3…が並列した状態でス
トライプ状に形成されており、さらにこれらデータ電極
3…を覆って白色グレース11が形成されている。この
白色グレース11上には、バリアリブ12…が並列した
状態でストライプ状に形成され、さらにこれらバリアリ
ブ12、12間には、該バリアリブ12の側面および前
記白色グレース11上を覆った状態に蛍光体13が設け
られている。また、バリアリブ12の上面には黒リブト
ップ14が設けられている。
0の内面に前述したデータ電極3…が並列した状態でス
トライプ状に形成されており、さらにこれらデータ電極
3…を覆って白色グレース11が形成されている。この
白色グレース11上には、バリアリブ12…が並列した
状態でストライプ状に形成され、さらにこれらバリアリ
ブ12、12間には、該バリアリブ12の側面および前
記白色グレース11上を覆った状態に蛍光体13が設け
られている。また、バリアリブ12の上面には黒リブト
ップ14が設けられている。
【0006】なお、バリアリブ12は前記データ電極3
…の、隣り合うデータ電極3、3間の直上位置となるよ
うに配置されている。また、蛍光体13については、
赤、緑、青の3色のものが繰り返し配列した状態に形成
配置されている。そして、このような構成からなる前面
基板2と背面基板4とが、前記透明電極1a、1bとデ
ータ電極3とが直交するように対向させられ、前述した
ように貼合され封着されることにより、AC型カラープ
ラズマディスプレイパネルが形成されているのである。
…の、隣り合うデータ電極3、3間の直上位置となるよ
うに配置されている。また、蛍光体13については、
赤、緑、青の3色のものが繰り返し配列した状態に形成
配置されている。そして、このような構成からなる前面
基板2と背面基板4とが、前記透明電極1a、1bとデ
ータ電極3とが直交するように対向させられ、前述した
ように貼合され封着されることにより、AC型カラープ
ラズマディスプレイパネルが形成されているのである。
【0007】このような構成のAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルにおいて、特にその前面基板を形成す
るには、通常、透明ガラス基板5として高歪み点ガラス
またはソーダライムガラスを用意し、これにスパッタで
ITOを成膜し、さらにウェットエッチングでパターニ
ングして0.2〜0.4μm程度の透明電極1a、1b
…を形成する。
ィスプレイパネルにおいて、特にその前面基板を形成す
るには、通常、透明ガラス基板5として高歪み点ガラス
またはソーダライムガラスを用意し、これにスパッタで
ITOを成膜し、さらにウェットエッチングでパターニ
ングして0.2〜0.4μm程度の透明電極1a、1b
…を形成する。
【0008】次に、透明電極1a、1b…上にAgペー
ストをスクリーン印刷し、さらにこれを乾燥し焼成して
バス電極7を形成する。ここで、このバス電極7として
は、透明電極1a、1b間での放電と発光した可視光の
取り出し効率をできるだけ妨げることがないように細く
形成する必要がある。また、パネル表示面のコントラス
トを上げるために黒っぽくする必要がある。
ストをスクリーン印刷し、さらにこれを乾燥し焼成して
バス電極7を形成する。ここで、このバス電極7として
は、透明電極1a、1b間での放電と発光した可視光の
取り出し効率をできるだけ妨げることがないように細く
形成する必要がある。また、パネル表示面のコントラス
トを上げるために黒っぽくする必要がある。
【0009】次いで、これら透明電極1a、1b…、ブ
ラックマスク6…、バス電極7…を覆って例えば透明の
低融点鉛ガラスをスクリーン印刷し、続いてこれを乾燥
しさらに焼成して、厚さ30μm程度の誘電体層8を形
成する。その後、この誘電体層8上にMgOを0.5〜
1.0μm程度の厚さに蒸着し、保護膜9を形成する。
ラックマスク6…、バス電極7…を覆って例えば透明の
低融点鉛ガラスをスクリーン印刷し、続いてこれを乾燥
しさらに焼成して、厚さ30μm程度の誘電体層8を形
成する。その後、この誘電体層8上にMgOを0.5〜
1.0μm程度の厚さに蒸着し、保護膜9を形成する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成のAC型カラープラズマディスプレイパネルでは、
プラズマ放電による発光、すなわちプラズマ放電で生じ
た紫外線が蛍光体13を照射することで得られる可視光
の透過がバス電極7によって妨げられることにより、可
視光の取り出し効率が低くなっている。また、バス電極
7の形成や誘電体層8の形成のためにスクリーン印刷・
乾燥・焼成の各工程を繰り返すが、このような繰り返し
のため加工の工程数が多くなり、加工の消費電力も大き
くなってしまう。さらに、透明電極1a、1bの間隔が
狭いためプラズマ放電領域(陽光柱)が小さくなってし
