KR100247260B1 - 액정표시패널의 검사장치 - Google Patents

Abstract

검사장치의 높이 치수를 작게 하기 위한 것이다. 액정 표시 패널의 검사장치는 액정표시패널(12)을 배치하는 측정 스테이지(22)와, 상기 측정 스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라(42)와, 상기 액정표시패널로부터의 광(38)을 작업자에 의하여 육안 검사 위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하게 하기 위해 상기 광의 광로를 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하는 광로변경수단(36)을 포함한다.

Description

액정표시패널의 검사장치

본 발명은 액정표시패널의 양호불량을 검사하는 장치에 관한 것이다.

액정표시패널의 결함은 점결함, 선결함, 얼룩결함, 색도결함 등 다종다양하게 존재하는 것이 알려져 있다. 이들 결함은 액정표시패널을 측정스테이지에 수평의 상태로 재치(載置)하고, 그의 액정표시패널을 점등 즉 구동시켜서 그의 액정표시패널로부터의 광을 이용해서 액정표시패널의 점등상태를 확인하는 것에 의해 검사된다.

이와 같은 액정표시패널의 검사장치에는, 구동중의 액정표시패널을 그의 상방으로부터 텔레비전카메라로 촬영, 즉 촬상하고, 그의 텔레비전카메라의 출력신호를 컴퓨터로 처리해서 점등상태를 확인하는 자동검사장치와, 구동중의 액정표시패널을 작업자가 육안으로 점등상태를 확인하는 육안 검사장치이다.

그러나, 종래의 자동검사장치에서는 텔레비전카메라를 측정스테이지상의 위쪽에 설치하고 있기 때문에, 검사장치의 높이 치수가 커진다. 특히, 대형의 액정표시패널용의 검사장치와 같이, 텔레비전카메라의 시야를 넓히지 않으면 안되는 검사장치에 있어서는, 측정스테이지와 텔레비전카메라와의 사이의 치수가 크게 되기 때문에, 검사장치의 높이 치수가 건축물의 한층 분의 높이 치수보다 크게되고, 건조물을 개선하지 않으면 안되었다.

또한, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사는, 검사능률은 높지만, 점결함, 얼룩결함 등, 일부의 결함에 대해서 이것이 실제로 결함인지 아닌지에 대해서의 판정이 곤란한 경우가 많다. 이것에 대해서, 사람에 의한 육안검사에 의하면, 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사에 비해서 고감도로 검사할 수는 있지만, 검사기준이 애매하고, 또한 검사능률이 저하한다.

그러므로, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사에 있어서 결함인지 아닌지의 판정이 곤란한 경우에, 사람에 의한 육안 검사를 하는 것이 좋다. 그리고, 종래의 자동검사장치에서는 텔레비전카메라 및 그의 지지수단 등, 자동검사를 위한 기기가 측정스테이지상의 액정표시패널의 관찰을 방해하고, 그래서 장치의 구조상으로 인해 육안검사가 곤란하다.

본 발명의 주 목적은 검사장치의 높이 치수를 작게하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있도록 하는 것이다.

본 발명의 액정표시패널의 검사장치는, 액정표시패널을 배치하는 측정스테이지와, 상기 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의해 육안검사위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하기 위한 상기 광의 광로를 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하는 광로변경수단을 포함한다.

본 발명에 의하면, 액정표시패널로부터의 광의 광로를 광로변경수단에 의해 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라를 측정스테이지의 위쪽에 설치할 필요가 없고, 그러므로 종래의 장치에 비해서 장치의 높이 치수가 작게된다.

또, 상기 광로변경수단을 상기 광로변경수단에 대하여 광로의 입사각 및 반사각을 변경가능하게 지지하는 지지수단을 포함할수 있다. 이것에 의하면, 광로변경수단으로의 광의 입사각 및 광로변경수단으로부터의 광의 반사각을 변경함으로서, 텔레비전카메라의 시야를 변경할 수 있다.

상기 지지수단은, 상기 광로변경수단을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 상기 텔레비전카메라로 향하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 밖의 제 2 위치에 선택적으로 변위가능하게 지지하는 기능을 가질 수 있다.

