JP2001244053A - 発熱用抵抗素子 - Google Patents

発熱用抵抗素子

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JP2001244053A
JP2001244053A JP2000053158A JP2000053158A JP2001244053A JP 2001244053 A JP2001244053 A JP 2001244053A JP 2000053158 A JP2000053158 A JP 2000053158A JP 2000053158 A JP2000053158 A JP 2000053158A JP 2001244053 A JP2001244053 A JP 2001244053A
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pattern
heating
heating resistor
internal conductor
conductor
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Kentaro Sawamura
建太郎 澤村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 急速に昇温させても熱ストレスを受け難く、
しかも、高温状態で電気短絡のおそれが少なく、耐久性
に優れた高寿命の発熱用抵抗素子を提供すること。 【解決手段】 セラミックスで構成してある素子本体2
2と、素子本体22の内部に埋め込んである内部導体1
4とを有する発熱用抵抗素子20であって、内部導体1
4における発熱パターン14aが形成してある前記素子
本体の基準面積S0に対する発熱パターン14aの占有
面積S1の占有面積比S1/S0が、0.20より大き
く0.55未満、好ましくは0.25以上0.50以下
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、急速昇温着火用抵
抗素子などとして用いられる発熱用抵抗素子に係り、さ
らに詳しくは、急速に昇温させても熱ストレスを受け難
く、しかも、高温状態で電気短絡のおそれが少なく、耐
久性に優れた高寿命の発熱用抵抗素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、天然ガス、プロパンガス、灯
油などの気体燃料や液体燃料の着火には、セラミックス
を用いた通電式の着火用抵抗素子が一般に用いられてい
る。着火用抵抗素子としては、種々のものが提案されて
いるが、基本的には、セラミックスで構成してある素子
本体と、素子本体の内部に埋め込んである内部導体とを
有する。内部導体は、通電により発熱が生じるように電
気抵抗が増大している発熱パターンと、当該発熱パター
ンへ電流を供給する配線パターンとを有する。
【0003】ところで、この種の着火用抵抗素子は、2
〜3秒間程度で1000°C以上の温度に達する急速昇
温に耐える必要があると共に、空気中で1550°C程
度の高温に耐える必要がある。ところが、従来の抵抗素
子では、急速昇温させると、発熱パターンを構成する導
体と素子本体を構成する絶縁体との間に急激な温度差が
生じ、導体が熱ストレスを受け、導体にクラックが生
じ、抵抗素子の寿命を著しく低下させていた。あるい
は、高温状態で、発熱パターン間に電気短絡が生じるお
それもあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
実状に鑑みてなされ、急速に昇温させても熱ストレスを
受け難く、しかも、高温状態で電気短絡のおそれが少な
く、耐久性に優れた高寿命の発熱用抵抗素子を提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る発熱用抵抗素子は、セラミックスで構
成してある素子本体と、前記素子本体の内部に埋め込ん
である内部導体とを有する発熱用抵抗素子であって、前
記内部導体における発熱パターンが形成してある前記素
子本体の基準面積(S0)に対する発熱パターンの占有
面積(S1)の占有面積比(S1/S0)が、0.20
より大きく0.55未満であることを特徴とする。
【0006】好ましくは、前記占有面積比(S1/S
0)が、0.25以上0.50以下である。好ましく
は、前記発熱パターンの線幅が0.20〜0.30mmで
ある。
【0007】前記発熱パターンとしては、特に限定され
ないが、少なくとも二つの先端側折り返しパターン部
と、前記先端側折り返しパターン部の間に形成される後
端側折り返しパターン部とを有することが好ましい。
【0008】前記基準面積の定義は、特に限定されない
が、たとえば前記素子本体の先端から、前記後端側折り
返しパターンまでの範囲の導体印刷部と無印刷部の面積
の総和であるように定義される。ただし、導体に絶縁体
