JP3082359B2 - プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板のエッチング方法 - Google Patents
プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板のエッチング方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種電子機器などに使
用されるプリント配線板の製造方法、特にプリント配線
板上に導体パターンを形成するエッチング装置とエッチ
ング方法に関するものである。
用されるプリント配線板の製造方法、特にプリント配線
板上に導体パターンを形成するエッチング装置とエッチ
ング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器などに数多く使用さ
れているプリント配線板は、電子機器の小型化や多機能
化に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求さ
れるようになってきている。プリント配線板の製造工程
の中でも導体パターンの形成を行うエッチング工程は重
要な工程である。
れているプリント配線板は、電子機器の小型化や多機能
化に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求さ
れるようになってきている。プリント配線板の製造工程
の中でも導体パターンの形成を行うエッチング工程は重
要な工程である。
【０００３】以下に、従来のプリント配線板のエッチン
グ方法について説明する。図３は従来のプリント配線板
のエッチング方法の概念を示すものである。図３におい
て、１はスプレーノズル、２はノズルパイプ、３は圧力
計、４はスプレーポンプ、５は圧力調整バルブ、６は送
りローラー、７はエッチングブース、８はプリント配線
板、１０はエッチング液である。
グ方法について説明する。図３は従来のプリント配線板
のエッチング方法の概念を示すものである。図３におい
て、１はスプレーノズル、２はノズルパイプ、３は圧力
計、４はスプレーポンプ、５は圧力調整バルブ、６は送
りローラー、７はエッチングブース、８はプリント配線
板、１０はエッチング液である。
【０００４】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。エッチングレジ
ストを形成したプリント配線板８をエッチングブース７
内に進行方向に平行またはある角度で上下に配管された
ノズルパイプ２の間を送りローラー６上で所定の速度で
搬送し、プリント配線板８上下面に塩化第２銅などのエ
ッチング液１０をスプレーノズル１から噴射しエッチン
グを行う。この際、上下のノズルパイプ２はプリント配
線板８の進行方向に対して約４５〜６０°の角度で揺動
（オシレーション）する。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。エッチングレジ
ストを形成したプリント配線板８をエッチングブース７
内に進行方向に平行またはある角度で上下に配管された
ノズルパイプ２の間を送りローラー６上で所定の速度で
搬送し、プリント配線板８上下面に塩化第２銅などのエ
ッチング液１０をスプレーノズル１から噴射しエッチン
グを行う。この際、上下のノズルパイプ２はプリント配
線板８の進行方向に対して約４５〜６０°の角度で揺動
（オシレーション）する。
【０００５】エッチング終了後、プリント配線板８上に
残留しているエッチング液１０を水洗・除去、エッチン
グレジストの剥離などを行い、プリント配線板８上に導
体パターンを形成している。
残留しているエッチング液１０を水洗・除去、エッチン
グレジストの剥離などを行い、プリント配線板８上に導
体パターンを形成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差が生じやすく、特にプリント配線
板上面においては、プリント配線板中央部分にエッチン
グ劣化したエッチング液が滞留しやすく、プリント配線
板周辺部分ではエッチング劣化したエッチング液が直ち
に流れ落ちるため滞留することがなく、プリント配線板
上面の中央部分と周辺部分ではエッチング状態に大きな
差が生じ、精度よく均一なエッチングを行うことは困難
であり、高精度プリント配線板の製造工程歩留りを著し
く損なうという問題点を有している。
来の構成では、プリント配線板の上面と下面のエッチン
グスピードに大きな差が生じやすく、特にプリント配線
板上面においては、プリント配線板中央部分にエッチン
グ劣化したエッチング液が滞留しやすく、プリント配線
板周辺部分ではエッチング劣化したエッチング液が直ち
に流れ落ちるため滞留することがなく、プリント配線板
上面の中央部分と周辺部分ではエッチング状態に大きな
差が生じ、精度よく均一なエッチングを行うことは困難
