JP2001123959A - 脈動低減装置付きポンプ - Google Patents
脈動低減装置付きポンプInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 脈動低減効果をより一層高めることのできる
脈動低減装置付きポンプを提供する。 【解決手段】 流入路２及び流出路３を備えたポンプヘ
ッド構成壁１の一側部には、エアシリンダ部１４により
駆動伸縮変形される第１ベローズ７とこのベローズ７内
に形成されたポンプ作用室９ａに交互に開閉作動する逆
止弁１６ａ，１６ｂとを設けて往復動ポンプ部４を構成
する。ポンプヘッド構成壁１の他側部には、ポンプ部４
から吐出される液体を貯溜可能な液体室２０ａと、該液
体室２０ａに対し隔離された空気室２０ｂとを形成する
伸縮変形可能な第２ベローズ１８を有し、液体室２０ａ
の容量変化でポンプ部４から吐出される液体の脈動を吸
収させる脈動低減部５を構成する。第２ベローズ１８の
伸び率を第１ベローズ１８のそれよりも大きくしてあ
る。
脈動低減装置付きポンプを提供する。 【解決手段】 流入路２及び流出路３を備えたポンプヘ
ッド構成壁１の一側部には、エアシリンダ部１４により
駆動伸縮変形される第１ベローズ７とこのベローズ７内
に形成されたポンプ作用室９ａに交互に開閉作動する逆
止弁１６ａ，１６ｂとを設けて往復動ポンプ部４を構成
する。ポンプヘッド構成壁１の他側部には、ポンプ部４
から吐出される液体を貯溜可能な液体室２０ａと、該液
体室２０ａに対し隔離された空気室２０ｂとを形成する
伸縮変形可能な第２ベローズ１８を有し、液体室２０ａ
の容量変化でポンプ部４から吐出される液体の脈動を吸
収させる脈動低減部５を構成する。第２ベローズ１８の
伸び率を第１ベローズ１８のそれよりも大きくしてあ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用い
られる薬液の循環輸送などに好適に適用される脈動低減
装置付きポンプに関するものである。
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用い
られる薬液の循環輸送などに好適に適用される脈動低減
装置付きポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の脈動低減装置付きポンプとし
て、本出願人は、例えば特開平１０−１９６５２１号公
報に開示されているような構成のものを既に提案してい
る。そこでは、液体の流入路及び流出路を備えたポンプ
ヘッド構成壁と、このポンプヘッド構成壁の両側にエア
駆動型往復動ポンプ部と脈動低減部とを対向して一体に
配設している。エア駆動型の往復動ポンプ部は、前記ポ
ンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシング内を
軸線方向に沿って伸縮変形可能な第１ベローズと、この
第１ベローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部
と、前記第１ベローズの内側に該第１ベローズの伸縮変
形運動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐
出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備え
ている。一方、脈動低減部は、前記ポンプヘッド構成壁
の他側部に配設されたケーシング内に配設されて伸縮変
形可能な第２ベローズと、この第２ベローズの内側に形
成されて前記ポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出
される液体を一時的に貯溜可能にする液体室と、前記第
２ベローズの外側に前記液体室に対し隔離形成されて脈
動低減用の空気が封入される空気室とを備えていて、前
記第２ベローズの伸縮変形運動に伴う前記液体室の容量
変化により前記ポンプ作用室から吐出される液体の吐出
圧による脈動を減少させるように構成している。
て、本出願人は、例えば特開平１０−１９６５２１号公
報に開示されているような構成のものを既に提案してい
る。そこでは、液体の流入路及び流出路を備えたポンプ
ヘッド構成壁と、このポンプヘッド構成壁の両側にエア
駆動型往復動ポンプ部と脈動低減部とを対向して一体に
配設している。エア駆動型の往復動ポンプ部は、前記ポ
ンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシング内を
軸線方向に沿って伸縮変形可能な第１ベローズと、この
第１ベローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部
と、前記第１ベローズの内側に該第１ベローズの伸縮変
形運動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐
出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備え
ている。一方、脈動低減部は、前記ポンプヘッド構成壁
の他側部に配設されたケーシング内に配設されて伸縮変
形可能な第２ベローズと、この第２ベローズの内側に形
成されて前記ポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出
される液体を一時的に貯溜可能にする液体室と、前記第
２ベローズの外側に前記液体室に対し隔離形成されて脈
動低減用の空気が封入される空気室とを備えていて、前
記第２ベローズの伸縮変形運動に伴う前記液体室の容量
変化により前記ポンプ作用室から吐出される液体の吐出
圧による脈動を減少させるように構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のポンプにおい
て、ポンプの脈動低減作用は、例えば、往復動ポンプ部
から吐出された高い移送液圧を第２ベローズに受け入れ
る場合は、第２ベローズを伸長させながらこの第２ベロ
ーズの液室内へ該移送液を流入させることによりその高
移送液圧を吸収し、一時第２ベローズの液室内に移送液
を貯溜して移送液圧を低下させつつ流出路から吐出する
ことにより行われる。そして、この場合、この第２ベロ
ーズの伸長動作は、第２ベローズの液室内に流入する移
送液圧と、該第２ベローズを介して移送液圧に抗して作
用する空気室圧とのバランスにより左右されるが、一般
に、第２ベローズの伸長に応じた第２ベローズの伸長変
位分の空気室圧縮に伴う空気室の圧力増の影響を極力受
けることなく、該移送液圧に応じて第２ベローズが自由
に伸長できる程、高い緩衝機能が得られる。
て、ポンプの脈動低減作用は、例えば、往復動ポンプ部
から吐出された高い移送液圧を第２ベローズに受け入れ
る場合は、第２ベローズを伸長させながらこの第２ベロ
ーズの液室内へ該移送液を流入させることによりその高
移送液圧を吸収し、一時第２ベローズの液室内に移送液
を貯溜して移送液圧を低下させつつ流出路から吐出する
ことにより行われる。そして、この場合、この第２ベロ
ーズの伸長動作は、第２ベローズの液室内に流入する移
送液圧と、該第２ベローズを介して移送液圧に抗して作
用する空気室圧とのバランスにより左右されるが、一般
に、第２ベローズの伸長に応じた第２ベローズの伸長変
位分の空気室圧縮に伴う空気室の圧力増の影響を極力受
けることなく、該移送液圧に応じて第２ベローズが自由
に伸長できる程、高い緩衝機能が得られる。
【０００４】しかるに、上記脈動低減装置付きポンプの
第１ベローズは、一般に、半導体製造装置等に用いられ
る処理薬液の循環輸送に適合すべく耐熱性、耐薬品性に
優れるポリ四フッ化エチレンなどのフッ素樹脂で成形さ
れており、第２ベローズもそれと同じ樹脂材料で同一厚
に成形されたものが使用されていて、第１ベローズ及び
第２ベローズの両者の伸び率が全く同じに構成されてい
る。そのため、第２ベローズがポンプ部からの吐出圧力
の変動に対して遅速的に追随して伸縮する傾向にあり、
つまり第２ベローズの脈圧に対する応答性が遅くなるた
め、脈動減少効果を十分に上げることができなかった。
第１ベローズは、一般に、半導体製造装置等に用いられ
る処理薬液の循環輸送に適合すべく耐熱性、耐薬品性に
優れるポリ四フッ化エチレンなどのフッ素樹脂で成形さ
れており、第２ベローズもそれと同じ樹脂材料で同一厚
に成形されたものが使用されていて、第１ベローズ及び
第２ベローズの両者の伸び率が全く同じに構成されてい
る。そのため、第２ベローズがポンプ部からの吐出圧力
の変動に対して遅速的に追随して伸縮する傾向にあり、
つまり第２ベローズの脈圧に対する応答性が遅くなるた
め、脈動減少効果を十分に上げることができなかった。
【０００５】本発明は、このような問題を解消するため
になされたもので、脈動減少効果をより一層高めること
のできる脈動低減装置付きポンプを提供することを目的
する。
になされたもので、脈動減少効果をより一層高めること
のできる脈動低減装置付きポンプを提供することを目的
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、図１に例示す
るように、液体の流入路２及び流出路３を備えたポンプ
ヘッド構成壁１と、上記ポンプヘッド構成壁１の一側部
に配設されたケーシング６内を軸線方向に沿って伸縮変
形可能な樹脂製の第１ベローズ７と、この第１ベローズ
７を駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部１４と、上
記第１ベローズ７の内側に該第１ベローズの伸縮変形運
動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作
用を行う逆止弁１６ａ，１６ｂが設けられたポンプ作用
室９ａとを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部４
と、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部に配設されたケ
ーシング１７内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第
２ベローズ１８と、この第２ベローズ１８の内側に形成
されて上記ポンプ作用室９ａから吐出用逆止弁１６ｂを
経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする液体室２
０ａと、上記第２ベローズ１８の外側に上記液体室２０
ａに対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される
空気室２０ｂとを備えて、上記第２ベローズ１８の伸縮
変形運動に伴う上記液体室２０ａの容量変化により上記
ポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧による脈
動を吸収させるように構成した脈動低減部５と、を備え
ている脈動低減装置付きポンプにおいて、上記第２ベロ
ーズ１８の伸び率を上記第１ベローズ７のそれよりも大
きく設定してあることに特徴を有するものである。ここ
において、伸び率とは第１，２ベローズのそれぞれの内
部に或る圧力を加えた場合の各ベローズの伸縮部分の伸
び率を意味する。
るように、液体の流入路２及び流出路３を備えたポンプ
ヘッド構成壁１と、上記ポンプヘッド構成壁１の一側部
に配設されたケーシング６内を軸線方向に沿って伸縮変
形可能な樹脂製の第１ベローズ７と、この第１ベローズ
７を駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部１４と、上
記第１ベローズ７の内側に該第１ベローズの伸縮変形運
動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作
用を行う逆止弁１６ａ，１６ｂが設けられたポンプ作用
室９ａとを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部４
と、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部に配設されたケ
ーシング１７内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第
２ベローズ１８と、この第２ベローズ１８の内側に形成
されて上記ポンプ作用室９ａから吐出用逆止弁１６ｂを
経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする液体室２
０ａと、上記第２ベローズ１８の外側に上記液体室２０
ａに対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される
空気室２０ｂとを備えて、上記第２ベローズ１８の伸縮
変形運動に伴う上記液体室２０ａの容量変化により上記
ポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧による脈
動を吸収させるように構成した脈動低減部５と、を備え
ている脈動低減装置付きポンプにおいて、上記第２ベロ
ーズ１８の伸び率を上記第１ベローズ７のそれよりも大
きく設定してあることに特徴を有するものである。ここ
において、伸び率とは第１，２ベローズのそれぞれの内
部に或る圧力を加えた場合の各ベローズの伸縮部分の伸
び率を意味する。
【０００７】上記第１ベローズ及び第２ベローズは同じ
樹脂材料で成形して、第２ベローズの肉厚を第１ベロー
ズのそれよりも薄くすることができる。この場合、第１
ベローズと第２ベローズの肉厚比（第２ベローズ／第１
ベローズ）は１未満とすることが好ましい。第１ベロー
ズ及び第２ベローズの同じ成形樹脂材料としては耐熱
性、耐薬液性に優れるポリ四フッ化エチレンを用いるこ
とが望ましい。
樹脂材料で成形して、第２ベローズの肉厚を第１ベロー
ズのそれよりも薄くすることができる。この場合、第１
ベローズと第２ベローズの肉厚比（第２ベローズ／第１
ベローズ）は１未満とすることが好ましい。第１ベロー
ズ及び第２ベローズの同じ成形樹脂材料としては耐熱
性、耐薬液性に優れるポリ四フッ化エチレンを用いるこ
とが望ましい。
【０００８】
【作用】エアシリンダ部を介して往復動ポンプ部の第１
ベローズを駆動伸縮変形運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復されて所定
のポンプ作用が行われる。このとき、ポンプ作用室から
上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は脈動低減部の
液体室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液
体の吐出圧の脈動の山部においては第２ベローズが液体
室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、
脈動の谷部においては第２ベローズが液体室容量を減少
する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸
収することによって、液体を脈動少なく連続してスムー
ズに流出させることが可能となる。
ベローズを駆動伸縮変形運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復されて所定
のポンプ作用が行われる。このとき、ポンプ作用室から
上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は脈動低減部の
液体室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液
体の吐出圧の脈動の山部においては第２ベローズが液体
室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、
脈動の谷部においては第２ベローズが液体室容量を減少
する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸
収することによって、液体を脈動少なく連続してスムー
ズに流出させることが可能となる。
【０００９】とくに、第２ベローズの伸び率を第１ベロ
ーズのそれよりも大きく設定してあると、第２ベローズ
の脈圧に対する応答性がきわめて良好になるため、脈動
低減効果をより一層高めることができる。
ーズのそれよりも大きく設定してあると、第２ベローズ
の脈圧に対する応答性がきわめて良好になるため、脈動
低減効果をより一層高めることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１及び図２
に基づいて説明する。図１は本発明に係る脈動低減装置
付きポンプの全体縦断正面図、図２は給排気用切換弁機
構の拡大縦断正面図である。
に基づいて説明する。図１は本発明に係る脈動低減装置
