JP2001154202A - 液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法及びその装置 - Google Patents
液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法及びその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２枚のガラス基板の位置合わせ及び重ね合わ
せの後の仮止めを省略できると共に重ね合わせたガラス
基板の反りによるシ−ル剤の中への空気の噛み込みを無
くすことができ、さらに高い剛性を必要としないと共に
上下定盤表面の面精度を低くできる液晶パネル用ガラス
基板の貼り合わせ方法及びその装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 上下ガラス基板を吸着保持して接触寸前
まで近づけ位置合わせ機構を介して仮位置合わせをした
後、上下ガラス基板を接触させると共に上下ガラス基板
内を減圧して大気圧との差圧により両者を押し付けなが
ら最終位置合わせをし、この最終位置合わせ状態を維持
させると共に上下ガラス基板の間の減圧度を高めて上下
ガラス基板の間に均一な間隙を形成させた後、紫外線照
射をしてシ−ル剤を硬化させる液晶パネル用ガラス基板
の貼り合わせ方法及びその装置。
せの後の仮止めを省略できると共に重ね合わせたガラス
基板の反りによるシ−ル剤の中への空気の噛み込みを無
くすことができ、さらに高い剛性を必要としないと共に
上下定盤表面の面精度を低くできる液晶パネル用ガラス
基板の貼り合わせ方法及びその装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 上下ガラス基板を吸着保持して接触寸前
まで近づけ位置合わせ機構を介して仮位置合わせをした
後、上下ガラス基板を接触させると共に上下ガラス基板
内を減圧して大気圧との差圧により両者を押し付けなが
ら最終位置合わせをし、この最終位置合わせ状態を維持
させると共に上下ガラス基板の間の減圧度を高めて上下
ガラス基板の間に均一な間隙を形成させた後、紫外線照
射をしてシ−ル剤を硬化させる液晶パネル用ガラス基板
の貼り合わせ方法及びその装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明電極を印刷し
た２枚のガラス基板を相対的に位置合わせすると共に間
隙を設けて重ね合わせ、さらに２枚のガラス基板の間隙
を均一に形成した後、２枚のガラス基板間に塗布したシ
−ル剤を硬化させる液晶パネル用ガラス基板の貼り合わ
せ方法及びその装置に関する。
た２枚のガラス基板を相対的に位置合わせすると共に間
隙を設けて重ね合わせ、さらに２枚のガラス基板の間隙
を均一に形成した後、２枚のガラス基板間に塗布したシ
−ル剤を硬化させる液晶パネル用ガラス基板の貼り合わ
せ方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来上記のような液晶パネル用ガラス基
板の貼り合わせは、まず透明電極を印刷した２枚のガラ
ス基板を相対的に位置合わせすると共に押圧手段により
間隙を設けて重ね合わせをする。次にその重ね合わせ状
態を維持するために２枚のガラス基板の間に適当な間隔
をおいて塗布した仮止め用の接着剤を紫外線照射等によ
り硬化させた後、重ね合わせ状態を保持させたままシ−
ル剤硬化を成すステ−ションに移送し、押圧装置により
ガラス基板の間の間隙を均一に形成した後、紫外線照射
等により２枚のガラス基板の間に環状に塗布されている
シ−ル剤を硬化させて液晶パネルを製作している。なお
２枚のガラス基板の位置合わせ、重ね合わせ、間隙の均
一形成、並びにシ−ル剤の硬化作業を１つのステ−ショ
ンにおいて行う方式もあるが、この場合間隙の均一形成
及びシ−ル剤の硬化に長い時間を要し、これらの作業の
間、他の作業ができず待ち時間が多くなり生産効率が極
端に悪くなる。
板の貼り合わせは、まず透明電極を印刷した２枚のガラ
ス基板を相対的に位置合わせすると共に押圧手段により
間隙を設けて重ね合わせをする。次にその重ね合わせ状
態を維持するために２枚のガラス基板の間に適当な間隔
をおいて塗布した仮止め用の接着剤を紫外線照射等によ
り硬化させた後、重ね合わせ状態を保持させたままシ−
ル剤硬化を成すステ−ションに移送し、押圧装置により
ガラス基板の間の間隙を均一に形成した後、紫外線照射
等により２枚のガラス基板の間に環状に塗布されている
シ−ル剤を硬化させて液晶パネルを製作している。なお
２枚のガラス基板の位置合わせ、重ね合わせ、間隙の均
一形成、並びにシ−ル剤の硬化作業を１つのステ−ショ
ンにおいて行う方式もあるが、この場合間隙の均一形成
及びシ−ル剤の硬化に長い時間を要し、これらの作業の
間、他の作業ができず待ち時間が多くなり生産効率が極
端に悪くなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記のような液
晶パネル用ガラス基板の貼り合わせでは、第１に２枚の
ガラス基板の重ね合わせ位置での仮止め用の紫外線照射
装置がシ−ル剤硬化用の紫外線照射装置とは別に必要で
あり装置構造が複雑になる。第２に重ね合わせた状態の
２枚のガラス基板をシ−ル剤硬化のステ−ションに移送
する際に押し潰されているスペ−サの復元作用によりガ
ラス基板が反りシ−ル剤をガラス基板から引き離しシ−
ル剤の中に空気を噛み込んで気泡が生じ接着強度を低下
させてしまう。第３に２枚のガラス基板の重ね合わせ及