であり、高精度プリント配線板の製造工程歩留りを著し
く損なうという問題点を有している。
【０００７】これらの問題を解決するため従来では、プ
リント配線板を傾斜、または垂直に配設し、プリント配
線板側面のスプレーノズルからエッチング液を噴射さ
せ、エッチング液のプリント配線板上での滞留をなくす
装置が実用化されているが、プリント配線板の搬送機構
が複雑となること、プリント配線板の表面に形成された
エッチングレジストに不具合が生じ易いことや最近のプ
リント配線板の板厚の薄化などに対応が困難であるなど
の問題点を有している。
リント配線板を傾斜、または垂直に配設し、プリント配
線板側面のスプレーノズルからエッチング液を噴射さ
せ、エッチング液のプリント配線板上での滞留をなくす
装置が実用化されているが、プリント配線板の搬送機構
が複雑となること、プリント配線板の表面に形成された
エッチングレジストに不具合が生じ易いことや最近のプ
リント配線板の板厚の薄化などに対応が困難であるなど
の問題点を有している。
【０００８】また、特開平２−２９８２８１号公報に開
示されたように、スプレーでエッチングを行う金属板な
どの材料にエッチング液を噴射すると共に、空気などの
ガス体を間欠的に噴射し、一時的にエッチング液を金属
板などの材料の表面から除去しつつ、エッチングする方
法も提案されているが、一方向のみ、かつ間欠的ガス体
噴射の方法では、プリント配線板上における劣化したエ
ッチング液は一時的に表面より除去されるが、ガス体の
噴出しない間欠部においてスプレーノズルよりのエッチ
ング新液と劣化した旧液の混合状態が生じ易く、また間
欠部分を構成するためエッチングブースが必要以上に冗
長なるなどプリント配線板の導体パターン精度の維持お
よび生産性に影響を及ぼすという問題点を有している。
示されたように、スプレーでエッチングを行う金属板な
どの材料にエッチング液を噴射すると共に、空気などの
ガス体を間欠的に噴射し、一時的にエッチング液を金属
板などの材料の表面から除去しつつ、エッチングする方
法も提案されているが、一方向のみ、かつ間欠的ガス体
噴射の方法では、プリント配線板上における劣化したエ
ッチング液は一時的に表面より除去されるが、ガス体の
噴出しない間欠部においてスプレーノズルよりのエッチ
ング新液と劣化した旧液の混合状態が生じ易く、また間
欠部分を構成するためエッチングブースが必要以上に冗
長なるなどプリント配線板の導体パターン精度の維持お
よび生産性に影響を及ぼすという問題点を有している。
【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させる
ことなく、特にプリント配線板上面の導体パターンエッ
チング状態を均一にし、高精度のプリント配線板を歩留
りよく生産することを目的とするものである。
で、プリント配線板のエッチングの生産性を低下させる
ことなく、特にプリント配線板上面の導体パターンエッ
チング状態を均一にし、高精度のプリント配線板を歩留
りよく生産することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のプリント配線板のエッチング装置とエッチン
グ方法は、プリント配線板上にエッチング液を噴射する
と同時に、搬送されるプリント配線板上に、プリント配
線板搬送方向に対して任意の方向及びそれに対向する方
向より気体を連続噴射する構成を有している。
に本発明のプリント配線板のエッチング装置とエッチン
グ方法は、プリント配線板上にエッチング液を噴射する
と同時に、搬送されるプリント配線板上に、プリント配
線板搬送方向に対して任意の方向及びそれに対向する方
向より気体を連続噴射する構成を有している。
【００１１】
【作用】この構成によって、プリント配線板上のエッチ
ング液に強制的流動を起こし、プリント配線板中央部分
におけるエッチング液の滞留を解消すると同時に、搬送
状態のプリント配線板上の各部位におけるエッチング力
をほぼ同一にすることが可能となり、プリント配線板の
中央部分と周辺部分の導体パターンエッチング状態を均
一化することができる。
ング液に強制的流動を起こし、プリント配線板中央部分
におけるエッチング液の滞留を解消すると同時に、搬送
状態のプリント配線板上の各部位におけるエッチング力
をほぼ同一にすることが可能となり、プリント配線板の
中央部分と周辺部分の導体パターンエッチング状態を均
一化することができる。
【００１２】
【実施例】（実施例１） 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本発明の第１の実施例におけるプリン
ト配線板のエッチング装置とエッチング方法の概念を示
すものである。図１において、１０はエッチング液、１
１はスプレーノズル、１２はノズルパイプ、１３は圧力
計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１