付きポンプの全体縦断正面図、図２は給排気用切換弁機
構の拡大縦断正面図である。
【００１１】図１において、１は液体の流入路２及び流
出路３が形成されたポンプヘッド構成壁で、このポンプ
ヘッド構成壁１の両側にエア駆動型往復動ポンプ部４と
脈動低減部５とを対向して一体に配設している。ポンプ
ヘッド構成壁１の一側部に有底筒状のケーシング６が連
設固定されている。このケーシング６内にその筒軸線方
向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第１ベローズ７が
配設されている。この第１ベローズ７の開口周縁部７ａ
は環状固定板８によりポンプヘッド構成壁１の一側面に
気密状に押圧固定することにより、ケーシング６の内部
空間を第１ベローズ７内のポンプ作用室９ａと第１ベロ
ーズ７外のポンプ作動室９ｂとに密閉区画されている。
出路３が形成されたポンプヘッド構成壁で、このポンプ
ヘッド構成壁１の両側にエア駆動型往復動ポンプ部４と
脈動低減部５とを対向して一体に配設している。ポンプ
ヘッド構成壁１の一側部に有底筒状のケーシング６が連
設固定されている。このケーシング６内にその筒軸線方
向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第１ベローズ７が
配設されている。この第１ベローズ７の開口周縁部７ａ
は環状固定板８によりポンプヘッド構成壁１の一側面に
気密状に押圧固定することにより、ケーシング６の内部
空間を第１ベローズ７内のポンプ作用室９ａと第１ベロ
ーズ７外のポンプ作動室９ｂとに密閉区画されている。
【００１２】ケーシング６の底壁部６ａの外側には、第
１ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに連結部材１０を介して
固定連結されたピストン体１１を摺動可能に内蔵するシ
リンダ体１２が固定されており、このシリンダ体１２及
び上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した空気孔１３
ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気をシリンダ
体１２の内部又はポンプ作動室９ｂに供給することによ
って、第１ベローズ７を駆動伸縮変形運動させるエアシ
リンダ部１４が構成されている。エアシリンダ部１４に
は近接センサー２５ａ，２５ｂが取り付けられる一方、
ピストン体１１にセンサー感知板２６が取り付けられ、
ピストン体１１の往復動に伴いセンサー感知板２６が近
接センサー２５ａ，２５ｂに交互に近接することにより
上記加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気のシリンダー体１２内への供給とポンプ作動室９ｂ
への供給とを自動的に切り替える。
１ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに連結部材１０を介して
固定連結されたピストン体１１を摺動可能に内蔵するシ
リンダ体１２が固定されており、このシリンダ体１２及
び上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した空気孔１３
ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気をシリンダ
体１２の内部又はポンプ作動室９ｂに供給することによ
って、第１ベローズ７を駆動伸縮変形運動させるエアシ
リンダ部１４が構成されている。エアシリンダ部１４に
は近接センサー２５ａ，２５ｂが取り付けられる一方、
ピストン体１１にセンサー感知板２６が取り付けられ、
ピストン体１１の往復動に伴いセンサー感知板２６が近
接センサー２５ａ，２５ｂに交互に近接することにより
上記加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気のシリンダー体１２内への供給とポンプ作動室９ｂ
への供給とを自動的に切り替える。
【００１３】また、上記ポンプ作用室９ａにそれぞれ開
口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂ
は、上記流入路２及び流出路３に連通されている。これ
ら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞれ、第１ベ
ローズ７の駆動伸縮変形に伴って交互に開閉作動する吸
入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設けられて
いる。以上の各構成要素により上記往復動ポンプ部４が
構成される。
口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂ
は、上記流入路２及び流出路３に連通されている。これ
ら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞれ、第１ベ
ローズ７の駆動伸縮変形に伴って交互に開閉作動する吸
入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設けられて
いる。以上の各構成要素により上記往復動ポンプ部４が
構成される。
【００１４】一方、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部
に有底筒状のケーシング１７が上記ケーシング６と同軸
状に固定連設されている。このケーシング１７内にも上
記ポンプ部４における第１ベローズ７に対向させて、そ
の筒軸線方向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第２ベ
ローズ１８が配設されており、この第２ベローズ１８の
開口周縁部１８ａを環状固定板１９により上記ポンプヘ
ッド構成壁１の他側面に気密状に押圧固定することによ
り、ケーシング１７の内部空間が、第２ベローズ１８内
でポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及びポンプヘ
ッド構成壁１の肉厚内に貫通形成した連通路２１を経て
吐出される液体を一時的に貯溜する液体室２０ａと、第
２ベローズ１８外で脈動低減用の空気が封入される空気
室２０ｂとに隔離形成されている。
に有底筒状のケーシング１７が上記ケーシング６と同軸
状に固定連設されている。このケーシング１７内にも上
記ポンプ部４における第１ベローズ７に対向させて、そ
の筒軸線方向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第２ベ
ローズ１８が配設されており、この第２ベローズ１８の
開口周縁部１８ａを環状固定板１９により上記ポンプヘ
ッド構成壁１の他側面に気密状に押圧固定することによ
り、ケーシング１７の内部空間が、第２ベローズ１８内
でポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及びポンプヘ
ッド構成壁１の肉厚内に貫通形成した連通路２１を経て
吐出される液体を一時的に貯溜する液体室２０ａと、第
２ベローズ１８外で脈動低減用の空気が封入される空気
室２０ｂとに隔離形成されている。
【００１５】以上の各構成要素によって、第２ベローズ
１８の伸縮変形に伴う液体室２０ａの容量変化によりポ
ンプ部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出
圧による脈動を吸収減衰させる上記脈動低減部５が構成
されている。
１８の伸縮変形に伴う液体室２０ａの容量変化によりポ
ンプ部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出
圧による脈動を吸収減衰させる上記脈動低減部５が構成
されている。
【００１６】そして、上記脈動低減部５におけるケーシ
ング１７の底壁部１７ａの外面中央付近に開口２７を形
成し、この開口２７内にフランジ２３ａ付きのバルブケ
ース２３を嵌合するとともに、フランジ２３ａを底壁部
１７ａの外側にボルト２４等で着脱可能に締結固定して
いる。
ング１７の底壁部１７ａの外面中央付近に開口２７を形
成し、この開口２７内にフランジ２３ａ付きのバルブケ
ース２３を嵌合するとともに、フランジ２３ａを底壁部
１７ａの外側にボルト２４等で着脱可能に締結固定して
いる。
【００１７】図２に示すように、バルブケース２３には
給気口３１と排気口３２とを平行に並べて形成してい
る。給気口３１には、上記液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて増大したとき、上記空気室２０ｂ内へ移送液
の最大圧力値以上の圧力の空気を供給して空気室２０ｂ
内の封入圧を上昇させる自動給気バルブ機構３３が設け
られる。排気口３２には、液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて減少したとき、空気室２０ｂ内から排気して
該空気室２０ｂ内の封入圧を下降させる自動排気バルブ
機構３４が設けられる。
給気口３１と排気口３２とを平行に並べて形成してい
る。給気口３１には、上記液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて増大したとき、上記空気室２０ｂ内へ移送液
の最大圧力値以上の圧力の空気を供給して空気室２０ｂ
内の封入圧を上昇させる自動給気バルブ機構３３が設け
られる。排気口３２には、液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて減少したとき、空気室２０ｂ内から排気して
該空気室２０ｂ内の封入圧を下降させる自動排気バルブ
機構３４が設けられる。
【００１８】上記自動給気バルブ機構３３は、バルブケ
ース２３に給気口３１と連通状に形成した給気弁室３５
と、この弁室３５内でその軸線方向に沿って摺動自在で
給気口３１を開閉作動する給気弁体３６と、この弁体３
６を常に閉成位置に付勢するスプリング３７と、内端部
に給気弁体３６の弁座３８を備えるとともに給気弁室３
５と空気室２０ｂとを連通させる貫通孔３９を有してバ
ルブケース２３にねじ込み固定されたガイド部材４０
と、このガイド部材４０の貫通孔３９内にスライド自在
に挿通された弁押し棒４１と、有してなる。液体室２０
ａ内の液圧が平均圧の状態で第２ベローズ１８が基準位
置Ｓにある状態では、給気弁体３６がガイド部材４０の
弁座３８に密接して給気口３１を閉成するとともに、弁
押し棒４１の空気室２０ｂ内に臨む端部４１ａが第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂとストロークＡだけ離間し
ている。
ース２３に給気口３１と連通状に形成した給気弁室３５
と、この弁室３５内でその軸線方向に沿って摺動自在で
給気口３１を開閉作動する給気弁体３６と、この弁体３
６を常に閉成位置に付勢するスプリング３７と、内端部
に給気弁体３６の弁座３８を備えるとともに給気弁室３
５と空気室２０ｂとを連通させる貫通孔３９を有してバ
ルブケース２３にねじ込み固定されたガイド部材４０
と、このガイド部材４０の貫通孔３９内にスライド自在
に挿通された弁押し棒４１と、有してなる。液体室２０
ａ内の液圧が平均圧の状態で第２ベローズ１８が基準位
置Ｓにある状態では、給気弁体３６がガイド部材４０の
弁座３８に密接して給気口３１を閉成するとともに、弁
押し棒４１の空気室２０ｂ内に臨む端部４１ａが第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂとストロークＡだけ離間し
ている。
【００１９】一方、上記自動排気バルブ機構３４は、バ
ルブケース２３に排気口３２と連通状に形成した排気弁
室４２と、この弁室４２内でその軸線方向に沿って摺動
自在で排気口３２を開閉作動する排気弁体４３と、この
弁体４３を先端に、鍔部４４を後端にそれぞれ備えた排
気弁棒４５と、排気弁室４２内にねじ込み固定され、排
気弁棒４５が挿通される貫通孔４６を有するスプリング
受体４７と、排気弁棒４５の後端側にスライド自在に挿
通され、鍔部４４で抜止めされている筒形のスライダー
４８と、排気弁体４３とスプリング受体４７との間に配
設された閉成用スプリング４９と、スプリング受体４７
とスライダー４８との間に配された開成用スプリング５
０と、を有してなる。スプリング受体４７の貫通孔４６
の内径は排気弁棒４５の軸径よりも大きくて両者間に隙
間５１が形成され、この隙間５１を介して排気弁室４２
と空気室２０ｂとが連通している。第２ベローズ１８が
基準位置Ｓにある状態において、排気弁体４３は排気口
３２を閉成するとともに排気弁棒４５の後端の鍔部４４
はスライダー４８の閉鎖端部４８ａの内面からストロー
クＢだけ離間している。
ルブケース２３に排気口３２と連通状に形成した排気弁
室４２と、この弁室４２内でその軸線方向に沿って摺動
自在で排気口３２を開閉作動する排気弁体４３と、この
弁体４３を先端に、鍔部４４を後端にそれぞれ備えた排
気弁棒４５と、排気弁室４２内にねじ込み固定され、排
気弁棒４５が挿通される貫通孔４６を有するスプリング
受体４７と、排気弁棒４５の後端側にスライド自在に挿
通され、鍔部４４で抜止めされている筒形のスライダー
４８と、排気弁体４３とスプリング受体４７との間に配
設された閉成用スプリング４９と、スプリング受体４７
とスライダー４８との間に配された開成用スプリング５
０と、を有してなる。スプリング受体４７の貫通孔４６
の内径は排気弁棒４５の軸径よりも大きくて両者間に隙
間５１が形成され、この隙間５１を介して排気弁室４２
と空気室２０ｂとが連通している。第２ベローズ１８が
基準位置Ｓにある状態において、排気弁体４３は排気口
３２を閉成するとともに排気弁棒４５の後端の鍔部４４
はスライダー４８の閉鎖端部４８ａの内面からストロー
クＢだけ離間している。
【００２０】バルブケース２３の空気室側端は図２に仮
想線５２で示すごとく空気室２０ｂ内の方向に延長さ
せ、この延長端に、第２ベローズ１８が液体室２０ａを
拡大させる方向に所定のストロークＡを越えて上記弁押
し棒４１を動作させるまで移動したときに第２ベローズ
１８のそれ以上の移動を規制するためのストッパー５３
を設けることができる。この場合は、ケーシング１７の
内面から空気室２０ｂへ突設した同一目的のストッパー
壁５５（図１参照）は省略することができる。
想線５２で示すごとく空気室２０ｂ内の方向に延長さ
せ、この延長端に、第２ベローズ１８が液体室２０ａを
拡大させる方向に所定のストロークＡを越えて上記弁押
し棒４１を動作させるまで移動したときに第２ベローズ
１８のそれ以上の移動を規制するためのストッパー５３
を設けることができる。この場合は、ケーシング１７の
内面から空気室２０ｂへ突設した同一目的のストッパー
壁５５（図１参照）は省略することができる。
【００２１】次に、上記構成の脈動装置付きポンプの動
作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気を往復動ポ
ンプ部４におけるエアシリンダ部１４のシリンダ体１２
の内部に空気孔１３ｂを介して供給して、ピストン体１
１及び連結部材１０を図１のｘ方向へ変位させることに
より第１ベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させる
と、流入路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経て
ポンプ作用室９ａ内に吸入される。上記加圧空気をエア
シリンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に空気孔１３ｂを
介して供給するとともに、空気孔１３ｂから排気して第
１ベローズ７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポン
プ作用室９ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１
６ｂを経て吐出される。このように、エアシリンダ部１
４を介して往復動ポンプ部４における第１ベローズ７を
駆動伸縮変形運動させることにより、吸入用逆止弁１６
ａと吐出用逆止弁１６ｂとが交互に開閉作動して流入路
２からポンプ作用室９ａへの液体の吸入と、ポンプ作用
室９ａ内から流出路３への液体の吐出とが反復されて所
定のポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプ部
４の作動により移送液体が所定の部位に向けて送給され
ると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによる脈
動を発生する。
作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気を往復動ポ