상기와 같이 하면, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치에 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 텔레비전카메라로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 텔레비전카메라에 의해 광로변경수단을 거쳐서 촬영 즉, 촬상할 수 있다. 이것에 대해서, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되기 때문에, 자동검사를 위한 기기에 영향받지 않게 되고, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 관찰할 수 있다. 그 결과, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.

상기 측정스테이지는 액정표시패널을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부를 가질 수 있다. 그리고, 상기 측정스테이지는 상기 액정표시패널을 경사지게한 상태로 지지하는 받침부를 갖고, 상기 광로변경수단은 상기 받침부로부터 상기 받침부상의 액정표시패널에 대해서 수직의 방향으로 이격된 장소에 배치되어 있는 것이 좋다. 이와 같이 하면, 받침부상의 액정표시패널을 그의 액정표시패널에 대해서 수직의 방향(예를 들면, 기울어진 위쪽)에서 관찰을 할 수 있고, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 용이하게 또는 정확하게 관찰할 수 있다.

양호한 실시예에 있어서는, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라에 의한 촬상범위를 덮는 커버를 포함하고, 상기 광로변경수단은 상기 커버의 내측에 배치되어 있고, 상기 커버는 상기 광로변경수단을 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해서 변위가능하다. 이 경우에, 상기 커버를 검사장치의 광체(筐

)와 힌지에 의해 결합해도 좋고, 검사장치의 광체에 이동 가능하게 결합시켜도 좋고, 또한 커버는 검사장치의 광체에 떼어낼 수 있게 결합해도 좋다.

양호한 다른 실시예에 있어서는, 상기 지지수단은 상개 텔레비전카메라에 의한 촬상범위를 덮는 커버로서 상기 측정스테이지를 육안으로 관찰하는 개구를 가지는 커버와, 상기 개구를 개폐하는 덮개를 포함하고, 상기 광로변경수단은 상기 덮개의 내측에 배치되어 있고, 상기 덮개는 상기 광로변경수단을 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해서 변위가능하다. 이 경에, 상기 덮개를 커버에 힌지에 의해 결합해도 좋고, 검사장치의 커버에 이동가능하게 결합해도 좋으며, 더욱이 검사장치의 커버에 떼어낼 수 있게 결합해도 좋다.

상기 지지수단은, 상기 광로변경수단을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 상기 텔레비전카메라로 향하는 제 1 위치와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하는 제 2 위치로 선택적으로 변경가능하게 지지하는 기능을 가지고 있어도 좋다. 이와 같이 하면, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 텔레비전카메라로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 텔레비전카메라에 의해 광로변경수단을 통해서 촬상할 수 있다. 이것에 대해서, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의해 육안검사위치로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 광로변경수단을 거쳐서 관찰할 수 있다. 이 결과, 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.

상기 지지수단은 상기 광로변경수단을 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하게 하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥으로 되는 제 2 위치로 선택적으로 변경가능하게 지지하는 기능을 가져도 좋다. 이와 같이 하면, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지로 배치된 액정표시패널을 광로변경수단을 통해 관찰할 수 있다. 이것에 대해서, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되기 때문에, 광로변경수단에 영향을 받지 않고, 측정스테이지에 배치된 액정 표시패널을 텔레비전카메라에 의해 촬영 즉 촬상할 수 있다. 그 결과, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.

제1도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 1 실시예를 도시하는 정면도.

제2도는 제1도의 검사장치의 좌측면도.

제3도는 제1도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 커버를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.

제4도는 제1도의 검사장치를 제2도에서 화살표 4 방향에서 본 도면.

제5도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 2 실시예를 도시하는 정면도.

제6도는 제5도의 검사장치의 우측면도.

제7도는 제5도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치로 커버를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.

제8도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 3 실시예를 도시하는 정면도.

제9도는 제8도의 검사장치의 우측면도.

제10도는 제9도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 덮개를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.

제11도는 제9도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 덮개를 변위시킨 상태를 도시하는 우측면도.

제12도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 4 실시예를 도시하는 정면도.

