JP2001247493A - オクタフルオロシクロペンテンの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高純度な原料を用いることなく、高純度な
１，２，３，３，４，４，５，５−オクタフルオロシク
ロペンテンを工業的有利に製造する方法を提供する。 【解決手段】 極性溶剤および非極性溶剤からなる混合
溶剤系の存在下に、少なくとも２種のクロロフルオロシ
クロペンテンの混合物と金属フッ化物を反応せしめて該
クロロフルオロシクロペンテン混合物をフッ素化し、得
られる粗生成物を蒸留して１−クロロヘプタフルオロシ
クロペンテンを含有する留分Ａと、１，３−および１，
４−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテンを含有する
留分Ｂを単離する（第一工程）。さらに、留分Ａおよび
留分Ｂの少なくとも１つの留分を金属フッ化物と反応せ
しめて、完全フッ素化することにより１，２，３，３，
４，４，５，５−オクタフルオロシクロペンテンを得る
（第二工程）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オクタフルオロシ
クロペンテンの製造方法に関する。さらに詳しくは、半
導体装置の製造分野などに用いられるプラズマ反応ガス
として有用な１，２，３，３，４，４，５，５−オクタ
フルオロシクロペンテンの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年のＶＬＳＩ（超集積回路）、ＵＬＳ
Ｉ（超々集積回路）などの生産にみられるように、半導
体装置の高集積化および高性能化が進展するに伴い、こ
れら装置の製造工程に用いられるプラズマ反応ガスにつ
いても、技術的要求がますます厳しくなり、均一で高純
度なガスが求められている。

【０００３】ところで、プラズマ反応ガスとしては、こ
れまで四フッ化炭素ガスなど飽和のフルオロカーボン類
が主に用いられてきたが、飽和パーフルオロカーボン類
は大気寿命が数千年以上と極めて長く、地球温暖化への
悪影響が指摘されている。このような観点から、種々の
新しい含フッ素化合物が代替物として開発されている。
なかでも分子内に不飽和結合を有し、大気寿命が格段に
短い１，２，３，３，４，４，５，５−オクタフルオロ
シクロペンテン（以下、ＯＦＣＰＥと略す場合があ
る。）は、極めて有望なプラズマ反応用ガスとして注目
されている。

【０００４】かかるＯＦＣＰＥは分子量２１２、常圧下
での沸点２７℃の公知物質であり、その製法としては、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドを反応溶媒とし、１，２
−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテンとフッ化カリ
ウムを反応させる方法が知られている（米国特許３，０
２４，２９０号、同３，５６７，７８８号明細書参
照）。しかしながら、この方法では収率が４８〜５９％
と低いため、ＯＦＣＰＥ製造の改良法が幾つか提案され
ている。

【０００５】例えば、特開平９−９５４５８号公報に
は、精留塔を装備した反応容器中にフッ化カリウムと
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドを仕込んでおき、滴下ロ
ートから１，２−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテ
ンを逐次滴下させながら、生成するＯＦＣＰＥを精留塔
から抜出す製法が提案されている。この方法によると、
ＯＦＣＰＥが収率８７．９％、純度９９．８％で得られ
ることが記載されている。

【０００６】また、同公報には、１，２，４−トリクロ
ロ−３，３，４，５，５−ペンタフルオロシクロペンテ
ンおよび１，２，４，４−テトラクロロ−３，３，５，
５−テトラフルオロシクロペンテンの混合物を、上記と
同様に滴下ロートから逐次滴下させながら、生成するＯ
ＦＣＰＥを精留塔から抜出すと、ＯＦＣＰＥが収率９１
％、純度９９．９８％で得られることも記載されてい
る。

【０００７】さらにまた、ＷＯ９７／４３２３３号公報
には、五塩化アンチモンの存在下、ヘキサクロロシクロ
ペンタジエンに塩素ガス、次いでフッ化水素を反応させ
て得られた４種類のクロロフルオロシクロペンテン類を
含む粗生成物をそのままで、または各成分を精留分離し
た後、再度混合して１，２−ジクロロ−３，３，４，
４，５，５−ヘキサフルオロシクロペンテン、１，２，
３−トリクロロ−３，４，４，５，５−ペンタフルオロ
シクロペンテンおよび１，２，３，５−テトラクロロ−
３，４，４，５−テトラフルオロシクロペンテンの混合
物を原料として用いるＯＦＣＰＥの製造方法が記載され
ている。