まい、これにより紫外線発生効率が低く蛍光体からの可
視光発生効率も低くなってしまうことから、得られる表
示の輝度も低くなってしまう。
構成のAC型カラープラズマディスプレイパネルでは、
プラズマ放電による発光、すなわちプラズマ放電で生じ
た紫外線が蛍光体13を照射することで得られる可視光
の透過がバス電極7によって妨げられることにより、可
視光の取り出し効率が低くなっている。また、バス電極
7の形成や誘電体層8の形成のためにスクリーン印刷・
乾燥・焼成の各工程を繰り返すが、このような繰り返し
のため加工の工程数が多くなり、加工の消費電力も大き
くなってしまう。さらに、透明電極1a、1bの間隔が
狭いためプラズマ放電領域(陽光柱)が小さくなってし
まい、これにより紫外線発生効率が低く蛍光体からの可
視光発生効率も低くなってしまうことから、得られる表
示の輝度も低くなってしまう。
【0011】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、可視光の取り出し効率を
高くし、輝度の向上を図ったAC型カラープラズマディ
スプレイパネル用前面基板とその製造方法を提供するこ
とにある。
で、その目的とするところは、可視光の取り出し効率を
高くし、輝度の向上を図ったAC型カラープラズマディ
スプレイパネル用前面基板とその製造方法を提供するこ
とにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明における請求項1
記載のAC型カラープラズマディスプレイパネル用前面
基板では、情報を書き込むためのデータ電極を有してな
る透明ガラス製背面基板に対向させられ、これに貼合さ
れることによってAC型カラープラズマディスプレイパ
ネルを形成する透明ガラス製のものであり、表層部にス
トライプ状のリブが互いに略平行に並列配置され、該リ
ブの上面に黒色絶縁材料からなるブラックマスクが形成
され、該リブの側面に金属材料からなる膜状のバス電極
が形成され、隣り合う一対のリブのうちの一方のリブに
おける内側の側面に形成されたバス電極上からこれらリ
ブ間における前面基板表面にかけて、対をなす放電用電
極のうちの一方が形成されるとともに、これら隣り合う
一対のリブのうちの他方のリブにおける内側の側面に形
成されたバス電極上からこれらリブ間における前面基板
表面にかけて、前記放電用電極のうちの他方が前記放電
用電極のうちの一方と連続しない状態で形成され、前記
前面基板上に前記ブラックマスク、バス電極、放電用電
極を覆って透明な高誘電体層が形成され、該透明高誘電
体層上に透明な耐放電保護膜が形成されてなることを前
記課題の解決手段とした。
記載のAC型カラープラズマディスプレイパネル用前面
基板では、情報を書き込むためのデータ電極を有してな
る透明ガラス製背面基板に対向させられ、これに貼合さ
れることによってAC型カラープラズマディスプレイパ
ネルを形成する透明ガラス製のものであり、表層部にス
トライプ状のリブが互いに略平行に並列配置され、該リ
ブの上面に黒色絶縁材料からなるブラックマスクが形成
され、該リブの側面に金属材料からなる膜状のバス電極
が形成され、隣り合う一対のリブのうちの一方のリブに
おける内側の側面に形成されたバス電極上からこれらリ
ブ間における前面基板表面にかけて、対をなす放電用電
極のうちの一方が形成されるとともに、これら隣り合う
一対のリブのうちの他方のリブにおける内側の側面に形
成されたバス電極上からこれらリブ間における前面基板
表面にかけて、前記放電用電極のうちの他方が前記放電
用電極のうちの一方と連続しない状態で形成され、前記
前面基板上に前記ブラックマスク、バス電極、放電用電
極を覆って透明な高誘電体層が形成され、該透明高誘電
体層上に透明な耐放電保護膜が形成されてなることを前
記課題の解決手段とした。
【0013】この前面基板によれば、リブの側面に膜状
のバス電極が形成されているので、このバス電極が発光
した光の取り出しの邪魔にならず、したがって開口率が
アップする。また、リブの上面上に黒色絶縁材料からな
るブラックマスクが形成されているので、光漏れによる
コントラスト低下がなく、これによりパネル表示面のコ
ントラストを上げることが可能になる。また、バス電極
の膜厚を厚くして配線抵抗を小さくすることにより、透
明電極の膜厚を薄くすることができ、したがって透過率
を高くして光の取り出しを大きくすることが可能にな
る。さらに、駆動電圧を小さくすることができることか
ら、放電電力効率を向上することが可能になる。
のバス電極が形成されているので、このバス電極が発光
した光の取り出しの邪魔にならず、したがって開口率が
アップする。また、リブの上面上に黒色絶縁材料からな
るブラックマスクが形成されているので、光漏れによる
コントラスト低下がなく、これによりパネル表示面のコ
ントラストを上げることが可能になる。また、バス電極
