JP3328591B2 - 脈動低減装置付きポンプ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用い
られる薬液の循環輸送などに好適に適用される脈動低減
装置付きポンプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の脈動低減装置付きポンプの脈動
低減装置として、本出願人は、例えば特開平８−１５９
０１６号公報に開示されているような構成のものを既に
提案している。そこでは、往復動ポンプによる移送液を
一時貯溜可能な液体室と、ベローズやダイヤフラムなど
上記液体室に対して伸縮変形自在な隔膜を介して隔離さ
れて脈動低減用の空気が封入される空気室とを設け、上
記隔膜内の液体室に流出入する移送液圧と空気室内の封
入気体圧力とのバランスによって液体室の容量を変化さ
せて上記移送液の吐出圧による脈動を吸収させるように
構成されているとともに、上記ポンプの吐出圧の変動に
より液体室容量が所定範囲を越えて増大または減少した
とき、上記空気室内へ給気するか、または空気室から排
気して隔膜変位を所定範囲内に規制するための給排気用
切換弁機構を上記隔膜の変位に連動してその軸線方向に
往復動作するシャフトを介して自動的に切換え動作させ
るように構成されている。このように構成された脈動低
減装置によれば、移送液の吐出圧による脈動を低減でき
るだけでなく、ポンプの吐出圧が変動した場合の液体室
容量の変化の増減を移送液圧と気体圧の圧力バランスに
よって所定範囲内に保持させてポンプの吐出圧の変動に
かかわらず脈動幅を小さく抑えることが可能である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この種のポンプにおい
て、ポンプの脈動低減作用は、例えば、ポンプから吐出
された高い移送液圧を隔膜へ受け入れる場合は、隔膜を
伸長させながら隔膜の液室内へ該移送液を流入させるこ
とによりその高移送液圧を吸収し、一時隔膜の液室内に
移送液を貯溜して移送液圧を低下させつつ流出路から吐
出することにより行われる。そして、この場合、この隔
膜の伸長動作は、隔膜の液室内に流入する移送液圧と、
該隔膜を介して移送液圧に抗して作用する空気室圧との
バランスにより左右されるが、一般に、隔膜の伸長に応
じた隔膜の伸長変位分の空気室圧縮に伴う空気室の圧力
増の影響を極力受けることなく、該移送液圧に応じて隔
膜が自由に伸長できる程、高い緩衝機能が得られる。こ
のため、空気室の体積が小さいと、隔膜の伸長に伴う空
気室の圧縮代が空気室に比して相対的に大きくなるとと
もに空気室の圧力増が大きくなり、この圧力を増した空
気圧が隔膜伸長方向と逆方向へ働き隔膜伸長を妨げる圧
力となるため、結果的に空気室の圧力増の影響を大きく
受けて高い移送液圧の低減作用を低下差せることとな
る。すなわち、この種のポンプでは、空気室の容積を大
きくする程空気室の圧縮率を低減できるとともに空気室
圧増を小さく抑えることができ、ひいては隔膜伸長を妨
げる作用を少なくすることができるため、脈動の低減に
は、上記空気室内の容積が大きい程有利である。しか
し、上記空気室内の容積を大きくすると、装置全体も大
型化し、その占有設置スペースが大きくなる。特に、半
導体製造装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄を行うため
に設備されるクリーンルームは高価であるため、この種
ポンプの設置スペースにも自ずと制約があり、空気室の
大型化にも限界があった。また、空気室内の容積を大き
くすると、上記給排気用切換弁機構のシャフトが長くな
り、このため、液体圧と気体圧との圧力バランスを行う
場合に、シャフトが傾いたり、隔膜をその軸線方向で液
体室容量の減少方向に動作付勢するためのスプリングが
変形したりしてシャフトが隔膜に対し垂直に作用しなく
なり、シャフトに連動している給排気用切替弁が正常に
開閉動作しなくなるという問題があった。