ンプ部４におけるエアシリンダ部１４のシリンダ体１２
の内部に空気孔１３ｂを介して供給して、ピストン体１
１及び連結部材１０を図１のｘ方向へ変位させることに
より第１ベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させる
と、流入路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経て
ポンプ作用室９ａ内に吸入される。上記加圧空気をエア
シリンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に空気孔１３ｂを
介して供給するとともに、空気孔１３ｂから排気して第
１ベローズ７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポン
プ作用室９ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１
６ｂを経て吐出される。このように、エアシリンダ部１
４を介して往復動ポンプ部４における第１ベローズ７を
駆動伸縮変形運動させることにより、吸入用逆止弁１６
ａと吐出用逆止弁１６ｂとが交互に開閉作動して流入路
２からポンプ作用室９ａへの液体の吸入と、ポンプ作用
室９ａ内から流出路３への液体の吐出とが反復されて所
定のポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプ部
４の作動により移送液体が所定の部位に向けて送給され
ると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによる脈
動を発生する。
【００２２】ここで、上記ポンプ部４におけるポンプ作
用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移
送液体は、連通路２１を通って脈動低減部５における液
体室２０ａ内に送られ、この液体室２０ａに一時的に貯
溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送
液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体
は液体室２０ａの容量を増大するように第２ベローズ１
８を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。この
時、液体室２０ａから流出される移送液体の流量は往復
動ポンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくな
る。
用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移
送液体は、連通路２１を通って脈動低減部５における液
体室２０ａ内に送られ、この液体室２０ａに一時的に貯
溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送
液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体
は液体室２０ａの容量を増大するように第２ベローズ１
８を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。この
時、液体室２０ａから流出される移送液体の流量は往復
動ポンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくな
る。
【００２３】また、上記移送液体の吐出圧が吐出圧曲線
の谷部にさしかかると、第２ベローズ１８の伸長変形に
伴い圧縮された空気室２０ｂ内の封入圧よりも移送液体
の圧力が低くなるので、第２ベローズ１８は収縮変形す
る。この時、往復動ポンプ部４から液体室２０ａ内に流
入する移送液体の流量よりも液体室２０ａから流出する
流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液体室２０
ａの容量変化によって上記脈動が吸収され低減される。
の谷部にさしかかると、第２ベローズ１８の伸長変形に
伴い圧縮された空気室２０ｂ内の封入圧よりも移送液体
の圧力が低くなるので、第２ベローズ１８は収縮変形す
る。この時、往復動ポンプ部４から液体室２０ａ内に流
入する移送液体の流量よりも液体室２０ａから流出する
流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液体室２０
ａの容量変化によって上記脈動が吸収され低減される。
【００２４】ところで、上記のような動作中において、
往復動ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送
液体によって液体室２０ａの容量が増大し、第２ベロー
ズ１８が大きく伸長変形することになる。この第２ベロ
ーズ１８の伸長変形量が所定範囲Ａを越えると、第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂが弁押し棒４１を弁室内方
向へ押す。これによって、自動給気バルブ機構３３にお
ける給気弁体３６がスプリング３７に抗して開成されて
給気口３１を通じて高い空気圧が空気室２０ｂ内へ供給
され、該空気室２０ｂ内の封入圧が上昇する。したがっ
て、第２ベローズ１８のストロークＡを越えての伸長変
形量が規制されて、液体室２０ａの容量が過度に増大す
ることが抑えられる。その際、バルブケース２３の空気
室側端に上記ストッパー５３を設けておくと、第２ベロ
ーズ１８の閉鎖端部１８ｂが該ストッパー５３に当接
し、第２ベローズ１８が過剰に伸長変形するのを確実に
防止できるため、その破損予防に有利である。そして、
空気室２０ｂ内の封入圧の上昇に伴い第２ベローズ１８
が基準位置Ｓに向けて収縮するので、弁押し棒４１が第
２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂから離れ、給気弁体３
６が再び閉成位置に戻って空気室２０ｂ内の封入圧が調
整状態に固定される。
往復動ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送
液体によって液体室２０ａの容量が増大し、第２ベロー
ズ１８が大きく伸長変形することになる。この第２ベロ
ーズ１８の伸長変形量が所定範囲Ａを越えると、第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂが弁押し棒４１を弁室内方
向へ押す。これによって、自動給気バルブ機構３３にお
ける給気弁体３６がスプリング３７に抗して開成されて
給気口３１を通じて高い空気圧が空気室２０ｂ内へ供給
され、該空気室２０ｂ内の封入圧が上昇する。したがっ
て、第２ベローズ１８のストロークＡを越えての伸長変
形量が規制されて、液体室２０ａの容量が過度に増大す
ることが抑えられる。その際、バルブケース２３の空気
室側端に上記ストッパー５３を設けておくと、第２ベロ
ーズ１８の閉鎖端部１８ｂが該ストッパー５３に当接
し、第２ベローズ１８が過剰に伸長変形するのを確実に
防止できるため、その破損予防に有利である。そして、
空気室２０ｂ内の封入圧の上昇に伴い第２ベローズ１８
が基準位置Ｓに向けて収縮するので、弁押し棒４１が第
２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂから離れ、給気弁体３
６が再び閉成位置に戻って空気室２０ｂ内の封入圧が調
整状態に固定される。
【００２５】一方、往復動ポンプ部４からの吐出圧が下
降変動すると、移送液体によって液体室２０ａの容量が
減少し、第２ベローズ１８が大きく収縮変形することに
なる。この第２ベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂ
を越えると、第２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂの収縮
方向ｂへの移動に伴って自動排気バルブ機構３４のスラ
イダー４８が開成用スプリング５０の付勢作用により第
２ベローズ１８の収縮方向ｂへ移動し、スライダー４８
の閉鎖端部４８ａの内面が排気弁棒４５の鍔部４４に係
合する。これによって、排気弁棒４５がｂ方向に移動し
て排気弁体４３が排気口３２を開成するので、空気室２
０ｂ内の封入空気が排気口３２から大気中に排出されて
空気室２０ｂ内の封入圧が低下する。したがって、第２
ベローズ１８のストロークＢを越えての収縮変形量が規
制されて、液体室２０ａの容量が過度に減少することが
抑えられる。そして、空気室２０ｂ内の封入圧の減少に
伴い第２ベローズ１８が基準位置Ｓに向けて伸長するの
で、スライダー４８が第２ベローズ１８の閉鎖端部１８
ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用スプリング５
０を圧縮させ、排気弁体４３が閉成用スプリング４９の
付勢作用で再び排気口３２を閉成する。これによって空
気室２０ｂ内の封入圧が調整状態に固定される。その結
果、往復動ポンプ部４のポンプ作用室９ａからの吐出圧
の変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が
小さく抑えられることになる。
降変動すると、移送液体によって液体室２０ａの容量が
減少し、第２ベローズ１８が大きく収縮変形することに
なる。この第２ベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂ
を越えると、第２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂの収縮
方向ｂへの移動に伴って自動排気バルブ機構３４のスラ
イダー４８が開成用スプリング５０の付勢作用により第
２ベローズ１８の収縮方向ｂへ移動し、スライダー４８
の閉鎖端部４８ａの内面が排気弁棒４５の鍔部４４に係
合する。これによって、排気弁棒４５がｂ方向に移動し
て排気弁体４３が排気口３２を開成するので、空気室２
０ｂ内の封入空気が排気口３２から大気中に排出されて
空気室２０ｂ内の封入圧が低下する。したがって、第２
ベローズ１８のストロークＢを越えての収縮変形量が規
制されて、液体室２０ａの容量が過度に減少することが
抑えられる。そして、空気室２０ｂ内の封入圧の減少に
伴い第２ベローズ１８が基準位置Ｓに向けて伸長するの
で、スライダー４８が第２ベローズ１８の閉鎖端部１８
ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用スプリング５
０を圧縮させ、排気弁体４３が閉成用スプリング４９の
付勢作用で再び排気口３２を閉成する。これによって空
気室２０ｂ内の封入圧が調整状態に固定される。その結
果、往復動ポンプ部４のポンプ作用室９ａからの吐出圧
の変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が
小さく抑えられることになる。
【００２６】上記実施例の脈動低減装置付きポンプでは
往復動ポンプ部４が単一の第１ベローズ７を備えてなる
が、図３のように往復動ポンプ部４は一対の第１ベロー
ズ７，７を備えるタイプのものにも同様に適用できる。
往復動ポンプ部４が単一の第１ベローズ７を備えてなる
が、図３のように往復動ポンプ部４は一対の第１ベロー
ズ７，７を備えるタイプのものにも同様に適用できる。
【００２７】図３の脈動低減装置付きポンプは、流体の
流入路２及び流出路３を備えたポンプヘッド構成壁１の
両側に固定連設された筒状のケーシング６Ａ，６Ｂ内に
それぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対の第１ベロー
ズ７，７を相対向状態に配設し、これら一対の第１ベロ
ーズ７，７の開口周縁部７ａ，７ａを環状固定板８，８
を介してポンプヘッド構成壁１に気密状に固定すること
によりケーシング６Ａ，６Ｂの内部空間をポンプ作用室
９ａ，９ａとポンプ作動室９ｂ，９ｂとに密封区画して
なる一対のポンプ部４Ａ，４Ｂが構成されている。
流入路２及び流出路３を備えたポンプヘッド構成壁１の
両側に固定連設された筒状のケーシング６Ａ，６Ｂ内に
それぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対の第１ベロー
ズ７，７を相対向状態に配設し、これら一対の第１ベロ
ーズ７，７の開口周縁部７ａ，７ａを環状固定板８，８
を介してポンプヘッド構成壁１に気密状に固定すること
によりケーシング６Ａ，６Ｂの内部空間をポンプ作用室
９ａ，９ａとポンプ作動室９ｂ，９ｂとに密封区画して
なる一対のポンプ部４Ａ，４Ｂが構成されている。
【００２８】そして、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけ
る一対の第１ベローズ７，７はポンプヘッド構成壁１を
貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド５５
を介して、一方の第１ベローズ７が縮小動作するとき他
方の第１ベローズ７が伸長動作するように連動連結され
ている。また、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけるポン
プ作用室９ａ，９ａにそれぞれ開口するように形成され
た吸入口１５ａ、１５ａ及び吐出口１５ｂ，１５ｂはそ
れぞれ流入路２及び流出路３に連通されているととも
に、これら各吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞ
れ、吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設け
られている。さらに、ケーシング６Ａ，６Ｂの底壁部６
ａ，６ｂにはポンプ作動室９ｂ，９ｂに所定時間毎に加
圧空気を交互に供給する空気孔１３ａ，１３ａが形成さ
れている。
る一対の第１ベローズ７，７はポンプヘッド構成壁１を
貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド５５
を介して、一方の第１ベローズ７が縮小動作するとき他
方の第１ベローズ７が伸長動作するように連動連結され
ている。また、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけるポン
プ作用室９ａ，９ａにそれぞれ開口するように形成され
た吸入口１５ａ、１５ａ及び吐出口１５ｂ，１５ｂはそ
れぞれ流入路２及び流出路３に連通されているととも
に、これら各吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞ
れ、吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設け
られている。さらに、ケーシング６Ａ，６Ｂの底壁部６
ａ，６ｂにはポンプ作動室９ｂ，９ｂに所定時間毎に加
圧空気を交互に供給する空気孔１３ａ，１３ａが形成さ
れている。
【００２９】しかるときは、コンプレッサー等の加圧空
気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を所定
時間毎に交互に空気孔１３ａ，１３ａを通してポンプ作
動室９ｂ，９ｂに供給することにより、一対の第１ベロ
ーズ７，７を連結ロッド５５を介して可逆的に伸縮変形
駆動させて一対のポンプ部４Ａ，４Ｂの吸入工程と吐出
工程とを交互に行わせ、これによって流入路２からポン
プ作用室９ａ，９ａに流入される流体を流出路３へほぼ
連続的に吐出させるといったポンプ作用が行われる。
気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を所定
時間毎に交互に空気孔１３ａ，１３ａを通してポンプ作
動室９ｂ，９ｂに供給することにより、一対の第１ベロ
ーズ７，７を連結ロッド５５を介して可逆的に伸縮変形
駆動させて一対のポンプ部４Ａ，４Ｂの吸入工程と吐出
工程とを交互に行わせ、これによって流入路２からポン
プ作用室９ａ，９ａに流入される流体を流出路３へほぼ
連続的に吐出させるといったポンプ作用が行われる。
【００３０】このような一対の第１ベローズ７，７を備
える往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂには、図４に示す脈動低
減部５が一体的に接合される。この脈動低減部５は、図
１のケーシング１７とほぼ同じ形状のケーシング１７の
一側壁１７ｂに往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５
ｂと連通状に接続される流入口５６と、往復動ポンプ部
４Ａ，４Ｂの流出路３と連通状に接続される流出口５７
とを有する。このケーシング１７内の一側部には、往復
動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５ｂからの移送液を流