び間隙の均一形成では最大６〜８Ｎ／ｃｍ2程度の機械
的な押し付け力を作用させることから、装置はこの押し
付け力を支える剛性を持った強固な構造が要求される。
第４に２枚のガラス基板の位置合わせと重ね合わせ及び
間隙の均一形成をするための上下定盤はガラス基板全面
を均一に押し付ける必要があるため定盤表面の面精度を
高めなければならずセラミック材質の定盤を製作するの
に費用が嵩む等の問題があった。
晶パネル用ガラス基板の貼り合わせでは、第１に２枚の
ガラス基板の重ね合わせ位置での仮止め用の紫外線照射
装置がシ−ル剤硬化用の紫外線照射装置とは別に必要で
あり装置構造が複雑になる。第２に重ね合わせた状態の
２枚のガラス基板をシ−ル剤硬化のステ−ションに移送
する際に押し潰されているスペ−サの復元作用によりガ
ラス基板が反りシ−ル剤をガラス基板から引き離しシ−
ル剤の中に空気を噛み込んで気泡が生じ接着強度を低下
させてしまう。第３に２枚のガラス基板の重ね合わせ及
び間隙の均一形成では最大６〜８Ｎ／ｃｍ2程度の機械
的な押し付け力を作用させることから、装置はこの押し
付け力を支える剛性を持った強固な構造が要求される。
第４に２枚のガラス基板の位置合わせと重ね合わせ及び
間隙の均一形成をするための上下定盤はガラス基板全面
を均一に押し付ける必要があるため定盤表面の面精度を
高めなければならずセラミック材質の定盤を製作するの
に費用が嵩む等の問題があった。
【０００４】本発明は上記の問題に鑑みて成されたもの
で、２枚のガラス基板の位置合わせ及び重ね合わせの後
の仮止めを省略できると共に重ね合わせたガラス基板の
反りによるシ−ル剤の中への空気の噛み込みを無くすこ
とができ、さらに高い剛性を必要としないと共に上下定
盤表面の面精度を低くできる液晶パネル用ガラス基板の
貼り合わせ方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
で、２枚のガラス基板の位置合わせ及び重ね合わせの後
の仮止めを省略できると共に重ね合わせたガラス基板の
反りによるシ−ル剤の中への空気の噛み込みを無くすこ
とができ、さらに高い剛性を必要としないと共に上下定
盤表面の面精度を低くできる液晶パネル用ガラス基板の
貼り合わせ方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明における液晶パネル用ガラス基板の貼り合わ
せ方法はその上面に多数のスペ−サを散布すると共に該
スペ−サの外周にシ−ル剤を環状に塗布しかつシ−ル剤
の左右外側位置に位置合わせマ−クを設けた下ガラス基
板と、その下面に前記位置合わせマ−クに対応する位置
合わせマ−クを設けた上ガラス基板とを対向させて吸引
により吸着保持させる工程と、前記上ガラス基板を前記
シ−ル剤に接触する寸前まで近づけると共に各位置合わ
せマ−クの位置関係を検知しながら前記下ガラス基板の
左右前後及び水平回転位置修正して上下ガラス基板の仮
位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の位置関
係を維持させた状態で上ガラス基板を前記シ−ル剤に接
触させた後上下ガラス基板の間を減圧して大気との差圧
により上下ガラス基板の押し付けをしながら前記両位置
合わせマ−クの検知により上下ガラス基板の最終位置合
わせをする工程と、前記上下ガラス基板の吸着保持を解
除した後前記上下ガラス基板の間の減圧による押し付け
力を高めて前記スペ−サを均一に押し潰して上下ガラス
基板に均一な間隙を形成させながら上ガラス基板を介し
て上下ガラス基板を吸着保持させた状態で紫外線照射位
置に搬送する工程と、前記搬送された上下ガラス基板の
下方から紫外線を照射して前記シ−ル剤を硬化させる工
程と、から成ることを特徴とするものである。
めに本発明における液晶パネル用ガラス基板の貼り合わ
せ方法はその上面に多数のスペ−サを散布すると共に該
スペ−サの外周にシ−ル剤を環状に塗布しかつシ−ル剤
の左右外側位置に位置合わせマ−クを設けた下ガラス基
板と、その下面に前記位置合わせマ−クに対応する位置
合わせマ−クを設けた上ガラス基板とを対向させて吸引
により吸着保持させる工程と、前記上ガラス基板を前記
シ−ル剤に接触する寸前まで近づけると共に各位置合わ
せマ−クの位置関係を検知しながら前記下ガラス基板の
左右前後及び水平回転位置修正して上下ガラス基板の仮
位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の位置関
係を維持させた状態で上ガラス基板を前記シ−ル剤に接
触させた後上下ガラス基板の間を減圧して大気との差圧
により上下ガラス基板の押し付けをしながら前記両位置
合わせマ−クの検知により上下ガラス基板の最終位置合
わせをする工程と、前記上下ガラス基板の吸着保持を解
除した後前記上下ガラス基板の間の減圧による押し付け
力を高めて前記スペ−サを均一に押し潰して上下ガラス
基板に均一な間隙を形成させながら上ガラス基板を介し
て上下ガラス基板を吸着保持させた状態で紫外線照射位
置に搬送する工程と、前記搬送された上下ガラス基板の
下方から紫外線を照射して前記シ−ル剤を硬化させる工
程と、から成ることを特徴とするものである。
【０００６】また本発明における液晶パネル用ガラス基
板の貼り合わせ装置は可動手段を介して水平方向のＸ、
Ｙ軸及び水平回転方向θ軸微細移動可能に支持されると
共にその上面に下ガラス基板の反りを防止するために設
けた複数のブロック体で吸引吸着面を構成しかつ周縁部
に複数の透し孔を上下に貫通して穿設した下定盤と、該
下定盤の外周に間隙をおいて嵌合されて固定着脱可能に