【０００４】本発明は、このような問題を解消するため
になされたもので、空気室を２つ以上に分離するという
構成を採用することにより脈動低減効果が高められるよ
う空気室内の容積の拡大を図り得ながらも、ポンプ全体
の小形化、設置スペースの減少を図れる脈動低減装置付
きポンプを提供することを目的する。また本発明は、給
排気用切換弁機構のシャフトの短縮化を図れ、給排気作
用の安定確実性を図れる脈動低減装置付きポンプを提供
することを目的する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、液体の流入路
及び流出路を備えた仕切壁と、この仕切壁の一側部に固
定連設されたケーシング内を軸線方向に沿って伸縮変形
可能な第１ベローズと、この第１ベローズを駆動伸縮変
形運動させるエアシリンダ部と、上記第１ベローズの内
側に該第１ベローズの伸縮変形運動に伴い交互に開閉作
動して液体の吸入作用及び吐出作用を行う逆止弁が設け
られたポンプ作用室とを備えてなるエア駆動型往復動ポ
ンプ部と、上記仕切壁の他側部に固定連設されたケーシ
ング内に上記第１ベローズに対向して配設されて該第１
ベローズの伸縮変形方向に伸縮変形可能な第２ベローズ
と、この第２ベローズの内側に形成されて上記ポンプ作
用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に
貯溜可能にする液体室と、上記第２ベローズの外側に上
記液体室に対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入
される装置側空気室とを備えて、上記第２ベローズの伸
縮変形運動に伴う上記液体室の容量変化により上記ポン
プ作用室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収
させるように構成した脈動低減部と、を具備している脈
動低減装置付きポンプにおいて、上記装置側空気室とは
別に、一つもしくは二つ以上の分離空気室が上記装置側
空気室と連通状に設けられている点に特徴を有するもの
である。上記装置側空気室と上記分離空気室とは内圧を
等しくするように配管接続する。上記分離空気室の容積
は、好ましくは上記液体室の容積の２０倍までの範囲に
設定する。２０倍以上に設定しても脈動低減に顕著な効
果は認められないからである。

【０００６】上記脈動低減装置付きポンプには、更に、
上記装置側空気室内に挿入されて上記第２ベローズの閉
鎖端側の変位に連動してその軸線方向に往復動作するシ
ャフトと、上記液体室の容量が所定範囲を越えて増大し
たときは上記シャフトを介して上記装置側空気室に通じ
る給排気用通路を給気口に連通させ、かつ、上記液体室
の容量が所定範囲を越えて減少したときは上記シャフト
を介して上記給排気用通路を排気口に連通させる弁体を
備えた給排気用切換弁機構と、を具備することができ
る。液体室の容量変化を、その容量変位の所定範囲内に
規制するために行う空気室内圧調整弁であれば、上記給
排気用切換弁に限定されない。

【０００７】

【作用】エアシリンダ部を介して往復動ポンプ部の第１
ベローズを駆動伸縮変形運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復されて所定
のポンプ作用が行われる。このとき、ポンプ作用室から
上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は脈動低減部の
液体室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液
体の吐出圧の脈動の山部においては第２ベローズが液体
室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、
脈動の谷部においては第２ベローズが液体室容量を減少
する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸
収することによって、液体を脈動なく連続してスムーズ
に流出させることが可能となる。

【０００８】上記のように動作する脈動低減装置付きポ
ンプにおいて、上記装置側空気室とは別に、一つもしく
は二つ以上の分離空気室が上記装置側空気室と連通状に
設けられていると、装置側空気室の容積と分離空気室の
容積との合計の容積で脈動低減性能を満足させることが
できる。しかも脈動低減装置付きポンプから分離空気室
を分離させることによりポンプ全体の小形化を図れるば
かりか、分離空気室はポンプの設置場所から離れた空き
スペースやポンプ上のデッドスペースに自在に設置する
ことが可能になり、空きスペースやデッドスペースの有
効利用を図ることができる。

【０００９】給排気用切換弁機構を具備した脈動低減装
置付きポンプによれば、往復動ポンプ部における吐出圧
の変動で液体室容量の増大が所定範囲を越えると、給排
気用切換弁機構によって装置側空気室内及び分離空気室
内への給気が行われて封入圧が上昇され、第２ベローズ
の伸長変形を規制し、かつ、液体室容量の減少が所定範
囲を越えると、給排気用切換弁機構によって装置側空気
室内及び分離空気室内からの排気が行われて封入圧が下
降され、第２ベローズの収縮変形を規制することによっ
て、往復動ポンプ部の吐出圧の変動にかかわらず第２ベ
ローズの伸縮変形量が一定範囲内に規制されて脈動幅を
小さく抑えることができる。

