JP2001196723A - プリント配線板の製造装置 - Google Patents
プリント配線板の製造装置Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供
し、生産性を低下させることなく上下面のエッチング精
度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留
りよく生産することを目的とするものである。 【解決手段】 中央に位置するノズルパイプの管径を両
側のノズルパイプの管径より大または中央のノズルパイ
プに配管された配管パイプの管径を両側の配管パイプの
管径より大としプリント配線板の製造装置を用いること
によって、プリント配線板のエッチングの生産性を低下
させることなくプリント配線板上面の中央部と周辺部の
エッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント
配線板を歩留りよく生産することができる。
便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供
し、生産性を低下させることなく上下面のエッチング精
度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留
りよく生産することを目的とするものである。 【解決手段】 中央に位置するノズルパイプの管径を両
側のノズルパイプの管径より大または中央のノズルパイ
プに配管された配管パイプの管径を両側の配管パイプの
管径より大としプリント配線板の製造装置を用いること
によって、プリント配線板のエッチングの生産性を低下
させることなくプリント配線板上面の中央部と周辺部の
エッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント
配線板を歩留りよく生産することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器等に使
用されるプリント配線板の製造装置に関するものであ
る。
用されるプリント配線板の製造装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器等に数多く使用され
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
ているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に
伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求される
ようになってきている。
【０００３】以下に、従来のプリント配線板の導体パタ
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
ーン形成に用いられる製造装置において、特にエッチン
グ装置について説明する。
【０００４】図３は従来のプリント配線板の製造装置の
概略を示すものである。図３において、２１はスプレー
ノズル、２２は上面用ノズルパイプ、２３は下面用ノズ
ルパイプ、２４は上面用圧力計、２５は下面用圧力計、
２６は上面用圧力調整バルブ、２７は下面用圧力調整バ
ルブ、２８は上面用スプレーポンプ、２９は下面用スプ
レーポンプ、３０は送りローラー、３１はエッチングブ
ース、３２はプリント配線板である。
概略を示すものである。図３において、２１はスプレー
ノズル、２２は上面用ノズルパイプ、２３は下面用ノズ
ルパイプ、２４は上面用圧力計、２５は下面用圧力計、
２６は上面用圧力調整バルブ、２７は下面用圧力調整バ
ルブ、２８は上面用スプレーポンプ、２９は下面用スプ
レーポンプ、３０は送りローラー、３１はエッチングブ
ース、３２はプリント配線板である。
【０００５】以上のように構成されたエッチング装置に
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
おけるプリント配線板のエッチング方法について、以下
に説明する。
【０００６】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板３２をエ
ッチングブース３１内にプリント配線板３２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ２２及び下面用ノズルパイプ２３の間に送り、ロ
ーラー３０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル２１から吹きつ
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ２２及び下面用ノズルパイ
プ２３はプリント配線板３２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動(オシレーション)させることも可
能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・
乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを形
成している。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などにより
エッチングレジストを形成したプリント配線板３２をエ
ッチングブース３１内にプリント配線板３２の進行方向
に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズル
パイプ２２及び下面用ノズルパイプ２３の間に送り、ロ
ーラー３０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２
銅などのエッチング液をスプレーノズル２１から吹きつ
けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解
（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。
この際、上面用ノズルパイプ２２及び下面用ノズルパイ
プ２３はプリント配線板３２の進行方向に対して４５°
〜６０°の角度で揺動(オシレーション)させることも可
能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・
乾燥などの工程を経て銅張積層板より導体パターンを形
成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
エッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面
とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは
困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエ
ッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリ
ント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を
多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、そ
の周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント
配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、また
プリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常
にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその
下面に供給されるためである。