の膜厚を厚くして配線抵抗を小さくすることにより、透
明電極の膜厚を薄くすることができ、したがって透過率
を高くして光の取り出しを大きくすることが可能にな
る。さらに、駆動電圧を小さくすることができることか
ら、放電電力効率を向上することが可能になる。
【0014】本発明における請求項2記載のAC型カラ
ープラズマディスプレイパネル用前面基板の製造方法
は、まず、透明ガラス基板の表層部に、ストライプ状の
リブを互いに略平行に並列配置した状態に形成し、次
に、得られたリブの上面に黒色絶縁材料からなるブラッ
クマスクを形成するとともに、該リブの側面に金属材料
からなる膜状のバス電極を形成し、次いで、隣り合う一
対のリブのうちの一方のリブにおける内側の側面に形成
されたバス電極上からこれらリブ間における前記透明ガ
ラス基板表面にかけて、対をなす放電用電極のうちの一
方を形成するとともに、これら隣り合う一対のリブのう
ちの他方のリブにおける内側の側面に形成されたバス電
極上からこれらリブ間における前記透明ガラス基板表面
にかけて、前記放電用電極のうちの他方を前記放電用電
極のうちの一方と連続しない状態で形成し、次いで、前
記透明ガラス基板上に前記ブラックマスク、バス電極、
放電用電極を覆って透明な高誘電体層を形成し、その
後、該透明高誘電体層上に透明な耐放電保護膜を形成す
ることを前記課題の解決手段とした。
ープラズマディスプレイパネル用前面基板の製造方法
は、まず、透明ガラス基板の表層部に、ストライプ状の
リブを互いに略平行に並列配置した状態に形成し、次
に、得られたリブの上面に黒色絶縁材料からなるブラッ
クマスクを形成するとともに、該リブの側面に金属材料
からなる膜状のバス電極を形成し、次いで、隣り合う一
対のリブのうちの一方のリブにおける内側の側面に形成
されたバス電極上からこれらリブ間における前記透明ガ
ラス基板表面にかけて、対をなす放電用電極のうちの一
方を形成するとともに、これら隣り合う一対のリブのう
ちの他方のリブにおける内側の側面に形成されたバス電
極上からこれらリブ間における前記透明ガラス基板表面
にかけて、前記放電用電極のうちの他方を前記放電用電
極のうちの一方と連続しない状態で形成し、次いで、前
記透明ガラス基板上に前記ブラックマスク、バス電極、
放電用電極を覆って透明な高誘電体層を形成し、その
後、該透明高誘電体層上に透明な耐放電保護膜を形成す
ることを前記課題の解決手段とした。
【0015】この前面基板の製造方法によれば、前述し
た作用を奏する請求項1記載の前面基板を製造すること
が可能になる。
た作用を奏する請求項1記載の前面基板を製造すること
が可能になる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図1(a)〜(d)、図2(a)、(b)は本発明にお
ける請求項1記載の、AC型カラープラズマディスプレ
イパネル用前面基板の製造方法を説明するための図であ
る。これらの図に基づいて前面基板の製造方法を説明す
ると、この方法では、まず、図1(a)に示すように透
明ガラス基板20を用意し、これの一方の面に感光性ド
ライフィルムレジスト(図示略)を貼合し、これを所定
寸法のストライプ状マスクを用いて露光処理し、さらに
現像処理、ポストベーク処理をすることによって所定幅
のストライプパターン21…をリブ形成位置に形成す
る。
図1(a)〜(d)、図2(a)、(b)は本発明にお
ける請求項1記載の、AC型カラープラズマディスプレ
イパネル用前面基板の製造方法を説明するための図であ
る。これらの図に基づいて前面基板の製造方法を説明す
ると、この方法では、まず、図1(a)に示すように透
明ガラス基板20を用意し、これの一方の面に感光性ド
ライフィルムレジスト(図示略)を貼合し、これを所定
寸法のストライプ状マスクを用いて露光処理し、さらに
現像処理、ポストベーク処理をすることによって所定幅
のストライプパターン21…をリブ形成位置に形成す
る。
【0017】次に、ストライプパターン21…をマスク
にして前記透明ガラス基板20の表層部をサンドブラス
ト法で研削し、図1(b)に示すように透明ガラス基板
20の表層部に高さ50μm程度、幅100μm程度の
横断面が略矩形状あるいは台形状であるストライプ状の
透明ガラス製リブ22…を形成する。続いて、HF系エ
ッチング液で透明ガラス基板20の表面を2〜3μm程
度ライトエッチングし、前記研削処理によって透明ガラ
ス基板20に生じたガラスマイクロクラックを除去す
る。そして、ストライプパターン21…を剥離除去しさ
らに透明ガラス基板20を洗浄する。なお、このような
エッチング処理によって透明ガラス基板20の表面は粗
面となるが、このように粗面となることによって該表面
は、後述する絶縁膜や金属膜などの密着性が向上したも
のとなる。
にして前記透明ガラス基板20の表層部をサンドブラス
ト法で研削し、図1(b)に示すように透明ガラス基板