６は送りローラー、１７はプリント配線板、１８ａおよ
び１８ｂは気体噴射用スリットである。気体噴射用スリ
ット１８ａはプリント配線板１７の搬送方向に気体を噴
射し、気体噴射用スリット１８ｂは気体噴射用スリット
１８ａの対向方向に気体を噴射するように設定されてい
る。
明する。図１は、本発明の第１の実施例におけるプリン
ト配線板のエッチング装置とエッチング方法の概念を示
すものである。図１において、１０はエッチング液、１
１はスプレーノズル、１２はノズルパイプ、１３は圧力
計、１４は圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１
６は送りローラー、１７はプリント配線板、１８ａおよ
び１８ｂは気体噴射用スリットである。気体噴射用スリ
ット１８ａはプリント配線板１７の搬送方向に気体を噴
射し、気体噴射用スリット１８ｂは気体噴射用スリット
１８ａの対向方向に気体を噴射するように設定されてい
る。
【００１３】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、図１に示
すようにエッチングブース（図示せず）内のプリント配
線板１７搬送方向に平行またはある角度に配管された上
下のノズルパイプ１２の間の送りローラー１６によりプ
リント配線板１７を所定の速度で搬送し、プリント配線
板１７の上下面に塩化第２銅を主成分とするエッチング
液１０をスプレーノズル１１から噴射し、エッチングを
開始する。この際、上下のノズルパイプ１２はプリント
配線板１７の搬送方向に対して約４５°〜６０°の角度
で揺動（オシレーション）する。スプレーポンプ１５か
ら上下のノズルパイプ１２へ供給されるエッチング液１
０の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によりスプレー圧
力を約１．５〜２．０kg／cm2 に圧力計３にて調整す
る。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、図１に示
すようにエッチングブース（図示せず）内のプリント配
線板１７搬送方向に平行またはある角度に配管された上
下のノズルパイプ１２の間の送りローラー１６によりプ
リント配線板１７を所定の速度で搬送し、プリント配線
板１７の上下面に塩化第２銅を主成分とするエッチング
液１０をスプレーノズル１１から噴射し、エッチングを
開始する。この際、上下のノズルパイプ１２はプリント
配線板１７の搬送方向に対して約４５°〜６０°の角度
で揺動（オシレーション）する。スプレーポンプ１５か
ら上下のノズルパイプ１２へ供給されるエッチング液１
０の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によりスプレー圧
力を約１．５〜２．０kg／cm2 に圧力計３にて調整す
る。
【００１４】図１において、プリント配線板１７上にス
プレーノズル１１から噴射したエッチング液１０は、気
体噴射用ノズル１８ａから噴出された空気によりプリン
ト配線板１７の搬送方向へ強制流出し、ついでエッチン
グ液１０を気体噴射用ノズル１８ｂから噴射された空気
によりプリント配線板１７の搬送方向と対向方向に強制
流出させる。これによりプリント配線板１７上のエッチ
ング液１０の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッ
チング力を等しく設定することが可能となる。
プレーノズル１１から噴射したエッチング液１０は、気
体噴射用ノズル１８ａから噴出された空気によりプリン
ト配線板１７の搬送方向へ強制流出し、ついでエッチン
グ液１０を気体噴射用ノズル１８ｂから噴射された空気
によりプリント配線板１７の搬送方向と対向方向に強制
流出させる。これによりプリント配線板１７上のエッチ
ング液１０の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッ
チング力を等しく設定することが可能となる。
【００１５】本実施例によるエッチング方法によれば、
従来のエッチング方法でのエッチング後の導体パターン
幅のばらつきは、プリント配線板上下面および中央部分
と周辺部分において５０〜１００μｍであったが、１０
〜２０μｍと著しく向上し、導体パターンのエッチング
精度の点で優れた効果が得られた。
従来のエッチング方法でのエッチング後の導体パターン
幅のばらつきは、プリント配線板上下面および中央部分
と周辺部分において５０〜１００μｍであったが、１０
〜２０μｍと著しく向上し、導体パターンのエッチング
精度の点で優れた効果が得られた。
【００１６】（実施例２） 以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。図２は本発明の第２の実施例を示すプリント
