JP2001190996A - プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置製造のコスト高騰を招くことなく簡便か
つ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供し、生
産性を低下させることなく上下面の導体パターン精度を
均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよ
く生産することを目的とする。 【解決手段】 処理液を前記ノズルパイプに供給するポ
ンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐
圧フレキシブルチューブを備え、個々のノズルパイプ間
の間隔を可変とし、垂直上下に可変可能としたプリント
配線板の製造装置を用いて、所定の揺動角度と揺動速度
でノズルパイプを揺動し処理液を基板に吹き付けながら
所定の速度で搬送することによりプリント配線板を処理
するというものである。
つ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供し、生
産性を低下させることなく上下面の導体パターン精度を
均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよ
く生産することを目的とする。 【解決手段】 処理液を前記ノズルパイプに供給するポ
ンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐
圧フレキシブルチューブを備え、個々のノズルパイプ間
の間隔を可変とし、垂直上下に可変可能としたプリント
配線板の製造装置を用いて、所定の揺動角度と揺動速度
でノズルパイプを揺動し処理液を基板に吹き付けながら
所定の速度で搬送することによりプリント配線板を処理
するというものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器等に使
用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いた
プリント配線板の製造方法に関するものである。
用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いた
プリント配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器等に数多く使用され
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
【０００３】以下に、従来のプリント配線板の導体パタ
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
【０００４】図６は従来のプリント配線板の製造装置と
してのエッチング装置の概略を示すものである。図６に
おいて、３１はスプレーノズル、３２は上面用ノズルパ
イプ、３３は下面用ノズルパイプ、３４は上面用圧力
計、３５は下面用圧力計、３６は上面用圧力調整バル
ブ、３７は下面用圧力調整バルブ、３８は上面用スプレ
ーポンプ、３９は下面用スプレーポンプ、４０は送りロ
ーラー、４１はエッチングブース、４２はプリント配線
板である。
してのエッチング装置の概略を示すものである。図６に
おいて、３１はスプレーノズル、３２は上面用ノズルパ
イプ、３３は下面用ノズルパイプ、３４は上面用圧力
計、３５は下面用圧力計、３６は上面用圧力調整バル
ブ、３７は下面用圧力調整バルブ、３８は上面用スプレ
ーポンプ、３９は下面用スプレーポンプ、４０は送りロ
ーラー、４１はエッチングブース、４２はプリント配線
板である。
【０００５】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
【０００６】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板４２をエ
ッチングブース４１内にプリント配線板４２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ３２及び下面用ノズルパイプ３３の間に送り、ロ
ーラー４０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル３１から吹き付
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイ
プ３３はプリント配線板４２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）させることも
可能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗
・乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを
形成している。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板４２をエ
ッチングブース４１内にプリント配線板４２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ３２及び下面用ノズルパイプ３３の間に送り、ロ
ーラー４０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル３１から吹き付
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイ
プ３３はプリント配線板４２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）させることも
可能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗
・乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを
形成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
【０００８】これにより上面のプリント配線板中央部と
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精
度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極め
て困難となり、工程歩留りを著しく悪化させ、プリント
配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著
であるという問題点を有していた。
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精
度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極め
て困難となり、工程歩留りを著しく悪化させ、プリント
配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著
であるという問題点を有していた。
【０００９】これらの問題の解決方法として、従来はプ
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送及びエッチング条件の設定も困難であり、その生産
性は著しく阻害され、また製造装置の製造コスト高騰を
招くことにより、一般的に普及していないのが現状であ
る。
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送及びエッチング条件の設定も困難であり、その生産
性は著しく阻害され、また製造装置の製造コスト高騰を
招くことにより、一般的に普及していないのが現状であ
る。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ
普及が容易なプリント配線板の製造装置とそれを用いた
プリント配線板の製造方法を提供するものであり、これ
によりプリント配線板のエッチングの生産性を低下させ
ることなく上下面のエッチング精度を均一にし、高密度
・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産することを
目的とするものである。
で、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ
普及が容易なプリント配線板の製造装置とそれを用いた
プリント配線板の製造方法を提供するものであり、これ
によりプリント配線板のエッチングの生産性を低下させ
ることなく上下面のエッチング精度を均一にし、高密度
・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産することを
目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数の
ノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、処理液としてのエッチング液を前記ノズルパイプに
供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプ
との間に耐圧フレキシブルチューブを備え、個々のノズ
ルパイプ間の間隔を可変とし、垂直上下に可変可能とし
たプリント配線板の製造装置を用いて、所定の揺動角度
と揺動速度でノズルパイプを揺動しエッチング液を基板
に吹き付けながら所定の速度で搬送することによりプリ
ント配線板をエッチング処理するというものである。
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数の
ノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、処理液としてのエッチング液を前記ノズルパイプに
供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプ
との間に耐圧フレキシブルチューブを備え、個々のノズ
ルパイプ間の間隔を可変とし、垂直上下に可変可能とし
たプリント配線板の製造装置を用いて、所定の揺動角度
と揺動速度でノズルパイプを揺動しエッチング液を基板
に吹き付けながら所定の速度で搬送することによりプリ
ント配線板をエッチング処理するというものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１及び２４に記載
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数の
ノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、処理液としてのエッチング液を前記ノズルパイプに
供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプ
との間に耐圧フレキシブルチューブを備えたプリント配
線板の製造装置というものであり、各ノズルパイプとポ
ンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備えることに
よって、各ノズルパイプ間の間隔、垂直方向の位置の移
動が可能となり、高精度を要求されるプリント配線板の
条件設定が容易となるエッチング装置を提供するもので
ある。
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数の
ノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、処理液としてのエッチング液を前記ノズルパイプに
供給するポンプと、前記複数の各ノズルパイプとポンプ
との間に耐圧フレキシブルチューブを備えたプリント配
線板の製造装置というものであり、各ノズルパイプとポ
ンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備えることに
よって、各ノズルパイプ間の間隔、垂直方向の位置の移
動が可能となり、高精度を要求されるプリント配線板の
条件設定が容易となるエッチング装置を提供するもので
ある。
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、複数の
ノズルパイプの個々のノズルパイプ間の間隔を可変とし
た請求項１に記載のプリント配線板の製造装置というも
のであり、ノズルパイプ間の間隔を可変し、プリント配
線板上の中央部へのエッチング液量を増やし中央部から
基板周辺部の液流れを円滑し、高精度のプリント配線板
を実現できるエッチング装置を提供するものである。
ノズルパイプの個々のノズルパイプ間の間隔を可変とし
た請求項１に記載のプリント配線板の製造装置というも
のであり、ノズルパイプ間の間隔を可変し、プリント配
線板上の中央部へのエッチング液量を増やし中央部から
基板周辺部の液流れを円滑し、高精度のプリント配線板
を実現できるエッチング装置を提供するものである。
【００１４】本発明の請求項３に記載の発明は、複数の
ノズルパイプの個々のノズルパイプが、プリント配線板
の進行方向に対して垂直上下に移動可能とした請求項１
に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、
基板上のエッチングされる場所に対応してノズルパイプ
を垂直方向に移動することにより、エッチング液の当た
り具合を調整することで、高精度のプリント配線板を実
現できるエッチング装置を提供するものである。
ノズルパイプの個々のノズルパイプが、プリント配線板
の進行方向に対して垂直上下に移動可能とした請求項１
に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、
基板上のエッチングされる場所に対応してノズルパイプ
を垂直方向に移動することにより、エッチング液の当た
り具合を調整することで、高精度のプリント配線板を実
現できるエッチング装置を提供するものである。
【００１５】本発明の請求項４に記載の発明は、複数の
ノズルパイプの各ノズルパイプが貫通されかつ揺動可能
な状態で支持された第１の支持部材と、前記第１の支持
部材が一定方向に移動可能な状態で支持された第２の支
持部材と、前記第２の支持部材が前記第１の支持部材の
移動方向に対して垂直方向に移動可能な状態で支持され
た機構を有する請求項１に記載のプリント配線板の製造
装置というものであり、ノズルパイプを揺動可能な状態
で保持しながら、基板の進行方向に対して左右及び垂直
上下に移動することが可能なエッチング装置であり、こ
れによりノズルパイプを垂直方向に移動することによっ
て基板上の位置によりエッチング液の当たり具合や基板
上の場所の違いによる液量を調整することで、高精度の
プリント配線板を実現できる。
ノズルパイプの各ノズルパイプが貫通されかつ揺動可能
な状態で支持された第１の支持部材と、前記第１の支持
部材が一定方向に移動可能な状態で支持された第２の支
持部材と、前記第２の支持部材が前記第１の支持部材の
移動方向に対して垂直方向に移動可能な状態で支持され
た機構を有する請求項１に記載のプリント配線板の製造
装置というものであり、ノズルパイプを揺動可能な状態
で保持しながら、基板の進行方向に対して左右及び垂直
上下に移動することが可能なエッチング装置であり、こ
れによりノズルパイプを垂直方向に移動することによっ
て基板上の位置によりエッチング液の当たり具合や基板
上の場所の違いによる液量を調整することで、高精度の
プリント配線板を実現できる。
【００１６】本発明の請求項５に記載の発明は、第１の
支持部材の両側の第２の支持部材上にあって、かつ移動
領域を覆うように取り付けた伸縮自在の第１の蛇腹状部
材と、第２の支持部材の両側にあって、かつ移動領域を
覆うように取り付けた伸縮自在の第２の蛇腹状部材を備
えた請求項４に記載のプリント配線板の製造装置という
ものであり、支持部材の移動領域を覆うように取り付け
られた伸縮自在の蛇腹状部材によって、エッチングブー
ス内に充満したエッチングガスや噴霧中のエッチング液
の流出を防ぐものである。
支持部材の両側の第２の支持部材上にあって、かつ移動
領域を覆うように取り付けた伸縮自在の第１の蛇腹状部
材と、第２の支持部材の両側にあって、かつ移動領域を
覆うように取り付けた伸縮自在の第２の蛇腹状部材を備
えた請求項４に記載のプリント配線板の製造装置という
ものであり、支持部材の移動領域を覆うように取り付け
られた伸縮自在の蛇腹状部材によって、エッチングブー
ス内に充満したエッチングガスや噴霧中のエッチング液
の流出を防ぐものである。
【００１７】本発明の請求項６に記載の発明は、各ノズ
ルパイプと耐圧フレキシブルチューブ及びポンプとの個
々の流路に圧力調整バルブと圧力計を備えた請求項１に
記載のプリント配線板の製造装置というものであり、各
ノズルパイプ間の間隔、垂直方向の位置の移動が可能と
なる。またプリント配線板の上面中央部にエッチング液
が滞留せず直ちに流れ落ちるようにするため、中央のノ
ズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高く
なるように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バル
ブの開閉の割合で容易に設定することができ、高精度を
要求されるプリント配線板の条件設定が容易となるエッ
チング装置を提供するものである。
ルパイプと耐圧フレキシブルチューブ及びポンプとの個
々の流路に圧力調整バルブと圧力計を備えた請求項１に
記載のプリント配線板の製造装置というものであり、各
ノズルパイプ間の間隔、垂直方向の位置の移動が可能と
なる。またプリント配線板の上面中央部にエッチング液
が滞留せず直ちに流れ落ちるようにするため、中央のノ
ズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高く
なるように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バル
ブの開閉の割合で容易に設定することができ、高精度を
要求されるプリント配線板の条件設定が容易となるエッ
チング装置を提供するものである。
【００１８】本発明の請求項７に記載の発明は、ノズル
パイプを揺動させる機構が各ノズルパイプで独立した機
構である請求項１に記載のプリント配線板の製造装置と
いうものであり、ノズルパイプの左右及び垂直上下の位
置、揺動角度、揺動速度の条件を各ノズルパイプ毎に独
立して設定することが可能となる。これによりプリント
配線板上のエッチング液の流れをエッチング力が均一に
なるように設定し、中央部と周辺部及び上下面のエッチ
ング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを実現で
きるエッチング装置を提供するものである。
パイプを揺動させる機構が各ノズルパイプで独立した機
構である請求項１に記載のプリント配線板の製造装置と
いうものであり、ノズルパイプの左右及び垂直上下の位
置、揺動角度、揺動速度の条件を各ノズルパイプ毎に独
立して設定することが可能となる。これによりプリント
配線板上のエッチング液の流れをエッチング力が均一に
なるように設定し、中央部と周辺部及び上下面のエッチ
ング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを実現で
きるエッチング装置を提供するものである。
【００１９】本発明の請求項８に記載の発明は、各ノズ
ルパイプを揺動させる独立した機構において、揺動角度
及び揺動速度が可変である請求項７に記載のプリント配
線板の製造装置というものであり、ノズルパイプの位置
や要求精度及び基板サイズに応じて、ノズルパイプの揺
動角度、揺動速度の条件をノズルパイプ毎に独立して設
定することができ、これによりプリント配線板上のエッ
チング液の流れをエッチング力が均一になるように設定
し、中央部と周辺部及び上下面のエッチング速度の均一
化を図り高精度の導体パターンを形成することができ
る。
ルパイプを揺動させる独立した機構において、揺動角度
及び揺動速度が可変である請求項７に記載のプリント配
線板の製造装置というものであり、ノズルパイプの位置
や要求精度及び基板サイズに応じて、ノズルパイプの揺
動角度、揺動速度の条件をノズルパイプ毎に独立して設
定することができ、これによりプリント配線板上のエッ
チング液の流れをエッチング力が均一になるように設定
し、中央部と周辺部及び上下面のエッチング速度の均一
化を図り高精度の導体パターンを形成することができ
る。
【００２０】本発明の請求項９に記載の発明は、各ノズ
ルパイプを揺動させる独立した機構としてカム及びリン
ク機構と、制御用モータをノズルパイプ毎に備えた請求
項７に記載のプリント配線板の製造装置というものであ
り、揺動角度及び揺動速度を容易に変更または設定で
き、かつ各ノズルパイプが独立した駆動を有するエッチ
ング装置を提供できるものである。
ルパイプを揺動させる独立した機構としてカム及びリン
ク機構と、制御用モータをノズルパイプ毎に備えた請求
項７に記載のプリント配線板の製造装置というものであ
り、揺動角度及び揺動速度を容易に変更または設定で
き、かつ各ノズルパイプが独立した駆動を有するエッチ
ング装置を提供できるものである。
【００２１】本発明の請求項１０に記載の発明は、カム
及びリンク機構と、制御用モータを用いた独立した揺動
機構と、各ノズルパイプをフレキシブルワイヤで連結し
た請求項９に記載のプリント配線板の製造装置というも
のであり、ノズルパイプの左右上下の移動においても対
応しうる揺動機構を備えたエッチング装置を提供できる
ものである。
及びリンク機構と、制御用モータを用いた独立した揺動
機構と、各ノズルパイプをフレキシブルワイヤで連結し
た請求項９に記載のプリント配線板の製造装置というも
のであり、ノズルパイプの左右上下の移動においても対
応しうる揺動機構を備えたエッチング装置を提供できる
ものである。
【００２２】本発明の請求項１１に記載の発明は、カム
及びリンク機構を調整することによって、各ノズルパイ
プの揺動角度を可変させる請求項９に記載のプリント配
線板の製造装置というものであり、回転板とリンクの支
点位置を移動することによって、簡易かつ安価にノズル
パイプの揺動角度を変更できる機構を備えたエッチング
装置を提供できるものである。
及びリンク機構を調整することによって、各ノズルパイ
プの揺動角度を可変させる請求項９に記載のプリント配
線板の製造装置というものであり、回転板とリンクの支
点位置を移動することによって、簡易かつ安価にノズル
パイプの揺動角度を変更できる機構を備えたエッチング
装置を提供できるものである。
【００２３】本発明の請求項１２に記載の発明は、制御
用モータをインバータ回路または電流または電圧制御回
路にて回転数を制御し、各ノズルパイプの揺動速度を変
化される請求項９に記載のプリント配線板の製造装置と
いうものであり、各ノズルパイプの揺動速度を電気的に
容易に変更及び設定できるというエッチング装置を提供
できるものである。