20の表層部に高さ50μm程度、幅100μm程度の
横断面が略矩形状あるいは台形状であるストライプ状の
透明ガラス製リブ22…を形成する。続いて、HF系エ
ッチング液で透明ガラス基板20の表面を2〜3μm程
度ライトエッチングし、前記研削処理によって透明ガラ
ス基板20に生じたガラスマイクロクラックを除去す
る。そして、ストライプパターン21…を剥離除去しさ
らに透明ガラス基板20を洗浄する。なお、このような
エッチング処理によって透明ガラス基板20の表面は粗
面となるが、このように粗面となることによって該表面
は、後述する絶縁膜や金属膜などの密着性が向上したも
のとなる。
【0018】次いで、透明ガラス基板20のリブ22…
形成側の面全面に、黒色絶縁材料としてCrOx をスパ
ッタ法で厚さ0.2μm程度に成膜して図1(c)に示
すように黒色絶縁膜23を形成し、さらにこの上に、ス
パッタ法でCr、Cu、Crを、この順にそれぞれ厚さ
0.1μm程度、2μm程度、0.1μm程度に成膜
し、積層膜からなる金属膜24を形成する。ここで、黒
色絶縁材料としてはCrOx に代えて、例えば厚さ0.
2μm程度のCr膜とこれの上の厚さ0.2μm程度の
SiO2 膜とからなる複合膜をスパッタ法で形成しても
よく、また、金属膜24としては、Cr、Al、Cr
を、この順にそれぞれ厚さ0.1μm程度、2μm程
度、0.1μm程度に成膜して形成してもよい。
形成側の面全面に、黒色絶縁材料としてCrOx をスパ
ッタ法で厚さ0.2μm程度に成膜して図1(c)に示
すように黒色絶縁膜23を形成し、さらにこの上に、ス
パッタ法でCr、Cu、Crを、この順にそれぞれ厚さ
0.1μm程度、2μm程度、0.1μm程度に成膜
し、積層膜からなる金属膜24を形成する。ここで、黒
色絶縁材料としてはCrOx に代えて、例えば厚さ0.
2μm程度のCr膜とこれの上の厚さ0.2μm程度の
SiO2 膜とからなる複合膜をスパッタ法で形成しても
よく、また、金属膜24としては、Cr、Al、Cr
を、この順にそれぞれ厚さ0.1μm程度、2μm程
度、0.1μm程度に成膜して形成してもよい。
【0019】次いで、公知のリソグラフィー技術、エッ
チング技術によってリブ22の側面上を除く部分、すな
わちリブ22の上面上およびリブ22、22間の部分の
金属膜24を除去し、さらにリブ22の上面上と側面上
とを除く部分、すなわちリブ22、22間の部分の黒色
絶縁膜23を除去し、図1(d)に示すようにリブ22
の側面上および上面上に黒色絶縁膜23からなるブラッ
クマスク25を形成するとともに、リブ22の側面上に
金属膜24からなるバス電極26を形成する。なお、こ
れらブラックマスク25、バス電極26の形成に際して
は、露光処理についてはリブ22上面とリブ22、22
間とを別に行い、現像処理およびエッチング処理につい
てはこれらを同時に行う。
チング技術によってリブ22の側面上を除く部分、すな
わちリブ22の上面上およびリブ22、22間の部分の
金属膜24を除去し、さらにリブ22の上面上と側面上
とを除く部分、すなわちリブ22、22間の部分の黒色
絶縁膜23を除去し、図1(d)に示すようにリブ22
の側面上および上面上に黒色絶縁膜23からなるブラッ
クマスク25を形成するとともに、リブ22の側面上に
金属膜24からなるバス電極26を形成する。なお、こ
れらブラックマスク25、バス電極26の形成に際して
は、露光処理についてはリブ22上面とリブ22、22
間とを別に行い、現像処理およびエッチング処理につい
てはこれらを同時に行う。
【0020】次いで、透明ガラス基板20のリブ22形
成側の面全面にITOやIXO等からなる透明導電膜
(図示略)をスパッタ法によって厚さ0.13〜0.1
5μm程度に形成し、続いて公知のリソグラフィー技
術、エッチング技術により、この透明導電膜の、前記リ
ブ22の上面上と隣り合うリブ22、22間の一部を除
去し、図2(a)に示すように隣り合うリブ22、22
間において対をなして放電用電極として機能する透明電
極27を形成する。なお、この一連の処理において、露
光処理についてはリブ22の上面上とリブ22、22間
とを別に行い、現像処理およびエッチング処理について
はこれらを同時に行う。
成側の面全面にITOやIXO等からなる透明導電膜
(図示略)をスパッタ法によって厚さ0.13〜0.1
5μm程度に形成し、続いて公知のリソグラフィー技
術、エッチング技術により、この透明導電膜の、前記リ
ブ22の上面上と隣り合うリブ22、22間の一部を除
去し、図2(a)に示すように隣り合うリブ22、22
間において対をなして放電用電極として機能する透明電
極27を形成する。なお、この一連の処理において、露
光処理についてはリブ22の上面上とリブ22、22間
とを別に行い、現像処理およびエッチング処理について
はこれらを同時に行う。
【0021】このように形成することによって透明電極