入口５６を介して取り込んで一時的に貯溜して流出口５
７から流出させる液体室２０ａが形成され、ケーシング
１７内の他側部には空気室２０ｂが形成される。これら
液体室２０ａと空気室２０ｂとは第２ベローズ１８によ
って隔離されている。そしてケーシング１７の他側壁１
７ａには開口２７が形成され、この開口２７に上記実施
例の自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４と同じものが設けられているバルブケース２３がボル
ト２４等で取り付けられている。これら脈動低減部５、
自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３４の
それぞれの構成及び作用については上記実施例のものと
同一であるため、その説明は省略する。
える往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂには、図４に示す脈動低
減部５が一体的に接合される。この脈動低減部５は、図
１のケーシング１７とほぼ同じ形状のケーシング１７の
一側壁１７ｂに往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５
ｂと連通状に接続される流入口５６と、往復動ポンプ部
４Ａ，４Ｂの流出路３と連通状に接続される流出口５７
とを有する。このケーシング１７内の一側部には、往復
動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５ｂからの移送液を流
入口５６を介して取り込んで一時的に貯溜して流出口５
７から流出させる液体室２０ａが形成され、ケーシング
１７内の他側部には空気室２０ｂが形成される。これら
液体室２０ａと空気室２０ｂとは第２ベローズ１８によ
って隔離されている。そしてケーシング１７の他側壁１
７ａには開口２７が形成され、この開口２７に上記実施
例の自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４と同じものが設けられているバルブケース２３がボル
ト２４等で取り付けられている。これら脈動低減部５、
自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３４の
それぞれの構成及び作用については上記実施例のものと
同一であるため、その説明は省略する。
【００３１】上記の各実施例のように構成する脈動低減
装置付きポンプにおいて、本発明は、第２ベローズ１８
の伸び率を第１ベローズ７のそれよりも大きく設定する
ことに特徴を有する。具体的には、第１ベローズ７及び
第２ベローズ１８は共に、耐熱性、耐薬品性に優れるＰ
ＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦＡ（パーフロロ
アルコキシ）等のフッ素樹脂、好ましくはポリ四フッ化
エチレンで成形するが、この場合、第１ベローズ７の肉
厚（例えば、２．０〜２．５ｍｍ）よりも第２ベローズ
１８の肉厚（例えば、１〜１．５ｍｍ）を薄くすること
により、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の肉厚比
（第２ベローズの厚み／第１ベローズの厚み）は１未満
とし、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の伸び率の比
（第２ベローズの伸び率／第１ベローズの伸び率）は１
を越える値とする。
装置付きポンプにおいて、本発明は、第２ベローズ１８
の伸び率を第１ベローズ７のそれよりも大きく設定する
ことに特徴を有する。具体的には、第１ベローズ７及び
第２ベローズ１８は共に、耐熱性、耐薬品性に優れるＰ
ＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦＡ（パーフロロ
アルコキシ）等のフッ素樹脂、好ましくはポリ四フッ化
エチレンで成形するが、この場合、第１ベローズ７の肉
厚（例えば、２．０〜２．５ｍｍ）よりも第２ベローズ
１８の肉厚（例えば、１〜１．５ｍｍ）を薄くすること
により、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の肉厚比
（第２ベローズの厚み／第１ベローズの厚み）は１未満
とし、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の伸び率の比
（第２ベローズの伸び率／第１ベローズの伸び率）は１
を越える値とする。
【００３２】第２ベローズ１８と第１ベローズ７の伸び
率比による脈動幅について比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の伸び率比がそれぞれ２、３、４であ
る場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実施例４の伸
び率比が６である場合は脈動幅が１３（％）、実施例５
の伸び率比がそれぞれ８、１０である場合はそれぞれの
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜５のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
結果が得られた。この場合、その伸び率の比が１０を越
えると、第２ベローズ１８の最大伸長長さが大きくなっ
て脈動低減部５の大型化を招くことになるため好ましく
ない。これに対し、比較例１の伸び率比が０．６である
場合は脈動幅が６０（％）、比較例２の伸び率比が０．
８である場合は脈動幅が３０（％）であって、比較例
１、２のいずれも脈動幅が大きくなり、好ましくなかっ
た。ただし、伸び率比＝第２ベローズの伸び率／第１ベ
ローズの伸び率、脈動幅（％）＝｛（最大吐出圧力−最
小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×１００である。
率比による脈動幅について比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の伸び率比がそれぞれ２、３、４であ
る場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実施例４の伸
び率比が６である場合は脈動幅が１３（％）、実施例５
の伸び率比がそれぞれ８、１０である場合はそれぞれの
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜５のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
結果が得られた。この場合、その伸び率の比が１０を越
えると、第２ベローズ１８の最大伸長長さが大きくなっ
て脈動低減部５の大型化を招くことになるため好ましく
ない。これに対し、比較例１の伸び率比が０．６である
場合は脈動幅が６０（％）、比較例２の伸び率比が０．
８である場合は脈動幅が３０（％）であって、比較例
１、２のいずれも脈動幅が大きくなり、好ましくなかっ
た。ただし、伸び率比＝第２ベローズの伸び率／第１ベ
ローズの伸び率、脈動幅（％）＝｛（最大吐出圧力−最
小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×１００である。
【００３３】第２ベローズ１８と第１ベローズ７の肉厚
比による脈動幅についても比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の肉厚比がそれぞれ１．０、０．９、
０．７である場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実
施例４の肉厚比が０．５である場合は脈動幅が１４
（％）、実施例５の肉厚比が０．３である場合は脈動幅
が１３（％）、実施例６の肉厚比が０．１である場合は
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜６のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
ましい結果が得られた。これに対し、比較例１の肉厚比
が１．１である場合は脈動幅が２０（％）、比較例２の
肉厚比が１．２である場合は脈動幅が３５（％）、比較
例３の肉厚比が１．３である場合は脈動幅が７０（％）
であって、いずれの比較例の場合も脈動幅が比較的大き
くなり、好ましくなかった。ただし、肉厚比＝（第２ベ
ローズの厚み／第１ベローズの厚み）、脈動幅（％）＝
｛（最大吐出圧力−最小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×
１００である。
比による脈動幅についても比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の肉厚比がそれぞれ１．０、０．９、
０．７である場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実
施例４の肉厚比が０．５である場合は脈動幅が１４
（％）、実施例５の肉厚比が０．３である場合は脈動幅
が１３（％）、実施例６の肉厚比が０．１である場合は
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜６のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
ましい結果が得られた。これに対し、比較例１の肉厚比
が１．１である場合は脈動幅が２０（％）、比較例２の
肉厚比が１．２である場合は脈動幅が３５（％）、比較
例３の肉厚比が１．３である場合は脈動幅が７０（％）
であって、いずれの比較例の場合も脈動幅が比較的大き
くなり、好ましくなかった。ただし、肉厚比＝（第２ベ
ローズの厚み／第１ベローズの厚み）、脈動幅（％）＝
｛（最大吐出圧力−最小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×
１００である。
【００３４】第２ベローズ１８の伸び率を第１ベローズ
７のそれよりも大きく設定する手段としては、上記のよ
うに第１ベローズ７と第２ベローズ１８は共に同じ樹脂
材料で成形し、第２ベローズ１８の肉厚を第１ベローズ
７のそれよりも薄くするという手段のほかに、第１ベロ
ーズ７の成形樹脂材料の伸び率よりも大きい、それとは
異なる樹脂材料で第２ベローズ１８を成形することもで
きる。例えば、第１ベローズ７をＰＴＦＥ（ポリ四フッ
化エチレン）で、第２ベローズ１８をゴムで成形する。
７のそれよりも大きく設定する手段としては、上記のよ
うに第１ベローズ７と第２ベローズ１８は共に同じ樹脂
材料で成形し、第２ベローズ１８の肉厚を第１ベローズ
７のそれよりも薄くするという手段のほかに、第１ベロ
ーズ７の成形樹脂材料の伸び率よりも大きい、それとは
異なる樹脂材料で第２ベローズ１８を成形することもで
きる。例えば、第１ベローズ７をＰＴＦＥ（ポリ四フッ
化エチレン）で、第２ベローズ１８をゴムで成形する。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の脈動低減
装置付きポンプによれば、脈動低減効果を一段と高めら
れるという効果を奏する。
装置付きポンプによれば、脈動低減効果を一段と高めら
れるという効果を奏する。
【図１】脈動低減装置付きポンプの全体縦断正面図であ
る。
る。
【図２】同ポンプの給排気用切換弁機構の拡大縦断正面
図である。
図である。
【図３】他の実施例の脈動低減装置付きポンプの往復動
ポンプ部の縦断正面図である。
ポンプ部の縦断正面図である。
【図４】図３の脈動低減装置付きポンプの脈動低減部を
往復動ポンプ部から分離した状態で示す縦断正面図であ
る。
往復動ポンプ部から分離した状態で示す縦断正面図であ
る。
１ ポンプヘッド構成壁 ２ 流入路 ３ 流出路 ４ 往復動ポンプ部 ５ 脈動低減部 ６，１７ ケーシング ７ 第１ベローズ ９ａ ポンプ作用室 １４ エアシリンダ部 １６ａ 吸入用逆止弁 １６ｂ 吐出用逆止弁 １８ 第２ベローズ ２０ａ 液体室 ２０ｂ 空気室
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年１月９日（２００１．１．９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 脈動低減装置付きポンプ
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用い
られる薬液の循環輸送などに好適に適用される脈動低減
装置付きポンプに関するものである。
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用い
られる薬液の循環輸送などに好適に適用される脈動低減
装置付きポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の脈動低減装置付きポンプとし
て、本出願人は、例えば特開平１０−１９６５２１号公
報に開示されているような構成のものを既に提案してい
る。そこでは、液体の流入路及び流出路を備えたポンプ
ヘッド構成壁と、このポンプヘッド構成壁の両側にエア
駆動型往復動ポンプ部と脈動低減部とを対向して一体に
配設している。エア駆動型の往復動ポンプ部は、前記ポ
ンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシング内を
軸線方向に沿って伸縮変形可能な第１ベローズと、この
第１ベローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部
と、前記第１ベローズの内側に該第１ベローズの伸縮変
形運動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐
出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備え
ている。一方、脈動低減部は、前記ポンプヘッド構成壁
の他側部に配設されたケーシング内に配設されて伸縮変
形可能な第２ベローズと、この第２ベローズの内側に形
成されて前記ポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出
される液体を一時的に貯溜可能にする液体室と、前記第
２ベローズの外側に前記液体室に対し隔離形成されて脈
動低減用の空気が封入される空気室とを備えていて、前
記第２ベローズの伸縮変形運動に伴う前記液体室の容量
変化により前記ポンプ作用室から吐出される液体の吐出
圧による脈動を減少させるように構成している。
て、本出願人は、例えば特開平１０−１９６５２１号公
報に開示されているような構成のものを既に提案してい
る。そこでは、液体の流入路及び流出路を備えたポンプ
ヘッド構成壁と、このポンプヘッド構成壁の両側にエア
駆動型往復動ポンプ部と脈動低減部とを対向して一体に
配設している。エア駆動型の往復動ポンプ部は、前記ポ
ンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシング内を
軸線方向に沿って伸縮変形可能な第１ベローズと、この
第１ベローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部
と、前記第１ベローズの内側に該第１ベローズの伸縮変
形運動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐
出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備え
ている。一方、脈動低減部は、前記ポンプヘッド構成壁
の他側部に配設されたケーシング内に配設されて伸縮変
形可能な第２ベローズと、この第２ベローズの内側に形
成されて前記ポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出
される液体を一時的に貯溜可能にする液体室と、前記第
２ベローズの外側に前記液体室に対し隔離形成されて脈
動低減用の空気が封入される空気室とを備えていて、前
記第２ベローズの伸縮変形運動に伴う前記液体室の容量
変化により前記ポンプ作用室から吐出される液体の吐出
圧による脈動を減少させるように構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のポンプにおい
て、ポンプの脈動低減作用は、例えば、往復動ポンプ部
から吐出された高い移送液圧を第２ベローズに受け入れ
る場合は、第２ベローズを伸長させながらこの第２ベロ
ーズの液室内へ該移送液を流入させることによりその高
移送液圧を吸収し、一時第２ベローズの液室内に移送液
を貯溜して移送液圧を低下させつつ流出路から吐出する
ことにより行われる。そして、この場合、この第２ベロ