제13도는 제12도의 검사장치의 우측면도.

제14도는 제12도의 검사장치의 덮개를 커버에서 떠낸 상태를 도시하는 정면도.

제15도는 본 발명에 따른 검사장치의 제5 실시예를 도시하는 정면도.

제16도는 제15도의 검사장치의 평면도.

제17도는 제15도의 검사장치에서 광로변경수단을 위한 지지수단의 일 실시예를 도시하는 도면.

제18도는 광로변경수단을 위한 지지수단의 다른 실시예를 도시하는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10, 50, 60, 70, 80 : 검사장치 12 : 액정표시패널

14 : 본체부 16 : 로드부

18 : 테스터부 20 : 광체(筐

)

22 : 측정스테이지 24 : 검사용 프로브 유닛

26 : 경사부 28 : 광체의 개구

30 : 베이스 판 32 : 시일드커버

34 : 힌지 36 : 광로변경수단

38 : 액정표시패널로부터의 광 40 : 카메라스테이지

42 : 텔레비전카메라 52 : 레일

62 : 커버의 개구 64 : 덮개

66 : 힌지 72 : 손잡이

84 : 광로변경수단의 부착쇠붙이 100, 102 : 광로변경수단 부착용 브리킷

104 : 볼트 106 : 너트

도 1 내지 도 4를 참조하면, 검사장치(10)는 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 할 수 있는 실시예이다.

검사장치(10)는 액정표시패널(12)을 검사하는 본체부(14)와, 액정표시패널(12)을 본체부(14)에 배치하고 또한 본체부(14)로부터 제거한 로드부(16)와, 본체부(14)에 배치된 액정표시패널(12)을 자동적으로 검사하는 테스터부(18)를 포함한다. 로드부(16)는 본체부(14)의 후측에 배치되어 있고, 테스터부(18)는 본체부(14)의 좌측에 배치되어 있다.

본체부(14)는 앵글재와 같은 복수의 강재와, 상기 강재에 복수의 나사부재에 의해 부착되어 있는 내부공간을 외부공간으로부터 구획하는 복수의 패널에 의해 형성된 프레임 즉 광체(20)를 구비한다. 본체부(14)내에는 측정스테이지(22)와 검사용의 프로브 유닛(24)이 배치되어 있다. 광체(20)의 전측상부는 경사진 경사부(26)로 되어 있고, 경사부(26)는 측정스테이지(22) 및 프로브 유닛(24)의 배치위치에 대응하는 장소에 개구(28)를 갖는다.

측정 스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평선 및 연직선에 대해서 비스듬히 지지하도록, 상향으로 비스듬한 받침부(22a)를 가진다. 받침부(22a)는 광체(20)의 경사부(26)와 평행하다. 그리고, 액정표시패널(12)은 전방 및 상방으로 향하는 상태로 지지된다. 받침부(22a)의 위치는 3차원적으로 조정가능하다. 받침부(22a)의 위치의 조정의 방향은 경사부(26)와 평행한 면내의 상호 직교하는 2개의 축선의 방향과, 측정스테이지(22)의 상면에 대해서 직교하는 축선의 방향이다. 받침부(22a)는 또한 받침부(22a)상의 액정표시패널(12)과 수직의 축선 둘레의 회전각도를 조정 가능하다.

프로브 유닛(24)은 측정스테이지(22)의 받침부(22a)에 대해서 개구(28)의 측에 배치되어 있고, 또한 액정표시패널(12)의 단자에 당접되어 있는 검사용의 복수의 프로브를 구비하고 있고, 더욱이 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 개구측에서 관찰하기위한 사각형의 개구를 가진다.

개구(28)는 측정스테이지(22) 및 프로브 유닛(24)보다 큰 면적을 가지고, 또한 광체(20)의 일부인 베이스판(30)에 형성되어 있다. 개구(28)는 광체(20)내를 외부로부터 차광하는 상자 형상의 시일드 커버(32)에 의해 개폐가능하게 폐쇄되어 있다. 커버(32)는 도시한 예에서는 상부에 있어서 1 이상의 힌지(34)에 의해 광체(20)에 피봇축 운동가능하게 조립되어 있다. 그리고, 커버(32)를 도 1에 있어서, 좌단부, 우단부, 하부, 경사진 상부, 경사진 하부 등, 다른 부위에 있어서 광체(20)에 나사장착해도 좋다.