27は、隣り合う一対のリブ22、22のうちの一方の
リブ22における内側の側面に形成されたバス電極26
上からこれらリブ22、22間における透明ガラス基板
20表面にかけて、対をなす透明電極(放電用電極)2
7、27のうちの一方が形成されるとともに、これら隣
り合う一対のリブ22、22のうちの他方のリブ22に
おける内側の側面に形成されたバス電極26上からこれ
らリブ22、22間における透明ガラス基板20表面に
かけて、対をなす透明電極(放電用電極)27、27の
うちの他方が前記透明電極(放電用電極)27、27の
うちの一方と連続しない状態で形成されたものとなる。
27は、隣り合う一対のリブ22、22のうちの一方の
リブ22における内側の側面に形成されたバス電極26
上からこれらリブ22、22間における透明ガラス基板
20表面にかけて、対をなす透明電極(放電用電極)2
7、27のうちの一方が形成されるとともに、これら隣
り合う一対のリブ22、22のうちの他方のリブ22に
おける内側の側面に形成されたバス電極26上からこれ
らリブ22、22間における透明ガラス基板20表面に
かけて、対をなす透明電極(放電用電極)27、27の
うちの他方が前記透明電極(放電用電極)27、27の
うちの一方と連続しない状態で形成されたものとなる。
【0022】次いで、前記透明ガラス基板20上に、前
記ブラックマスク25、バス電極26、透明電極27を
覆ってスパッタ法によりTa2 O5 を0.1〜0.2μ
m程度の厚さに成膜し、図2(b)に示すように透明な
高誘電体層28を形成する。ここで、高誘電体層28に
ついては、Ta2 O5 (比誘電率;約20〜25)以外
にも、BaTiO3 (比誘電率;約2200)や、Sr
TiO3 〔STO〕(比誘電率;約150〜200)、
BaSrTiO3 〔BST〕(比誘電率;約500〜8
60)などの材料によっても形成可能である。これら材
料は、いずれもスパッタ法や蒸着法、CVD法等の成膜
法が適用でき、また、従来用いられているPbO(比誘
電率;約10)に比べ比誘電率が高いものとなってい
る。その後、この高誘電体層28上に、スパッタ法又は
蒸着法によりMgOを0.5〜1.0μm程度の厚さに
成膜して保護膜(耐放電保護膜)29を形成し、本発明
における請求項1記載の発明の一実施形態例となる前面
基板30を得る。
記ブラックマスク25、バス電極26、透明電極27を
覆ってスパッタ法によりTa2 O5 を0.1〜0.2μ
m程度の厚さに成膜し、図2(b)に示すように透明な
高誘電体層28を形成する。ここで、高誘電体層28に
ついては、Ta2 O5 (比誘電率;約20〜25)以外
にも、BaTiO3 (比誘電率;約2200)や、Sr
TiO3 〔STO〕(比誘電率;約150〜200)、
BaSrTiO3 〔BST〕(比誘電率;約500〜8
60)などの材料によっても形成可能である。これら材
料は、いずれもスパッタ法や蒸着法、CVD法等の成膜
法が適用でき、また、従来用いられているPbO(比誘
電率;約10)に比べ比誘電率が高いものとなってい
る。その後、この高誘電体層28上に、スパッタ法又は
蒸着法によりMgOを0.5〜1.0μm程度の厚さに
成膜して保護膜(耐放電保護膜)29を形成し、本発明
における請求項1記載の発明の一実施形態例となる前面
基板30を得る。
【0023】また、このような前面基板30を用いてA
C型カラープラズマディスプレイパネルを形成するに
は、図3に示すように従来と同様に背面基板31を用意
し、前面基板30をこの背面基板31と位置合わせして
接合する。そして、この状態で430〜450℃程度に
加熱してフリットシールし、前面基板30と背面基板3
1とを固着する。なお、図3においては、説明のため背
面基板31を90°回転させた状態にして示している
が、実際には図4に示したように、前面基板30のリブ
22の長さ方向と、背面基板31のバリアリブ12の長
さ方向とが直交するように配置されている。
C型カラープラズマディスプレイパネルを形成するに
は、図3に示すように従来と同様に背面基板31を用意
し、前面基板30をこの背面基板31と位置合わせして
接合する。そして、この状態で430〜450℃程度に
加熱してフリットシールし、前面基板30と背面基板3
1とを固着する。なお、図3においては、説明のため背
面基板31を90°回転させた状態にして示している
が、実際には図4に示したように、前面基板30のリブ
22の長さ方向と、背面基板31のバリアリブ12の長
さ方向とが直交するように配置されている。
【0024】次いで、250〜300℃程度でベーク処
理して前面基板30と背面基板31との間を排気し、続
いてHe−Ne−XeやNe−Xeなどの不活性混合ガ
スを排気処理した前面基板30と背面基板31との間に
封入しさらにこれを封止して、AC型カラープラズマデ
ィスプレイパネル32を得る。