【００１０】そのうえ、上記のようにポンプ全体の小形
化に伴って給排気用切換弁機構のシャフトを長くする必
要がなくなり、したがって液体圧と気体圧との圧力バラ
ンスを行うときもシャフトに傾きが生じたり、第２ベロ
ーズを収縮方向に動作付勢するスプリングが変形したり
することを防止できてシャフトを第２ベローズに垂直に
作用させることが可能となり、これによって、第２ベロ
ーズの変位に連動する給排気用切換弁機構の弁体の移動
を円滑に、かつ一定量に保って所定の給排気作用を常に
正常に行わせることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明に係る脈動低減装置付
きポンプの実施形態として適用した半導体製造装置用の
空気駆動型ベローズ式ポンプの全体縦断正面図、図２は
給排気用切換弁機構の拡大縦断正面図であり、図１にお
いて、１は液体の流入路２及び流出路３が形成された仕
切壁で、この仕切壁１の両側に往復動ポンプ部４と脈動
低減部５とを対向して一体に配設している。

【００１２】上記仕切壁１の一側部に固定連設された有
底筒状のケーシング６内にその筒軸線方向に沿って伸縮
変形可能な第１ベローズである有底筒状のベローズ７が
配設されており、このベローズ７の開口周縁部７ａを環
状固定板８により仕切板１の一側面に気密状に押圧固定
することにより、ケーシング６の内部空間をベローズ７
内のポンプ作用室９ａとベローズ７外のポンプ作動室９
ｂとに密閉区画されている。ケーシング６の底壁部６ａ
の外側には、ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに連結部材１
０を介して固定連結されたピストン体１１を摺動可能に
内蔵するシリンダ体１２が固定されており、このシリン
ダ体１２及び上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した
空気孔１３ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの
加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気
をシリンダ体１２の内部又はポンプ作動室９ｂに供給す
ることによって、ベローズ７を駆動伸縮変形運動させる
エアシリンダ部１４が構成されている。

【００１３】また、上記ポンプ作用室９ａにそれぞれ開
口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂ
は上記流入路２及び流出路３に連通されているととも
に、これら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞ
れ、上記ベローズ７の駆動伸縮変形に伴って交互に開閉
作動する吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが
設けられており、以上の各構成要素により上記ポンプ部
４が構成されている。

【００１４】一方、上記仕切壁１の他側部に上記ケーシ
ング６と同軸状に固定連設された有底筒状のケーシング
１７内にも上記ポンプ部４におけるベローズ７に対向さ
せて、その筒軸線方向に沿って伸縮変形可能な第２ベロ
ーズである有底筒状のベローズ１８が配設されており、
このベローズ１８の開口周縁部１８ａを環状固定板１９
により上記仕切壁１の他側面に気密状に押圧固定するこ
とにより、ケーシング１７の内部空間が、ベローズ１８
内でポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及び仕切壁
１の肉厚内に貫通形成した連通路２１を経て吐出される
液体を一時的に貯溜する液体室２０ａと、ベローズ１８
外で脈動低減用の空気が封入される装置側空気室２０ｂ
とに隔離形成されている。

【００１５】以上の各構成要素によって、ベローズ１８
の伸縮変形に伴う液体室２０ａの容量変化によりポンプ
部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧に
よる脈動を吸収させる上記脈動低減部５が構成されてい
る。

【００１６】そして、上記脈動低減部５におけるケーシ
ング１７の底壁部１７ａの外面中央部には給排気用切換
弁機構２２を装備する。図２に示すように、この給排気
用切換弁機構２２は、ケーシング１７の底壁部１７ａの
外面略中央部に有底筒形のケーシング２３をボルト２４
等で締結固定し、このケーシング２３内にシリンダ部２
５を収容し、このシリンダ部２５内に弁体２６をその軸
線方向に沿って摺動自在に嵌合している。弁体２６の一
端にはシャフト２７を同軸状に結合し、このシャフト２
７を底壁部１７ａの略中央に形成した孔１７ｂを介して
上記装置側空気室２０ｂ内に挿入し、この挿入端部に設
けた鍔部２８は上記ベローズ１８の閉鎖端部１８ｂの略
中央部にスプリング２９の弾性力によって押し付けられ
ている筒形連結部材３０内の基準位置に連結されてい
る。