커버(32)는 광로변경수단(36)을 지지하고 있다. 광로변경수단(36)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 테스터부(18)의 상부로 향해 거의 수평으로 지향시키도록, 커버(32)내의 내측에 변위가능하게 조립되어 있다. 광로변경수단(36)은 광(38)의 광로를 90도 변경한다. 도시의 예에서는, 광로변경수단(32)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)에 수직의 축선에 대해서 45도 경사진 반사경이다.

테스터부(18)의 상부에는 카메라스테이지(40)가 배치되어 있다. 카메라스테이지(40)는 텔레비전카메라(42)를 그의 광축이 거의 수평으로 되는 자세로 지지하는 부착부(40a)를 가진다. 카메라스테이지(40)의 부착부(40a)의 위치는 전후, 좌우 및 상하의 3방향으로, 즉, 3차원적으로 조정가능하다. 텔레비전카메라(42)는 그의 광축이 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 축선과 일치하도록, 광로변경수단(36)으로부터 측정스테이지(22)상의 액정표시패널과 평행의 수평방향으로 이격된 장소에 횡방향으로 지지되어 있다. 부착부(40a)는 또한 텔레비전카메라(42)의 광축의 둘레의 회전각도를 조정가능하다.

도시하지는 않지만, 로드부(16)에는 액정표시패널의 장진지구가 배치되어 있고, 경사부(26)의 내측에는 장진기구 및 측정스테이지(22)에 대해서 액정표시패널을 받아 전달하는 전달기구가 배치되어 있다. 액정표시패널(12)은 검사에 우선해서, 장진기구로부터 전달기구로 이동되고, 전달 기구에 의해 측정스테이지(22)에 배치된다. 또한, 검사를 종료한 액정표시패널(12)은 전달 기구에 의해 측정스테이지(22)로부터 제거되고, 전달 기구로부터 장진기구로 이동된다.

자동검사시, 광체(20)의 개구(28)는 도 1 및 도 2에 실선으로 도시하고 또한 도 4에 2점쇄선으로 도시한 바와 같이, 커버(32)에 의해 폐쇄되어있다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 도 1 및 도 2에 파선으로 도시하고 또한 도 4에 실선으로 도시한 바와 같이, 측정스테이지(22)에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 텔레비전카메라(42)로 향해서 지향시키는 제 1 위치로 이동되어 있고, 또한, 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사시킨다.

상기의 상태에서, 액정표시패널(12)이 구동되고, 텔레비전카메라(42)가 광로 변경수단(36)을 통해서 액정표시패널(12)을 촬상한다. 텔레비전카메라(42)의 출력신호는 도시하지 않은 처리회로에서 액정표시패널(12)의 양호불량의 판정에 사용된다. 자동검사시, 개구(28)가 커버(32)에 의해 폐쇄되어 있기 때문에, 외부의 광이 광체(20)내로 들어가는 일이 없고, 그래서 액정표시패널(12)을 텔레비전카메라(42)에 의해 정확하게 촬상할 수 있다.

육안검사시, 커버(32)가 도 2에 있어서 2점쇄선으로 도시하고 또한 도 3에 실선으로 도시한 바와 같이 힌지(34)의 피봇축의 둘레로 회전되어, 광체(20)의 개구(28)가 개방된다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 작업자는 육안검사위치에서 위치하고, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 관찰하는 것을 방해하지 않는 위치로 도시하지 않은 적절한 스토퍼에 의해 해제가능하게 유지된다.

사람에 의한 육안검사는, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사에 있어서 결함인지 아닌지의 판정이 곤란한 경우에 행해도 좋고, 그 이외의 경우, 예를 들면, 검사될 액정표시패널이 적은 경우에 행해도 좋다. 후자의 경우, 액정표시패널(12)을 사람에 의해, 특정스테이지(22)에 배치하고, 측정스테이지(22)로부터 제거해도 좋다. 또한, 육안검사에 의해 불량으로 판정된 액정표시패널을 로드부(16)의 장진기구를 이용하지 않고, 사람에 의해 측정스테이지(22) 또는 전달 기구로부터 제거해도 좋다.