用モータをインバータ回路または電流または電圧制御回
路にて回転数を制御し、各ノズルパイプの揺動速度を変
化される請求項９に記載のプリント配線板の製造装置と
いうものであり、各ノズルパイプの揺動速度を電気的に
容易に変更及び設定できるというエッチング装置を提供
できるものである。
【００２４】本発明の請求項１３乃至１５に記載の発明
は、第１の支持部材及び第２の支持部材を移動する手段
を備え、その手段がリニアモーションであって、それを
制御回路にて移動する位置を制御する手段を備えた請求
項４に記載のプリント配線板の製造装置というものであ
り、これによりノズルパイプを揺動可能な状態で保持し
ながら、基板の進行方向に対して左右及び垂直上下に移
動することを機械的かつ電気的に行い、しかも自動化す
ることが可能なエッチング装置を提供することができる
ものである。
は、第１の支持部材及び第２の支持部材を移動する手段
を備え、その手段がリニアモーションであって、それを
制御回路にて移動する位置を制御する手段を備えた請求
項４に記載のプリント配線板の製造装置というものであ
り、これによりノズルパイプを揺動可能な状態で保持し
ながら、基板の進行方向に対して左右及び垂直上下に移
動することを機械的かつ電気的に行い、しかも自動化す
ることが可能なエッチング装置を提供することができる
ものである。
【００２５】本発明の請求項１６に記載の発明は、プリ
ント配線板の寸法データを格納する手段と、前記寸法デ
ータを制御回路へ入力する経路を備えた請求項１５に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の寸法に応じて、各ノズルパイプ間の間隔を
自動的に設定できるエッチング装置を提供することがで
き、これにより最もエッチング効率の高い条件でプリン
ト配線板を製造することができるものである。
ント配線板の寸法データを格納する手段と、前記寸法デ
ータを制御回路へ入力する経路を備えた請求項１５に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の寸法に応じて、各ノズルパイプ間の間隔を
自動的に設定できるエッチング装置を提供することがで
き、これにより最もエッチング効率の高い条件でプリン
ト配線板を製造することができるものである。
【００２６】本発明の請求項１７及び２５に記載の発明
は、請求項２に記載のプリント配線板の製造装置の複数
のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの間隔を
狭く設定し、前記ノズルパイプを揺動し処理液としての
エッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送
することにより処理するプリント配線板の製造方法とい
うものであり、中央のノズルパイプの間隔を狭く設定す
ることにより、プリント配線板上の中央部へ吹き付ける
エッチングの液量を増加させ、これによりプリント配線
板の上面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的か
つ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及び上下面のエッ
チング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成
することができる。
は、請求項２に記載のプリント配線板の製造装置の複数
のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの間隔を
狭く設定し、前記ノズルパイプを揺動し処理液としての
エッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送
することにより処理するプリント配線板の製造方法とい
うものであり、中央のノズルパイプの間隔を狭く設定す
ることにより、プリント配線板上の中央部へ吹き付ける
エッチングの液量を増加させ、これによりプリント配線
板の上面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的か
つ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及び上下面のエッ
チング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成
することができる。
【００２７】本発明の請求項１８及び２５に記載の発明
は、請求項３に記載のプリント配線板の製造装置の複数
のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの位置を
基板搬送面側に近づけた位置で設定し、前記ノズルパイ
プを揺動し処理液としてのエッチング液を基板に吹き付
けながら所定の速度で搬送することにより処理するプリ
ント配線板の製造方法というものであり、中央のノズル
パイプの位置を基板搬送面側に近づけることによって、
基板中央部のエッチング液の当たりを周辺部より強くす
ることで、プリント配線板の上面中央部にエッチング液
が滞留させずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と
周辺部及び上下面のエッチング速度の均一化を図り高精
度の導体パターンを形成することができる。
は、請求項３に記載のプリント配線板の製造装置の複数
のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプの位置を
基板搬送面側に近づけた位置で設定し、前記ノズルパイ
プを揺動し処理液としてのエッチング液を基板に吹き付
けながら所定の速度で搬送することにより処理するプリ
ント配線板の製造方法というものであり、中央のノズル
パイプの位置を基板搬送面側に近づけることによって、
基板中央部のエッチング液の当たりを周辺部より強くす
ることで、プリント配線板の上面中央部にエッチング液
が滞留させずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と
周辺部及び上下面のエッチング速度の均一化を図り高精
度の導体パターンを形成することができる。
【００２８】本発明の請求項１９に記載の発明は、請求
項７に記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズル
パイプにおいて、中央のノズルパイプの揺動速度と揺動
角度を両側のノズルパイプの揺動速度及び揺動角度より
も大となるように設定した請求項１７または請求項１８
に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、
中央のノズルパイプの揺動角度、揺動速度の条件を両側
のノズルパイプ毎より大きくかつ速くすることにより、
中央部の液溜まりをなくすことができる。さらに中央の
ノズルパイプの間隔を狭く設定することにより、プリン
ト配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増
加させることができる。また基板中央部のエッチング液
の当たりを周辺部より強くすることで、プリント配線板
の上面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的かつ
即効的に流れ落ち、エッチング速度の均一化を図り高精
度の導体パターンを高い生産性で形成することができ
る。
項７に記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズル
パイプにおいて、中央のノズルパイプの揺動速度と揺動
角度を両側のノズルパイプの揺動速度及び揺動角度より
も大となるように設定した請求項１７または請求項１８
に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、
中央のノズルパイプの揺動角度、揺動速度の条件を両側
のノズルパイプ毎より大きくかつ速くすることにより、
中央部の液溜まりをなくすことができる。さらに中央の
ノズルパイプの間隔を狭く設定することにより、プリン
ト配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液量を増
加させることができる。また基板中央部のエッチング液
の当たりを周辺部より強くすることで、プリント配線板
の上面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的かつ
即効的に流れ落ち、エッチング速度の均一化を図り高精
度の導体パターンを高い生産性で形成することができ
る。
【００２９】本発明の請求項２０に記載の発明は、請求
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１７に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの間隔を狭く設定することに
より、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチン
グの液量を増加させることができる。さらに中央のノズ
ルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くな
るように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バルブ
の開閉の割合で容易に設定することができ、これにより
プリント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留させ
ずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及び
上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体パ
ターンを形成することができる。また条件を組み合わせ
ることによって、ノズルパイプの間隔及び圧力の設定の
範囲を広げることが可能となる。
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１７に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの間隔を狭く設定することに
より、プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチン
グの液量を増加させることができる。さらに中央のノズ
ルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くな
るように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バルブ
の開閉の割合で容易に設定することができ、これにより
プリント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留させ
ずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及び
上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体パ
ターンを形成することができる。また条件を組み合わせ
ることによって、ノズルパイプの間隔及び圧力の設定の
範囲を広げることが可能となる。
【００３０】本発明の請求項２１に記載の発明は、請求