配置されると共にその内側上面に、前記透し孔の上面を
塞ぐ長さの透明可撓シ−トを備えた補助枠体と、前記下
定盤の下方において前記透し孔に対応させて配置され上
下ガラス基板に取り付けた位置合わせマ−クの位置を撮
像し、そのずれ量を判定して前記可動手段の作動信号を
送信する撮像判定機構と、前記下定盤の上方に昇降装置
に着脱可能にして支持されかつ前記補助枠体に対応する
位置に上下に貫通する吸引孔とその内側位置に上ガラス
基板の周縁部を吸着させる吸引吸着孔とその中央部に上
下に貫通して大気に通じる連通孔とをそれぞれ穿設する
と共に前記吸引吸着孔の内側に、前記上ガラス基板の反
りを防止するために設けたブロック体を覆って張設した
可撓性シ−トを備えた上定盤と、前記下定盤の外側部に
おいて複数配置されその内部に紫外線照射装置を備えた
圧着硬化ステ−ションと、を具備することを特徴とす
る。
板の貼り合わせ装置は可動手段を介して水平方向のＸ、
Ｙ軸及び水平回転方向θ軸微細移動可能に支持されると
共にその上面に下ガラス基板の反りを防止するために設
けた複数のブロック体で吸引吸着面を構成しかつ周縁部
に複数の透し孔を上下に貫通して穿設した下定盤と、該
下定盤の外周に間隙をおいて嵌合されて固定着脱可能に
配置されると共にその内側上面に、前記透し孔の上面を
塞ぐ長さの透明可撓シ−トを備えた補助枠体と、前記下
定盤の下方において前記透し孔に対応させて配置され上
下ガラス基板に取り付けた位置合わせマ−クの位置を撮
像し、そのずれ量を判定して前記可動手段の作動信号を
送信する撮像判定機構と、前記下定盤の上方に昇降装置
に着脱可能にして支持されかつ前記補助枠体に対応する
位置に上下に貫通する吸引孔とその内側位置に上ガラス
基板の周縁部を吸着させる吸引吸着孔とその中央部に上
下に貫通して大気に通じる連通孔とをそれぞれ穿設する
と共に前記吸引吸着孔の内側に、前記上ガラス基板の反
りを防止するために設けたブロック体を覆って張設した
可撓性シ−トを備えた上定盤と、前記下定盤の外側部に
おいて複数配置されその内部に紫外線照射装置を備えた
圧着硬化ステ−ションと、を具備することを特徴とす
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて詳しく説明する。図１において符号Ａは２枚の
ガラス基板の位置合わせ及び重ね合わせを行うセットス
テ−ションであり、符号Ｂは該セットステ−ションＡの
外周に適宜の間隔をおいて複数配置された圧着硬化ステ
−ションである。このセットステ−ションＡと各圧着ス
テ−ションＢ、Ｂの間には、ガラス基板を吸着保持した
上定盤及び補助枠体（後述する）を搬送する図示されな
い搬送手段が配置されている。
基づいて詳しく説明する。図１において符号Ａは２枚の
ガラス基板の位置合わせ及び重ね合わせを行うセットス
テ−ションであり、符号Ｂは該セットステ−ションＡの
外周に適宜の間隔をおいて複数配置された圧着硬化ステ
−ションである。このセットステ−ションＡと各圧着ス
テ−ションＢ、Ｂの間には、ガラス基板を吸着保持した
上定盤及び補助枠体（後述する）を搬送する図示されな
い搬送手段が配置されている。
【０００８】次にセットステ−ションＡについて図２〜
４を加えて説明する。水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転
方向θ軸方向に微細移動可能にした可動手段１上に支持
フレ−ム２を介して下定盤３が固着されており、該下定
盤３の上面周縁部には環状パッキン４が取付けられてい
ると共に該環状パッキン４の若干内側位置左右には上下
に貫通する透し孔５、５が穿設されている。
４を加えて説明する。水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転
方向θ軸方向に微細移動可能にした可動手段１上に支持
フレ−ム２を介して下定盤３が固着されており、該下定
盤３の上面周縁部には環状パッキン４が取付けられてい
ると共に該環状パッキン４の若干内側位置左右には上下
に貫通する透し孔５、５が穿設されている。
【０００９】さらに前記下定盤３の上面における透し孔
５、５の内側には、ガラス基板の反りを防止するための
複数のブロック体６、６が適当な間隔をおいて同一高さ
面にして取付けられて吸着面が形成されており、該複数
のブロック体６、６と下定盤３の上面とで画成する凹部
は図示されない吸引手段に通じる吸着孔７に連通されて
いる。なお前記下定盤３の吸着面はガラス基板の外寸よ
りも１５〜２０ｍｍ程度小さくされている。
５、５の内側には、ガラス基板の反りを防止するための
複数のブロック体６、６が適当な間隔をおいて同一高さ
面にして取付けられて吸着面が形成されており、該複数
のブロック体６、６と下定盤３の上面とで画成する凹部
は図示されない吸引手段に通じる吸着孔７に連通されて
いる。なお前記下定盤３の吸着面はガラス基板の外寸よ
りも１５〜２０ｍｍ程度小さくされている。
【００１０】また前記下定盤３の外周には、図示されな
いクランプア−ムにより水平方向及び垂直方向に移動し
ないように固定着脱可能にされた補助枠体８が前記下定
盤３と５ｍｍ程度の隙間を設けて嵌合配置されており、
該補助枠体８の上部内側には、前記下定盤３の環状パッ
キン４上部及び透し孔５、５上部を塞ぐ長さの透明可撓
シ−ト９が額縁状のシ−ト押え１０を介して固定されて
いる。さらに前記下定盤３における透し孔５、５の下方
には、ガラス基板の後述する位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2