理して前面基板30と背面基板31との間を排気し、続
いてHe−Ne−XeやNe−Xeなどの不活性混合ガ
スを排気処理した前面基板30と背面基板31との間に
封入しさらにこれを封止して、AC型カラープラズマデ
ィスプレイパネル32を得る。
【0025】このようなAC型カラープラズマディスプ
レイパネル32用の前面基板30にあっては、リブ22
の側面に膜状のバス電極26を形成しているので、この
バス電極26が、プラズマ放電により蛍光体13が発光
することによって得られる光の取り出しの邪魔になら
ず、したがって実質的に開口率がアップしたものとな
り、これにより該前面基板30を用いたAC型カラープ
ラズマディスプレイパネル32の表示の高輝度化を図る
ことがきる。
レイパネル32用の前面基板30にあっては、リブ22
の側面に膜状のバス電極26を形成しているので、この
バス電極26が、プラズマ放電により蛍光体13が発光
することによって得られる光の取り出しの邪魔になら
ず、したがって実質的に開口率がアップしたものとな
り、これにより該前面基板30を用いたAC型カラープ
ラズマディスプレイパネル32の表示の高輝度化を図る
ことがきる。
【0026】また、リブ22の上面上および側面上に黒
色絶縁材料からなるブラックマスク25を形成している
ので、光漏れによるコントラスト低下がなく、これによ
りパネル表示面のコントラストの向上を図ることができ
る。また、バス電極26を金属膜24から形成している
ので、この金属膜24の膜厚を厚くすることによりバス
電極26の膜厚を容易に厚くしてその配線抵抗を小さく
することができ、これにより透明電極27の膜厚を薄く
することができ、したがって透過率を高くして蛍光体1
3の発光による光の取り出しを大きくすることができ
る。さらに、バス電極26のの配線抵抗を小さくするこ
とができることから駆動電圧を小さくすることができ、
したがって放電電力効率を向上することができる。
色絶縁材料からなるブラックマスク25を形成している
ので、光漏れによるコントラスト低下がなく、これによ
りパネル表示面のコントラストの向上を図ることができ
る。また、バス電極26を金属膜24から形成している
ので、この金属膜24の膜厚を厚くすることによりバス
電極26の膜厚を容易に厚くしてその配線抵抗を小さく
することができ、これにより透明電極27の膜厚を薄く
することができ、したがって透過率を高くして蛍光体1
3の発光による光の取り出しを大きくすることができ
る。さらに、バス電極26のの配線抵抗を小さくするこ
とができることから駆動電圧を小さくすることができ、
したがって放電電力効率を向上することができる。
【0027】また、このような前面基板30の製造方法
によれば、例えば高誘電体層28の形成材料として、T
a2 O5 等の、PbOに比べ比誘電率が高い高誘電体材
料を用いることにより、該高誘電体層28の厚さを薄く
してその透明度を高め、可視光の取り出し効率を向上す
ることができる。また、バス電極26や高誘電体層28
を、従来のごとくペースト焼成ではなくスパッタ法で形
成するため、高温焼成炉が不要になって製造コストの低
減化を図ることができ、また透明ガラス基板20として
高価な高歪み点ガラスを用いることなくソーダライムガ
ラスを用いることができ、これによりコスト削減を図る
ことができる。また、リブ22の幅を狭くすることによ
って隣り合う透明電極(放電用電極)27、27間の間
隔を大きくとることができ、これによりプラズマ放電領
域(陽光柱)を大きくして紫外線発生効率を高くし、蛍
光体からの可視光取り出し効率をアップして高輝度化を
図ることができる。
によれば、例えば高誘電体層28の形成材料として、T
a2 O5 等の、PbOに比べ比誘電率が高い高誘電体材
料を用いることにより、該高誘電体層28の厚さを薄く
してその透明度を高め、可視光の取り出し効率を向上す
ることができる。また、バス電極26や高誘電体層28
を、従来のごとくペースト焼成ではなくスパッタ法で形
成するため、高温焼成炉が不要になって製造コストの低
減化を図ることができ、また透明ガラス基板20として
高価な高歪み点ガラスを用いることなくソーダライムガ
ラスを用いることができ、これによりコスト削減を図る
ことができる。また、リブ22の幅を狭くすることによ
って隣り合う透明電極(放電用電極)27、27間の間
隔を大きくとることができ、これによりプラズマ放電領
域(陽光柱)を大きくして紫外線発生効率を高くし、蛍
光体からの可視光取り出し効率をアップして高輝度化を
図ることができる。
【0028】なお、前記実施形態例では、ブラックマス
ク25をリブ22の上面上および側面上に形成したが、
本発明はこれに限定されることなく、リブ22の上面上
のみに形成するようにしてもよい。
ク25をリブ22の上面上および側面上に形成したが、
本発明はこれに限定されることなく、リブ22の上面上