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１８に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの位置を基板搬送面側に近づ
けることによって、基板中央部のエッチング液の当たり
を周辺部より強くすることができる。さらに中央のノズ
ルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くな
るように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バルブ
の開閉の割合で容易に設定することができる。これによ
りプリント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留さ
せずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及
び上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができ、また条件を組み合わせ
ることによって、ノズルパイプの位置及び圧力の設定の
範囲を広げることが可能となる。
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１８に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの位置を基板搬送面側に近づ
けることによって、基板中央部のエッチング液の当たり
を周辺部より強くすることができる。さらに中央のノズ
ルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くな
るように、圧力計の表示を確認しながら圧力調整バルブ
の開閉の割合で容易に設定することができる。これによ
りプリント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留さ
せずに効率的かつ即効的に流れ落ち、中央部と周辺部及
び上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができ、また条件を組み合わせ
ることによって、ノズルパイプの位置及び圧力の設定の
範囲を広げることが可能となる。
【００３１】本発明の請求項２２に記載の発明は、請求
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１９に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの揺動角度、揺動速度の条件
を両側のノズルパイプ毎より大きくかつ速くすることに
より、中央部の液溜まりをなくすことができる。さらに
中央のノズルパイプの間隔を狭く設定することにより、
プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液
量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの圧力を両側
のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力計の表
示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合で容易に
設定することができる。これによりプリント配線板の上
面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的かつ即効
的に流れ落ち、中央部と周辺部及び上下面のエッチング
速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成するこ
とができる。また条件を組み合わせることによって、ノ
ズルパイプの揺動角度、横道速度及び圧力の設定の範囲
を広げることが可能となる。
項６記載のプリント配線板の製造装置の複数のノズルパ
イプにおいて、中央のノズルパイプの圧力計の表示を両
側のノズルパイプの圧力計の表示より高くなるように、
個々の圧力調整バルブの開閉の割合により設定した請求
項１９に記載のプリント配線板の製造方法というもので
あり、中央のノズルパイプの揺動角度、揺動速度の条件
を両側のノズルパイプ毎より大きくかつ速くすることに
より、中央部の液溜まりをなくすことができる。さらに
中央のノズルパイプの間隔を狭く設定することにより、
プリント配線板上の中央部へ吹き付けるエッチングの液
量を増加させ、さらに中央のノズルパイプの圧力を両側
のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力計の表
示を確認しながら圧力調整バルブの開閉の割合で容易に
設定することができる。これによりプリント配線板の上
面中央部にエッチング液が滞留させずに効率的かつ即効
的に流れ落ち、中央部と周辺部及び上下面のエッチング
速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成するこ
とができる。また条件を組み合わせることによって、ノ
ズルパイプの揺動角度、横道速度及び圧力の設定の範囲
を広げることが可能となる。
【００３２】本発明の請求項２３及び２５に記載の発明
は、請求項１６に記載されたプリント配線板の製造装置
を用いる製造方法であって、予め進行方向に対して横方
向のプリント配線板の寸法を計測し、それを寸法データ
を格納する手段へ入力し、前記寸法データに対応してノ
ズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、前記ノズルパ
イプを揺動し処理液としてのエッチング液を基板に吹き
付けながら所定の速度で搬送することによりエッチング
するプリント配線板の製造方法というものであり、プリ
ント配線板の寸法に応じて最もエッチング効率の高い条
件でプリント配線板を製造することができるものであ
る。
は、請求項１６に記載されたプリント配線板の製造装置
を用いる製造方法であって、予め進行方向に対して横方
向のプリント配線板の寸法を計測し、それを寸法データ
を格納する手段へ入力し、前記寸法データに対応してノ
ズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、前記ノズルパ
イプを揺動し処理液としてのエッチング液を基板に吹き
付けながら所定の速度で搬送することによりエッチング
するプリント配線板の製造方法というものであり、プリ
ント配線板の寸法に応じて最もエッチング効率の高い条
件でプリント配線板を製造することができるものであ
る。
【００３３】（実施の形態）以下本発明の一実施の形態
について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置とし
てのエッチング装置の概略を示す図であり、図２、図３
は、本発明の一実施の形態におけるプリント配線板の製
造装置の独立したノズルパイプの詳細を示す図であり、
図４、図５は本発明の一実施の形態におけるプリント配
線板の製造装置の条件設定を示す図である。
について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置とし
てのエッチング装置の概略を示す図であり、図２、図３
は、本発明の一実施の形態におけるプリント配線板の製
造装置の独立したノズルパイプの詳細を示す図であり、
図４、図５は本発明の一実施の形態におけるプリント配
線板の製造装置の条件設定を示す図である。
【００３４】図１〜図５において、１はスプレーノズ
ル、２ａ〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けか
つプリント配線板の進行方向に平行またはある角度に配
管された複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは上面
用圧力計、４ａ〜４ｆはスプレー圧力の調整可能な手段
としての上面用圧力調整バルブ、５は処理液としてのエ
ッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｆに供給する上面用
スプレーポンプ、６は送りローラー、７はエッチングブ
ース、８は基板としてのプリント配線板、９ａ〜９ｆは
上面用ノズルパイプの揺動機構、１０は制御用モータ、
１１はカム、１２ａはリンク機構、１２ｂは回転板とリ
ンク機構の支点、１３はインバータ回路、１４ａ〜１４
ｆは耐圧フレキシブルチューブ、１５ａは第１の支持部
材、１５ｂは第２の支持部材、１６ａは第１の蛇腹状部
材、１６ｂは第２の蛇腹状部材、１７はフレキシブルワ
イヤ、１８ａ，１８ｂはリニアモーションとしての電動
シリンダ、１９は制御回路、２０ａは入力手段、２０ｂ
はデータ格納手段である。
ル、２ａ〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けか
つプリント配線板の進行方向に平行またはある角度に配
管された複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは上面
用圧力計、４ａ〜４ｆはスプレー圧力の調整可能な手段
としての上面用圧力調整バルブ、５は処理液としてのエ
ッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｆに供給する上面用
スプレーポンプ、６は送りローラー、７はエッチングブ
ース、８は基板としてのプリント配線板、９ａ〜９ｆは
上面用ノズルパイプの揺動機構、１０は制御用モータ、
１１はカム、１２ａはリンク機構、１２ｂは回転板とリ
ンク機構の支点、１３はインバータ回路、１４ａ〜１４
ｆは耐圧フレキシブルチューブ、１５ａは第１の支持部
材、１５ｂは第２の支持部材、１６ａは第１の蛇腹状部
材、１６ｂは第２の蛇腹状部材、１７はフレキシブルワ
イヤ、１８ａ，１８ｂはリニアモーションとしての電動
シリンダ、１９は制御回路、２０ａは入力手段、２０ｂ
はデータ格納手段である。
【００３５】まず、本発明の実施の形態におけるプリン
ト配線板の製造装置としてのエッチング装置について説
明する。
ト配線板の製造装置としてのエッチング装置について説
明する。
【００３６】本発明の実施の形態におけるエッチング装
置の構成は、従来と同様に上面及び下面からの両面同時
にエッチングできる構成の装置であり、上面と下面の構
成は基本的に同じである。したがって、本発明の説明を
容易にするため、上面の構成のみを図面を用いて説明す
る。
置の構成は、従来と同様に上面及び下面からの両面同時
にエッチングできる構成の装置であり、上面と下面の構
成は基本的に同じである。したがって、本発明の説明を
容易にするため、上面の構成のみを図面を用いて説明す
る。
【００３７】図１に示すように、エッチングブース７内
にプリント配線板８の進行方向に平行または１〜５°の
角度で上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが配管され、各々
上面用ノズルパイプは耐圧フレキシブルチューブ１４ａ
〜１４ｆを介して、上面用スプレーポンプ５に接続され
ている。また上記の各ノズルパイプと耐圧フレキシブル
チューブ１４ａ〜１４ｆ及び上面用スプレーポンプ５と
の個々の流路には上面用圧力計３ａ〜３ｆと上面用圧力
調整バルブ４ａ〜４ｆを備えている。
にプリント配線板８の進行方向に平行または１〜５°の
角度で上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが配管され、各々
上面用ノズルパイプは耐圧フレキシブルチューブ１４ａ