を添加した導体ペーストを印刷した場合、全ての印刷面
積を導体面積とする。
【0009】
【作用】本発明に係る発熱用抵抗素子では、発熱パター
ンの専有面積比(S1/S0)が、所定の範囲にあるた
め、抵抗素子を急速に昇温させても、熱ストレスが緩和
され、発熱パターンを構成する導体にクラックが生じに
くい。そのため、抵抗素子の寿命が長くなる。また、発
熱パターンの専有面積比(S1/S0)が、所定の範囲
にあるため、高温状態においても、電気短絡のおそれが
少ない。したがって、本発明によれば、耐久性に優れた
高寿命の発熱用抵抗素子を実現することができる。
【0010】なお、発熱パターンの専有面積比(S1/
S0)が小さすぎる場合には、発熱パターンにおける導
体部分の占有面積が小さく、急速昇温させた場合に、導
体と絶縁体との温度差による熱ストレスが大きくなり、
導体にクラックが入りやすい傾向にある。また、発熱パ
ターンの専有面積比(S1/S0)が大きすぎる場合に
は、導体部分に比べて絶縁体部分が小さくなり過ぎ、高
温状態において、発熱パターン間で電気短絡が生じやす
くなる傾向にある。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図1は本発明の1実施形態に係
る発熱用抵抗素子の一部透視斜視図、図2は図1に記す
II−II線から見た要部断面図、図3は発熱用抵抗素子の
製造工程を示す分解斜視図である。
【0012】発熱用抵抗素子 図1に示すように、本実施形態の発熱用抵抗素子20
は、たとえば急速昇温着火用抵抗素子として用いられ、
素子本体22を有し、素子本体22内部に所定パターン
の内部導体14が形成してある。内部導体14は、抵抗
が増大するように線幅が細くなっている発熱パターン1
4aと、発熱パターン14aへ電流を供給する一対の配
線パターン14bと、配線パターン14bの端部に形成
された取り出し電極部14cとを有する。内部導体14
の一対の取り出し電極部14cは、図1に示すように、
素子本体22の後端側の二側面に各々形成され、外部端
子電極24に対して接合される。
【0013】本実施形態では、素子本体22を構成する
セラミックスとしては、特に限定されないが、耐熱性に
優れ、内部導体14との密着性に優れたものが好まし
い。このようなセラミックスとしては、窒化珪素を主成
分とするセラミックス、Si6-z Alz Oz N8-z で示
される組成のサイアロンを含むセラミックス、シリコン
オキシナイトライトから主として成るセラミックスなど
が例示される。
【0014】また、内部導体14を構成する導電性材料
としても、特に限定されないが、高融点(たとえば、1
700℃以上)で、低熱膨張率(たとえば、6.0×1
0-6/℃以下)および低電気比抵抗(たとえば、10-5
Ω・cm以下)である材料が好ましい。このような導電
性材料としては、タングステン(W)、炭化タングステ
ン(WC、W2 C)、モリブデン(Mo)、クロム(C
r)、ニオブ(Nb)などが例示される。なお、内部導
体14中には、素子本体との密着性向上のために、素子
本体を構成する絶縁成分などを含ませても良い。
【0015】また、本実施形態において、外部端子電極
24の材質は、特に限定されず、ニッケル、タングステ
ン、モリブデン、金、銀、銅、またはこれらの合金など
で構成される。
【0016】図2に示すように、本実施形態では、内部
導体14における発熱パターン14aは、少なくとも二
つの先端側折り返しパターン部30と、先端側折り返し
パターン部30の間に形成される後端側折り返しパター
ン部32とを有する蛇行パターンである。また、本実施
形態では、発熱パターン14aが形成してある素子本体
22の基準面積S0に対する発熱パターン14aの占有
面積S1の占有面積比S1/S0が、0.20より大き
く0.55未満、好ましくは0.25以上0.50以下
である。
【0017】なお、本実施形態において、基準面積S0
は、素子本体22の先端から、後端側折り返しパターン
32までの範囲の面積(=W0×L0)であるように定
義される。また、発熱パターン14aの占有面積Sは、
基準面積S0内に位置する蛇行状パターンの面積として
定義される。
【0018】発熱パターン14aの線幅W1は、特に限
定されないが、好ましくは0.2〜0.3mm、さらに好
ましくは0.2〜0.25mmである。これに対し、配線
パターン14bの線幅W2は、抵抗を下げて発熱を抑制
するために、発熱パターンの線幅W1よりも、好ましく
は5〜10倍程度太くしてある。
【0019】発熱パターン14aの占有面積比S1/S
0は、発熱パターン14aの線幅W1が太くなるほど、
大きくなる。また、この占有面積比S1/S0は、発熱
パターンにおける折り返しパターン部30および32の
数が多くなるほど、大きくなる。一例として、図2に示
す発熱パターンの場合において、基準面積S0を規定す
るための基準幅W0が2.4mmで、基準長さL0が5.