【０００８】このフッ素化方法では、前記公報と同様に
原料を逐次添加しながら、生成物を反応系外に抜出す方
法を採用しているが、ＯＦＣＰＥの収率は９０．５〜９
３．１％、純度は９９．８〜９９．９％と記載されてい
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、半導体装置のエッチングガスとしてＯＦＣＰＥを用
いる場合には、上記したような従来の製法で得られるも
のでは、未だ純度が十分に高いとは言い難く、しかも反
応収率も改良の余地があった。このような従来技術の問
題点に鑑み、本発明の目的は、極めて高純度なオクタフ
ルオロシクロペンテンを収率よく製造する方法を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の目的
を達成すべく、ＯＦＣＰＥの製造方法について鋭意検討
を重ねた結果、純度が高い原料を用いなくても、特定の
反応条件を採用すること、および特定の精製操作を施す
ことにより、極めて高純度なＯＦＣＰＥが収率よく得ら
れることを見出して、本発明を完成するに至った。

【００１１】かくして本発明によれば、極性溶剤および
非極性溶剤からなる混合溶剤系の存在下に、少なくとも
２種の前記式１で表わされるクロロフルオロシクロペン
テンの混合物と金属フッ化物を反応せしめて該クロロフ
ルオロシクロペンテン混合物をフッ素化し、得られる粗
生成物を蒸留して１−クロロヘプタフルオロシクロペン
テンを含有する留分Ａと、１，３−ジクロロ−２，３，
４，４，５，５−ヘキサフルオロシクロペンテンおよび
１，４−ジクロロ−２，３，３，４，５，５−ヘキサフ
ルオロシクロペンテンを含有する留分Ｂを単離する第一
工程と、前記留分Ａと留分Ｂの少なくとも１つの留分を
金属フッ化物と反応せしめて、完全フッ素化する第二工
程からなることを特徴とする１，２，３，３，４，４，
５，５−オクタフルオロシクロペンテンの製造方法が提
供される。上記第二工程のフッ素化反応は、非プロトン
性極性溶媒の存在下に行うことが好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】第一工程 （クロロフルオロシクロペンテンの混合物）本発明の製
造方法においては、少なくとも２種の前記式１で表わさ
れるクロロフルオロシクロペンテンの混合物が、第一工
程の反応原料として用いられる。クロロフルオロシクロ
ペンテンは、シクロペンテン骨格を有し、２つの不飽和
結合炭素（１位および２位）のそれぞれに塩素原子が１
つ置換し、残る３つの飽和結合炭素（３位、４位および
５位）に水素原子が結合せず、フッ素原子がＸ個（Ｘ＝
３〜６）結合し、塩素原子が（６−Ｘ）個結合していれ
ば特に限定されない。

【００１３】かかるクロロフルオロシクロペンテンとし
ては、例えば、１，２−ジクロロ−３，３，４，４，
５，５−ヘキサフルオロシクロペンテン、１，２，３−
トリクロロ−３，４，４，５，５−ペンタフルオロシク
ロペンテン、１，２，４−トリクロロ−３，３，４，
５，５−ペンタフルオロシクロペンテン、１，２，３，
４−テトラクロロ−３，４，５，５−テトラフルオロシ
クロペンテン、１，２，３，３，４−ペンタクロロ−
４，５，５−トリフルオロシクロペンテンなどが挙げら
れる。

【００１４】これらのクロロフルオロシクロペンテン
は、２種以上の混合物として用いられる。混合割合は特
に限定されないが、混合物の全重量に基づいて１，２−
ジクロロ−３，３，４，４，５，５−ヘキサフルオロシ
クロペンテンの含量が好ましくは５〜９５重量％であ
り、より好ましくは１０〜９３重量％、特に好ましくは
２０〜９０重量％である。原料混合物の製造方法は特に
限定されず、例えば、パークロロシクロペンタジエンを
出発原料として公知の方法で製造することができる。

【００１５】（金属フッ素化物）本発明で用いられる金
属フッ化物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ
土類金属、遷移金属などのフッ化物が挙げられる。好ま
しくはアルカリ金属フッ化物である。アルカリ金属フッ
化物の具体例としては、フッ化ナトリウム、フッ化カリ
ウム、フッ化リチウム、フッ化セシウムなどが挙げられ
る。なかでもフッ化カリウムが好ましい。これらの金属
フッ化物は単独で使用してもよく、または２種以上組合
せて使用してもよい。