〜１４ｆを介して、上面用スプレーポンプ５に接続され
ている。また上記の各ノズルパイプと耐圧フレキシブル
チューブ１４ａ〜１４ｆ及び上面用スプレーポンプ５と
の個々の流路には上面用圧力計３ａ〜３ｆと上面用圧力
調整バルブ４ａ〜４ｆを備えている。
【００３８】また図２に示すように、各ノズルパイプ
は、第１の支持部材１５ａを貫通し、さらに揺動できる
ように支持されている。第１の支持部材１５ａは、第２
の支持部材１５ｂ内を左右方向に平行に移動が可能なよ
うに第２の支持部材１５ｂに支持されている。また第２
の支持部材１５ｂは、エッチングブース７の前壁面と後
壁面（図示せず）の移動領域を垂直上下に平行に移動で
きるように支持されている。
は、第１の支持部材１５ａを貫通し、さらに揺動できる
ように支持されている。第１の支持部材１５ａは、第２
の支持部材１５ｂ内を左右方向に平行に移動が可能なよ
うに第２の支持部材１５ｂに支持されている。また第２
の支持部材１５ｂは、エッチングブース７の前壁面と後
壁面（図示せず）の移動領域を垂直上下に平行に移動で
きるように支持されている。
【００３９】上記第１の支持部材１５ａ及び第２の支持
部材１５ｂのそれぞれの移動領域には、図２に示すよう
に、第１の支持部材１５ａの左右方向の移動領域に第１
の蛇腹部材１６ａを設け、第２の支持部材１５ｂの垂直
上下方向の移動領域には第２の蛇腹部材１６ｂを設けて
いる。この構成により上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが
左右、上下に移動しても、耐圧フレキシブルチューブ１
４ａ〜１４ｆの存在により、配管に亀裂や破損を生じる
こともなく、さらに蛇腹部材の存在により、エッチング
ブース７内のエッチング液やエッチングガスが外部に流
出漏洩することもなく、所定の上面用ノズルパイプ２ａ
〜２ｆの間隔及びプリント配線板８との距離を近づけた
り、遠ざけたりすることができる。
部材１５ｂのそれぞれの移動領域には、図２に示すよう
に、第１の支持部材１５ａの左右方向の移動領域に第１
の蛇腹部材１６ａを設け、第２の支持部材１５ｂの垂直
上下方向の移動領域には第２の蛇腹部材１６ｂを設けて
いる。この構成により上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが
左右、上下に移動しても、耐圧フレキシブルチューブ１
４ａ〜１４ｆの存在により、配管に亀裂や破損を生じる
こともなく、さらに蛇腹部材の存在により、エッチング
ブース７内のエッチング液やエッチングガスが外部に流
出漏洩することもなく、所定の上面用ノズルパイプ２ａ
〜２ｆの間隔及びプリント配線板８との距離を近づけた
り、遠ざけたりすることができる。
【００４０】上記の各ノズルパイプの移動を自動的に行
う方法として、図３に示すように、第１の支持部材１５
ａ及び第２の支持部材１５ｂを移動する手段としてリニ
アモーションを用いる。本実施の形態においては電動シ
リンダ１８ａで支持部材１５ａを、電動シリンダ１８ｂ
で第２の支持部材１５ｂをそれぞれ移動させる構成を示
した。特に電動シリンダ１８ａは、隣り合うノズルパイ
プと接触しないように取り付け位置を考慮する必要があ
る。
う方法として、図３に示すように、第１の支持部材１５
ａ及び第２の支持部材１５ｂを移動する手段としてリニ
アモーションを用いる。本実施の形態においては電動シ
リンダ１８ａで支持部材１５ａを、電動シリンダ１８ｂ
で第２の支持部材１５ｂをそれぞれ移動させる構成を示
した。特に電動シリンダ１８ａは、隣り合うノズルパイ
プと接触しないように取り付け位置を考慮する必要があ
る。
【００４１】上記の電動シリンダ１８ａ，１８ｂは制御
回路１９にて移動する位置を制御し、制御回路１９は、
入力手段２０ａからの信号により動作する構成となって
いる。この構成により各ノズルパイプの移動を自動的に
行うことが可能となる。
回路１９にて移動する位置を制御し、制御回路１９は、
入力手段２０ａからの信号により動作する構成となって
いる。この構成により各ノズルパイプの移動を自動的に
行うことが可能となる。
【００４２】また入力手段２０ａをプリント配線板の寸
法データを入力・変換することのできる寸法データ格納
手段２０ｂとして置き換え、それに寸法データを入力す
ることも可能である。
法データを入力・変換することのできる寸法データ格納
手段２０ｂとして置き換え、それに寸法データを入力す
ることも可能である。
【００４３】これによりプリント配線板の基板サイズに
応じて各ノズルパイプの間隔を自動で設定することが可
能となる。
応じて各ノズルパイプの間隔を自動で設定することが可
能となる。
【００４４】その方法として、予め進行方向に対して横
方向のプリント配線板の寸法を計測し、それを寸法デー
タ格納手段２０ｂへ入力し、前記寸法データに対応して
各ノズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、エッチン
グを行うことである。すなわち横方向が６００ｍｍの寸
法を有するプリント配線板をエッチングする際に比較し
て、４００ｍｍの寸法を有するプリント配線板のエッチ
ングの場合は、各ノズルパイプ間の間隔は狭く設定され
る。
方向のプリント配線板の寸法を計測し、それを寸法デー
タ格納手段２０ｂへ入力し、前記寸法データに対応して
各ノズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、エッチン
グを行うことである。すなわち横方向が６００ｍｍの寸
法を有するプリント配線板をエッチングする際に比較し
て、４００ｍｍの寸法を有するプリント配線板のエッチ
ングの場合は、各ノズルパイプ間の間隔は狭く設定され
る。
【００４５】このことからプリント配線板の寸法に応じ
て最もエッチング効率の高い条件でプリント配線板を製
造することができるものである。
て最もエッチング効率の高い条件でプリント配線板を製
造することができるものである。
【００４６】さらに上記の上面用ノズルパイプ２ａ〜２
ｆは各々独立した揺動機構を備えている。
ｆは各々独立した揺動機構を備えている。
【００４７】各上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆに対応し
独立した揺動機構９は、図２に示すようにカム１６とリ
ンク機構１２ａで構成され、回転板とリンク機構の支点
１２ｂの位置を移動することによって、揺動角度を変え
ることができる。またカム（回転板）１１は、制御用モ
ータ１０に直接またはベルトやギアにより連動し、制御
用モータ１０はインバータ回路にて回転数を容易に変更
できる。
独立した揺動機構９は、図２に示すようにカム１６とリ
ンク機構１２ａで構成され、回転板とリンク機構の支点
１２ｂの位置を移動することによって、揺動角度を変え
ることができる。またカム（回転板）１１は、制御用モ
ータ１０に直接またはベルトやギアにより連動し、制御
用モータ１０はインバータ回路にて回転数を容易に変更
できる。
【００４８】揺動角度のみを各ノズルパイプ毎に変更す
る場合は、制御用モータ１０は１つだけ用い、設備コス
トを低減することも可能である。
る場合は、制御用モータ１０は１つだけ用い、設備コス
トを低減することも可能である。
【００４９】さらに上記の独立したノズルパイプは、図
２に示すように、第１の支持部材１５ａに支持され、か
つ揺動可能な状態で同じく第１の支持部材１５ａ上に一
部を固定され、かつ上記の回転板とリンク機構の支点１
２ｂの位置と連動しているフレキシブルワイヤ１７で連
結され、ワイヤ線の入出により揺動する機構を備えてい
る。このフレキシブルワイヤ１７のワイヤ線の入出の移
動距離は、リンク機構の支点１２ｂの位置を移動するこ
とによって替わり、これにより揺動角度を変えることが
できる。またワイヤ線の入出の速度はカム（回転板）１
１の回転数によって変更できる。これらの構造により、
ノズルパイプが左右及び垂直上下に移動しても、各ノズ
ルパイプの揺動機構における揺動角度と揺動速度の独立
を保つことが可能である。
２に示すように、第１の支持部材１５ａに支持され、か
つ揺動可能な状態で同じく第１の支持部材１５ａ上に一
部を固定され、かつ上記の回転板とリンク機構の支点１
２ｂの位置と連動しているフレキシブルワイヤ１７で連
結され、ワイヤ線の入出により揺動する機構を備えてい
る。このフレキシブルワイヤ１７のワイヤ線の入出の移
動距離は、リンク機構の支点１２ｂの位置を移動するこ
とによって替わり、これにより揺動角度を変えることが
できる。またワイヤ線の入出の速度はカム（回転板）１
１の回転数によって変更できる。これらの構造により、
ノズルパイプが左右及び垂直上下に移動しても、各ノズ
ルパイプの揺動機構における揺動角度と揺動速度の独立
を保つことが可能である。
【００５０】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
【００５１】まず、銅張積層板に感光性のエッチングレ
ジストを露光、現像工程を経て形成した基板をエッチン
グ装置へ搬送しエッチングする前に、本発明のエッチン
グ装置におけるエッチング条件の設定について述べる。
ジストを露光、現像工程を経て形成した基板をエッチン
グ装置へ搬送しエッチングする前に、本発明のエッチン
グ装置におけるエッチング条件の設定について述べる。
【００５２】まず基本のエッチング条件の設定につい
て、通常は上下面のエッチング条件の設定を行うが、本
発明の実施の形態の説明では、上面のエッチング条件の
設定についてのみ特に詳細に述べる。
て、通常は上下面のエッチング条件の設定を行うが、本
発明の実施の形態の説明では、上面のエッチング条件の
設定についてのみ特に詳細に述べる。
【００５３】その理由として通常エッチング精度は上面
のばらつきが大きく、そのメカニズムは、従来の課題に
て述べた通りである。これに対し下面は上面でみられる
ようなエッチング液の基板中央部の液溜まりが発生する
ことはなく、基板を搬送するローラーの存在より噴射さ
れるエッチング液の基板への当たりが遮られ、これによ
るバラツキが生じることがある。これらについては後述
するものとし、以下本発明の実施の具体例においては、
基板上面において、（１）ノズルパイプの間隔、揺動角
度、揺動速度、及び圧力を設定する場合、（２）ノズル
パイプの基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、
及び圧力を設定する場合の２通りのエッチング装置にお
ける条件設定について述べる。
のばらつきが大きく、そのメカニズムは、従来の課題に
て述べた通りである。これに対し下面は上面でみられる
ようなエッチング液の基板中央部の液溜まりが発生する
ことはなく、基板を搬送するローラーの存在より噴射さ
れるエッチング液の基板への当たりが遮られ、これによ
るバラツキが生じることがある。これらについては後述
するものとし、以下本発明の実施の具体例においては、
基板上面において、（１）ノズルパイプの間隔、揺動角
度、揺動速度、及び圧力を設定する場合、（２）ノズル
パイプの基板搬送面からの距離、揺動角度、揺動速度、
及び圧力を設定する場合の２通りのエッチング装置にお
ける条件設定について述べる。
【００５４】（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺
動速度、及び圧力を設定する場合について説明する。
動速度、及び圧力を設定する場合について説明する。
【００５５】まず、第１の設定として、各ノズルパイプ
の間隔について述べる。
の間隔について述べる。
【００５６】図４に示すように、中央のノズルパイプ２