配線板のエッチング装置とエッチング方法の概念図であ
る。図２において、１０はエッチング液、１１はスプレ
ーノズル、１２はノズルパイプ、１３は圧力計、１４は
圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りロ
ーラー、１７はプリント配線板で、以上は図１の構成と
同様なものである。図１の構成と異なるのは気体噴射用
スリット１８ａおよび１８ｂを、プリント配線板１７の
搬送方向に角度をもたせた気体噴射用スリット１８ｃ、
１８ｄ、１８ｅ、１８ｆとした点である。
説明する。図２は本発明の第２の実施例を示すプリント
配線板のエッチング装置とエッチング方法の概念図であ
る。図２において、１０はエッチング液、１１はスプレ
ーノズル、１２はノズルパイプ、１３は圧力計、１４は
圧力調整バルブ、１５はスプレーポンプ、１６は送りロ
ーラー、１７はプリント配線板で、以上は図１の構成と
同様なものである。図１の構成と異なるのは気体噴射用
スリット１８ａおよび１８ｂを、プリント配線板１７の
搬送方向に角度をもたせた気体噴射用スリット１８ｃ、
１８ｄ、１８ｅ、１８ｆとした点である。
【００１７】まず、所定の大きさに切断された銅張積層
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、図２に示
すようにエッチングブース内のプリント配線板１７の搬
送方向に平行またはある角度に配管された上下のノズル
パイプ１２の間の送りローラー１６によりプリント配線
板１７を所定の速度で搬送し、プリント配線板１７の上
下面にエッチング液１０をスプレーノズル１１から噴射
しエッチングを開始する。この際、上下のノズルパイプ
１２はプリント配線板１７の搬送方向に対して約４５°
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレ
ーポンプ５から上下のノズルパイプ１２へ供給されるエ
ッチング液１０の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によ
りスプレー圧力を約１．５〜２．０kg／cm2 に圧力計１
３にて調整される。
板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真・現像法など
によりエッチングレジストを形成する。次に、図２に示
すようにエッチングブース内のプリント配線板１７の搬
送方向に平行またはある角度に配管された上下のノズル
パイプ１２の間の送りローラー１６によりプリント配線
板１７を所定の速度で搬送し、プリント配線板１７の上
下面にエッチング液１０をスプレーノズル１１から噴射
しエッチングを開始する。この際、上下のノズルパイプ
１２はプリント配線板１７の搬送方向に対して約４５°
〜６０°の角度で揺動（オシレーション）する。スプレ
ーポンプ５から上下のノズルパイプ１２へ供給されるエ
ッチング液１０の量は、圧力調整バルブ１４の開閉によ
りスプレー圧力を約１．５〜２．０kg／cm2 に圧力計１
３にて調整される。
【００１８】図２（ａ）、（ｂ）において、プリント配
線板１７上にスプレーノズル１１から噴射したエッチン
グ液１０は、気体噴射用スリット１８ｃ、１８ｄから噴
出された空気によりプリント配線板１７の搬送方向に対
してある角度を持ちながら強制流出し、ついでエッチン
グ液１０を気体噴射用スリット１８ｅ、１８ｆから噴射
された空気によりプリント配線板１７の搬送方向に対し
て気体噴出用スリット１８ｃ、１９ｄと対向方向に強制
流出させる。これによりプリント配線板１７上のエッチ
ング液１０の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッ
チング力を等しく設定することが可能となる。
線板１７上にスプレーノズル１１から噴射したエッチン
グ液１０は、気体噴射用スリット１８ｃ、１８ｄから噴
出された空気によりプリント配線板１７の搬送方向に対
してある角度を持ちながら強制流出し、ついでエッチン
グ液１０を気体噴射用スリット１８ｅ、１８ｆから噴射
された空気によりプリント配線板１７の搬送方向に対し
て気体噴出用スリット１８ｃ、１９ｄと対向方向に強制
流出させる。これによりプリント配線板１７上のエッチ
ング液１０の流れの始点Ｐと流れの終点Ｑにおけるエッ
チング力を等しく設定することが可能となる。
【００１９】本実施例によるエッチング方法によれば、
実施例１と同様な優れた効果を得ることができた。
実施例１と同様な優れた効果を得ることができた。
【００２０】なお、本発明の実施例においてプリント配
線板１７は両面プリント配線板としたが、プリント配線
板１７は片面や多層プリント配線板であってもよく、ま
たエッチングレジストは、剥離可能な樹脂としたが、は
んだなどの金属レジストや感光性の電着レジストなどと
してもよく、同様にエッチング液１０は塩化第２銅とし