を顕微鏡を用いて撮像して撮像された位置合わせマ−ク
Ｍ1、Ｍ2のずれ量を画像処理によって判定し、そのずれ
量に応じて前記可動手段１に信号を送信して下定盤３を
水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転方向θ軸方向に微細移
動させる撮像判定機構１１、１１が配設されている。
いクランプア−ムにより水平方向及び垂直方向に移動し
ないように固定着脱可能にされた補助枠体８が前記下定
盤３と５ｍｍ程度の隙間を設けて嵌合配置されており、
該補助枠体８の上部内側には、前記下定盤３の環状パッ
キン４上部及び透し孔５、５上部を塞ぐ長さの透明可撓
シ−ト９が額縁状のシ−ト押え１０を介して固定されて
いる。さらに前記下定盤３における透し孔５、５の下方
には、ガラス基板の後述する位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2
を顕微鏡を用いて撮像して撮像された位置合わせマ−ク
Ｍ1、Ｍ2のずれ量を画像処理によって判定し、そのずれ
量に応じて前記可動手段１に信号を送信して下定盤３を
水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転方向θ軸方向に微細移
動させる撮像判定機構１１、１１が配設されている。
【００１１】また前記下定盤３及び補助枠体８の上方に
は、図示されない昇降装置に取り付けられたクランプア
−ムにより固定着脱可能にして上定盤１２が配設されて
おり、該上定盤１２の下面周縁部及び前記環状パッキン
４に対応する位置には前記補助枠体８の上面に圧着され
る外環状パッキン１３及びガラス基板周縁に圧着される
内環状パッキン１４がそれぞれ設けられている。該上定
盤１２における前記外環状パッキン１３と内環状パッキ
ン１４との間位置には上下に貫通し、図示されない吸引
手段に連通する複数の吸引孔１５、１５が穿設されてお
り、前記下定盤３における透し孔５、５に対応する位置
にも図示されない吸引手段に連通する複数の吸引吸着孔
１６、１６が穿設されている。
は、図示されない昇降装置に取り付けられたクランプア
−ムにより固定着脱可能にして上定盤１２が配設されて
おり、該上定盤１２の下面周縁部及び前記環状パッキン
４に対応する位置には前記補助枠体８の上面に圧着され
る外環状パッキン１３及びガラス基板周縁に圧着される
内環状パッキン１４がそれぞれ設けられている。該上定
盤１２における前記外環状パッキン１３と内環状パッキ
ン１４との間位置には上下に貫通し、図示されない吸引
手段に連通する複数の吸引孔１５、１５が穿設されてお
り、前記下定盤３における透し孔５、５に対応する位置
にも図示されない吸引手段に連通する複数の吸引吸着孔
１６、１６が穿設されている。
【００１２】さらに上定盤１２における下面中央部に
は、ガラス基板の反りを防止するための複数のブロック
体１７、１７が適宜の間隔をおいて取り付けられてい
て、該ブロック体１７、１７の間位置には上下に貫通し
て大気に連通する連通孔１８が穿設されている。また上
定盤１２における吸引吸着孔１６、１６の下面内側は、
可撓性シ−ト１９が張設され、その周縁を額縁状のシ−
ト押え２０により固定されている。次に圧着硬化ステ−
ションＢについて図５を加えて説明する。各圧着硬化ス
テ−ションＢは、前記セットステ−ションＡに対応する
側に図示されないシリンダにより昇降される搬入出扉２
１を設けると共にその背後側に内部を冷却するための冷
却ファン２２を取り付けた照射室２３の底部に紫外線を
上方に向けて照射する紫外線照射装置Ｌを配置した構成
にされて、セットステ−ションＡの外周部に複数配置さ
れている。なお上記補助枠体８及び上定盤１２は上記圧
着硬化ステ−ションＢの数に応じて同じ数準備されてい
る。
は、ガラス基板の反りを防止するための複数のブロック
体１７、１７が適宜の間隔をおいて取り付けられてい
て、該ブロック体１７、１７の間位置には上下に貫通し
て大気に連通する連通孔１８が穿設されている。また上
定盤１２における吸引吸着孔１６、１６の下面内側は、
可撓性シ−ト１９が張設され、その周縁を額縁状のシ−
ト押え２０により固定されている。次に圧着硬化ステ−
ションＢについて図５を加えて説明する。各圧着硬化ス
テ−ションＢは、前記セットステ−ションＡに対応する
側に図示されないシリンダにより昇降される搬入出扉２
１を設けると共にその背後側に内部を冷却するための冷
却ファン２２を取り付けた照射室２３の底部に紫外線を
上方に向けて照射する紫外線照射装置Ｌを配置した構成
にされて、セットステ−ションＡの外周部に複数配置さ
れている。なお上記補助枠体８及び上定盤１２は上記圧
着硬化ステ−ションＢの数に応じて同じ数準備されてい
る。
【００１３】このように構成されたものは、図２に示す
ように上定盤１２を上昇させた状態で上面に多数のスペ
−サＵを散布すると共にこれら全体を包囲するシ−ル剤
Ｒを環状に塗布し、かつ前記下定盤３における透し孔
５、５に対応する位置に位置合わせマ−クＭ2を取り付
けた下ガラス基板Ｐ2と、前記上定盤１２における吸引
吸着孔１６、１６に対応する位置下面に位置合わせマ−
クＭ1を取り付けた上ガラス基板Ｐ1と、を図示されない
搬送装置によりそれぞれ下定盤３の上部と上定盤１２の
下部に搬入する。
ように上定盤１２を上昇させた状態で上面に多数のスペ
−サＵを散布すると共にこれら全体を包囲するシ−ル剤
Ｒを環状に塗布し、かつ前記下定盤３における透し孔
５、５に対応する位置に位置合わせマ−クＭ2を取り付
けた下ガラス基板Ｐ2と、前記上定盤１２における吸引