5mmで、発熱パターンの繰り返しパターン間隔P1,P
2が共に0.2mmで、線幅W1が0.2mmで、素子本体
の端面とのパターン隙間P3が0.5mmの場合には、占
有面積比S1/S0は、0.312となる。
【0020】発熱用抵抗素子の製造方法 図1に示す発熱用抵抗素子20を製造するには、まず、
図3に示すように、内部導体14が表面にスクリーン印
刷法などで所定の繰り返しパターンで形成してあるグリ
ーンシート12と、何ら内部導体14が形成されていな
いグリーンシート16とを準備する。
【0021】グリーンシート12および16は、セラミ
ックス焼結体を製造するための原料混合物粉末に有機バ
インダーを含む水溶液または有機溶剤系溶液を加えてシ
ート状に成形して乾燥したものである。シート状に成形
するための方法としては、ドクターブレード法、押出し
成形法等が用いられる。
【0022】グリーンシートを形成するための原料混合
物としては、特に限定されないが、焼結後に窒化珪素、
サイアロンまたはシリコンオキシナイトライトとなる材
料などが例示される。また、原料混合物の粉末に添加さ
れるバインダとしては、特に限定されないが、たとえば
ポリビニルアルコール、アクリル樹脂等を例示すること
ができる。原料混合物の粉末の平均粒径は、特に限定さ
れないが、好ましくは0.1〜1.5μm程度である。
【0023】グリーンシート12および16の厚みは、
特に限定されないが、一般には、50〜1500μmで
ある。グリーンシート12の表面にスクリーン印刷など
で形成してある内部導体14の厚みは、特に限定されな
いが、好ましくは5〜50μm、さらに好ましくは15
〜25μmである。
【0024】内部導体14を形成するための導電ペース
トとしては、焼成後に炭化タングステンとなる原料粉
末、および/またはモリブデン原料粉末、および/また
はクロム原料粉末などに、有機バインダー、溶剤、可塑
剤などを加えてペースト化したものが用いられる。これ
ら原料粉末の粒径は、特に限定されないが、好ましくは
0.5〜8μm、さらに好ましくは1〜5μm程度であ
る。なお、導電ペースト中には、金属の珪化物、窒化物
および炭化物などの絶縁成分を含ませても良い。内部導
体と誘電体層との密着性を高めるためである。
【0025】図3に示すように、内部導体14のパター
ンが形成してあるグリーンシート12の上下面に、単一
または複数のグリーンシート16を積層して積層体ユニ
ット10とし、この積層体ユニット10を、離型剤層を
介して多数積層し、予備加圧することにより、積層体ブ
ロックを得る。離型剤層としては、特に限定されない
が、窒化ホウ素(BN)シートなどが用いられる。な
お、内部導体14のパターンが形成してあるグリーンシ
ート12は、積層体ユニット10の積層方向略中央部
に、導体パターンが形成されていないグリーンシート1
6を介して2層以上積層させても良い。
【0026】積層体ブロックは、ホットプレス装置に装
着される前に、脱バインダ炉内に入れられ、脱バインダ
処理が行われる。脱バインダ処理時の加熱温度は、脱バ
インダ処理すべきバインダの種類などによっても異なる
が、一般には、400〜1000°Cである。また、脱
バインダ処理の時間は、積層体ブロックの大きさや加熱
温度などによっても異なるが、一般には、数時間〜数十
時間である。
【0027】その後、脱バインダ処理後の積層体ブロッ
クを、たとえばホットプレス装置にセットし焼成する。
焼成は導体の酸化防止のため、窒素ガスまたはアルゴン
ガス等の不活性ガス雰囲気下にすることが好ましい。ま
た、焼成温度は、特に限定されないが、通常1,300
〜2,100°C、好ましくは1,500〜1,900
°Cである。さらに、ホットプレス時の加圧力は、好ま
しくは10〜60MPa(100〜600kg/cm2
)、さらに好ましくは20〜30MPa(200〜3
00kg/cm2 )である。加圧時間は、一般には、1
0〜120分である。
【0028】その後、焼成後のブロックを素子形状に切
断することで、図1に示す素子本体22が得られる。素
子本体22の後方二側面には、内部導体14の取り出し
電極部14cが露出する。その後、これら取り出し電極
部14cにロウ材を塗布し、外部端子電極24を取り付
けて接合する。接合手段としては、特に限定されない
が、たとえば真空焼き付け法などが用いられる。真空焼
き付けは、たとえば1.3×10-2〜1.3×10-3P
a程度の真空中、800〜980°Cの温度条件で行
う。ロウ材としては、特に限定されないが、たとえば銀
ロウ材が用いられる。銀ロウ材には、チタン、ジルコニ
ウムなどの活性金属が含有してあることが好ましい。ロ
ウ材への活性金属の添加は、絶縁材料であるセラミック
と抵抗材料である内部導体との双方に対する接着強度を
充分にするためのものである。
【0029】その他の実施形態 なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるもので
はなく、本発明の範囲内で種々に改変することができ
る。
【0030】たとえば、上述した実施形態では、発熱用
抵抗素子として、積層型の発熱用抵抗素子を例示した
が、本発明に係る発熱用抵抗素子の具体的構造は、特に
限定されず、積層型の発熱用抵抗素子以外に、巻き付け
型の発熱用抵抗素子であっても良い。
【0031】また、上述した実施形態では、焼成方法と
して、ホットプレス法を採用したが、本発明では、焼成
方法については特に制限は無く、公知の方法、常圧焼成
法、窒素ガス加圧焼成法などを用いても良い。
【0032】さらに、本発明では、外部端子電極24の
材質や形状も特に限定されない。
【0033】
【実施例】以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づ
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。
【0034】実施例1 α型−Si3 N4 粉末100モル、Al2 O3 粉末6.