ーズの伸長動作は、第２ベローズの液室内に流入する移
送液圧と、該第２ベローズを介して移送液圧に抗して作
用する空気室圧とのバランスにより左右されるが、一般
に、第２ベローズの伸長に応じた第２ベローズの伸長変
位分の空気室圧縮に伴う空気室の圧力増の影響を極力受
けることなく、該移送液圧に応じて第２ベローズが自由
に伸長できる程、高い緩衝機能が得られる。
て、ポンプの脈動低減作用は、例えば、往復動ポンプ部
から吐出された高い移送液圧を第２ベローズに受け入れ
る場合は、第２ベローズを伸長させながらこの第２ベロ
ーズの液室内へ該移送液を流入させることによりその高
移送液圧を吸収し、一時第２ベローズの液室内に移送液
を貯溜して移送液圧を低下させつつ流出路から吐出する
ことにより行われる。そして、この場合、この第２ベロ
ーズの伸長動作は、第２ベローズの液室内に流入する移
送液圧と、該第２ベローズを介して移送液圧に抗して作
用する空気室圧とのバランスにより左右されるが、一般
に、第２ベローズの伸長に応じた第２ベローズの伸長変
位分の空気室圧縮に伴う空気室の圧力増の影響を極力受
けることなく、該移送液圧に応じて第２ベローズが自由
に伸長できる程、高い緩衝機能が得られる。
【０００４】しかるに、上記脈動低減装置付きポンプの
第１ベローズは、一般に、半導体製造装置等に用いられ
る処理薬液の循環輸送に適合すべく耐熱性、耐薬品性に
優れるポリ四フッ化エチレンなどのフッ素樹脂で成形さ
れており、第２ベローズもそれと同じ樹脂材料で同一厚
に成形されたものが使用されていて、第１ベローズ及び
第２ベローズの両者の伸び率が全く同じに構成されてい
る。そのため、第２ベローズがポンプ部からの吐出圧力
の変動に対して遅速的に追随して伸縮する傾向にあり、
つまり第２ベローズの脈圧に対する応答性が遅くなるた
め、脈動減少効果を十分に上げることができなかった。
第１ベローズは、一般に、半導体製造装置等に用いられ
る処理薬液の循環輸送に適合すべく耐熱性、耐薬品性に
優れるポリ四フッ化エチレンなどのフッ素樹脂で成形さ
れており、第２ベローズもそれと同じ樹脂材料で同一厚
に成形されたものが使用されていて、第１ベローズ及び
第２ベローズの両者の伸び率が全く同じに構成されてい
る。そのため、第２ベローズがポンプ部からの吐出圧力
の変動に対して遅速的に追随して伸縮する傾向にあり、
つまり第２ベローズの脈圧に対する応答性が遅くなるた
め、脈動減少効果を十分に上げることができなかった。
【０００５】本発明は、このような問題を解消するため
になされたもので、脈動減少効果をより一層高めること
のできる脈動低減装置付きポンプを提供することを目的
する。
になされたもので、脈動減少効果をより一層高めること
のできる脈動低減装置付きポンプを提供することを目的
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、図１に例示す
るように、液体の流入路２及び流出路３を備えたポンプ
ヘッド構成壁１と、上記ポンプヘッド構成壁１の一側部
に配設されたケーシング６内を軸線方向に沿って伸縮変
形可能な樹脂製の第１ベローズ７と、この第１ベローズ
７を駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部１４と、上
記第１ベローズ７の内側に該第１ベローズの伸縮変形運
動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作
用を行う逆止弁１６ａ，１６ｂが設けられたポンプ作用
室９ａとを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部４
と、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部に配設されたケ
ーシング１７内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第
２ベローズ１８と、この第２ベローズ１８の内側に形成
されて上記ポンプ作用室９ａから吐出用逆止弁１６ｂを
経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする液体室２
０ａと、上記第２ベローズ１８の外側に上記液体室２０
ａに対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される
空気室２０ｂとを備えて、上記第２ベローズ１８の伸縮
変形運動に伴う上記液体室２０ａの容量変化により上記
ポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧による脈
動を吸収させるように構成した脈動低減部５と、を備え
ている脈動低減装置付きポンプにおいて、上記第２ベロ
ーズ１８の伸び率を、上記第１ベローズ７の伸び率より
もその伸び率の比（第２ベローズの伸び率／第１ベロー
ズの伸び率）が１０を越えないように大きく設定してあ
ることに特徴を有するものである。ここにおいて、伸び
率とは第１，２ベローズのそれぞれの内部に或る圧力を
加えた場合の各ベローズの伸縮部分の伸び率を意味す
る。
るように、液体の流入路２及び流出路３を備えたポンプ
ヘッド構成壁１と、上記ポンプヘッド構成壁１の一側部
に配設されたケーシング６内を軸線方向に沿って伸縮変
形可能な樹脂製の第１ベローズ７と、この第１ベローズ
７を駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部１４と、上
記第１ベローズ７の内側に該第１ベローズの伸縮変形運
動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作
用を行う逆止弁１６ａ，１６ｂが設けられたポンプ作用
室９ａとを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部４
と、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部に配設されたケ
ーシング１７内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第
２ベローズ１８と、この第２ベローズ１８の内側に形成
されて上記ポンプ作用室９ａから吐出用逆止弁１６ｂを
経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする液体室２
０ａと、上記第２ベローズ１８の外側に上記液体室２０
ａに対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される
空気室２０ｂとを備えて、上記第２ベローズ１８の伸縮
変形運動に伴う上記液体室２０ａの容量変化により上記
ポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧による脈
動を吸収させるように構成した脈動低減部５と、を備え
ている脈動低減装置付きポンプにおいて、上記第２ベロ
ーズ１８の伸び率を、上記第１ベローズ７の伸び率より
もその伸び率の比（第２ベローズの伸び率／第１ベロー
ズの伸び率）が１０を越えないように大きく設定してあ
ることに特徴を有するものである。ここにおいて、伸び
率とは第１，２ベローズのそれぞれの内部に或る圧力を
加えた場合の各ベローズの伸縮部分の伸び率を意味す
る。
【０００７】上記第１ベローズ及び第２ベローズは同じ
樹脂材料で成形して、第２ベローズの肉厚を第１ベロー
ズのそれよりも薄くすることができる。この場合、第１
ベローズと第２ベローズの肉厚比（第２ベローズ／第１
ベローズ）は１未満とすることが好ましい。第１ベロー
ズ及び第２ベローズの同じ成形樹脂材料としては耐熱
性、耐薬液性に優れるポリ四フッ化エチレンを用いるこ
とが望ましい。
樹脂材料で成形して、第２ベローズの肉厚を第１ベロー
ズのそれよりも薄くすることができる。この場合、第１
ベローズと第２ベローズの肉厚比（第２ベローズ／第１
ベローズ）は１未満とすることが好ましい。第１ベロー
ズ及び第２ベローズの同じ成形樹脂材料としては耐熱
性、耐薬液性に優れるポリ四フッ化エチレンを用いるこ
とが望ましい。
【０００８】
【作用】エアシリンダ部を介して往復動ポンプ部の第１
ベローズを駆動伸縮変形運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復されて所定
のポンプ作用が行われる。このとき、ポンプ作用室から
上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は脈動低減部の
液体室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液
体の吐出圧の脈動の山部においては第２ベローズが液体
室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、
脈動の谷部においては第２ベローズが液体室容量を減少
する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸
収することによって、液体を脈動少なく連続してスムー
ズに流出させることが可能となる。
ベローズを駆動伸縮変形運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復されて所定
のポンプ作用が行われる。このとき、ポンプ作用室から
上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は脈動低減部の
液体室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液
体の吐出圧の脈動の山部においては第２ベローズが液体
室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、
脈動の谷部においては第２ベローズが液体室容量を減少
する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸
収することによって、液体を脈動少なく連続してスムー
ズに流出させることが可能となる。
【０００９】とくに、第２ベローズの伸び率を第１ベロ
ーズのそれよりも大きく設定してあると、第２ベローズ
の脈圧に対する応答性がきわめて良好になるため、脈動
低減効果をより一層高めることができる。
ーズのそれよりも大きく設定してあると、第２ベローズ
の脈圧に対する応答性がきわめて良好になるため、脈動
低減効果をより一層高めることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１及び図２
に基づいて説明する。図１は本発明に係る脈動低減装置
付きポンプの全体縦断正面図、図２は給排気用切換弁機
構の拡大縦断正面図である。
に基づいて説明する。図１は本発明に係る脈動低減装置
付きポンプの全体縦断正面図、図２は給排気用切換弁機
構の拡大縦断正面図である。
【００１１】図１において、１は液体の流入路２及び流
出路３が形成されたポンプヘッド構成壁で、このポンプ
ヘッド構成壁１の両側にエア駆動型往復動ポンプ部４と
脈動低減部５とを対向して一体に配設している。ポンプ
ヘッド構成壁１の一側部に有底筒状のケーシング６が連
設固定されている。このケーシング６内にその筒軸線方
向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第１ベローズ７が
配設されている。この第１ベローズ７の開口周縁部７ａ
は環状固定板８によりポンプヘッド構成壁１の一側面に
気密状に押圧固定することにより、ケーシング６の内部
空間を第１ベローズ７内のポンプ作用室９ａと第１ベロ
ーズ７外のポンプ作動室９ｂとに密閉区画されている。
出路３が形成されたポンプヘッド構成壁で、このポンプ
ヘッド構成壁１の両側にエア駆動型往復動ポンプ部４と
脈動低減部５とを対向して一体に配設している。ポンプ
ヘッド構成壁１の一側部に有底筒状のケーシング６が連
設固定されている。このケーシング６内にその筒軸線方
向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第１ベローズ７が
配設されている。この第１ベローズ７の開口周縁部７ａ
は環状固定板８によりポンプヘッド構成壁１の一側面に
気密状に押圧固定することにより、ケーシング６の内部
空間を第１ベローズ７内のポンプ作用室９ａと第１ベロ
ーズ７外のポンプ作動室９ｂとに密閉区画されている。
【００１２】ケーシング６の底壁部６ａの外側には、第
１ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに連結部材１０を介して
固定連結されたピストン体１１を摺動可能に内蔵するシ
リンダ体１２が固定されており、このシリンダ体１２及
び上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した空気孔１３
ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気をシリンダ
体１２の内部又はポンプ作動室９ｂに供給することによ
って、第１ベローズ７を駆動伸縮変形運動させるエアシ
リンダ部１４が構成されている。エアシリンダ部１４に
は近接センサー２５ａ，２５ｂが取り付けられる一方、
ピストン体１１にセンサー感知板２６が取り付けられ、
ピストン体１１の往復動に伴いセンサー感知板２６が近
接センサー２５ａ，２５ｂに交互に近接することにより
上記加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気のシリンダー体１２内への供給とポンプ作動室９ｂ
への供給とを自動的に切り替える。
１ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに連結部材１０を介して
固定連結されたピストン体１１を摺動可能に内蔵するシ
リンダ体１２が固定されており、このシリンダ体１２及
び上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した空気孔１３
ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気をシリンダ
体１２の内部又はポンプ作動室９ｂに供給することによ
って、第１ベローズ７を駆動伸縮変形運動させるエアシ
リンダ部１４が構成されている。エアシリンダ部１４に
は近接センサー２５ａ，２５ｂが取り付けられる一方、
ピストン体１１にセンサー感知板２６が取り付けられ、
ピストン体１１の往復動に伴いセンサー感知板２６が近
接センサー２５ａ，２５ｂに交互に近接することにより
上記加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気のシリンダー体１２内への供給とポンプ作動室９ｂ
への供給とを自動的に切り替える。
【００１３】また、上記ポンプ作用室９ａにそれぞれ開
口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂ
は、上記流入路２及び流出路３に連通されている。これ
ら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞれ、第１ベ
ローズ７の駆動伸縮変形に伴って交互に開閉作動する吸
入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設けられて
いる。以上の各構成要素により上記往復動ポンプ部４が
構成される。
口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂ
は、上記流入路２及び流出路３に連通されている。これ
ら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞれ、第１ベ
ローズ７の駆動伸縮変形に伴って交互に開閉作動する吸
入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設けられて
いる。以上の各構成要素により上記往復動ポンプ部４が
構成される。
【００１４】一方、上記ポンプヘッド構成壁１の他側部
に有底筒状のケーシング１７が上記ケーシング６と同軸
状に固定連設されている。このケーシング１７内にも上
記ポンプ部４における第１ベローズ７に対向させて、そ
の筒軸線方向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第２ベ
ローズ１８が配設されており、この第２ベローズ１８の
開口周縁部１８ａを環状固定板１９により上記ポンプヘ
ッド構成壁１の他側面に気密状に押圧固定することによ
り、ケーシング１７の内部空間が、第２ベローズ１８内
でポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及びポンプヘ