검사장치(10)에 의하면, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)의 광로를 광로변경수단(36)에 의해 수평방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라(42)를 측정스테이지(22)의 상방으로 설치할 필요가 없고, 그리고, 텔레비전카메라를 측정스테이지의 상방에 설치한 경우에 비해서, 장치의 높이 치수가 작게된다.

또한, 개구(28)가 광체(20)의 전면상방으로 형성되어 있고, 또한 액정표시패널(12)이 수평선 및 연직선에 대해서 경사된 자세로, 즉 개구(28)와 대향하는 자세로 지지되어 있기 때문에, 액정표시패널(12)을 검사장치(10)의 정면에서 경사진 상방로부터 관찰할 수 있고, 그리고 액정표시패널(12)을 용이하게 또한 정확하게 관찰할 수 있다.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 검사장치(50)는 광체(20)의 경사부(26)에 평행하게 신장하는 한 쌍의 레일(52)을 설치하고, 커버(32)를 레일(52)에 이동가능하게 지지키기고 있다. 도시의 예에서는, 레일(52)은 개구(28)를 커버(32)에 의해 개폐할 수 있도록, 경사부(26)를 상하방향으로 간격을 두어 좌우방향으로 신장한다. 그리고, 레일(52)은 개구(28)를 커버(32)에 의해 개폐할 수 있는 한, 상하방향, 경사진 상하방향 등, 다른 방향으로 신장해도 좋다.

자동검사시, 커버(32)는 도 5에 도시한 바와 같이, 광체(20)의 개구(28)를 폐쇄하는 위치로 이동된다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광을 텔레비전카메라(42)로 향해서 지향시키는 제 1 위치로 이동시키고, 또한 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사 시킨다.

육안검사시, 커버(32)는 도 7에 도시한 바와 같이, 광체(20)의 개구(28)를 개방하는 위치로 이동시킨다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 개구(28)로부터 육안으로 관찰하여 검사할 수 있다.

도 8 내지 도 11을 참조하면, 검사장치(60)는 사각형의 작은 창구멍, 즉 개구(62)를 커버(32)에 형성하고, 개구(62)를 개방가능하게 폐쇄하는 사각형의 덮개(64)를 힌지(66)에 의해 커버(32)에 부착하고, 광로변경수단(36)을 덮개(64)의 내측에 변위불능하게 부착하고, 커버(32)를 광체(20)의 개구를 폐쇄하도록 제거가능하게 광체(20)에 부착하고 있다.

커버(32)의 개구(62)는 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 관찰가능의 위치에 형성되어 있고, 광로변경수단(36)은 개구(62)가 덮개(64)에 의해 폐쇄할 때, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사하도록 덮개(64)에 부착되어 있다. 도시한 예에서는, 덮개(64)는 우단부에 있어서 커버(32)에 나사장착되어 있다. 그리고, 덮개(64)를 다른 부위에서 커버(32)에 나사 장착해도 좋다. 커버(32)는 힌지(66)와 공동해서 개구(62)를 폐쇄한 상태로 해제가능하게 유지하는 멈춤구(68)를 가진다.

자동검사시, 덮개(64)는 도 8과 도 9에 도시한 바와 같이, 커버(32)의 개구(62)를 폐쇄하는 위치에 배치된다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광을 텔레비전카메라(42)로 향해 지향시키는 제 1 위치로 이동되고, 또한 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사시킨다.

육안검사시, 커버(32)는 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 덮개(64)의 개구(62)를 개방하는 위치로 변위된다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 측정스테이지상의 액정표시패널(12)을 개구(62)로부터 육안으로 관찰하여 검사할 수 있다.

상기의 실시예와 같이, 커버(32) 또는 덮개(64)를 광체(20) 또는 커버(32)에 제거 불능하게 조립하는 대신에, 커버(32) 또는 덮개(64)를 광체(20) 또는 커버(32)에 제거가능하게 조립해도 좋다.