ｃと２ｄの配管の間隔は、他のノズルパイプ２ａと２ｂ
及び２ｅと２ｆの間隔に比較して約３０〜５０％狭くし
ており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ２ｂと２
ｃ及び２ｄと２ｅの間隔も１０〜３０％程度狭く配管さ
れている。
ｃと２ｄの配管の間隔は、他のノズルパイプ２ａと２ｂ
及び２ｅと２ｆの間隔に比較して約３０〜５０％狭くし
ており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ２ｂと２
ｃ及び２ｄと２ｅの間隔も１０〜３０％程度狭く配管さ
れている。
【００５７】この中央に位置するほど狭い間隔でノズル
パイプを配管する構造により、プリント配線板上の中央
部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させることがで
きる。
パイプを配管する構造により、プリント配線板上の中央
部へ吹き付けるエッチングの液量を増加させることがで
きる。
【００５８】次に、第２の設定として、ノズルパイプの
揺動角度と揺動速度について述べる。
揺動角度と揺動速度について述べる。
【００５９】図２に示した構造において、中央のノズル
パイプ２ｃと２ｄの揺動角度を揺動機構におけるカム、
リンク機構のカムとリンク支点の位置を移動することに
よって、それに連動するフレキシブルワイヤ１７のワイ
ヤ線の入出の移動距離の変位量が大きくなり、他のノズ
ルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの揺動角度を程度大
きくなるように設定する。
パイプ２ｃと２ｄの揺動角度を揺動機構におけるカム、
リンク機構のカムとリンク支点の位置を移動することに
よって、それに連動するフレキシブルワイヤ１７のワイ
ヤ線の入出の移動距離の変位量が大きくなり、他のノズ
ルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの揺動角度を程度大
きくなるように設定する。
【００６０】さらに中央のノズルパイプ２ｃと２ｄまた
揺動速度を他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆ
に比較して大なるようにインバータ回路、電流または電
圧制御回路にて設定する。
揺動速度を他のノズルパイプ２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆ
に比較して大なるようにインバータ回路、電流または電
圧制御回路にて設定する。
【００６１】さらに、上記のエッチング装置の設定のも
とにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー
圧力を次の通り、設定する。
とにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー
圧力を次の通り、設定する。
【００６２】エッチング装置の圧力設定として、上面用
圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力は、中央のノズルパ
イプが高くなるようにそれぞれ３ａは１．２kg／cm2、
３ｂは１．６kg／cm2、３ｃは２．０kg／cm2、３ｄは
２．０kg／cm2、３ｅは１．６kg／cm2、３ｆは１．２kg
／cm2になるように、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆ
の開閉の割合で調整する。
圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力は、中央のノズルパ
イプが高くなるようにそれぞれ３ａは１．２kg／cm2、
３ｂは１．６kg／cm2、３ｃは２．０kg／cm2、３ｄは
２．０kg／cm2、３ｅは１．６kg／cm2、３ｆは１．２kg
／cm2になるように、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆ
の開閉の割合で調整する。
【００６３】このプリント配線板８は、エッチングブー
ス７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの
間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送さ
せ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレー
ノズル１から吹き付けてエッチングを行う。エッチング
実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノ
ズルパイプは、プリント配線板進行方向に対して中央の
ノズルパイプ２ｃと２ｄを４５°に、他のノズルパイプ
２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆを６０°に設定し、それぞれ
独立した揺動角度及び揺動速度で揺動（オシレーショ
ン）させ、また上面用スプレーポンプ５から上面用ノズ
ルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッチング液は、上面
用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で上面用圧力
計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力を調整する。
ス７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの
間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送さ
せ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレー
ノズル１から吹き付けてエッチングを行う。エッチング
実施の際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノ
ズルパイプは、プリント配線板進行方向に対して中央の
ノズルパイプ２ｃと２ｄを４５°に、他のノズルパイプ
２ａと２ｂ及び２ｅと２ｆを６０°に設定し、それぞれ
独立した揺動角度及び揺動速度で揺動（オシレーショ
ン）させ、また上面用スプレーポンプ５から上面用ノズ
ルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッチング液は、上面
用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で上面用圧力
計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力を調整する。
【００６４】以上のノズルパイプの揺動角度及び揺動速
度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施する
と、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエ
ッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリン
ト配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは
５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置
及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極
端に減少できる。
度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施する
と、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエ
ッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリン
ト配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは
５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置
及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極
端に減少できる。
【００６５】（２）ノズルパイプの基板搬送面からの距
離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合につ
いて説明する。
離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定する場合につ
いて説明する。
【００６６】次に上記（１）の第１の設定であるノズル
パイプの間隔を変更することにかわって、本条件設定に
おいては、中央のノズルパイプを垂直方向に移動させた
場合における、各ノズルパイプの基板搬送面との距離に
ついて述べる。
パイプの間隔を変更することにかわって、本条件設定に
おいては、中央のノズルパイプを垂直方向に移動させた
場合における、各ノズルパイプの基板搬送面との距離に
ついて述べる。
【００６７】図５に示すように、中央のノズルパイプ２
ｃと２ｄの基板搬送面との距離は、他のノズルパイプ２
ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの距離に比較して約３０〜５０
％短くしており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ
２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの基板搬送面からの距離も１
０〜３０％程度短く設定されている。この中央に位置す
るほど基板搬送面に近づける位置でノズルパイプを設定
する構造により、プリント配線板上の中央部へ吹き付け
るエッチングの液量を増加させることができる。
ｃと２ｄの基板搬送面との距離は、他のノズルパイプ２
ａと２ｂ及び２ｅと２ｆの距離に比較して約３０〜５０
％短くしており、必要に応じて中央に近いノズルパイプ
２ｂと２ｃ及び２ｄと２ｅの基板搬送面からの距離も１
０〜３０％程度短く設定されている。この中央に位置す
るほど基板搬送面に近づける位置でノズルパイプを設定
する構造により、プリント配線板上の中央部へ吹き付け
るエッチングの液量を増加させることができる。
【００６８】さらに、上記のエッチング装置の設定のも
とにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー
圧力を次の通り設定する。
とにおける第３の設定として各ノズルパイプのスプレー
圧力を次の通り設定する。
【００６９】上面用圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力
は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれぞれ３ａ
は１．２kg／cm2、３ｂは１．６kg／cm2、３ｃは２．０
kg／cm2、３ｄは２．０kg／cm2、３ｅは１．６kg／c
m2、３ｆは１．２kg／cm2になるように、上面用圧力調
整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で調整する。