ッド構成壁１の肉厚内に貫通形成した連通路２１を経て
吐出される液体を一時的に貯溜する液体室２０ａと、第
２ベローズ１８外で脈動低減用の空気が封入される空気
室２０ｂとに隔離形成されている。
に有底筒状のケーシング１７が上記ケーシング６と同軸
状に固定連設されている。このケーシング１７内にも上
記ポンプ部４における第１ベローズ７に対向させて、そ
の筒軸線方向に沿って伸縮変形可能な有底筒状の第２ベ
ローズ１８が配設されており、この第２ベローズ１８の
開口周縁部１８ａを環状固定板１９により上記ポンプヘ
ッド構成壁１の他側面に気密状に押圧固定することによ
り、ケーシング１７の内部空間が、第２ベローズ１８内
でポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及びポンプヘ
ッド構成壁１の肉厚内に貫通形成した連通路２１を経て
吐出される液体を一時的に貯溜する液体室２０ａと、第
２ベローズ１８外で脈動低減用の空気が封入される空気
室２０ｂとに隔離形成されている。
【００１５】以上の各構成要素によって、第２ベローズ
１８の伸縮変形に伴う液体室２０ａの容量変化によりポ
ンプ部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出
圧による脈動を吸収減衰させる上記脈動低減部５が構成
されている。
１８の伸縮変形に伴う液体室２０ａの容量変化によりポ
ンプ部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出
圧による脈動を吸収減衰させる上記脈動低減部５が構成
されている。
【００１６】そして、上記脈動低減部５におけるケーシ
ング１７の底壁部１７ａの外面中央付近に開口２７を形
成し、この開口２７内にフランジ２３ａ付きのバルブケ
ース２３を嵌合するとともに、フランジ２３ａを底壁部
１７ａの外側にボルト２４等で着脱可能に締結固定して
いる。
ング１７の底壁部１７ａの外面中央付近に開口２７を形
成し、この開口２７内にフランジ２３ａ付きのバルブケ
ース２３を嵌合するとともに、フランジ２３ａを底壁部
１７ａの外側にボルト２４等で着脱可能に締結固定して
いる。
【００１７】図２に示すように、バルブケース２３には
給気口３１と排気口３２とを平行に並べて形成してい
る。給気口３１には、上記液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて増大したとき、上記空気室２０ｂ内へ移送液
の最大圧力値以上の圧力の空気を供給して空気室２０ｂ
内の封入圧を上昇させる自動給気バルブ機構３３が設け
られる。排気口３２には、液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて減少したとき、空気室２０ｂ内から排気して
該空気室２０ｂ内の封入圧を下降させる自動排気バルブ
機構３４が設けられる。
給気口３１と排気口３２とを平行に並べて形成してい
る。給気口３１には、上記液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて増大したとき、上記空気室２０ｂ内へ移送液
の最大圧力値以上の圧力の空気を供給して空気室２０ｂ
内の封入圧を上昇させる自動給気バルブ機構３３が設け
られる。排気口３２には、液体室２０ａの容量が所定範
囲を越えて減少したとき、空気室２０ｂ内から排気して
該空気室２０ｂ内の封入圧を下降させる自動排気バルブ
機構３４が設けられる。
【００１８】上記自動給気バルブ機構３３は、バルブケ
ース２３に給気口３１と連通状に形成した給気弁室３５
と、この弁室３５内でその軸線方向に沿って摺動自在で
給気口３１を開閉作動する給気弁体３６と、この弁体３
６を常に閉成位置に付勢するスプリング３７と、内端部
に給気弁体３６の弁座３８を備えるとともに給気弁室３
５と空気室２０ｂとを連通させる貫通孔３９を有してバ
ルブケース２３にねじ込み固定されたガイド部材４０
と、このガイド部材４０の貫通孔３９内にスライド自在
に挿通された弁押し棒４１と、有してなる。液体室２０
ａ内の液圧が平均圧の状態で第２ベローズ１８が基準位
置Ｓにある状態では、給気弁体３６がガイド部材４０の
弁座３８に密接して給気口３１を閉成するとともに、弁
押し棒４１の空気室２０ｂ内に臨む端部４１ａが第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂとストロークＡだけ離間し
ている。
ース２３に給気口３１と連通状に形成した給気弁室３５
と、この弁室３５内でその軸線方向に沿って摺動自在で
給気口３１を開閉作動する給気弁体３６と、この弁体３
６を常に閉成位置に付勢するスプリング３７と、内端部
に給気弁体３６の弁座３８を備えるとともに給気弁室３
５と空気室２０ｂとを連通させる貫通孔３９を有してバ
ルブケース２３にねじ込み固定されたガイド部材４０
と、このガイド部材４０の貫通孔３９内にスライド自在
に挿通された弁押し棒４１と、有してなる。液体室２０
ａ内の液圧が平均圧の状態で第２ベローズ１８が基準位
置Ｓにある状態では、給気弁体３６がガイド部材４０の
弁座３８に密接して給気口３１を閉成するとともに、弁
押し棒４１の空気室２０ｂ内に臨む端部４１ａが第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂとストロークＡだけ離間し
ている。
【００１９】一方、上記自動排気バルブ機構３４は、バ
ルブケース２３に排気口３２と連通状に形成した排気弁
室４２と、この弁室４２内でその軸線方向に沿って摺動
自在で排気口３２を開閉作動する排気弁体４３と、この
弁体４３を先端に、鍔部４４を後端にそれぞれ備えた排
気弁棒４５と、排気弁室４２内にねじ込み固定され、排
気弁棒４５が挿通される貫通孔４６を有するスプリング
受体４７と、排気弁棒４５の後端側にスライド自在に挿
通され、鍔部４４で抜止めされている筒形のスライダー
４８と、排気弁体４３とスプリング受体４７との間に配
設された閉成用スプリング４９と、スプリング受体４７
とスライダー４８との間に配された開成用スプリング５
０と、を有してなる。スプリング受体４７の貫通孔４６
の内径は排気弁棒４５の軸径よりも大きくて両者間に隙
間５１が形成され、この隙間５１を介して排気弁室４２
と空気室２０ｂとが連通している。第２ベローズ１８が
基準位置Ｓにある状態において、排気弁体４３は排気口
３２を閉成するとともに排気弁棒４５の後端の鍔部４４
はスライダー４８の閉鎖端部４８ａの内面からストロー
クＢだけ離間している。
ルブケース２３に排気口３２と連通状に形成した排気弁
室４２と、この弁室４２内でその軸線方向に沿って摺動
自在で排気口３２を開閉作動する排気弁体４３と、この
弁体４３を先端に、鍔部４４を後端にそれぞれ備えた排
気弁棒４５と、排気弁室４２内にねじ込み固定され、排
気弁棒４５が挿通される貫通孔４６を有するスプリング
受体４７と、排気弁棒４５の後端側にスライド自在に挿
通され、鍔部４４で抜止めされている筒形のスライダー
４８と、排気弁体４３とスプリング受体４７との間に配
設された閉成用スプリング４９と、スプリング受体４７
とスライダー４８との間に配された開成用スプリング５
０と、を有してなる。スプリング受体４７の貫通孔４６
の内径は排気弁棒４５の軸径よりも大きくて両者間に隙
間５１が形成され、この隙間５１を介して排気弁室４２
と空気室２０ｂとが連通している。第２ベローズ１８が
基準位置Ｓにある状態において、排気弁体４３は排気口
３２を閉成するとともに排気弁棒４５の後端の鍔部４４
はスライダー４８の閉鎖端部４８ａの内面からストロー
クＢだけ離間している。
【００２０】バルブケース２３の空気室側端は図２に仮
想線５２で示すごとく空気室２０ｂ内の方向に延長さ
せ、この延長端に、第２ベローズ１８が液体室２０ａを
拡大させる方向に所定のストロークＡを越えて上記弁押
し棒４１を動作させるまで移動したときに第２ベローズ
１８のそれ以上の移動を規制するためのストッパー５３
を設けることができる。この場合は、ケーシング１７の
内面から空気室２０ｂへ突設した同一目的のストッパー
壁５５（図１参照）は省略することができる。
想線５２で示すごとく空気室２０ｂ内の方向に延長さ
せ、この延長端に、第２ベローズ１８が液体室２０ａを
拡大させる方向に所定のストロークＡを越えて上記弁押
し棒４１を動作させるまで移動したときに第２ベローズ
１８のそれ以上の移動を規制するためのストッパー５３
を設けることができる。この場合は、ケーシング１７の
内面から空気室２０ｂへ突設した同一目的のストッパー
壁５５（図１参照）は省略することができる。
【００２１】次に、上記構成の脈動装置付きポンプの動
作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気を往復動ポ
ンプ部４におけるエアシリンダ部１４のシリンダ体１２
の内部に空気孔１３ｂを介して供給して、ピストン体１
１及び連結部材１０を図１のｘ方向へ変位させることに
より第１ベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させる
と、流入路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経て
ポンプ作用室９ａ内に吸入される。上記加圧空気をエア
シリンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に空気孔１３ｂを
介して供給するとともに、空気孔１３ｂから排気して第
１ベローズ７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポン
プ作用室９ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１
６ｂを経て吐出される。このように、エアシリンダ部１
４を介して往復動ポンプ部４における第１ベローズ７を
駆動伸縮変形運動させることにより、吸入用逆止弁１６
ａと吐出用逆止弁１６ｂとが交互に開閉作動して流入路
２からポンプ作用室９ａへの液体の吸入と、ポンプ作用
室９ａ内から流出路３への液体の吐出とが反復されて所
定のポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプ部
４の作動により移送液体が所定の部位に向けて送給され
ると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによる脈
動を発生する。
作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気を往復動ポ
ンプ部４におけるエアシリンダ部１４のシリンダ体１２
の内部に空気孔１３ｂを介して供給して、ピストン体１
１及び連結部材１０を図１のｘ方向へ変位させることに
より第１ベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させる
と、流入路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経て
ポンプ作用室９ａ内に吸入される。上記加圧空気をエア
シリンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に空気孔１３ｂを
介して供給するとともに、空気孔１３ｂから排気して第
１ベローズ７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポン
プ作用室９ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１
６ｂを経て吐出される。このように、エアシリンダ部１
４を介して往復動ポンプ部４における第１ベローズ７を
駆動伸縮変形運動させることにより、吸入用逆止弁１６
ａと吐出用逆止弁１６ｂとが交互に開閉作動して流入路
２からポンプ作用室９ａへの液体の吸入と、ポンプ作用
室９ａ内から流出路３への液体の吐出とが反復されて所
定のポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプ部
４の作動により移送液体が所定の部位に向けて送給され
ると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによる脈
動を発生する。
【００２２】ここで、上記ポンプ部４におけるポンプ作
用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移
送液体は、連通路２１を通って脈動低減部５における液
体室２０ａ内に送られ、この液体室２０ａに一時的に貯
溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送
液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体
は液体室２０ａの容量を増大するように第２ベローズ１
８を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。この
時、液体室２０ａから流出される移送液体の流量は往復
動ポンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくな
る。
用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移
送液体は、連通路２１を通って脈動低減部５における液
体室２０ａ内に送られ、この液体室２０ａに一時的に貯
溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送
液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体
は液体室２０ａの容量を増大するように第２ベローズ１
８を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。この
時、液体室２０ａから流出される移送液体の流量は往復
動ポンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくな
る。
【００２３】また、上記移送液体の吐出圧が吐出圧曲線
の谷部にさしかかると、第２ベローズ１８の伸長変形に
伴い圧縮された空気室２０ｂ内の封入圧よりも移送液体
の圧力が低くなるので、第２ベローズ１８は収縮変形す
る。この時、往復動ポンプ部４から液体室２０ａ内に流
入する移送液体の流量よりも液体室２０ａから流出する
流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液体室２０
ａの容量変化によって上記脈動が吸収され低減される。
の谷部にさしかかると、第２ベローズ１８の伸長変形に
伴い圧縮された空気室２０ｂ内の封入圧よりも移送液体
の圧力が低くなるので、第２ベローズ１８は収縮変形す
る。この時、往復動ポンプ部４から液体室２０ａ内に流
入する移送液体の流量よりも液体室２０ａから流出する
流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液体室２０
ａの容量変化によって上記脈動が吸収され低減される。
【００２４】ところで、上記のような動作中において、
往復動ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送
液体によって液体室２０ａの容量が増大し、第２ベロー
ズ１８が大きく伸長変形することになる。この第２ベロ
ーズ１８の伸長変形量が所定範囲Ａを越えると、第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂが弁押し棒４１を弁室内方
向へ押す。これによって、自動給気バルブ機構３３にお
ける給気弁体３６がスプリング３７に抗して開成されて
給気口３１を通じて高い空気圧が空気室２０ｂ内へ供給
され、該空気室２０ｂ内の封入圧が上昇する。したがっ
て、第２ベローズ１８のストロークＡを越えての伸長変
形量が規制されて、液体室２０ａの容量が過度に増大す
ることが抑えられる。その際、バルブケース２３の空気
室側端に上記ストッパー５３を設けておくと、第２ベロ
ーズ１８の閉鎖端部１８ｂが該ストッパー５３に当接
し、第２ベローズ１８が過剰に伸長変形するのを確実に
防止できるため、その破損予防に有利である。そして、
空気室２０ｂ内の封入圧の上昇に伴い第２ベローズ１８
が基準位置Ｓに向けて収縮するので、弁押し棒４１が第
２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂから離れ、給気弁体３
６が再び閉成位置に戻って空気室２０ｂ内の封入圧が調
整状態に固定される。
往復動ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送
液体によって液体室２０ａの容量が増大し、第２ベロー