【００１６】金属フッ化物の使用量は、原料として用い
るクロロフルオロシクロペンテンの混合物中に存在する
塩素原子の合計（モル原子換算）を、該原料のモル数で
割った値から、目的生成物中に残される塩素原子の最小
値である１を差し引いた数値を１当量とした場合に、好
ましくは１．１〜２．０倍当量、より好ましくは１．２
〜１．５倍当量である。

【００１７】（反応溶剤）本発明の第一工程に使用され
る反応溶媒は、極性溶剤と非極性溶剤の混合溶剤である
ことが必須である。極性溶剤としては、通常、非プロト
ン性極性溶剤が用いられる。かかる非プロトン性極性溶
剤の具体例としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリド
ン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルス
ルホキシド、スルホランなどが挙げられる。

【００１８】非極性溶剤としては、通常、前記極性溶剤
と相溶性がある炭化水素系溶剤が用いられる。かかる非
極性溶剤の具体例としては、シクロペンタン、シクロヘ
キサン、シクロオクタン、デカリンなどの脂環式炭化水
素；ベンゼン、トルエン、キシレン（オルト、メタ、パ
ラ）、エチルベンゼン、ｔ−ブチルベンゼンなどの芳香
族炭化水素などが挙げられるが、芳香族炭化水素が好ま
しい。これらの極性溶剤と非極性溶剤の組合わせは、特
に限定されないが、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドとト
ルエンの組合わせが好ましい。

【００１９】使用する極性溶剤と非極性溶剤の量比（体
積比）は、特に限定されないが、極性溶剤の使用量を１
体積部としたとき、非極性溶剤の使用量は、通常、０．
５〜１．５体積部であり、好ましくは０．８〜１．２体
積部である。非極性溶剤の使用量が過度に少ないとパー
フルオロシクロペンテンが副生し易くなる。また非極性
溶剤の使用量が過度に多すぎると反応速度が遅くなる。
極性溶剤と非極性溶剤とからなる混合溶剤の使用量は、
前記フッ化金属１００重量部に対して、通常、１００〜
１０００重量部、好ましくは１２０〜６００重量部、よ
り好ましくは１５０〜３００重量部である。

【００２０】（フッ素化反応および蒸留留分Ａと留分
Ｂ）第一工程におけるフッ素化反応の反応温度は、２０
〜２００℃の範囲で適宜選択できるが、５０〜１５０℃
が好ましく、８０〜１３０℃がより好ましい。反応時間
は、通常０．５〜３０時間、好ましくは２〜２０時間で
ある。反応方法および装置は、特に限定されないが、バ
ッチ方式または原料を連続的に反応容器へ供給し、反応
生成物を反応容器から抜出す連続方式が採用される。

【００２１】バッチ方式で反応を行う場合は、反応終了
後、工業的に通常用いられる蒸留装置により精製操作を
施して、目的とする１−クロロヘプタフルオロシクロペ
ンテンを含有する留分Ａ（沸点５６℃）と、反応により
特異的に副生する１，３−ジクロロ−２，３，４，４，
５，５−ヘキサフルオロシクロペンテンおよび１，４−
ジクロロ−２，３，３，４，５，５−ヘキサフルオロシ
クロペンテン（以下、これら１，３−ジクロロ体および
１，４−ジクロロ体を併せて、「１，３−および１，４
−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテン」という）を
含む留分Ｂ（沸点約８９℃）を別々に単離することがで
きる。

【００２２】また、連続方式で反応を行う場合は、精留
塔を装備した反応容器を用い、金属フッ化物を分散させ
た反応溶剤中へ前記式１の原料混合物を逐次添加しなが
ら反応させることが好ましい。この際には、精留塔の塔
頂部より目的とする１−クロロヘプタフルオロシクロペ
ンテンの留分Ａと、反応により特異的に副生する１，３
−および１，４−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテ
ンを含む留分Ｂを別々に得ることができる。

【００２３】このように本発明の第一工程によると、目
的物の製造中間体すなわち留分Ａに含有される１−クロ
ロヘプタフルオロシクロペンテンと、特異的に副生する
化合物すなわち留分Ｂに含有される１，３−および１，
４−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテンの沸点が大
きく異なるので、別々に単離することができる。