吸着孔１６、１６に対応する位置下面に位置合わせマ−
クＭ1を取り付けた上ガラス基板Ｐ1と、を図示されない
搬送装置によりそれぞれ下定盤３の上部と上定盤１２の
下部に搬入する。
【００１４】そして図３に示すように上ガラス基板Ｐ1
は内環状パッキン１４の下面に密着させることによっ
て、内環状パッキン１４、可撓性シ−ト１９、上ガラス
基板Ｐ1上面とにより密閉空間Ｑが形成され、この密閉
空間Ｑを吸引吸着孔１６、１６によって連通された図示
されない吸引手段によって所定の吸引力を発生させるこ
とによって上ガラス基板Ｐ1は上定盤１２の下面に吸着
保持される。一方下ガラス基板Ｐ2は、下定盤３の吸着
面に載置された後、吸着孔７によって連通された図示さ
れない吸引手段によって所定の吸引力を発生させること
によって下ガラス基板Ｐ2は下定盤３の上面に吸着保持
される。なお上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の吸着の際には、
吸引力によって反りが生じるように力が作用するが、間
隔をおいて複数設けられた反り防止用のブロック体６、
６、１７、１７によって反りの発生が防止される。
は内環状パッキン１４の下面に密着させることによっ
て、内環状パッキン１４、可撓性シ−ト１９、上ガラス
基板Ｐ1上面とにより密閉空間Ｑが形成され、この密閉
空間Ｑを吸引吸着孔１６、１６によって連通された図示
されない吸引手段によって所定の吸引力を発生させるこ
とによって上ガラス基板Ｐ1は上定盤１２の下面に吸着
保持される。一方下ガラス基板Ｐ2は、下定盤３の吸着
面に載置された後、吸着孔７によって連通された図示さ
れない吸引手段によって所定の吸引力を発生させること
によって下ガラス基板Ｐ2は下定盤３の上面に吸着保持
される。なお上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の吸着の際には、
吸引力によって反りが生じるように力が作用するが、間
隔をおいて複数設けられた反り防止用のブロック体６、
６、１７、１７によって反りの発生が防止される。
【００１５】次に上定盤１２を昇降させる図示されない
昇降装置が下降作動して上ガラス基板Ｐ1の下面が下ガ
ラス基板Ｐ2上のシ−ル剤Ｒに接触する寸前で下降を停
止させる。この際上定盤１２の外環状パッキン１３は補
助枠体８の上面に密着される。この時点で撮像判定機構
１１、１１が作動して透し孔５、５及び透明可撓シ−ト
９を介して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の位置合わせマ−ク
Ｍ1、Ｍ2を撮像し、そのずれ量を画像処理によって判定
し、前記可動手段１にずれ量に応じた信号を送信して下
定盤３を水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転方向θ軸の方
向に微細移動させることによって下ガラス基板Ｐ2を移
動させて上ガラス基板Ｐ1との位置合わせを行う。この
時の上下の位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2の間に数百μｍ程
度の隙間があり、撮像判定機構１１の解像度が落ちるた
め、ずれ量を±５０μｍ程度に合わせ込む。
昇降装置が下降作動して上ガラス基板Ｐ1の下面が下ガ
ラス基板Ｐ2上のシ−ル剤Ｒに接触する寸前で下降を停
止させる。この際上定盤１２の外環状パッキン１３は補
助枠体８の上面に密着される。この時点で撮像判定機構
１１、１１が作動して透し孔５、５及び透明可撓シ−ト
９を介して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の位置合わせマ−ク
Ｍ1、Ｍ2を撮像し、そのずれ量を画像処理によって判定
し、前記可動手段１にずれ量に応じた信号を送信して下
定盤３を水平方向のＸ、Ｙ軸及び水平回転方向θ軸の方
向に微細移動させることによって下ガラス基板Ｐ2を移
動させて上ガラス基板Ｐ1との位置合わせを行う。この
時の上下の位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2の間に数百μｍ程
度の隙間があり、撮像判定機構１１の解像度が落ちるた
め、ずれ量を±５０μｍ程度に合わせ込む。
【００１６】次に上定盤１２と上定盤１２の下面に取り
付けた外環状パッキン１３及び内環状パッキン１４と補
助枠体８、透明可撓シ−ト９と上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2
で画成された密閉空間Ｓを吸引孔１５、１５によって連
通された図示されない吸引手段によって所定の吸引力を
発生させて上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の間を減圧状態と
し、大気圧によって可撓性シ−ト１９を介して上ガラス
基板Ｐ1に押し付け力を作用させる。この押し付け力
は、初期は最低０．５Ｎ／ｃｍ2（より好ましくは１Ｎ
／ｃｍ2）とし、徐々に最高４Ｎ／ｃｍ2（より好ましく
は３Ｎ／ｃｍ2）まで高めてゆき、この間に上記と同様
に位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2の撮像と画像処理、及びず
れ量の判定を行い、可動手段１を作動させて上下ガラス
基板Ｐ1、Ｐ2の位置合わせを行う。この時の上下の位置
合わせマ−クＭ1、Ｍ2の間の距離が１０μｍ程度に縮ま
るため高精度の撮像が可能になり、位置ずれ量を±１μ
ｍ程度まで合わせ込むことが可能になる。なお位置合わ