は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれぞれ３ａ
は１．２kg／cm2、３ｂは１．６kg／cm2、３ｃは２．０
kg／cm2、３ｄは２．０kg／cm2、３ｅは１．６kg／c
m2、３ｆは１．２kg／cm2になるように、上面用圧力調
整バルブ４ａ〜４ｆの開閉の割合で調整する。
【００７０】（１）の場合と同様に、本条件においても
中央の２本のノズルパイプの圧力を他のノズルパイプの
圧力よりも、高めに設定しているが、（１）の場合と異
なることは、比較値として中央の圧力値を低く設定する
ことができ、さらに他のノズルパイプの圧力を高く設定
することが可能となり、全体としてのエッチング速度を
向上させることができ、（１）の場合に比較して生産性
を高めることが可能となる。
中央の２本のノズルパイプの圧力を他のノズルパイプの
圧力よりも、高めに設定しているが、（１）の場合と異
なることは、比較値として中央の圧力値を低く設定する
ことができ、さらに他のノズルパイプの圧力を高く設定
することが可能となり、全体としてのエッチング速度を
向上させることができ、（１）の場合に比較して生産性
を高めることが可能となる。
【００７１】また中央のノズルパイプをさらに基板搬送
面上に近づけたり、中央の両側のノズルパイプも最両端
のノズルパイプよりも近づけたり、あるいは、各ノズル
パイプの揺動角度、揺動速度を調整することで、各ノズ
ルパイプの圧力設定範囲を広くとることが可能となる。
面上に近づけたり、中央の両側のノズルパイプも最両端
のノズルパイプよりも近づけたり、あるいは、各ノズル
パイプの揺動角度、揺動速度を調整することで、各ノズ
ルパイプの圧力設定範囲を広くとることが可能となる。
【００７２】このプリント配線板８は、エッチングブー
ス７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの
間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送さ
せ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレー
ノズル１から吹き付けてエッチングを行う。
ス７内に進行方向に平行またはある角度に配管された上
面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの
間に構成された送りローラー６上で所定の速度で搬送さ
せ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレー
ノズル１から吹き付けてエッチングを行う。
【００７３】エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ
２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプは、プリント配線板
進行方向に対して中央のノズルパイプ２ｃと２ｄを４５
°に、他のノズルパイプ２ａと２ｄ及び２ｅと２ｆを６
０°に設定し、それぞれ独立した揺動角度及び揺動速度
で揺動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポ
ンプ５から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給される
エッチング液は、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開
閉の割合で上面用圧力計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力
を調整する。
２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプは、プリント配線板
進行方向に対して中央のノズルパイプ２ｃと２ｄを４５
°に、他のノズルパイプ２ａと２ｄ及び２ｅと２ｆを６
０°に設定し、それぞれ独立した揺動角度及び揺動速度
で揺動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポ
ンプ５から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給される
エッチング液は、上面用圧力調整バルブ４ａ〜４ｆの開
閉の割合で上面用圧力計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力
を調整する。
【００７４】以上のノズルパイプの揺動角度及び揺動速
度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施する
と、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエ
ッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリン
ト配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは
５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置
及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極
端に減少できる。
度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施する
と、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエ
ッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリン
ト配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは
５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置
及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極
端に減少できる。
【００７５】次に上記の（１），（２）の組み合わせに
よる利点について説明する。
よる利点について説明する。
【００７６】これによる利点効果としては、各ノズルパ
イプに取り付けられた複数のスプレーノズル１への噴射
圧力が極端に低くならないようにできるため、スプレー
ノズル１のエッチング液噴射口の異物の詰まりによるト
ラブルが発生する確率を低くすることができる。また両
側の圧力を圧力調整バルブを閉めることで、エッチング
の流路をせばめることによる流体損失を低くすることが
できエネルギー効率を高めるという利点がある。
イプに取り付けられた複数のスプレーノズル１への噴射
圧力が極端に低くならないようにできるため、スプレー
ノズル１のエッチング液噴射口の異物の詰まりによるト
ラブルが発生する確率を低くすることができる。また両
側の圧力を圧力調整バルブを閉めることで、エッチング
の流路をせばめることによる流体損失を低くすることが
できエネルギー効率を高めるという利点がある。
【００７７】また、基板全面を均一なエッチング速度と
するため、各ノズルパイプの間隔、基板搬送面との距
離、あるいはノズルパイプの揺動角度と揺動速度を概ね
設定することで、従来の基板中央部における液溜まりを
解消することができる。これにより各ノズルパイプの圧
力設定の範囲を広く取ることができる。
するため、各ノズルパイプの間隔、基板搬送面との距
離、あるいはノズルパイプの揺動角度と揺動速度を概ね
設定することで、従来の基板中央部における液溜まりを
解消することができる。これにより各ノズルパイプの圧
力設定の範囲を広く取ることができる。
【００７８】以上のことから種々の基板サイズや、要求
される導体回路の仕上がり精度に応じて、各ノズルパイ
プの圧力設定を微調整に用いることができ、さらにその
条件設定も各ノズルパイプ毎の圧力計の表示を確認しな
がら、圧力調整バルブにより容易に設定することができ
る。
される導体回路の仕上がり精度に応じて、各ノズルパイ
プの圧力設定を微調整に用いることができ、さらにその
条件設定も各ノズルパイプ毎の圧力計の表示を確認しな
がら、圧力調整バルブにより容易に設定することができ
る。
【００７９】上記の条件設定における本発明の実施の形
態の事例については、主に基板上面について述べた。
態の事例については、主に基板上面について述べた。
【００８０】基板の下面における条件の設定は、送りロ
ーラーの数や、ローラーのピッチ、取り付け位置につい
てエッチング装置ごとに異なるのが一般的である。
ーラーの数や、ローラーのピッチ、取り付け位置につい
てエッチング装置ごとに異なるのが一般的である。
【００８１】それぞれのエッチング装置における基板下
面のエッチング条件の設定も、ノズルパイプの間隔、基
板搬送面との距離、あるいはノズルパイプの揺動角度、
揺動速度などを調整して行う。そして基板全面において
概ね均一なエッチング条件を設定した後、上記の基板上
面の例と同様に、各ノズルパイプ毎の圧力を再調整する
ことで微調整を図ることができる。
面のエッチング条件の設定も、ノズルパイプの間隔、基
板搬送面との距離、あるいはノズルパイプの揺動角度、
揺動速度などを調整して行う。そして基板全面において
概ね均一なエッチング条件を設定した後、上記の基板上
面の例と同様に、各ノズルパイプ毎の圧力を再調整する
ことで微調整を図ることができる。
【００８２】このためエッチング装置毎に異なる送りロ
ーラー、ローラーのピッチ、ローラー数においても対応
することができる。
ーラー、ローラーのピッチ、ローラー数においても対応
することができる。
【００８３】以上のことから、従来下面のエッチング精
度を基板全面において均一にするため行っていた送りロ
ーラーのピッチ検討や、位置の変更、ローラーの個数の
調整作業等を行う必要がなく、上記エッチング装置の各
パラメータの設定、及び圧力による微調整により、容易
に条件設定を行うことができる。
度を基板全面において均一にするため行っていた送りロ
ーラーのピッチ検討や、位置の変更、ローラーの個数の
調整作業等を行う必要がなく、上記エッチング装置の各
パラメータの設定、及び圧力による微調整により、容易
に条件設定を行うことができる。
【００８４】なお、本発明の実施の形態においては、
（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺動速度、及び
圧力を設定する場合と、（２）ノズルパイプの基板搬送
面からの距離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定す
る場合の２通りのエッチング装置における条件設定につ
いて述べたが、別の組み合わせ例えば、（３）ノズルパ
イプの間隔、基板搬送面からの距離、圧力を設定する場
合や、（４）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距
離、揺動角度、揺動速度を設定する場合でエッチング条
件を設定してもよく、さらに全ての条件、すなわち
（５）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距離、揺
動角度、揺動速度、圧力等を用いて条件設定を行うこと
も可能である。
（１）ノズルパイプの間隔、揺動角度、揺動速度、及び
圧力を設定する場合と、（２）ノズルパイプの基板搬送
面からの距離、揺動角度、揺動速度、及び圧力を設定す
る場合の２通りのエッチング装置における条件設定につ