【００１７】上記ケーシング２３の周壁には、ケーシン
グ１７の底壁部１７ａ側寄り位置に給気口３１が形成さ
れているとともに、他側寄り位置に排気口３２が形成さ
れている。給気口３１は、移送液体の最大圧力値以上の
圧力の空気を供給するようになされており、また、排気
口３２は大気中に開放されている。これら給気口３１及
び排気口３２に対応して上記シリンダ部２５の周壁にポ
ート３３，３４が形成されている。ケーシング２３の周
壁内には給排気用通路３５が形成され、この給排気用通
路３５によって上記装置側空気室２０ｂとシリンダ部２
５内とを連通させている。給排気用通路３５にはこの通
路３５を介して装置側空気室２０ｂと鍔部２８とシリン
ダ部２５とケーシング２３で囲まれた領域を連通させる
通路３６を設けている。この通路３６を通って摺動用鍔
部３７ｃ（後述）とシリンダ部２５とで囲まれた空間に
装置側空気室２０ｂ内の空気圧を同時に印加させておく
ことにより弁体２６に作用する装置側空気室２０ｂ内の
空気圧変動の影響を打ち消すことができ、ベローズ１８
の伸縮変形量が所定範囲を越えた場合に作動するシャフ
ト２７の変位を正確に弁体２６に伝えることが可能とな
る。

【００１８】図２に示すように、上記弁体２６にはその
軸線方向に所定間隔を置いて３つの摺動用鍔部３７ａ，
３７ｂ，３７ｃが形成されており、中央の摺動用鍔部３
７ｂと一端側の摺動用鍔部３７ａとの間が給気用空間Ｓ
１に構成され、中央の摺動用鍔部３７ｂと他端側の摺動
用鍔部３７ｃとの間が排気用空間Ｓ２に構成されてい
る。この弁体２６は、ポンプ吐出圧の変動により液体室
２０ａの容量増大が所定範囲を越えると、シリンダ部２
５内を摺動変位して給排気用通路３５を空間Ｓ１に連通
させ、かつ、液体室２０ａの容量減少が所定範囲を越え
ると、給排気用通路３５を空間Ｓ２に連通させるように
構成されている。ケーシング２３内には、弁体２６を基
準位置に保持するよう押圧付勢するためのスプリング３
８を設置している。

【００１９】そして、図１に示すように圧力容器等から
なる分離空気室３９を上記装置側空気室２０ｂとは別体
に分離独立して構成し、例えば、ケーシング１７の周壁
の一部に接続口４１を設け、この接続口４１と前記分離
空気室３９とをチューブ４０をもって接続配管すること
で、分離空気室３９は装置側空気室２０ｂ内と同一圧力
となるように連通している。

【００２０】次に、上記構成の脈動装置付きポンプの動
作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から送給される加圧空気を往復動ポ
ンプ部４におけるエアシリンダ部１４のシリンダ体１２
の内部に空気孔１３ｂを介して供給してピストン体１１
及び連結部材１０を図１のｘ方向へ変位させることによ
りベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させると、流入
路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経てポンプ作
用室９ａ内に吸入され、次いで、上記加圧空気をエアシ
リンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に空気孔１３ｂを介
して供給した後に、空気孔１３ｂから排気してベローズ
７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポンプ作用室９
ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１６ｂを経て
吐出されるといったように、エアシリンダ部１４を介し
て往復動ポンプ部４におけるベローズ７を駆動伸縮変形
運動させることにより、吸入用逆止弁１６ａと吐出用逆
止弁１６ｂとが交互に開閉作動して流入路２からポンプ
作用室９ａへの液体の吸入とポンプ作用室９ａ内から流
出路３への液体の吐出とが反復され所定のポンプ作用が
行われる。このような往復動ポンプ部４の作動により移
送液体が所定の部位に向けて送給されると、ポンプ吐出
圧は山部と谷部との繰り返しによる脈動を発生する。