せの際に下ガラス基板Ｐ1が移動するが下ガラス基板Ｐ2
の下面に密着した透明可撓シ−ト９が撓むことによって
密閉空間Ｓを維持する。
付けた外環状パッキン１３及び内環状パッキン１４と補
助枠体８、透明可撓シ−ト９と上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2
で画成された密閉空間Ｓを吸引孔１５、１５によって連
通された図示されない吸引手段によって所定の吸引力を
発生させて上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の間を減圧状態と
し、大気圧によって可撓性シ−ト１９を介して上ガラス
基板Ｐ1に押し付け力を作用させる。この押し付け力
は、初期は最低０．５Ｎ／ｃｍ2（より好ましくは１Ｎ
／ｃｍ2）とし、徐々に最高４Ｎ／ｃｍ2（より好ましく
は３Ｎ／ｃｍ2）まで高めてゆき、この間に上記と同様
に位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2の撮像と画像処理、及びず
れ量の判定を行い、可動手段１を作動させて上下ガラス
基板Ｐ1、Ｐ2の位置合わせを行う。この時の上下の位置
合わせマ−クＭ1、Ｍ2の間の距離が１０μｍ程度に縮ま
るため高精度の撮像が可能になり、位置ずれ量を±１μ
ｍ程度まで合わせ込むことが可能になる。なお位置合わ
せの際に下ガラス基板Ｐ1が移動するが下ガラス基板Ｐ2
の下面に密着した透明可撓シ−ト９が撓むことによって
密閉空間Ｓを維持する。
【００１７】次に位置合わせが終了した時点で上定盤１
２の吸引吸着孔１６、１６及び下定盤３の吸着孔７から
の吸引作用を停止し、上定盤１２及び補助枠体８を固定
している図示されないクランプア−ムを解除して図示さ
れない搬送装置によって上定盤１２と補助枠体８及びこ
れらと一体に吸引保持されている位置合わせされた上下
ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を圧着硬化ステ−ションＢにおける
照射室２３内に搬入する。この際吸引孔１５、１５によ
って連通された図示されない吸引手段によって上下ガラ
ス基板Ｐ1、Ｐ2に３Ｎ／ｃｍ2程度の押し付け力が作用
しているが搬送中に７Ｎ／ｃｍ2程度に押し付け力を上
げて（最低２Ｎ／ｃｍ2〜最高８Ｎ／ｃｍ 2ならばよい）
スペ−サＵを均一に押し潰して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2
の間に均一な間隙を形成する。
２の吸引吸着孔１６、１６及び下定盤３の吸着孔７から
の吸引作用を停止し、上定盤１２及び補助枠体８を固定
している図示されないクランプア−ムを解除して図示さ
れない搬送装置によって上定盤１２と補助枠体８及びこ
れらと一体に吸引保持されている位置合わせされた上下
ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を圧着硬化ステ−ションＢにおける
照射室２３内に搬入する。この際吸引孔１５、１５によ
って連通された図示されない吸引手段によって上下ガラ
ス基板Ｐ1、Ｐ2に３Ｎ／ｃｍ2程度の押し付け力が作用
しているが搬送中に７Ｎ／ｃｍ2程度に押し付け力を上
げて（最低２Ｎ／ｃｍ2〜最高８Ｎ／ｃｍ 2ならばよい）
スペ−サＵを均一に押し潰して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2
の間に均一な間隙を形成する。
【００１８】その後セットステ−ションＡにおいては別
の上定盤１２と補助枠体８が搬入されて、上記の作動を
繰り返し行い位置合わせした上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を
上定盤１２と補助枠体８と共に別の圧着硬化ステ−ショ
ンＢに搬入する作業が順次行われる。一方圧着硬化ステ
−ションＢの照射室２３内に搬入されたものは下方に配
置されている紫外線照射装置Ｌによって一部は透明可撓
シ−ト９を介して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の下面に均一
な紫外線照射が行われ、スペ−サＵによって均一な間隙
に形成した状態でシ−ル剤Ｒを均一強度に硬化させて高
精度に貼り合わされた液晶パネルが完成される。この圧
着硬化の際には冷却ファン２２が作動されて上定盤１２
及び補助枠体８が高温に加熱されないように冷却を行
う。
の上定盤１２と補助枠体８が搬入されて、上記の作動を
繰り返し行い位置合わせした上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を
上定盤１２と補助枠体８と共に別の圧着硬化ステ−ショ
ンＢに搬入する作業が順次行われる。一方圧着硬化ステ
−ションＢの照射室２３内に搬入されたものは下方に配
置されている紫外線照射装置Ｌによって一部は透明可撓
シ−ト９を介して上下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2の下面に均一
な紫外線照射が行われ、スペ−サＵによって均一な間隙
に形成した状態でシ−ル剤Ｒを均一強度に硬化させて高
精度に貼り合わされた液晶パネルが完成される。この圧
着硬化の際には冷却ファン２２が作動されて上定盤１２
及び補助枠体８が高温に加熱されないように冷却を行
う。
【００１９】次に図示されない取出し装置を液晶パネル
の下方に位置させると共に吸引孔１５、１５からの吸引
作用を停止して液晶パネルを取出し装置の上に移し替
え、図示されない搬送装置によって上定盤１２及び補助