【０００８】これにより上面のプリント配線板中央部と
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面での差も生じ、高密度・高精度のプ
リント配線板の導体パターンのエッチングは極めて困難
となり、工程歩留まりを著しく悪化させ、プリント配線
板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著であ
るという問題点を有していた。
周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が
生じ、さらに上下面での差も生じ、高密度・高精度のプ
リント配線板の導体パターンのエッチングは極めて困難
となり、工程歩留まりを著しく悪化させ、プリント配線
板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著であ
るという問題点を有していた。
【０００９】これらの問題の解決方法として、従来はプ
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送およびエッチング条件の設定も困難であり、その生
産性は著しく阻害され、またエッチング装置の製造コス
ト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが
現状である。
リント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプ
レーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液
の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の
搬送およびエッチング条件の設定も困難であり、その生
産性は著しく阻害され、またエッチング装置の製造コス
ト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが
現状である。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ
普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供するもの
であり、これによりプリント配線板のエッチングの生産
性を低下させることなく上下面のエッチング精度を均一
にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生
産することを目的とするものである。
で、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ
普及が容易なプリント配線板の製造装置を提供するもの
であり、これによりプリント配線板のエッチングの生産
性を低下させることなく上下面のエッチング精度を均一
にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生
産することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管され
た複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させ
る機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプ
とを有し、前記複数のノズルパイプにおいて異なる管径
のノズルパイプあるいは、前記複数のノズルパイプとポ
ンプとの間に複数の配管パイプを備え、特に中央に位置
するノズルパイプの管径を両側のノズルパイプの管径よ
り大または中央のノズルパイプに配管された配管パイプ
の管径を両側の配管パイプの管径より大としプリント配
線板の製造装置を用いてプリント配線板を製造すること
である。
に本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管され
た複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させ
る機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポンプ
とを有し、前記複数のノズルパイプにおいて異なる管径
のノズルパイプあるいは、前記複数のノズルパイプとポ
ンプとの間に複数の配管パイプを備え、特に中央に位置
するノズルパイプの管径を両側のノズルパイプの管径よ
り大または中央のノズルパイプに配管された配管パイプ
の管径を両側の配管パイプの管径より大としプリント配
線板の製造装置を用いてプリント配線板を製造すること
である。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１および５に記載
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管され
た複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させ
る機構と、エッチング液を前記ノズルパイプに供給する
ポンプとを有し、前記複数のノズルパイプにおいて異な
る管径のノズルパイプを備えたプリント配線板の製造装
置というものであり、異なるノズルパイプの管径によっ
て、スプレーノズルから噴射されプリント配線板上に吹
き付けられる処理液の液量分布をプリント配線板上に滞
留しないように設定することで、高精度のエッチングを
実現でき、さらに所定の基板搬送速度でしかも簡易な製
造装置を供給することができるため、生産性の低下や装
置製造コストの高騰を招くこともない製造装置を提供で
きるというものである。
の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラー
と、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線
板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管され
た複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させ
る機構と、エッチング液を前記ノズルパイプに供給する
ポンプとを有し、前記複数のノズルパイプにおいて異な
る管径のノズルパイプを備えたプリント配線板の製造装
置というものであり、異なるノズルパイプの管径によっ
て、スプレーノズルから噴射されプリント配線板上に吹
き付けられる処理液の液量分布をプリント配線板上に滞
留しないように設定することで、高精度のエッチングを
実現でき、さらに所定の基板搬送速度でしかも簡易な製
造装置を供給することができるため、生産性の低下や装
置製造コストの高騰を招くこともない製造装置を提供で
きるというものである。
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、複数の
ノズルパイプのうち中央に位置するノズルパイプの管径
を両側のノズルパイプの管径より大とした請求項１に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の上面中央部に処理液が滞留せず直ちに流れ
落ちるようにするため、中央のノズルパイプの流量を両
側のノズルパイプの流量より多くなるように設定し、中
央部と周辺部のエッチングの均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができる製造装置を提供できる
ものである。
ノズルパイプのうち中央に位置するノズルパイプの管径
を両側のノズルパイプの管径より大とした請求項１に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の上面中央部に処理液が滞留せず直ちに流れ
落ちるようにするため、中央のノズルパイプの流量を両