【００２１】ここで、上記ポンプ部４におけるポンプ作
用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移
送液体は、連通路２１を通って脈動低減部５における液
体室２０ａ内に送られ、この液体室２０ａに一時的に貯
溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送
液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体
は液体室２０ａの容量を増大するようにベローズ１８を
伸長変形させるので、その圧力が吸収される。この時、
液体室２０ａから流出される移送液体の流量は往復動ポ
ンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくなる。

【００２２】また、上記移送液体の吐出圧が吐出圧曲線
の谷部にさしかかると、上記ベローズ１８の伸長変形に
伴い圧縮された装置側空気室２０ｂ内及び分離空気室３
９内の封入圧よりも移送液体の圧力が低くなるので、ベ
ローズ１８は収縮変形する。この時、往復動ポンプ部４
から液体室２０ａ内に流入する移送液体の流量よりも液
体室２０ａから流出する流量が多くなる。この繰り返し
動作、つまり液体室２０ａの容量変化によって上記脈動
が吸収され低減される。

【００２３】ところで、上記のような動作中において、
往復動ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送
液体によって液体室２０ａの容量が増大し、ベローズ１
８が大きく伸長変形することになる。このベローズ１８
の伸長変形量が所定範囲Ａを越えると、シャフト２７を
介して弁体２６が外方ａに摺動変位して、給気排気用通
路３５が空間Ｓ１を介して給気口３１に連通される。こ
のため、給気口３１から高い空気圧が空間Ｓ１及び給気
排気用通路３５を経て装置側空気室２０ｂ及び分離空気
室３９に供給されて該装置側空気室２０ｂ内及び分離空
気室３９内の封入圧が高められることになり、これによ
ってベローズ１８の伸長変形量が規制されて液体室２０
ａの容量が過度に増大することが避けられる。

【００２４】一方、往復動ポンプ部４からの吐出圧が下
降変動すると、移送液体によって液体室２０ａの容量が
減少し、ベローズ１８が大きく収縮変形することにな
る。このベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂを越え
ると、シャフト２７を介して弁体２６が内方ｂに摺動変
位して、給気排気用通路３５が空間Ｓ２を介して排気口
３２に連通される。このため、装置側空気室２０ｂ内及
び分離空気室３９内の封入空気が給気排気用通路３５及
び空間Ｓ２を経て排気口３２から大気中に排出されて装
置側空気室２０ｂ内及び分離空気室３９内の封入圧が下
げられることになり、これによってベローズ１８の収縮
変形量が規制されて液体室２０ａの容量が過度に減少す
ることが避けられる。その結果、往復動ポンプ部４のポ
ンプ作用室９ａからの吐出圧の変動にかかわらず、脈動
を効率的に吸収して脈動幅を小さく抑えることになる。

【００２５】上記のように脈動低減部５に一体的に形成
した装置側空気室２０ｂとは別体に分離空気室３９を設
けて両者を連通させてあるので、両者を合わせて容積の
大きい空気室を得ることができて脈動の低減効果を高め
ることができ、また分離空気室３９の容積分だけポンプ
全体を小形化することができてポンプの設置占有面積を
減少できる。そして分離空気室３９は、本ポンプの設置
場所とは別の空いた場所に設置することができて、デッ
ドスペースを有効に活用することができる。例えば、半
導体製造装置用の本ポンプをクリーンルーム内の所望位
置に設置し、分離空気室３９はクリーンルーム内のデッ
ドスペースあるいはクリーンルームの外に設置すること
ができて高価なクリーンルーム内を経済的に有効利用す
ることが可能となる。

【００２６】また、ポンプ全体の小形化に伴って給排気
用切換弁機構２２のシャフト２７は長くする必要がなく
て短くて足りるので、液体圧と気体圧との圧力バランス
による脈動低減動作時に該シャフト２７に傾きが生じた
り、スプリング２９が変形したりすることを防止でき
る。したがって、シャフト２７は常にベローズ１８に対
し垂直に作用させることが可能となり、ベローズ１８の
変位に連動する給排気用切換弁機構２２の弁体２６の移
動が常に安定かつ円滑に行える。