枠体８を搬出すると共に完成した液晶パネルを取出し装
置により取り出した後、次の位置合わせを完了させた上
下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を上定盤１２及び補助枠体８と共
に搬入し、上記の作動を繰り返す。なおセットステ−シ
ョンＡに対し圧着硬化ステ−ションＢは５〜６個所設け
るのが好適である。
の下方に位置させると共に吸引孔１５、１５からの吸引
作用を停止して液晶パネルを取出し装置の上に移し替
え、図示されない搬送装置によって上定盤１２及び補助
枠体８を搬出すると共に完成した液晶パネルを取出し装
置により取り出した後、次の位置合わせを完了させた上
下ガラス基板Ｐ1、Ｐ2を上定盤１２及び補助枠体８と共
に搬入し、上記の作動を繰り返す。なおセットステ−シ
ョンＡに対し圧着硬化ステ−ションＢは５〜６個所設け
るのが好適である。
【００２０】
【発明の効果】本発明は上記の説明から明らかなよう
に、上下ガラス基板を吸着保持して接触寸前まで近づけ
位置合わせ機構を介して仮位置合わせをした後、上下ガ
ラス基板を接触させると共に上下ガラス基板内を減圧し
て大気圧との差圧により両者を押し付けながら最終位置
合わせをし、この最終位置合わせ状態を維持させると共
に上下ガラス基板の間の減圧度を高めて上下ガラス基板
の間に均一な間隙を形成させた後、紫外線照射をしてシ
−ル剤を硬化させるから、上下ガラス基板の仮止め用紫
外線照射装置が不要になり、装置構造を簡素化できる。
またガラス基板の反りがなくなることにより、シ−ル剤
中への空気の噛み込みがなくなりシ−ル剤の接着強度の
低下がなくなる。さらに上下ガラス基板の重ね合わせ及
び均一な間隙の形成を減圧による大気圧との差圧による
押し付け力を利用するため装置を強固な構造にしなくて
も済むようになると共に上下定盤の表面精度を高精度に
しなくてもよくなり定盤製作費用を低減できる等種々の
効果がある。
に、上下ガラス基板を吸着保持して接触寸前まで近づけ
位置合わせ機構を介して仮位置合わせをした後、上下ガ
ラス基板を接触させると共に上下ガラス基板内を減圧し
て大気圧との差圧により両者を押し付けながら最終位置
合わせをし、この最終位置合わせ状態を維持させると共
に上下ガラス基板の間の減圧度を高めて上下ガラス基板
の間に均一な間隙を形成させた後、紫外線照射をしてシ
−ル剤を硬化させるから、上下ガラス基板の仮止め用紫
外線照射装置が不要になり、装置構造を簡素化できる。
またガラス基板の反りがなくなることにより、シ−ル剤
中への空気の噛み込みがなくなりシ−ル剤の接着強度の
低下がなくなる。さらに上下ガラス基板の重ね合わせ及
び均一な間隙の形成を減圧による大気圧との差圧による
押し付け力を利用するため装置を強固な構造にしなくて
も済むようになると共に上下定盤の表面精度を高精度に
しなくてもよくなり定盤製作費用を低減できる等種々の
効果がある。
【図１】本発明の実施形態を示す構成断面図である。
【図２】上下ガラス基板をセットステ−ションに搬入し
た状態を示す断面図である。
た状態を示す断面図である。
【図３】上下ガラス基板を上下定盤に吸引吸着させた状
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図４】上下ガラス基板の位置合わせ状態を示すセット
ステ−ションの断面図である。
ステ−ションの断面図である。
【図５】上下ガラス基板のシ−ル剤硬化（紫外線照射）
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
１ 可動手段 ３ 下定盤 ５ 透し孔 ６ １７ ブロック体 ７ 吸着孔 ８ 補助枠体 ９ 透明可撓シ−ト １１ 撮像判定機構 １２ 上定盤 １５ 吸引孔 １６ 吸引吸着孔 １８ 連通孔 １９ 可撓性シ−ト ２３ 照射室 Ａ セットステ−ション Ｂ 圧着硬化ステ−ション Ｌ 紫外線照射装置 Ｍ1 Ｍ2 位置合わせマ−ク Ｐ１ 上ガラス基板 Ｐ２ 下ガラス基板 Ｑ Ｓ 密閉空間 Ｒ シ−ル剤 Ｕ スペ−サ ＵＶ 紫外線
Claims (3)
- 【請求項１】 その上面に多数のスペ−サを散布すると
共に該スペ−サの外周にシ−ル剤を環状に塗布しかつシ
−ル剤の左右外側位置に位置合わせマ−クを設けた下ガ
ラス基板と、その下面に前記位置合わせマ−クに対応す
る位置合わせマ−クを設けた上ガラス基板とを対向させ
て吸引により吸着保持させる工程と、前記上ガラス基板
を前記シ−ル剤に接触する寸前まで近づけると共に各位
置合わせマ−クの位置関係を検知しながら前記下ガラス
基板の左右前後及び水平回転位置修正して上下ガラス基
板の仮位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の
位置関係を維持させた状態で上ガラス基板を前記シ−ル
剤に接触させた後上下ガラス基板の間を減圧して大気と
の差圧により上下ガラス基板の押し付けをしながら前記
両位置合わせマ−クの検知により上下ガラス基板の最終
位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の吸着保
持を解除した後前記上下ガラス基板の間の減圧による押
し付け力を高めて前記スペ−サを均一に押し潰して上下
ガラス基板に均一な間隙を形成させながら上ガラス基板
を介して上下ガラス基板を吸着保持させた状態で紫外線
照射位置に搬送する工程と、前記搬送された上下ガラス
基板の下方から紫外線を照射して前記シ−ル剤を硬化さ
せる工程と、から成ることを特徴とする液晶パネル用ガ