のみに形成するようにしてもよい。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明のAC型カラ
ープラズマディスプレイパネル用前面基板は、リブの側
面に膜状のバス電極を形成したものであるから、このバ
ス電極が発光した可視光の取り出しの邪魔にならず、し
たがって開口率がアップすることにより、これを用いた
AC型カラープラズマディスプレイパネルの表示の高輝
度化を図ることがきる。
ープラズマディスプレイパネル用前面基板は、リブの側
面に膜状のバス電極を形成したものであるから、このバ
ス電極が発光した可視光の取り出しの邪魔にならず、し
たがって開口率がアップすることにより、これを用いた
AC型カラープラズマディスプレイパネルの表示の高輝
度化を図ることがきる。
【0030】また、リブの上面上に黒色絶縁材料からな
るブラックマスクを形成しているので、光漏れによるコ
ントラスト低下がなく、これによりパネル表示面のコン
トラストの向上を図ることができる。また、バス電極の
膜厚を厚くして配線抵抗を小さくすることにより、透明
電極の膜厚を薄くすることができ、したがって透過率を
高くして蛍光体の発光による可視光の取り出しを大きく
することができる。さらに、バス電極26のの配線抵抗
を小さくすることができることから駆動電圧を小さくす
ることができ、したがって放電電力効率を向上すること
ができる。
るブラックマスクを形成しているので、光漏れによるコ
ントラスト低下がなく、これによりパネル表示面のコン
トラストの向上を図ることができる。また、バス電極の
膜厚を厚くして配線抵抗を小さくすることにより、透明
電極の膜厚を薄くすることができ、したがって透過率を
高くして蛍光体の発光による可視光の取り出しを大きく
することができる。さらに、バス電極26のの配線抵抗
を小さくすることができることから駆動電圧を小さくす
ることができ、したがって放電電力効率を向上すること
ができる。
【0031】本発明のAC型カラープラズマディスプレ
イパネル用前面基板の製造方法によれば、前述した作用
を奏する請求項1記載の前面基板を製造することができ
る。
イパネル用前面基板の製造方法によれば、前述した作用
を奏する請求項1記載の前面基板を製造することができ
る。
【図1】(a)〜(d)は、AC型カラープラズマディ
スプレイパネル用前面基板の製造方法の一実施形態例を
工程順に説明するための要部側断面図である。
スプレイパネル用前面基板の製造方法の一実施形態例を
工程順に説明するための要部側断面図である。
【図2】(a)、(b)は、図1に示したAC型カラー
プラズマディスプレイパネル用前面基板の製造方法の、
図1(d)に示した工程に続く工程を順に説明するため
の要部側断面図である。
プラズマディスプレイパネル用前面基板の製造方法の、
図1(d)に示した工程に続く工程を順に説明するため
の要部側断面図である。
【図3】本発明の前面基板を用いたAC型カラープラズ
マディスプレイパネルの一例を示す要部側断面図であ
り、背面基板を90°回転させた状態にして示した図で
ある。
マディスプレイパネルの一例を示す要部側断面図であ
り、背面基板を90°回転させた状態にして示した図で
ある。
【図4】従来のAC型カラープラズマディスプレイパネ
ルの一例の概略構成を示す、分解斜視図である。
ルの一例の概略構成を示す、分解斜視図である。
20…透明ガラス基板、22…リブ、23…黒色絶縁
膜、24…金属膜、25…ブラックマスク、26…バス
電極、27…透明電極(放電用電極)、28…高誘電体
層、29…保護膜(耐放電保護膜)、30…前面基板、
31…背面基板、32…AC型カラープラズマディスプ
レイパネル
膜、24…金属膜、25…ブラックマスク、26…バス
電極、27…透明電極(放電用電極)、28…高誘電体
層、29…保護膜(耐放電保護膜)、30…前面基板、
31…背面基板、32…AC型カラープラズマディスプ
レイパネル
Claims (2)
- 【請求項1】 情報を書き込むためのデータ電極を有し
てなる透明ガラス製背面基板に対向させられ、これに貼
合されることによってAC型カラープラズマディスプレ
イパネルを形成する透明ガラス製の前面基板であって、 表層部にストライプ状のリブが互いに略平行に並列配置
され、 該リブの上面又は上面及び側面に黒色絶縁材料からなる
ブラックマスクが形成され、 該リブの側面に金属材料からなる膜状のバス電極が形成
され、 隣り合う一対のリブのうちの一方のリブにおける内側の
側面に形成されたバス電極上からこれらリブ間における
前面基板表面にかけて、対をなす放電用電極のうちの一
方が形成されるとともに、これら隣り合う一対のリブの
うちの他方のリブにおける内側の側面に形成されたバス
電極上からこれらリブ間における前面基板表面にかけ
て、前記放電用電極のうちの他方が前記放電用電極のう