ズ１８が大きく伸長変形することになる。この第２ベロ
ーズ１８の伸長変形量が所定範囲Ａを越えると、第２ベ
ローズ１８の閉鎖端部１８ｂが弁押し棒４１を弁室内方
向へ押す。これによって、自動給気バルブ機構３３にお
ける給気弁体３６がスプリング３７に抗して開成されて
給気口３１を通じて高い空気圧が空気室２０ｂ内へ供給
され、該空気室２０ｂ内の封入圧が上昇する。したがっ
て、第２ベローズ１８のストロークＡを越えての伸長変
形量が規制されて、液体室２０ａの容量が過度に増大す
ることが抑えられる。その際、バルブケース２３の空気
室側端に上記ストッパー５３を設けておくと、第２ベロ
ーズ１８の閉鎖端部１８ｂが該ストッパー５３に当接
し、第２ベローズ１８が過剰に伸長変形するのを確実に
防止できるため、その破損予防に有利である。そして、
空気室２０ｂ内の封入圧の上昇に伴い第２ベローズ１８
が基準位置Ｓに向けて収縮するので、弁押し棒４１が第
２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂから離れ、給気弁体３
６が再び閉成位置に戻って空気室２０ｂ内の封入圧が調
整状態に固定される。
【００２５】一方、往復動ポンプ部４からの吐出圧が下
降変動すると、移送液体によって液体室２０ａの容量が
減少し、第２ベローズ１８が大きく収縮変形することに
なる。この第２ベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂ
を越えると、第２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂの収縮
方向ｂへの移動に伴って自動排気バルブ機構３４のスラ
イダー４８が開成用スプリング５０の付勢作用により第
２ベローズ１８の収縮方向ｂへ移動し、スライダー４８
の閉鎖端部４８ａの内面が排気弁棒４５の鍔部４４に係
合する。これによって、排気弁棒４５がｂ方向に移動し
て排気弁体４３が排気口３２を開成するので、空気室２
０ｂ内の封入空気が排気口３２から大気中に排出されて
空気室２０ｂ内の封入圧が低下する。したがって、第２
ベローズ１８のストロークＢを越えての収縮変形量が規
制されて、液体室２０ａの容量が過度に減少することが
抑えられる。そして、空気室２０ｂ内の封入圧の減少に
伴い第２ベローズ１８が基準位置Ｓに向けて伸長するの
で、スライダー４８が第２ベローズ１８の閉鎖端部１８
ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用スプリング５
０を圧縮させ、排気弁体４３が閉成用スプリング４９の
付勢作用で再び排気口３２を閉成する。これによって空
気室２０ｂ内の封入圧が調整状態に固定される。その結
果、往復動ポンプ部４のポンプ作用室９ａからの吐出圧
の変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が
小さく抑えられることになる。
降変動すると、移送液体によって液体室２０ａの容量が
減少し、第２ベローズ１８が大きく収縮変形することに
なる。この第２ベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂ
を越えると、第２ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂの収縮
方向ｂへの移動に伴って自動排気バルブ機構３４のスラ
イダー４８が開成用スプリング５０の付勢作用により第
２ベローズ１８の収縮方向ｂへ移動し、スライダー４８
の閉鎖端部４８ａの内面が排気弁棒４５の鍔部４４に係
合する。これによって、排気弁棒４５がｂ方向に移動し
て排気弁体４３が排気口３２を開成するので、空気室２
０ｂ内の封入空気が排気口３２から大気中に排出されて
空気室２０ｂ内の封入圧が低下する。したがって、第２
ベローズ１８のストロークＢを越えての収縮変形量が規
制されて、液体室２０ａの容量が過度に減少することが
抑えられる。そして、空気室２０ｂ内の封入圧の減少に
伴い第２ベローズ１８が基準位置Ｓに向けて伸長するの
で、スライダー４８が第２ベローズ１８の閉鎖端部１８
ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用スプリング５
０を圧縮させ、排気弁体４３が閉成用スプリング４９の
付勢作用で再び排気口３２を閉成する。これによって空
気室２０ｂ内の封入圧が調整状態に固定される。その結
果、往復動ポンプ部４のポンプ作用室９ａからの吐出圧
の変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が
小さく抑えられることになる。
【００２６】上記実施例の脈動低減装置付きポンプでは
往復動ポンプ部４が単一の第１ベローズ７を備えてなる
が、図３のように往復動ポンプ部４は一対の第１ベロー
ズ７，７を備えるタイプのものにも同様に適用できる。
往復動ポンプ部４が単一の第１ベローズ７を備えてなる
が、図３のように往復動ポンプ部４は一対の第１ベロー
ズ７，７を備えるタイプのものにも同様に適用できる。
【００２７】図３の脈動低減装置付きポンプは、流体の
流入路２及び流出路３を備えたポンプヘッド構成壁１の
両側に固定連設された筒状のケーシング６Ａ，６Ｂ内に
それぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対の第１ベロー
ズ７，７を相対向状態に配設し、これら一対の第１ベロ
ーズ７，７の開口周縁部７ａ，７ａを環状固定板８，８
を介してポンプヘッド構成壁１に気密状に固定すること
によりケーシング６Ａ，６Ｂの内部空間をポンプ作用室
９ａ，９ａとポンプ作動室９ｂ，９ｂとに密封区画して
なる一対のポンプ部４Ａ，４Ｂが構成されている。
流入路２及び流出路３を備えたポンプヘッド構成壁１の
両側に固定連設された筒状のケーシング６Ａ，６Ｂ内に
それぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対の第１ベロー
ズ７，７を相対向状態に配設し、これら一対の第１ベロ
ーズ７，７の開口周縁部７ａ，７ａを環状固定板８，８
を介してポンプヘッド構成壁１に気密状に固定すること
によりケーシング６Ａ，６Ｂの内部空間をポンプ作用室
９ａ，９ａとポンプ作動室９ｂ，９ｂとに密封区画して
なる一対のポンプ部４Ａ，４Ｂが構成されている。
【００２８】そして、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけ
る一対の第１ベローズ７，７はポンプヘッド構成壁１を
貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド５５
を介して、一方の第１ベローズ７が縮小動作するとき他
方の第１ベローズ７が伸長動作するように連動連結され
ている。また、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけるポン
プ作用室９ａ，９ａにそれぞれ開口するように形成され
た吸入口１５ａ、１５ａ及び吐出口１５ｂ，１５ｂはそ
れぞれ流入路２及び流出路３に連通されているととも
に、これら各吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞ
れ、吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設け
られている。さらに、ケーシング６Ａ，６Ｂの底壁部６
ａ，６ｂにはポンプ作動室９ｂ，９ｂに所定時間毎に加
圧空気を交互に供給する空気孔１３ａ，１３ａが形成さ
れている。
る一対の第１ベローズ７，７はポンプヘッド構成壁１を
貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド５５
を介して、一方の第１ベローズ７が縮小動作するとき他
方の第１ベローズ７が伸長動作するように連動連結され
ている。また、一対のポンプ部４Ａ，４Ｂにおけるポン
プ作用室９ａ，９ａにそれぞれ開口するように形成され
た吸入口１５ａ、１５ａ及び吐出口１５ｂ，１５ｂはそ
れぞれ流入路２及び流出路３に連通されているととも
に、これら各吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞ
れ、吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設け
られている。さらに、ケーシング６Ａ，６Ｂの底壁部６
ａ，６ｂにはポンプ作動室９ｂ，９ｂに所定時間毎に加
圧空気を交互に供給する空気孔１３ａ，１３ａが形成さ
れている。
【００２９】しかるときは、コンプレッサー等の加圧空
気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を所定
時間毎に交互に空気孔１３ａ，１３ａを通してポンプ作
動室９ｂ，９ｂに供給することにより、一対の第１ベロ
ーズ７，７を連結ロッド５５を介して可逆的に伸縮変形
駆動させて一対のポンプ部４Ａ，４Ｂの吸入工程と吐出
工程とを交互に行わせ、これによって流入路２からポン
プ作用室９ａ，９ａに流入される流体を流出路３へほぼ
連続的に吐出させるといったポンプ作用が行われる。
気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を所定
時間毎に交互に空気孔１３ａ，１３ａを通してポンプ作
動室９ｂ，９ｂに供給することにより、一対の第１ベロ
ーズ７，７を連結ロッド５５を介して可逆的に伸縮変形
駆動させて一対のポンプ部４Ａ，４Ｂの吸入工程と吐出
工程とを交互に行わせ、これによって流入路２からポン
プ作用室９ａ，９ａに流入される流体を流出路３へほぼ
連続的に吐出させるといったポンプ作用が行われる。
【００３０】このような一対の第１ベローズ７，７を備
える往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂには、図４に示す脈動低
減部５が一体的に接合される。この脈動低減部５は、図
１のケーシング１７とほぼ同じ形状のケーシング１７の
一側壁１７ｂに往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５
ｂと連通状に接続される流入口５６と、往復動ポンプ部
４Ａ，４Ｂの流出路３と連通状に接続される流出口５７
とを有する。このケーシング１７内の一側部には、往復
動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５ｂからの移送液を流
入口５６を介して取り込んで一時的に貯溜して流出口５
７から流出させる液体室２０ａが形成され、ケーシング
１７内の他側部には空気室２０ｂが形成される。これら
液体室２０ａと空気室２０ｂとは第２ベローズ１８によ
って隔離されている。そしてケーシング１７の他側壁１
７ａには開口２７が形成され、この開口２７に上記実施
例の自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４と同じものが設けられているバルブケース２３がボル
ト２４等で取り付けられている。これら脈動低減部５、
自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３４の
それぞれの構成及び作用については上記実施例のものと
同一であるため、その説明は省略する。
える往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂには、図４に示す脈動低
減部５が一体的に接合される。この脈動低減部５は、図
１のケーシング１７とほぼ同じ形状のケーシング１７の
一側壁１７ｂに往復動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５
ｂと連通状に接続される流入口５６と、往復動ポンプ部
４Ａ，４Ｂの流出路３と連通状に接続される流出口５７
とを有する。このケーシング１７内の一側部には、往復
動ポンプ部４Ａ，４Ｂの吐出口１５ｂからの移送液を流
入口５６を介して取り込んで一時的に貯溜して流出口５
７から流出させる液体室２０ａが形成され、ケーシング
１７内の他側部には空気室２０ｂが形成される。これら
液体室２０ａと空気室２０ｂとは第２ベローズ１８によ
って隔離されている。そしてケーシング１７の他側壁１
７ａには開口２７が形成され、この開口２７に上記実施
例の自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４と同じものが設けられているバルブケース２３がボル
ト２４等で取り付けられている。これら脈動低減部５、
自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３４の
それぞれの構成及び作用については上記実施例のものと
同一であるため、その説明は省略する。
【００３１】上記の各実施例のように構成する脈動低減
装置付きポンプにおいて、本発明は、第２ベローズ１８
の伸び率を第１ベローズ７のそれよりも大きく設定する
ことに特徴を有する。具体的には、第１ベローズ７及び
第２ベローズ１８は共に、耐熱性、耐薬品性に優れるＰ
ＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦＡ（パーフロロ
アルコキシ）等のフッ素樹脂、好ましくはポリ四フッ化
エチレンで成形するが、この場合、第１ベローズ７の肉
厚（例えば、２．０〜２．５ｍｍ）よりも第２ベローズ
１８の肉厚（例えば、１〜１．５ｍｍ）を薄くすること
により、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の肉厚比
（第２ベローズの厚み／第１ベローズの厚み）は１未満
とし、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の伸び率の比
（第２ベローズの伸び率／第１ベローズの伸び率）は１
を越える値とする。
装置付きポンプにおいて、本発明は、第２ベローズ１８
の伸び率を第１ベローズ７のそれよりも大きく設定する
ことに特徴を有する。具体的には、第１ベローズ７及び
第２ベローズ１８は共に、耐熱性、耐薬品性に優れるＰ
ＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦＡ（パーフロロ
アルコキシ）等のフッ素樹脂、好ましくはポリ四フッ化
エチレンで成形するが、この場合、第１ベローズ７の肉
厚（例えば、２．０〜２．５ｍｍ）よりも第２ベローズ
１８の肉厚（例えば、１〜１．５ｍｍ）を薄くすること
により、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の肉厚比
（第２ベローズの厚み／第１ベローズの厚み）は１未満
とし、第１ベローズ７と第２ベローズ１８の伸び率の比
（第２ベローズの伸び率／第１ベローズの伸び率）は１
を越える値とする。
【００３２】第２ベローズ１８と第１ベローズ７の伸び
率比による脈動幅について比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の伸び率比がそれぞれ２、３、４であ
る場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実施例４の伸
び率比が６である場合は脈動幅が１３（％）、実施例５
の伸び率比がそれぞれ８、１０である場合はそれぞれの
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜５のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
結果が得られた。この場合、その伸び率の比が１０を越
えると、第２ベローズ１８の最大伸長長さが大きくなっ
て脈動低減部５の大型化を招くことになるため好ましく
ない。これに対し、比較例１の伸び率比が０．６である
場合は脈動幅が６０（％）、比較例２の伸び率比が０．
８である場合は脈動幅が３０（％）であって、比較例
１、２のいずれも脈動幅が大きくなり、好ましくなかっ
た。ただし、伸び率比＝第２ベローズの伸び率／第１ベ
ローズの伸び率、脈動幅（％）＝｛（最大吐出圧力−最
小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×１００である。
率比による脈動幅について比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の伸び率比がそれぞれ２、３、４であ
る場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実施例４の伸
び率比が６である場合は脈動幅が１３（％）、実施例５
の伸び率比がそれぞれ８、１０である場合はそれぞれの
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜５のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