【００２４】つまり、上記留分Ａと留分Ｂとを蒸留によ
り純度高く単離することができ、その他の反応夾雑物
（不純物）を留分Ａと留分Ｂに混入させることなく除去
することが可能である。また、第二工程の項で説明する
ように、このように単離した留分Ａのみならず、留分Ｂ
も必要に応じて第二工程の原料として用いることができ
る。

【００２５】第二工程 本発明の第二工程の原料は、前記第一工程で得られた留
分Ａと留分Ｂの少なくとも１つの留分である。目的物Ｏ
ＦＣＰＥの製造効率の観点からは、留分Ａと留分Ｂを混
合してフッ素化反応に供することが好ましい。

【００２６】第二工程に使用する金属フッ化物は、第一
工程に用いるフッ素化物と同様であるが、フッ化カリウ
ムが好ましい。金属フッ素化物の使用量は、上記原料中
に含まれる塩素原子のモル数を１当量とした場合、好ま
しくは１．０〜２．０倍当量、より好ましくは１．０５
〜１．５倍当量である。

【００２７】反応溶媒としては、反応に支障をきたさな
い不活性溶剤であれば特に限定されないが、非プロトン
性極性溶剤が好ましく用いられる。かかる非プロトン性
極性溶剤の具体例としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムア
ミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロ
リドン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルイミダゾリジノン、ジメチ
ルスルホキシド、スルホランなどが挙げられる。これら
の非プロトン性極性溶剤は、単独で使用しても２種以上
を併用してもよいが、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドを
単独使用または併用溶剤系の主成分とすることが好まし
い。

【００２８】第２工程のフッ素化反応の反応温度、反応
時間、反応装置、反応方法などは、前記第一工程のフッ
素化反応と同様に行うことができるが、精留塔を装備し
た反応装置を用いて、予め金属フッ化物および反応溶媒
を仕込んだ反応容器に、原料を逐次添加しながら精留塔
より目的生成物（ＯＦＣＰＥ）を抜き出す方法が好まし
い。かかる方法により、反応系内におけるＯＦＣＰＥの
滞留時間を短くすれば、ＯＦＣＰＥの重合などの副次反
応を抑制することができる。

【００２９】この場合、原料の反応系への供給速度は、
ＯＦＣＰＥの抜き出し量に応じて設定すればよい。原料
の供給速度（モル／時間）は、ＯＦＣＰＥの抜き出し速
度の通常３倍以下、好ましくは０．１〜２倍、より好ま
しくは０．５〜１．５倍である。目的物であるＯＦＣＰ
Ｅは、精留塔塔頂部の温度を管理することにより得るこ
とが可能である。塔頂部の温度は、精留塔の能力（理論
段数）に見合った還流比を設定することにより、ＯＦＣ
ＰＥの沸点付近に設定できる。目的物の回収、容器への
充填などは常法に従って行えばよいが、窒素ガス、ヘリ
ウムガス、アルゴンガスなどの不活性ガス雰囲気下で操
作することが推奨される。

【００３０】本発明の方法で製造されるＯＦＣＰＥは、
半導体装置の製造工程におけるエチングガス、アッシン
グガスなどとして有用である。

【００３１】

【実施例】以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例によってその範囲を限
定されるものではない。なお、ガスクロマトグラフィー
（ＧＣ）分析にはＨｉｔａｃｈｉ２６３−７０を使用し
た。カラムはＧＬサイエンス社製のＮｅｕｔｒａｂｏｎ
ｄ Ｃａｐｉｌｌａｒｙ Ｃｏｌｕｍｎ（長さ６０ｍ、
内径２．５ｍｍ）を用いた。キャリアーガスとして窒素
を１００ｍｌ／分の流量で流した。

【００３２】実施例１ 第一工程のクロロフルオロシクロペンテン混合物のフッ
素化反応および留分Ａと留分Ｂの単離 ：滴下ロート、精
留塔、温度計および撹拌装置を装備した４つ口フラスコ
に、窒素気流下においてフッ化カリウム５９７．０ｇ
（１０．３モル）およびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド
４８０ｍｌとトルエン７２０ｍｌの混合液を仕込んだ。
滴下ロートには、５５．５％の１，２−ジクロロヘキサ
フルオロシクロペンテン、３１．４％のトリクロロペン
タフルオロシクロペンテン類および１２．５％のテトラ
クロロテトラフルオロシクロペンテンからなる原料混合
物を１５８０．０ｇ（６．２２モル）仕込んだ。精留塔
塔頂部に備え付けたジムロート冷却器に−１０℃の冷媒
を流し、−７０℃に冷却した留分トラップを冷却器の出
口部に接続した。