側のノズルパイプの流量より多くなるように設定し、中
央部と周辺部のエッチングの均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができる製造装置を提供できる
ものである。
【００１４】本発明の請求項３に記載の発明は、基板を
所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズル
を複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行
またはある角度で等間隔に配管された複数のノズルパイ
プと、前記ノズルパイプを揺動させる機構と、処理液を
前記ノズルパイプに供給するポンプと、前記複数のノズ
ルパイプとポンプとの間に複数の配管パイプを有し、前
記複数の配管パイプにおいて異なる配管パイプを備えた
プリント配線板の製造装置というものであり、異なる配
管パイプの管径によって、スプレーノズルから噴射され
プリント配線板上に吹き付けられる処理液の液量分布を
プリント配線板上に滞留しないように設定することがで
き、高精度のエッチングを実現でき、さらにノズルパイ
プの管径を設定する場合よりも容易に取り付けおよび交
換が可能であり、さらに従来の製造装置に対しても容易
で低コストで改造することが可能な製造装置を提供でき
るというものである。
所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズル
を複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行
またはある角度で等間隔に配管された複数のノズルパイ
プと、前記ノズルパイプを揺動させる機構と、処理液を
前記ノズルパイプに供給するポンプと、前記複数のノズ
ルパイプとポンプとの間に複数の配管パイプを有し、前
記複数の配管パイプにおいて異なる配管パイプを備えた
プリント配線板の製造装置というものであり、異なる配
管パイプの管径によって、スプレーノズルから噴射され
プリント配線板上に吹き付けられる処理液の液量分布を
プリント配線板上に滞留しないように設定することがで
き、高精度のエッチングを実現でき、さらにノズルパイ
プの管径を設定する場合よりも容易に取り付けおよび交
換が可能であり、さらに従来の製造装置に対しても容易
で低コストで改造することが可能な製造装置を提供でき
るというものである。
【００１５】本発明の請求項４に記載の発明は、複数の
ノズルパイプの管径を全て同径とし、複数の配管パイプ
のうち中央のノズルパイプに配管された配管パイプの管
径を両側の配管パイプの管径より大とした請求項３に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の上面中央部に処理液が滞留せず直ちに流れ
落ちるようにするため、中央のノズルパイプの流量を両
側のノズルパイプの流量より多くなるように設定し、中
央部と周辺部のエッチングの均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができ、さらにその設定におけ
る配管パイプの交換・取り付けも容易な製造装置を提供
できるものである。
ノズルパイプの管径を全て同径とし、複数の配管パイプ
のうち中央のノズルパイプに配管された配管パイプの管
径を両側の配管パイプの管径より大とした請求項３に記
載のプリント配線板の製造装置というものであり、プリ
ント配線板の上面中央部に処理液が滞留せず直ちに流れ
落ちるようにするため、中央のノズルパイプの流量を両
側のノズルパイプの流量より多くなるように設定し、中
央部と周辺部のエッチングの均一化を図り高精度の導体
パターンを形成することができ、さらにその設定におけ
る配管パイプの交換・取り付けも容易な製造装置を提供
できるものである。
【００１６】（実施の形態）以下本発明の一実施の形態
について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の
概略を示すものであり、図２は、本発明の一実施の形態
における製造装置の細部を示す模式図である。
について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の
概略を示すものであり、図２は、本発明の一実施の形態
における製造装置の細部を示す模式図である。
【００１７】図１において、１はスプレーノズル、２ａ
〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリン
ト配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された
複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは同じくスプレ
ーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行
方向に平行またはある角度に配管された複数の下面用ノ
ズルパイプ、８はエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２
ｆに供給する上面用スプレーポンプ、９はエッチング液
をノズルパイプ３ａ〜３ｆに供給する下面用スプレーポ
ンプ、１０は送りローラー、１１はエッチングブース、
１２は基板としてのプリント配線板である。
〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリン
ト配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された
複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは同じくスプレ
ーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行
方向に平行またはある角度に配管された複数の下面用ノ
ズルパイプ、８はエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２
ｆに供給する上面用スプレーポンプ、９はエッチング液
をノズルパイプ３ａ〜３ｆに供給する下面用スプレーポ
ンプ、１０は送りローラー、１１はエッチングブース、
１２は基板としてのプリント配線板である。
【００１８】上記において中央のノズルパイプ２ｃ，２
ｄ，３ｃ，３ｄの管径は、両側のノズルパイプ２ａ，２
ｂおよび２ｅ，２ｆと比較して約２０〜３０％大きいも
のを使用している。
ｄ，３ｃ，３ｄの管径は、両側のノズルパイプ２ａ，２
ｂおよび２ｅ，２ｆと比較して約２０〜３０％大きいも
のを使用している。
【００１９】また図２において、４ａ〜４ｆ、５ａ〜５
ｆは配管パイプであり、上面用スプレーポンプ８および
下面用スプレーポンプ９と上面用ノズルパイプ２ａ〜２
ｆおよび下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｆとの間に配管さ
れており、中央のノズルパイプ２ｃ，２ｄ，３ｃ，３ｄ
に配管されている配管パイプ４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの
管径は、両側の配管パイプ４ａ，４ｂおよび５ｅ，５ｆ
と比較して約２０〜３０％大きいものを使用している。
ｆは配管パイプであり、上面用スプレーポンプ８および
下面用スプレーポンプ９と上面用ノズルパイプ２ａ〜２
ｆおよび下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｆとの間に配管さ
れており、中央のノズルパイプ２ｃ，２ｄ，３ｃ，３ｄ
に配管されている配管パイプ４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの
管径は、両側の配管パイプ４ａ，４ｂおよび５ｅ，５ｆ