86モル、及びSiO2 粉末10モルを混合して混合粉
末を得た。この混合粉末100重量部に対し、アクリル
系樹脂と、エタノール及びトルエンを適量加え混合して
スラリーを調整し、ドクターブレード法により厚み1m
mのセラミックス用グリーンシート12および16を作
製した。
【0035】グリーンシート12の表面に、内部導体1
4のパターンをスクリーン印刷により形成した。内部導
体14を印刷するための導電ペーストとしては、焼成後
にW2 Cとなる所定モル比の炭化タングステンとタング
ステンとを含む原料粉末に、エチルセルロース、αーテ
ルピネオールを加えてペースト化したものを用いた。導
電パターンの厚みは、25μmであった。
【0036】また、内部導体14のパターンのスクリー
ン印刷に際しては、内部導体14における発熱部14a
の占有面積比(S1/S0)が0.25となるようなパ
ターンを選択した。
【0037】そして、内部電極14のパターンが印刷さ
れたグリーンシート12の上下面に、内部電極14のパ
ターンが何ら印刷されていないグリーンシート14を、
それぞれ2枚、総数が5層となるように積層し、積層体
ユニット10とし、この積層体ユニット10を、離型剤
層を介して多数積層し、予備加圧することにより、積層
体ブロックを得た。次に、この積層体ブロックを窒素雰
囲気中、500°Cで脱バインダーした。その後、積層
体ブロックを、ホットプレス装置にセットし、窒素雰囲
気中、1800°C、25MPa(250kg/cm2 )
の条件でホットプレス焼成した。焼成後、ダイアモンド
カッターで切断し、図1に示す素子本体22を得た。
【0038】素子本体22の内部には、内部導体14が
内蔵され、その露出部である取り出し電極部に活性金属
が含有してある銀ロウを塗布し、その塗布部分をニッケ
ル製外部端子電極24で覆い、真空中、920°Cで焼
き付け、発熱用抵抗素子20を作製した。
【0039】得られた素子各々50本を、空気中、16
80°Cに発熱させ、端子電極24,24間の抵抗値を
測定し、抵抗がオープン(無限大)になるまでの時間を
測定し、平均値を求めた。表1に示すように、オープン
になるまでの時間は2000時間であった。
【0040】また、得られた素子各々50本の外部電極
端子24および24間に15秒間通電させることで、素
子本体の発熱部を1500°Cに昇温させ、15秒間停
止することで、室温付近まで冷却させることを繰り返す
サイクル試験を行った。初期抵抗値より10%増大した
点における回数(昇降温の1サイクルを1回のカウント
とする)を調べた。初期抵抗値は、1回目の通電での1
500°Cにおける抵抗値とした。試料数は50本であ
り、回数は平均値を採用した。結果を表1に示す。な
お、5万回以上を合格とする。表1に示すように、実施
例1におけるサイクル回数は、30万回であった。
【0041】
【表1】
【0042】実施例2 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.40となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0043】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、オープンになるまでの時間は6000時間で
あり、サイクル回数は、100万回以上であった。
【0044】実施例3 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.50となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0045】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、オープンになるまでの時間は9000時間以
上であり、サイクル回数は、100万回以上であった。
【0046】比較例1 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.15となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0047】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、オープンになるまでの時間は20時間であ
り、サイクル回数は、1万回であった。
【0048】比較例2 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.20となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0049】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、オープンになるまでの時間は85時間であ
り、サイクル回数は、4万回であった。
【0050】比較例3 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.55となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0051】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、70時間で電気短絡が生じてしまった。ま