도 12 내지 도 14에 도시하는 검사장치(70)는 덮개(64)에 한 쌍의 손잡이(72)를 설치하고, 덮개(64)를 커버(32)에 제거가능하게 조립하고 있다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 커버(32)의 개구(62)를 폐쇄하도록 덮개(64)를 커버(32)에 조립함으로써 제 1 위치로 이동되고, 도 14에 도시한 바와 같이 개구(62)를 개방하도록 덮개(64)를 커버(32)에서 떼어내므로서 제 2 위치로 이동된다.

광로변경수단(36)은 덮개(64)가 커버(32)에 조립되어질 때, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사하지만, 덮개(64)가 커버(32)에서 떼어지면, 커버(32)와 함께 이동된다. 커버(32)에서 떼어낸 덮개(64)는 광체(20)에 횡방향으로 놓일 수 있다.

상기의 각 실시예에서는 광로변경수단(36)은 광(38)을 텔레비전카메라(42)로 향해 지향시키도록 배치되어 있다. 그리고, 광로변경수단(36)을 이것이 광(38)을 텔레비전카메라(42)에 지향시키는 위치와, 사람에 의한 육안검사위치로 지향시키는 위치로 선택적으로 변위시키도록 광로변경수단(36)을 배치해도 좋다. 또한, 광로변경수단(36)을 이것이 광(38)을 육안검사위치로 지향시키는 위치와, 액정표시패널(12)로부터의 광이 광로변경수단(36)을 거치지 않고 텔레비전카메라(42)에 입사하는 것을 허용하는 위치로 선택적으로 변위시킬 수 있도록 광로변경수단(36)을 배치해도 좋다.

상기의 각 실시예는 광로변경수단(36)을 변위시키므로서, 자동검사와 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다. 그리고 본 발명은 그와 같은 장치만을 한정하지 않고, 육안검사에는 불적합한 장치에도 적용할 수 있다.

도 15 내지 도 17를 참조하면, 검사장치(80)는 육안검사시에는 적합하지 않지만, 자동검사시에는 적합한 장치의 일 실시예이다. 검사장치(80)는 로드부(16)를 본체부(14)의 우측에 배치하고, 테스트부(18)를 본체부(14)의 좌측에 배치하고 있다. 광체(20)는 그의 전면에 경사부를 가지지 않는다.

광체(20)의 전면상부는 측정스테이지(22) 및 액정표시패널(12)을 관찰하기위한 개구로 되어 있고, 상기 개구는 광체(20)에 나사장착된 한 쌍의 문짝(82)에 의해 양쪽 개방식으로 개방가능하게 폐쇄되어있다. 측정스테이지(22)는 그의 받침부(22a)가상향으로 되고 또한 액정표시패널(12)을 받침부(22a)에 거의 수평의 상태로 지지하도록 본체부(14)에 배치되어 있고, 프로브 유닛(24)은 측정스테이지(22)의 받침부(22a)의 상측에 배치되어 있다.

도 17에 도시한 바와 같이, 광로변경수단(36)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 테스터부(18)의 상부로 향해서 거의 수평으로 지향시키도록, 광체(20)의 내측에 부착쇠붙이(84)에 의해 변위불능하게 조립되어 있다. 광로변경수단(36)은 광(38)의 광로를 90도 변경한다.

로드부(16)는 카세트 설치대(86)와, 가대(88)와 상기 가대에 좌우방향으로 이동가능하게 수용된 로봇(90)을 구비한다. 카세트설치대(86)는 복수의 액정표시패널을 수용한 복수의 카세트(92)를 상면에 수용하다. 로봇(90)은 검사 때마다, 검사될 액정표시패널을 카세트설치대(86)상의 적당한 카세트(92)로부터 취출해서 측정스테이지(22)로 운반하고, 검사 종료한 액정표시패널을 측정스테이지(22)로 운반하고, 검사 종료한 액정표시패널을 측정스테이지(22)로부터 수취해서 카세트 설치대(86)상의 소정의 카세트(92)로 이동 또는 복귀한다.