【００３３】フラスコを油浴に浸し、内容物を攪拌しな
がら加熱した。フラスコ内温度が１３０℃に昇温後、５
時間にわたって継続的に前記原料混合物を滴下した。反
応開始から２時間経過後、精留塔塔頂部の温度が目的物
の沸点（５６℃）になって安定した。その時点から塔頂
部の温度が１１０℃まで上昇するまでの間（反応開始か
ら約１３時間）、断続的に反応生成物の抜き出しを行っ
た結果、２種類の留分が得られた。

【００３４】各留分をＧＣ分析したところ、沸点５６℃
の留分Ａは、1−クロロヘプタフルオロシクロペンテン
であった(９７７．１ｇ、４．２８モル、収率６８．８
％)。沸点約８９℃の留分Ｂは、副生成物の１，３-およ
び１，４−ジクロロヘキサフルオロシクロペンテン（２
６２．２ｇ、１．０７モル、収率１７．２％）と、原料
混合物中に含まれていた１，２−ジクロロヘキサフルオ
ロシクロペンテン（２６．６ｇ、０．１１モル、回収率
１．７％）の混合物であった。

【００３５】比較例１ 第一工程の反応溶媒としてＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミ
ドのみを用いたクロロフルオロシクロペンテン混合物の
フッ素化反応および粗生成物の蒸留 ：実施例１において
反応溶媒として用いたＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドと
トルエンからなる混合液の全量をＮ，Ｎ−ジメチルホル
ムアミドに代えたほかは、実施例１と同様に反応および
生成物の抜き出しを行なった。得られた２種類の留分を
ＧＣ分析した結果、沸点５６℃の留分中の１−クロロヘ
プタフルオロシクロペンテンは３３％に過ぎず、その余
はＧＣ分析のピーク位置から３位、４位または５位の飽
和結合炭素に塩素が１つ置換したと推定される異性体の
混合物であった。また、沸点が約８９℃の留分は、未反
応物である１，２−ジクロロヘキサフルオロシクロペン
テン３０％を含む多くの異性体混合物であった。

【００３６】実施例２ 第一工程の蒸留操作および留分Ａおよび留分Ｂの単離 ：
実施例１の反応装置の精留塔を単蒸留カラムに代えたほ
かは、実施例１と同様に原料を逐次添加しながら粗生成
物を反応系外に抜き出した。この粗生成物をオイルバ
ス、ガラス製蒸留釜、理論段数５５段の還流装置付き蒸
留塔(スルーザー型)、冷却器、留分受器などからなる精
留装置を用いて精製した。オイルバス温度、蒸留釜内温
度、精留塔の塔頂部温度を測定記録するために熱電対式
温度記録計を用いた。具体的な蒸留操作手順を以下に示
す。

【００３７】蒸留釜に実施例１と同様の反応で得られた
単蒸留留分、すなわちオクタフルオロシクロペンテン
（２．５％）、１−クロロヘプタフルオロシクロペンテ
ン（５２．８％）、１，３−および１，４−ジクロロヘ
キサフルオロシクロペンテン（１３．９％）、トルエン
（１４．１％）の組成をもつ混合物１９２６．１６ｇを
仕込んだ。蒸留釜を精留装置に取り付け、オイルバスに
浸して８０℃に加熱した。精留塔の塔頂部温度が上昇
し、一定温度に達してから約２時間は留分を抜き出さず
に全還流させた。その後、留分の抜き出し３秒／還流１
２０秒の還流比で留分を抜き出した。蒸留釜内温度およ
び精留塔の塔頂部温度に応じてオイルバス内温度および
還流比を変化させた。抜出した各留分の成分組成比をＧ
Ｃ分析により求めた結果を表１に示す。表１のＦ２〜５
（沸点５６℃、留分Ａという）の主成分は、１−クロロ
ヘプタフルオロシクロペンテンであった。Ｆ７〜９（沸
点約８９℃、留分Ｂという）の主成分は、１，３および
１，４−ジクロヘキサフルオロシクロペンテンであっ
た。