と比較して約２０〜３０％大きいものを使用している。
【００２０】以上のように構成された製造装置における
プリント配線板のエッチング方法について、以下に説明
する。
プリント配線板のエッチング方法について、以下に説明
する。
【００２１】まず、所定の大きさに切断され、３５μｍ
厚さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板
（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエ
ッチングレジストを形成してプリント配線板１２とす
る。
厚さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板
（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエ
ッチングレジストを形成してプリント配線板１２とす
る。
【００２２】このプリント配線板１２は、エッチングブ
ース１１内に進行方向に平行またはある角度に配管され
た上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｆの間において、送りローラー１０上で所定
の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチン
グ液をスプレーノズル１から吹きつけてエッチングを行
う。
ース１１内に進行方向に平行またはある角度に配管され
た上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイ
プ３ａ〜３ｆの間において、送りローラー１０上で所定
の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチン
グ液をスプレーノズル１から吹きつけてエッチングを行
う。
【００２３】エッチング実施の際、上面用ノズルパイプ
２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｆは、プリ
ント配線板進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺
動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポンプ
８から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッ
チング液の流量は、ノズルパイプの管径に比例して中央
のノズルパイプ２ｃ，２ｄ，３ｃ，３ｄは両側のノズル
パイプ２ａ，２ｂおよび３ｅ，３ｆと比較して約２０〜
３０％増加されており、そのためプリント配線板上面中
央のエッチング液は、滞留することなく両側から直ちに
流れ落ち、プリント配線板全面が常にエッチング新液で
エッチングされる状態となる。
２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプ３ａ〜３ｆは、プリ
ント配線板進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺
動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポンプ
８から上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッ
チング液の流量は、ノズルパイプの管径に比例して中央
のノズルパイプ２ｃ，２ｄ，３ｃ，３ｄは両側のノズル
パイプ２ａ，２ｂおよび３ｅ，３ｆと比較して約２０〜
３０％増加されており、そのためプリント配線板上面中
央のエッチング液は、滞留することなく両側から直ちに
流れ落ち、プリント配線板全面が常にエッチング新液で
エッチングされる状態となる。
【００２４】以上のノズルパイプの管径の設定によりエ
ッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッ
チング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定
値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺
部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明
でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが
１０〜２０μｍと極端に減少できることが実証された。
ッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッ
チング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定
値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺
部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明
でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが
１０〜２０μｍと極端に減少できることが実証された。
【００２５】上記の原理は、図２に示すように、配管パ
イプ４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの管径を両側の配管パイプ
４ａ，４ｂおよび５ｅ，５ｆと比較して約２０〜３０％
大きいものを使用した場合においても同様の結果が得ら
れ、特にこの場合においては、従来のエッチング装置の
改造や、配管パイプの管径の変更の際の交換や取り付け
を容易かつ安価に行うことができる。
イプ４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの管径を両側の配管パイプ
４ａ，４ｂおよび５ｅ，５ｆと比較して約２０〜３０％
大きいものを使用した場合においても同様の結果が得ら
れ、特にこの場合においては、従来のエッチング装置の
改造や、配管パイプの管径の変更の際の交換や取り付け
を容易かつ安価に行うことができる。
【００２６】なお、本発明の実施の形態において、中央
のノズルパイプや配管パイプのみの管径を大として示し
たが、中央のノズルパイプや配管パイプの隣に位置する
ノズルパイプ２ｂ，２ｅ，３ｂ，３ｅや配管パイプ４
ｂ，４ｅ，５ｂ，５ｅを最両側ノズルパイプや配管パイ
プに比較して１０〜２０％管径の大きいものを使用して
もよく、これにより上記と同じ効果を有する。
のノズルパイプや配管パイプのみの管径を大として示し
たが、中央のノズルパイプや配管パイプの隣に位置する
ノズルパイプ２ｂ，２ｅ，３ｂ，３ｅや配管パイプ４
ｂ，４ｅ，５ｂ，５ｅを最両側ノズルパイプや配管パイ
プに比較して１０〜２０％管径の大きいものを使用して
もよく、これにより上記と同じ効果を有する。
【００２７】また、本発明の実施の形態においては、プ
リント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等エッチン
グを行うエッチング装置について説明したが、本発明
は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するための
現像装置としても用いることができる。
リント配線板の製造装置の中で、特に銅はく等エッチン
グを行うエッチング装置について説明したが、本発明
は、感光性レジストの未露光部を現像・除去するための
現像装置としても用いることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明は、中央に位置する
ノズルパイプの管径を両側のノズルパイプの管径より大
または中央のノズルパイプに配管された配管パイプの管
径を両側の配管パイプの管径より大としプリント配線板