結果が得られた。この場合、その伸び率の比が１０を越
えると、第２ベローズ１８の最大伸長長さが大きくなっ
て脈動低減部５の大型化を招くことになるため好ましく
ない。これに対し、比較例１の伸び率比が０．６である
場合は脈動幅が６０（％）、比較例２の伸び率比が０．
８である場合は脈動幅が３０（％）であって、比較例
１、２のいずれも脈動幅が大きくなり、好ましくなかっ
た。ただし、伸び率比＝第２ベローズの伸び率／第１ベ
ローズの伸び率、脈動幅（％）＝｛（最大吐出圧力−最
小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×１００である。
【００３３】第２ベローズ１８と第１ベローズ７の肉厚
比による脈動幅についても比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の肉厚比がそれぞれ１．０、０．９、
０．７である場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実
施例４の肉厚比が０．５である場合は脈動幅が１４
（％）、実施例５の肉厚比が０．３である場合は脈動幅
が１３（％）、実施例６の肉厚比が０．１である場合は
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜６のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
ましい結果が得られた。これに対し、比較例１の肉厚比
が１．１である場合は脈動幅が２０（％）、比較例２の
肉厚比が１．２である場合は脈動幅が３５（％）、比較
例３の肉厚比が１．３である場合は脈動幅が７０（％）
であって、いずれの比較例の場合も脈動幅が比較的大き
くなり、好ましくなかった。ただし、肉厚比＝（第２ベ
ローズの厚み／第１ベローズの厚み）、脈動幅（％）＝
｛（最大吐出圧力−最小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×
１００である。
比による脈動幅についても比較テストした。その結果、
実施例１、２、３の肉厚比がそれぞれ１．０、０．９、
０．７である場合はそれぞれの脈動幅が１５（％）、実
施例４の肉厚比が０．５である場合は脈動幅が１４
（％）、実施例５の肉厚比が０．３である場合は脈動幅
が１３（％）、実施例６の肉厚比が０．１である場合は
脈動幅が１２（％）であって、実施例１〜６のいずれに
おいても脈動幅を平均的に小さく抑えることができる好
ましい結果が得られた。これに対し、比較例１の肉厚比
が１．１である場合は脈動幅が２０（％）、比較例２の
肉厚比が１．２である場合は脈動幅が３５（％）、比較
例３の肉厚比が１．３である場合は脈動幅が７０（％）
であって、いずれの比較例の場合も脈動幅が比較的大き
くなり、好ましくなかった。ただし、肉厚比＝（第２ベ
ローズの厚み／第１ベローズの厚み）、脈動幅（％）＝
｛（最大吐出圧力−最小吐出圧力）／平均吐出圧力｝×
１００である。
【００３４】第２ベローズ１８の伸び率を第１ベローズ
７のそれよりも大きく設定する手段としては、上記のよ
うに第１ベローズ７と第２ベローズ１８は共に同じ樹脂
材料で成形し、第２ベローズ１８の肉厚を第１ベローズ
７のそれよりも薄くするという手段のほかに、第１ベロ
ーズ７の成形樹脂材料の伸び率よりも大きい、それとは
異なる樹脂材料で第２ベローズ１８を成形することもで
きる。例えば、第１ベローズ７をＰＴＦＥ（ポリ四フッ
化エチレン）で、第２ベローズ１８をゴムで成形する。
７のそれよりも大きく設定する手段としては、上記のよ
うに第１ベローズ７と第２ベローズ１８は共に同じ樹脂
材料で成形し、第２ベローズ１８の肉厚を第１ベローズ
７のそれよりも薄くするという手段のほかに、第１ベロ
ーズ７の成形樹脂材料の伸び率よりも大きい、それとは
異なる樹脂材料で第２ベローズ１８を成形することもで
きる。例えば、第１ベローズ７をＰＴＦＥ（ポリ四フッ
化エチレン）で、第２ベローズ１８をゴムで成形する。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の脈動低減
装置付きポンプによれば、脈動低減効果を一段と高めら
れるという効果を奏する。
装置付きポンプによれば、脈動低減効果を一段と高めら
れるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】脈動低減装置付きポンプの全体縦断正面図であ
る。
る。
【図２】同ポンプの給排気用切換弁機構の拡大縦断正面
図である。
図である。
【図３】他の実施例の脈動低減装置付きポンプの往復動
ポンプ部の縦断正面図である。
ポンプ部の縦断正面図である。
【図４】図３の脈動低減装置付きポンプの脈動低減部を
往復動ポンプ部から分離した状態で示す縦断正面図であ
る。
往復動ポンプ部から分離した状態で示す縦断正面図であ
る。
【符号の説明】 １ ポンプヘッド構成壁 ２ 流入路 ３ 流出路 ４ 往復動ポンプ部 ５ 脈動低減部 ６，１７ ケーシング ７ 第１ベローズ ９ａ ポンプ作用室 １４ エアシリンダ部 １６ａ 吸入用逆止弁 １６ｂ 吐出用逆止弁 １８ 第２ベローズ ２０ａ 液体室 ２０ｂ 空気室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｂ 43/02 Ｆ０４Ｂ 43/06 Ｄ 43/06 (72)発明者 湊 洋二 兵庫県三田市下内神字打場541番地の１ 日本ピラー工業株式会社三田工場内 (72)発明者 桂 将義 兵庫県三田市下内神字打場541番地の１ 日本ピラー工業株式会社三田工場内 (72)発明者 川村 仁 兵庫県三田市下内神字打場541番地の１ 日本ピラー工業株式会社三田工場内 (72)発明者 藤井 睦 兵庫県三田市下内神字打場541番地の１ 日本ピラー工業株式会社三田工場内 Ｆターム(参考） 3H075 AA09 BB04 BB12 CC03 DA05 DA16 DB10 DB43 3H077 AA08 CC03 CC07 DD09 DD14 EE04 FF08 FF23 FF45
Claims (5)
- 【請求項１】 液体の流入路及び流出路を備えたポンプ
ヘッド構成壁と、 上記ポンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシン
グ内を軸線方向に沿って伸縮変形可能な樹脂製の第１ベ
ローズと、この第１ベローズを駆動伸縮変形運動させる
エアシリンダ部と、上記第１ベローズの内側に該第１ベ
ローズの伸縮変形運動に伴い交互に開閉作動して液体の
吸入作用及び吐出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ
作用室とを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部と、 上記ポンプヘッド構成壁の他側部に配設されたケーシン
グ内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第２ベローズ
と、この第２ベローズの内側に形成されて上記ポンプ作
用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に
貯溜可能にする液体室と、上記第２ベローズの外側に上
記液体室に対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入
される空気室とを備えて、上記第２ベローズの伸縮変形
運動に伴う上記液体室の容量変化により上記ポンプ作用
室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させる
ように構成した脈動低減部と、を備えている脈動低減装
置付きポンプにおいて、 上記第２ベローズの伸び率を上記第１ベローズのそれよ
りも大きく設定してあることを特徴とする脈動低減装置
付きポンプ。 - 【請求項２】 上記第１ベローズと第２ベローズは同じ
樹脂材料で成形されて、第２ベローズの肉厚を第１ベロ
ーズのそれよりも薄くしてある請求項１記載の脈動低減
装置付きポンプ。 - 【請求項３】 上記第１ベローズ及び第２ベローズが共
にポリ四フッ化エチレンよりなり、かつ第２ベローズの
肉厚を第１ベローズのそれよりも薄くしてある請求項１
記載の脈動低減装置付きポンプ。 - 【請求項４】 上記第１ベローズ及び第２ベローズが共
にポリ四フッ化エチレンよりなり、かつ第１ベローズと
第２ベローズの肉厚比（第２ベローズの肉厚／第１ベロ
ーズの肉厚）が１未満である請求項３記載の脈動低減装
置付きポンプ。 - 【請求項５】 上記往復動ポンプ部が一対の第１ベロー
ズを備えている請求項１ないし４のいずれかに記載の脈
動低減装置付きポンプ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30248599A JP3205909B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 脈動低減装置付きポンプ |
| TW089118999A TW508408B (en) | 1999-10-25 | 2000-09-15 | Pump with a pulsation suppression device |
| KR1020000057010A KR100358965B1 (ko) | 1999-10-25 | 2000-09-28 | 맥동 저감장치부착 펌프 |
| US09/685,092 US6364640B1 (en) | 1999-10-25 | 2000-10-11 | Pump with a pulsation suppression device |
| EP00122475A EP1096147B1 (en) | 1999-10-25 | 2000-10-13 | Pump with a pulsation suppression device |
| DE60034096T DE60034096T2 (de) | 1999-10-25 | 2000-10-13 | Balgdämpfer für Druckschwingungen in einer Faltenbalgpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30248599A JP3205909B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 脈動低減装置付きポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001123959A true JP2001123959A (ja) | 2001-05-08 |
| JP3205909B2 JP3205909B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=17909533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30248599A Expired - Lifetime JP3205909B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 脈動低減装置付きポンプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6364640B1 (ja) |
| EP (1) | EP1096147B1 (ja) |
| JP (1) | JP3205909B2 (ja) |
| KR (1) | KR100358965B1 (ja) |
| DE (1) | DE60034096T2 (ja) |
| TW (1) | TW508408B (ja) |
Cited By (7)
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| WO2010098176A1 (ja) | 2009-02-24 | 2010-09-02 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ |
| JP2011032873A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-17 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ベローズポンプ |
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| KR20170039099A (ko) | 2014-08-04 | 2017-04-10 | 니폰 필라고교 가부시키가이샤 | 벨로즈 펌프 장치 |
| KR20170096625A (ko) | 2014-12-25 | 2017-08-24 | 니폰 필라고교 가부시키가이샤 | 벨로우즈 펌프 장치 |
| US10788846B2 (en) | 2016-01-22 | 2020-09-29 | Carlisle Fluid Technologies, Inc. | Active surge chamber |
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| JP3610272B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2005-01-12 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズを有する流体機器 |
| JP3761754B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2006-03-29 | 日本ピラー工業株式会社 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
| TW200415310A (en) * | 2002-12-03 | 2004-08-16 | Nippon Pillar Packing | A pump |
| JP3874416B2 (ja) * | 2003-05-02 | 2007-01-31 | 日本ピラー工業株式会社 | 往復動ポンプ |
| KR101295374B1 (ko) * | 2011-06-01 | 2013-08-12 | 한국수력원자력 주식회사 | 황-요오드 수소생산공정용 황산용액 이송장치 |
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| DE102012102700A1 (de) * | 2012-03-29 | 2013-10-02 | Elringklinger Ag | Dichtungsanordnung |
| KR102013906B1 (ko) | 2014-10-08 | 2019-08-23 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 저압 요동 유동 제어 장치 및 방법 |
| KR101733634B1 (ko) | 2017-02-24 | 2017-05-08 | 주식회사 이노디스 | 벨로우즈 펌프 |
| NO344401B1 (en) * | 2017-07-04 | 2019-11-25 | Rsm Imagineering As | Method, system and use, of controlling working range of a pump bellows |
| NO20171100A1 (en) * | 2017-07-04 | 2019-01-07 | Rsm Imagineering As | A dual-acting pressure boosting liquid partition device, system, fleet and use |
| KR20210013159A (ko) * | 2018-05-25 | 2021-02-03 | 그라코 미네소타 인크. | 공기압 서지 억제기 |
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| CN114017575B (zh) * | 2022-01-06 | 2022-05-20 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种脉冲阻尼器及半导体设备 |
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|---|---|---|---|---|
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