いて述べたが、別の組み合わせ例えば、（３）ノズルパ
イプの間隔、基板搬送面からの距離、圧力を設定する場
合や、（４）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距
離、揺動角度、揺動速度を設定する場合でエッチング条
件を設定してもよく、さらに全ての条件、すなわち
（５）ノズルパイプの間隔、基板搬送面からの距離、揺
動角度、揺動速度、圧力等を用いて条件設定を行うこと
も可能である。
【００８５】さらに本発明の実施の形態においては、プ
リント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等のエッチ
ングを行うエッチング装置について説明したが、本発明
は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するための
現像装置としても用いることもできる。
リント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等のエッチ
ングを行うエッチング装置について説明したが、本発明
は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するための
現像装置としても用いることもできる。
【００８６】
【発明の効果】以上のように本発明は、各ノズルパイプ
とポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備え、個
々のノズルパイプ間の間隔を可変とし、垂直上下に可変
可能としたプリント配線板の製造装置を用いて、所定の
揺動角度と揺動速度でノズルパイプを揺動し処理液とし
てのエッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で
搬送し、プリント配線板をエッチングすることによっ
て、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させる
ことなくプリント配線板上面の中央部と周辺部及び上下
面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリ
ント配線板を歩留りよく生産することができるものであ
り、さらに装置の製造コスト高騰を招くことなく容易に
普及しうる簡易な製造装置を提供することができる。
とポンプとの間に耐圧フレキシブルチューブを備え、個
々のノズルパイプ間の間隔を可変とし、垂直上下に可変
可能としたプリント配線板の製造装置を用いて、所定の
揺動角度と揺動速度でノズルパイプを揺動し処理液とし
てのエッチング液を基板に吹き付けながら所定の速度で
搬送し、プリント配線板をエッチングすることによっ
て、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させる
ことなくプリント配線板上面の中央部と周辺部及び上下
面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリ
ント配線板を歩留りよく生産することができるものであ
り、さらに装置の製造コスト高騰を招くことなく容易に
普及しうる簡易な製造装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
のエッチング装置の概略図
のエッチング装置の概略図
【図２】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
【図３】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
のエッチング装置の独立したノズルパイプの詳細図
【図４】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
のエッチング装置の条件設定を示す図
のエッチング装置の条件設定を示す図
【図５】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
のエッチング装置の条件設定を示す図
のエッチング装置の条件設定を示す図
【図６】従来のプリント配線板のエッチング装置の概略
図
図
１ スプレーノズル ２ａ〜２ｆ 上面用ノズルパイプ ３ａ〜３ｆ 上面用圧力計 ４ａ〜４ｆ 上面用圧力調整バルブ ５ 上面用スプレーポンプ ６ 送りローラー ７ エッチングブース ８ プリント配線板 ９ａ〜９ｆ 上面用ノズルパイプの揺動機構 １０ 制御用モータ １１ カム １２ａ リンク機構 １２ｂ 回転板とリンク機構の支点 １３ インバータ回路 １４ａ〜１４ｆ 耐圧フレキシブルチューブ １５ａ 第１の支持部材 １５ｂ 第２の支持部材 １６ａ 第１の蛇腹状部材 １６ｂ 第２の蛇腹状部材 １７ フレキシブルワイヤ １８ａ，１８ｂ 電動シリンダ １９ 制御回路 ２０ａ 入力手段 ２０ｂ データ格納手段
Claims (25)
- 【請求項１】 基板を所定の速度で搬送する送りローラ
ーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配
線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数
のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプと、前
記複数の各ノズルパイプとポンプとの間に耐圧フレキシ
ブルチューブを備えたプリント配線板の製造装置。 - 【請求項２】 複数のノズルパイプの個々のノズルパイ
プ間の間隔を可変とした請求項１に記載のプリント配線
板の製造装置。 - 【請求項３】 複数のノズルパイプの個々のノズルパイ
プが、プリント配線板の進行方向に対して垂直上下に移
動可能とした請求項１に記載のプリント配線板の製造方
法。 - 【請求項４】 複数のノズルパイプの各ノズルパイプが
貫通されかつ揺動可能な状態で支持された第１の支持部
材と、前記第１の支持部材が一定方向に移動可能な状態
で支持された第２の支持部材と、前記第２の支持部材が
前記第１の支持部材の移動方向に対して垂直方向に移動
可能な状態で支持された機構を有する請求項１に記載の
プリント配線板の製造装置。 - 【請求項５】 第１の支持部材の両側の第２の支持部材
上にあって、かつ移動領域を覆うように取り付けた伸縮
自在の第１の蛇腹状部材と、第２の支持部材の両側にあ
って、かつ移動領域を覆うように取り付けた伸縮自在の
第２の蛇腹状部材を備えた請求項４に記載のプリント配
線板の製造装置。 - 【請求項６】 各ノズルパイプと耐圧フレキシブルチュ
ーブ及びポンプとの個々の流路に圧力調整バルブと圧力
計を備えた請求項１に記載のプリント配線板の製造装
置。 - 【請求項７】 ノズルパイプを揺動させる機構が各ノズ
ルパイプで独立した機構である請求項１に記載のプリン
ト配線板の製造装置。 - 【請求項８】 各ノズルパイプを揺動させる独立した機
構において、揺動角度及び揺動速度が可変である請求項
７に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項９】 各ノズルパイプを揺動させる独立した機
構としてカム及びリンク機構と、制御用モータをノズル
パイプ毎に備えた請求項７に記載のプリント配線板の製
造装置。 - 【請求項１０】 カム及びリンク機構と、制御用モータ
を用いた独立した揺動機構と、各ノズルパイプをフレキ
シブルワイヤで連結した請求項９に記載のプリント配線
板の製造装置。 - 【請求項１１】 カム及びリンク機構を調整することに
よって、各ノズルパイプの揺動角度を可変させる請求項
９に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項１２】 制御用モータをインバータ回路または
電流または電圧制御回路にて回転数を制御し、各ノズル
パイプの揺動速度を変化される請求項９に記載のプリン
ト配線板の製造装置。 - 【請求項１３】 第１の支持部材及び第２の支持部材を
移動する手段を備えた請求項４に記載のプリント配線板
の製造装置。 - 【請求項１４】 移動する手段がリニアモーションであ
る請求項１３に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項１５】 制御回路にて移動する位置を制御する
手段を備えた請求項１３に記載のプリント配線板の製造
装置。 - 【請求項１６】 プリント配線板の寸法データを格納す
る手段と、前記寸法データを制御回路へ入力する経路を
備えた請求項１５に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項１７】 請求項２に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの間隔を狭く設定し、前記ノズルパイプを揺動し処
理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送すること
により処理するプリント配線板の製造方法。 - 【請求項１８】 請求項３に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの位置を基板搬送面側に近づけた位置で設定し、前
記ノズルパイプを揺動し処理液を基板に吹き付けながら
所定の速度で搬送することにより処理するプリント配線
板の製造方法。 - 【請求項１９】 請求項７に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの揺動速度と揺動角度を両側のノズルパイプの揺動
速度及び揺動角度よりも大となるように設定した請求項
１７または請求項１８に記載のプリント配線板の製造方
法。 - 【請求項２０】 請求項６に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧力計の表
示より高くなるように、個々の圧力調整バルブの開閉の
割合により設定した請求項１７に記載のプリント配線板
の製造方法。 - 【請求項２１】 請求項６に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧力計の表
示より高くなるように、個々の圧力調整バルブの開閉の
割合により設定した請求項１８に記載のプリント配線板
の製造方法。 - 【請求項２２】 請求項６に記載のプリント配線板の製
造装置の複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパ
イプの圧力計の表示を両側のノズルパイプの圧力計の表
示より高くなるように、個々の圧力調整バルブの開閉の
割合により設定した請求項１９に記載のプリント配線板
の製造方法。 - 【請求項２３】 請求項１６に記載されたプリント配線
板の製造装置を用いる製造方法であって、予め進行方向
に対して横方向のプリント配線板の寸法を計測し、それ
を寸法データを格納する手段へ入力し、前記寸法データ
に対応してノズルパイプ間の間隔を移動・設定した後、
前記ノズルパイプを揺動し処理液を基板に吹き付けなが
ら所定の速度で搬送することにより処理するプリント配
線板の製造方法。 - 【請求項２４】 処理液がエッチング液である請求項１
に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項２５】 処理液がエッチング液である請求項１
７，１８及び２３のいずれかに記載のプリント配線板の
製造方法。
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