카메라스테이지(40)는 테스터부(18)의 상부에 배치되어있다. 카메라스테이지(40)는 텔레비전카메라(42)를 그의 광축이 거의 수평으로되는 자세로 부착부(40a)에 지지한다. 텔레비전카메라(42)는 그의 광축이 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 축선과 일치하도록, 광로변경수단(36)으로부터 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)과 평행의 수평방향으로 이격된 장소에 횡방향으로 향해 지지되어있다. 카메라스테이지(40)의 부착부(40a)의 위치는 3차원적으로(전후, 좌우 및 상하의 3방향으로)조정가능하다. 또한 부착부(40a)는 텔레비전카메라(42)의 광축의 둘레의 회전각도를 조정가능하다.

검사시, 광체(20)의 개구가 문짝(82)에 의해 폐쇄되어 광체(20)내부가 외부의 광으로부터 차단된 상태에서, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)이 구동된다. 이것에 의해, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)은 광로변경수단(36)에 의해 반사되어서 텔레비전카메라(42)로 향해 지향되고, 액정표시패널(12)의 상은 광로변경수단(36)에 의해 텔레비전카메라(42)에 반사된다.

상기의 상태에서, 텔레비전카메라(42)가 구동되어서 액정표시패널(12)을 광로변경수단(36)을 통해서 촬영 즉 촬상한다. 텔레비전카메라(42)의 출력신호는 도시하지 않은 처리회로에 있어서 액정표시패널(12)의 양호불량의 판정에 사용된다. 검사시, 광체(20)의 개구가 문짝(82)에 의해 폐쇄되어 있기 때문에, 외부의 광이 광체(20)내로 들어올 수 없고, 그래서 액정표시패널(12)을 텔레비전카메라(42)에 의해 정확히 촬상할 수 있다.

검사장치(80)에 의하면, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)의 광로를 광로변경수단(36)에 의해 수평방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라(42)를 측정스테이지(22)의 상방으로 설치할 필요가 없고, 그래서 텔레비전카메라를 측정스테이지의 상방으로 설치한 장치에 비해서, 장치의 높이 치수가 작게된다.

상기의 검사장치(80)에서는 광로변경수단(36)을 부착쇠붙이(84)에 의해 광체(20)에 변위불능하게 조립되어 있지만, 광로변경수단(36)에 대해 광(38)의 입사각 및 반사각을 변경할 수 있도록, 광로변경수단(36)을 지지수단에 의해 광체(20)에 조립해도 좋다.

도 18에 도시하는 지지수단의 실시예에서는 제 1 브리킷(100)을 1 이상의 나사부재에 의해 광체(20)에 조립하고, 광로변경수단(36)을 제 2 브리킷(102)에 지지시키고, 제 2 브리킷(102)을 볼트(104)와 이것에 나사결합된 너트(106)에 의해 제 1 브리킷(100)에 조립되어있다. 볼트(104)는 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 진행방향과 직교하는 수평방향으로 신장하지만, 광로변경수단(36)의 반사면과 평행하게 비스듬하게 신장해도 좋다.

브리킷(100, 102)은 통상 볼트(104)와 너트(106)에 의해 변위불능하게 결합되어 있다. 그리고, 볼트(104)와 너트(106)의 나사결합을 풀고, 제 1 브리킷(102)를 화살표(108a 또는 108b)의 방향으로 각도적으로 회전시키면, 광로변경수단(36)에 대한 광(38)의 입사각 및 반사각이 변화하고, 텔레비전카메라(42)에 의해 시야 즉 촬상범위가 변화한다. 그래서, 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 변경 또는 조정할 수 있다.

브리킷(100, 102)을 볼트(104)와 너트(106)에 의해 변위불능하게 결합시키는 대신에, 제 2 브리킷(102)을 펄스모터와 같은 회전원에 의해 각도적으로 회전이동 시키도록 해도 좋다. 이 경우, 볼트(104) 대신에, 피봇축을 이용하고, 상기 피봇축에 제 2 브리킷(102)을 고정하고, 피봇축을 회전원에 의해 각도적으로 회전시키도록 해도 좋고, 제 2 브리킷(102)을 피봇축에 회전가능하게 지지시키고, 제 2 브리킷(102)을 회전원에 의해 각도적으로 회전시키도록 해도 좋다.