の製造装置を用いることによって、プリント配線板のエ
ッチングの生産性を低下させることなくプリント配線板
上面の中央部と周辺部のエッチング精度を均一にし、高
密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産するこ
とができるものであり、さらに装置の製造コスト高騰を
招くことなく容易に普及しうる簡易な製造装置を提供す
ることができる。
ノズルパイプの管径を両側のノズルパイプの管径より大
または中央のノズルパイプに配管された配管パイプの管
径を両側の配管パイプの管径より大としプリント配線板
の製造装置を用いることによって、プリント配線板のエ
ッチングの生産性を低下させることなくプリント配線板
上面の中央部と周辺部のエッチング精度を均一にし、高
密度・高精度のプリント配線板を歩留りよく生産するこ
とができるものであり、さらに装置の製造コスト高騰を
招くことなく容易に普及しうる簡易な製造装置を提供す
ることができる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるプリント配線板
の製造装置の概略図
の製造装置の概略図
【図２】本発明の一実施の形態における製造装置の細部
を示す模式図
を示す模式図
【図３】従来のプリント配線板の製造装置の概略図
１ スプレーノズル ２ａ〜２ｆ 上面用ノズルパイプ ３ａ〜３ｆ 下面用ノズルパイプ ４ａ〜４ｆ 上面用配管パイプ ５ａ〜５ｆ 下面用配管パイプ ８ 上面用スプレーポンプ ９ 下面用スプレーポンプ １０ 送りローラー １１ エッチングブース １２ プリント配線板
Claims (5)
- 【請求項１】 基板を所定の速度で搬送する送りローラ
ーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配
線板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管さ
れた複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動さ
せる機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポン
プとを有し、前記複数のノズルパイプにおいて異なる管
径のノズルパイプを備えたプリント配線板の製造装置。 - 【請求項２】 複数のノズルパイプのうち中央に位置す
るノズルパイプの管径を両側のノズルパイプの管径より
大とした請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項３】 基板を所定の速度で搬送する送りローラ
ーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配
線板の進行方向に平行またはある角度で等間隔に配管さ
れた複数のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動さ
せる機構と、処理液を前記ノズルパイプに供給するポン
プと、前記複数のノズルパイプとポンプとの間に複数の
配管パイプを有し、前記複数の配管パイプにおいて異な
る配管パイプを備えたプリント配線板の製造装置。 - 【請求項４】 複数のノズルパイプの管径を全て同径と
し、複数の配管パイプのうち中央のノズルパイプに配管
された配管パイプの管径を両側の配管パイプの管径より
大とした請求項３に記載のプリント配線板の製造装置。 - 【請求項５】 処理液がエッチング液である請求項１に
記載のプリント配線板の製造装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002189A JP2001196723A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置 |
| TW090100564A TW579664B (en) | 2000-01-11 | 2001-01-10 | Apparatus and method for manufacturing printed circuit board |
| US09/936,324 US6918989B2 (en) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Apparatus for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board using the same |
| PCT/JP2001/000085 WO2001052610A1 (fr) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Dispositif de fabrication pour plaquette de circuit imprime et plaquette de circuit imprime ainsi obtenu |
| CNB018000452A CN100387104C (zh) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | 印刷布线板的制造装置以及使用它的印刷布线板的制造方法 |
| EP01900662A EP1168899B1 (en) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Apparatus for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board using the same |
| DE60123706T DE60123706T2 (de) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Leiterplattenherstellung und entsprechende herstellungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002189A JP2001196723A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001196723A true JP2001196723A (ja) | 2001-07-19 |
Family
ID=18531321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000002189A Pending JP2001196723A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | プリント配線板の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001196723A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116133256A (zh) * | 2022-12-23 | 2023-05-16 | 广州市巨龙印制板设备有限公司 | 一种摇摆脱膜设备 |
-
2000
- 2000-01-11 JP JP2000002189A patent/JP2001196723A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116133256A (zh) * | 2022-12-23 | 2023-05-16 | 广州市巨龙印制板设备有限公司 | 一种摇摆脱膜设备 |
| CN116133256B (zh) * | 2022-12-23 | 2023-08-25 | 广州市巨龙印制板设备有限公司 | 一种摇摆脱膜设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031216 |