た、サイクル回数は、3万回であった。
【0052】比較例4 内部導体14のパターンのスクリーン印刷に際して、内
部導体14における発熱部14aの占有面積比(S1/
S0)が0.60となるようなパターンを選択した以外
は、実施例1と同様にして、発熱用抵抗素子20を作製
した。
【0053】得られた素子各々50本について、実施例
1と同様な試験を行った。結果を表1に示す。表1に示
すように、15時間で電気短絡が生じてしまった。ま
た、サイクル回数は、0.8万回であった。
【0054】評価 表1に示すように、内部導体14における発熱部14a
の占有面積比(S1/S0)が、0.20より大きく
0.55未満、好ましくは0.25以上0.50以下で
ある場合に、優れた特性の発熱用抵抗素子が得られるこ
とが確認できた。
【0055】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、急速に昇温させても熱ストレスを受け難く、しか
も、高温状態で電気短絡のおそれが少なく、耐久性に優
れた高寿命の発熱用抵抗素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明の1実施形態に係る発熱用抵抗
素子の一部透視斜視図である。
【図2】 図2は図1に記すII−II線から見た要部断面
図である。
【図3】 図3は発熱用抵抗素子の製造工程を示す分解
斜視図である。
【符号の説明】
12,16… グリーンシート 14… 内部導体 14a… 発熱パターン 14b… 配線パターン 14c… 取り出し電極部 20… 発熱用抵抗素子 22… 素子本体 24… 外部端子電極 30… 先端側折り返しパターン 32… 後端側折り返しパターン
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Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミックスで構成してある素子本体
    と、 前記素子本体の内部に埋め込んである内部導体とを有す
    る発熱用抵抗素子であって、 前記内部導体における発熱パターンが形成してある前記
    素子本体の基準面積(S0)に対する発熱パターンの占
    有面積(S1)の占有面積比(S1/S0)が、0.2
    0より大きく0.55未満であることを特徴とする発熱
    用抵抗素子。
  2. 【請求項2】 前記占有面積比(S1/S0)が、0.
    25以上0.50以下であることを特徴とする請求項1
    に記載の発熱用抵抗素子。
  3. 【請求項3】 前記発熱パターンの線幅が0.15〜
    0.40mmである請求項1または2に記載の発熱用抵抗
    素子。
  4. 【請求項4】 前記発熱パターンが、少なくとも二つの
    先端側折り返しパターン部と、前記先端側折り返しパタ
    ーン部の間に形成される後端側折り返しパターン部とを
    有する請求項3に記載の発熱用抵抗素子。
  5. 【請求項5】 前記基準面積が、前記素子本体の先端か
    ら、前記後端側折り返しパターンまでの範囲の断面積で
    あるように定義される請求項4に記載の発熱用抵抗素
    子。
JP2000053158A 2000-02-29 2000-02-29 発熱用抵抗素子 Pending JP2001244053A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003257593A (ja) * 2002-02-27 2003-09-12 Kyocera Corp ウエハ支持部材
JP2003282393A (ja) * 2002-03-20 2003-10-03 Kyocera Corp ウエハ加熱装置
JP2004296254A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Sumitomo Electric Ind Ltd セラミックスヒータおよびそれを搭載した半導体あるいは液晶製造装置
WO2015163483A1 (ja) * 2014-04-25 2015-10-29 京セラ株式会社 ヒータおよび点火装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003257593A (ja) * 2002-02-27 2003-09-12 Kyocera Corp ウエハ支持部材
JP2003282393A (ja) * 2002-03-20 2003-10-03 Kyocera Corp ウエハ加熱装置
JP2004296254A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Sumitomo Electric Ind Ltd セラミックスヒータおよびそれを搭載した半導体あるいは液晶製造装置
WO2015163483A1 (ja) * 2014-04-25 2015-10-29 京セラ株式会社 ヒータおよび点火装置
JP6027289B2 (ja) * 2014-04-25 2016-11-16 京セラ株式会社 ヒータおよび点火装置

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