【００２７】上記分離空気室３９は１つに限られず、２
つ以上設けることもできる。また分離空気室３９の接続
箇所は装置側空気室２０ｂと連通する箇所であればどこ
でもよいが、例えば、図１に仮想線で示すごとく給排気
用通路３５の中途部位にチューブ４０などで接続配管す
ることもできる。空気分離室３９は圧力容器に限られ
ず、そのほかに可撓性を有する長い管又は太い管で構成
し、これをケーシング２３の外周のデッドスペースを利
用すべく、該ケーシング２３に巻き付けることもでき
る。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
脈動低減効果を高められるように脈動低減用の空気室の
内部容積の拡大化を確保し得ながらも、ポンプ全体の小
形化及び設置占有面積の減少を図ることができる。また
脈動低減部の給排気用切換弁機構の作動を常に円滑かつ
安定よく行える効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る脈動低減装置付きポンプの全体縦
断正面図である。

【図２】同ポンプの給排気用切換弁機構の拡大縦断正面
図である。

【符号の説明】 １ 仕切壁 ２ 流入路 ３ 流出路 ４ 往復動ポンプ部 ５ 脈動低減部 ６，１７ ケーシング ７ 第１ベローズ ９ａ ポンプ作用室 １４ エアシリンダ部 １６ａ，１６ｂ 逆止弁 １８ 第２ベローズ １８ 第２ベローズ ２０ａ 液体室 ２０ｂ 装置側空気室 ２２ 給排気用切換弁機構 ２６ 弁体 ２７ シャフト ３１ 給気口 ３２ 排気口 ３５ 給排気用通路 ３９ 分離空気室 ４０ チューブ

フロントページの続き (72)発明者 今西 良 兵庫県三田市下内神字打場541番地の１ 日本ピラー工業株式会社三田工場内 (56)参考文献 特開 平10−196521（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−186101（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−137156（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−8902（ＪＰ，Ｕ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体の流入路及び流出路を備えた仕切壁
   と、 上記仕切壁の一側部に配設されたケーシング内を軸線方
   向に沿って伸縮変形可能な第１ベローズと、この第１ベ
   ローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部と、上
   記第１ベローズの内側に該第１ベローズの伸縮変形運動
   に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作用
   を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備えてなる
   エア駆動型往復動ポンプ部と、 上記仕切壁の他側部に配設されたケーシング内に上記第
   １ベローズに対向して配設されて該第１ベローズの伸縮
   変形方向に伸縮変形可能な第２ベローズと、この第２ベ
   ローズの内側に形成されて上記ポンプ作用室から吐出用
   逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする
   液体室と、上記第２ベローズの外側に上記液体室に対し
   隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される装置側空
   気室とを備えて、上記第２ベローズの伸縮変形運動に伴
   う上記液体室の容量変化により上記ポンプ作用室から吐
   出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように構
   成した脈動低減部と、 を具備している脈動低減装置付きポンプにおいて、 上記装置側空気室とは別に、一つもしくは二つ以上の分
   離空気室が上記装置側空気室と連通状に設けられてお
   り、 上記装置側空気室と上記分離空気室とが内圧を等しくす
   るように配管接続されて いることを特徴とする脈動低減
   装置付きポンプ。
2. 【請求項２】 上記装置側空気室内に挿入されて上記第
   ２ベローズの閉鎖端側の変位に連動してその軸線方向に
   往復動作するシャフトと、 上記液体室の容量が所定範囲を越えて増大したときは上
   記シャフトを介して上記装置側空気室に通じる給排気用
   通路を給気口に連通させ、かつ、上記液体室の容量が所
   定範囲を越えて減少したときは上記シャフトを介して上
   記給排気用通路を排気口に連通させる弁体を備えた給排
   気用切換弁機構と、を具備している 請求項１記載の脈動
   低減装置付きポンプ。
3. 【請求項３】 上記一つもしくは二つ以上の分離空気室
   の容積が上記液体室の容積の２０倍までの範囲に設定し
   てある請求項１又は２に記載の脈動低減装置付きポン
   プ。