【００３８】

【表１】

【００３９】実施例３ 第二工程（第一工程の留分Ａを用いたＯＦＣＰＥの合
成） ：実施例１と同様の反応装置を用いて、反応容器に
フッ化カリウム２７．９５ｇ（０．４８モル）および
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド１００ｍｌを仕込んだ。
滴下ロートには、前記実施例２で得られた留分Ａ（Ｆ３
〜５の混合物）を１００．０ｇ（０．４４モル）入れ
た。精留塔塔頂部に備え付けたジムロート冷却器に−１
０℃の冷媒を流し、−７０℃に冷却した留分トラップを
冷却器の出口部に接続した。

【００４０】反応容器を油浴に浸し、内容物を攪拌しな
がら加熱した。フラスコ内温度が１２０℃に昇温後、１
時間かけて継続的に前記の原料（留分Ａ）を滴下した。
精留塔塔頂部の温度が目的物の沸点（２７℃）に安定し
たことを確認した後、断続的に反応生成物の抜き出しを
行った。系外に抜出した８１．５ｇの生成物をＧＣ分析
した結果、ＯＦＣＰＥの純度は９９．９９％であった。

【００４１】実施例４ 第二工程（第一工程の留分Ｂを用いたＯＦＣＰＥの合
成） ：実施例１と同様の反応装置を用いて、反応容器に
フッ化カリウム５０．９８ｇ（０．８８モル）および
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド２００ｍｌを仕込んだ。
滴下ロートには、前記実施例２で得られた留分Ｂ（Ｆ８
〜９の混合物）を９８．４ｇ（０．４モル）入れた。精
留塔塔頂部に備え付けたジムロート冷却器に−１０℃の
冷媒を流し、−７０℃に冷却した留分トラップを冷却器
の出口部に接続した。

【００４２】反応容器を油浴に浸し、内容物を攪拌しな
がら加熱した。フラスコ内温度が１２０℃に昇温後、１
時間かけて継続的に前記の原料（留分Ｂ）を滴下した。
精留塔塔頂部の温度が目的物の沸点（２７℃）に安定し
たことを確認した後。断続的に反応生成物の抜き出しを
行った。系外に抜出した７７．２ｇの生成物をＧＣ分析
した結果、ＯＦＣＰＥの純度は９９．９９％であった。

【００４３】

【発明の効果】本発明の方法によって、第一工程とし
て、少なくとも２種のクロロフルオロシクロペンテンと
金属フッ化物を反応せしめると、１−クロロヘプタフル
オロシクロペンテンとともに、１，３および１，４−ジ
クロロヘキサフルオロシクロペンテンが特異的に副生す
るが、蒸留により留分Ａおよび留分Ｂとして容易に精製
単離することができ、その他の反応夾雑物を除去するこ
とができる。そして、第二工程として、これら留分Ａお
よび留分Ｂの少なくとも１つの留分を金属フッ化物と反
応せしめて完全フッ素化すると、高純度の１，２，３，
３，４，４，５，５−オクタフルオロシクロペンテンが
工業的有利に得られる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 俊郎 神奈川県川崎市川崎区夜光一丁目２番１号 日本ゼオン株式会社総合開発センター内 Ｆターム(参考） 4H006 AA02 AC30 AD11 BB41 BB42 BD60 BE61 EA15

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 極性溶剤および非極性溶剤からなる混合
   溶剤系の存在下に、少なくとも２種の下記式１で表わさ
   れるクロロフルオロシクロペンテンの混合物と金属フッ
   化物を反応せしめて該クロロフルオロシクロペンテン混
   合物をフッ素化し、得られる粗生成物を蒸留して１−ク
   ロロヘプタフルオロシクロペンテンを含有する留分Ａ
   と、１，３−ジクロロ−２，３，４，４，５，５−ヘキ
   サフルオロシクロペンテンおよび１，４−ジクロロ−
   ２，３，３，４，５，５−ヘキサフルオロシクロペンテ
   ンを含有する留分Ｂを単離する第一工程と、 前記留分Ａと留分Ｂの少なくとも１つの留分を金属フッ
   化物と反応せしめて、完全フッ素化する第二工程からな
   ることを特徴とする１，２，３，３，４，４，５，５−
   オクタフルオロシクロペンテンの製造方法。 【化１】 （式１中のＸは３〜６の整数である）
2. 【請求項２】 非プロトン性極性溶媒の存在下に、前記
   第二工程を行うことを特徴とする請求項１記載の製造方
   法。