たがエッチング液１０は塩化第二鉄やアンモニアなどの
アルカリエッチャントとしてもよいことは言うまでもな
い。
線板１７は両面プリント配線板としたが、プリント配線
板１７は片面や多層プリント配線板であってもよく、ま
たエッチングレジストは、剥離可能な樹脂としたが、は
んだなどの金属レジストや感光性の電着レジストなどと
してもよく、同様にエッチング液１０は塩化第２銅とし
たがエッチング液１０は塩化第二鉄やアンモニアなどの
アルカリエッチャントとしてもよいことは言うまでもな
い。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明は、プリント配線板
上にエッチング液を噴射すると同時に、搬送されるプリ
ント配線板上に、プリント配線板の搬送方向に対して任
意の方向より気体を連続噴射することにより、プリント
配線板上のエッチング液の滞留を解消し、同時にエッチ
ング状態を均一化し、高精度のプリント配線板を歩留り
よく製造することができる。
上にエッチング液を噴射すると同時に、搬送されるプリ
ント配線板上に、プリント配線板の搬送方向に対して任
意の方向より気体を連続噴射することにより、プリント
配線板上のエッチング液の滞留を解消し、同時にエッチ
ング状態を均一化し、高精度のプリント配線板を歩留り
よく製造することができる。
【図１】本発明の第１の実施例におけるプリント配線板
のエッチング装置とエッチング方法の概念図
のエッチング装置とエッチング方法の概念図
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の第２の実施例におけ
るプリント配線板のエッチング装置とエッチング方法の
概念図
るプリント配線板のエッチング装置とエッチング方法の
概念図
【図３】従来のプリント配線板のエッチング方法の概念
図
図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 3/06 C23F 1/08
Claims (2)
- 【請求項１】銅張積層板を所定の速度で搬送するローラ
ーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配
線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数
のノズルパイプと、前記ノズルパイプを揺動させる機構
と、エッチング液を前記ノズルパイプに供給するポンプ
とを有し、銅張積層板の搬送方向に対し任意の方向及び
それに対向する一対の気体噴出用スリットを、送りロー
ラー上方に少なくとも一対備えたプリント配線板のエッ
チング装置。 - 【請求項２】請求項１に記載のプリント配線板のエッチ
ング装置を用いた製造方法であって、一定の角度でノズ
ルパイプを揺動しエッチング液を基板に吹きつけながら
所定の速度で搬送し、かつ気体噴出用スリットから気体
を連続噴射することにより導体パターンを形成するプリ
ント配線板のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03282590A JP3082359B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03282590A JP3082359B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板のエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121858A JPH05121858A (ja) | 1993-05-18 |
| JP3082359B2 true JP3082359B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=17654488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03282590A Expired - Fee Related JP3082359B2 (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント配線板のエッチング装置およびそれを用いたプリント配線板のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3082359B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP03282590A patent/JP3082359B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121858A (ja) | 1993-05-18 |
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