광로변경수단(36)에 대한 광(38)의 입사각 및 반사각을 조정가능하게 광로변경수단(36)을 지지하는 지지수단은 자동검사에 적합한 검사장치(80)뿐만아니라, 자동검사 및 육안검사를 할 수 있는 검사장치(10, 50, 60, 70)에 설치해도 좋다. 또한, 광(38)을 거의 수평방향으로 지향시키도록 광로변경수단(36)을 배치하는 대신에, 광(38)을 연직방향 즉 상하방향이외의 다른 방향, 예를 들면, 비스듬한 상방, 비스듬한 하방 등으로 지향시키도록, 광로변경수단을 배치해도 좋다.

도시한 예에서는, 어느 것도, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)에 수직의 축선에 대하는 광로변경수단(36)의 경사각도 및 광로변경수단(36)에 의한 광로의 변경각도는 각각 45도 및 90도 이외의 다른 각도로 해도 좋고, 그리고 광로변경수단(36)에 대하는 광(38)의 입사각 및 반사각은 45도 이외의 각도로 해도 좋다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 검사장치(60)에 있어서, 광로변경수단(36)을 지지하는 덮개(64)를 광체(20)의 경사부(62)에 대해 좌우 또는 상하방향으로 이동시키도록 해도 좋고, 광체(20)에서 떼어내도록 해도 좋다. 또, 광로변경수단(36)을 커버(32), 덮개(64), 광체(20) 또는 브리킷(100, 102)에 부착하는 대신에, 광로변경수단(36)을 제 1 및 제 2 위치에 선택적으로 변위시키는 다른 지지수단을 광체(20)에 설치해도 좋다.

Claims (9)

1. 액정표시패널(12)을 배치하는 측정스테이지(22)와, 상기 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라(42)와, 상기 액정표시패널로부터의 광(38)을 작업자에 의한 육안검사위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하게 하기 위해 상기 광의 광로를 상하방향에 대해 각도를 갖는 방향으로 변경하는 광로변경수단(36)을 포함하는 액정표시패널의 검사장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 광로변경수단(36)을 상기 광로변경수단에 대한 광의 입사각 및 반사각을 변경가능하게 지지하는 지지수단(20, 32, 64, 84, 100, 102, 104, 106)을 더 포함하는 액정표시패널의 검사장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 지지수단(20, 32, 64, 84)은, 상기 광로변경수단(36)을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 상기 텔레비전카메라(42)로 향하게 하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥으로 되는 제 2 위치로 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 측정스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부(22a)를 갖는 액정표시패널의 검사장치.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 측정스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부(22a)를 갖고, 상기 제 1 위치는 상기 받침부로부터 상기 받침부의 액정표시패널에 대해 수직의 방향으로 이격된 장소인 액정표시패널의 검사장치.
6. 제 2 항 또는 제 3 항 또는 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 덮는 커버(32)를 포함하고, 상기 광로변경수단(36)은 상기 커버의 내측에 배치되어 있고, 상기 커버는 상기 광로변경수단을 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해 변위가능한 액정표시패널의 검사장치.
7. 제 2 항 또는 제 3 항 또는 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 덮는 커버(32)로서 상기 측정스테이지(22)를 관찰하는 개구(62)를 갖는 커버(32)와, 상기 개구를 개폐하는 덮개(64)를 포함하고, 상기 광로변경수단(36)은 상기 덮개의 내측에 배치되어 있고, 상기 덮개는 상기 광로변경수단을 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해 변위가능한 액정표시패널의 검사장치.
8. 제 2 항에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 광로변경수단(36)을 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광을 상기 텔레비전카메라(42)로 향하는 제 1 위치와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하는 제 2 위치로 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.
9. 제 2 항에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 광로변경수단(36)을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광을 작업자에 의한 육안 검사 위치로 향하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥쪽으로 되는 제 2 위치에 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.

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