ちの一方と連続しない状態で形成され、 前記前面基板上に前記ブラックマスク、バス電極、放電
用電極を覆って透明な高誘電体層が形成され、 該透明高誘電体層上に透明な耐放電保護膜が形成されて
なることを特徴とするAC型カラープラズマディスプレ
イパネル用前面基板。 - 【請求項2】 AC型カラープラズマディスプレイパネ
ル用の透明ガラス製前面基板を製造する方法であって、 まず、透明ガラス基板の表層部に、ストライプ状のリブ
を互いに略平行に並列配置した状態に形成し、 次に、得られたリブの上面又は上面及び側面に黒色絶縁
材料からなるブラックマスクを形成するとともに、該リ
ブの側面に金属材料からなる膜状のバス電極を形成し、 次いで、隣り合う一対のリブのうちの一方のリブにおけ
る内側の側面に形成されたバス電極上からこれらリブ間
における前記透明ガラス基板表面にかけて、対をなす放
電用電極のうちの一方を形成するとともに、これら隣り
合う一対のリブのうちの他方のリブにおける内側の側面
に形成されたバス電極上からこれらリブ間における前記
透明ガラス基板表面にかけて、前記放電用電極のうちの
他方を前記放電用電極のうちの一方と連続しない状態で
形成し、 次いで、前記透明ガラス基板上に前記ブラックマスク、
バス電極、放電用電極を覆って透明な高誘電体層を形成
し、 その後、該透明高誘電体層上に透明な耐放電保護膜を形
成することを特徴とするAC型カラープラズマディスプ
レイパネル用前面基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10134735A JPH11329255A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ac型カラープラズマディスプレイパネル用前面基板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10134735A JPH11329255A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ac型カラープラズマディスプレイパネル用前面基板とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11329255A true JPH11329255A (ja) | 1999-11-30 |
Family
ID=15135374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10134735A Pending JPH11329255A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ac型カラープラズマディスプレイパネル用前面基板とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11329255A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100352195B1 (ko) * | 2000-03-09 | 2002-09-12 | 학교법인 인하학원 | 강유전체 박막을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널과강유전체 박막 증착방법 |
KR100377635B1 (ko) * | 2000-03-14 | 2003-03-29 | 오리온전기 주식회사 | 레일형 전극을 지니는 교류형 플라즈마 표시 패널 |
KR100899256B1 (ko) * | 2002-03-18 | 2009-05-27 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
-
1998
- 1998-05-18 JP JP10134735A patent/JPH11329255A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100352195B1 (ko) * | 2000-03-09 | 2002-09-12 | 학교법인 인하학원 | 강유전체 박막을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널과강유전체 박막 증착방법 |
KR100377635B1 (ko) * | 2000-03-14 | 2003-03-29 | 오리온전기 주식회사 | 레일형 전극을 지니는 교류형 플라즈마 표시 패널 |
KR100899256B1 (ko) * | 2002-03-18 | 2009-05-27 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
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