ラス基板の貼り合わせ方法。 - 【請求項２】 前記最終位置合わせをする工程における
上下ガラス基板への押し付け力を最低０．５Ｎ／ｃｍ2
から最高４Ｎ／ｃｍ2まで徐々に高めてゆくと共に前記
下ガラス基板の吸着保持を解除した後の減圧による押し
付け力を最低２Ｎ／ｃｍ2から最高８Ｎ／ｃｍ2まで高め
てゆくことを特徴とする請求項１記載の液晶パネル用ガ
ラス基板の貼り合わせ方法。 - 【請求項３】 可動手段１を介して水平方向のＸ、Ｙ軸
及び水平回転方向θ軸微細移動可能に支持されると共に
その上面に下ガラス基板Ｐ2の反りを防止するために設
けた複数のブロック体６、６で吸引吸着面を構成しかつ
周縁部に複数の透し孔５、５を上下に貫通して穿設した
下定盤３と、該下定盤３の外周に間隙をおいて嵌合され
て固定着脱可能に配置されると共にその内側上面に、前
記透し孔５、５の上面を塞ぐ長さの透明可撓シ−ト９を
備えた補助枠体８と、前記下定盤３の下方において前記
透し孔５、５に対応させて配置され上下ガラス基板Ｐ
1、Ｐ2に取り付けた位置合わせマ−クＭ1、Ｍ2の位置を
撮像し、そのずれ量を判定して前記可動手段１の作動信
号を送信する撮像判定機構１１、１１と、前記下定盤３
の上方に昇降装置に着脱可能にして支持されかつ前記補
助枠体８に対応する位置に上下に貫通する吸引孔１５、
１５とその内側位置に上ガラス基板Ｐ1の周縁部を吸着
させる吸引吸着孔１６、１６とその中央部に上下に貫通
して大気に通じる連通孔１８とをそれぞれ穿設すると共
に前記吸引吸着孔１６、１６の内側に、前記上ガラス基
板Ｐ1の反りを防止するために設けたブロック体１７、
１７を覆って張設した可撓性シ−ト１９を備えた上定盤
１２と、前記下定盤３の外側部において複数配置されそ
の内部に紫外線照射装置Ｌを備えた圧着硬化ステ−ショ
ンＢと、を具備することを特徴とする液晶パネル用ガラ
ス基板の貼り合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567999A JP3994367B2 (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | 液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567999A JP3994367B2 (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | 液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001154202A true JP2001154202A (ja) | 2001-06-08 |
| JP3994367B2 JP3994367B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
ID=18291302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33567999A Expired - Fee Related JP3994367B2 (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | 液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3994367B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100359371C (zh) * | 2002-11-13 | 2008-01-02 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 用于液晶显示面板的分配器和利用该分配器的分配方法 |
| CN100362397C (zh) * | 2003-12-10 | 2008-01-16 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 对准分配器的设备、对准分配器的方法及分配器对准*** |
| JP2010250008A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Joyo Kogaku Kk | 封止装置 |
-
1999
- 1999-11-26 JP JP33567999A patent/JP3994367B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100359371C (zh) * | 2002-11-13 | 2008-01-02 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 用于液晶显示面板的分配器和利用该分配器的分配方法 |
| CN100362397C (zh) * | 2003-12-10 | 2008-01-16 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 对准分配器的设备、对准分配器的方法及分配器对准*** |
| JP2010250008A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Joyo Kogaku Kk | 封止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3994367B2 (ja) | 2007-10-17 |
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