JPH10115575A

JPH10115575A - 液晶表示パネルの検査装置

Info

Publication number: JPH10115575A
Application number: JP28734396A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Kosaka; 裕小坂; Kamihito Oishi; 上人尾石
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1996-10-11
Filing date: 1996-10-11
Publication date: 1998-05-06

Abstract

(57)【要約】【課題】検査装置の高さ寸法を小さくするとともに、
撮像状態の修正作業を容易にすることにある。【解決手段】液晶表示パネルの検査装置は、液晶表示
パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配
置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、液
晶表示パネルからの光をテレビカメラに向ける光反射面
を有する光路変更手段と、該光路変更手段に対する光の
入射角および反射角を変更可能に光路変更手段を支持す
る支持手段とを含む。支持手段は、光路変更手段を光反
射面と直交する軸線に対して交差するとともに互いに交
差する方向へ伸びる第１および第２の軸線の周りに角度
的に回転可能に支持し、第１および第２の軸線の周りに
おける光路変更手段の回転位置を第１および第２の調整
機構により別々に調整する。これにより、テレビカメラ
による撮像状態を修正することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否を検査する装置に関に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの欠陥は、点欠陥、線欠
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。

【０００３】このような液晶表示パネルの自動検査装置
は、一般に、液晶表示パネルを測定ステーションに水平
の状態に載置し、その液晶表示パネルを駆動させつつ、
その液晶表示パネルをその上方からテレビカメラで撮影
すなわち撮像し、そのテレビカメラの出力信号をコンピ
ュータで処理することにより検査する。

【０００４】しかし、従来の自動検査装置では、テレビ
カメラを測定ステージの上方に設けているから、検査装
置の高さ寸法が大きい。特に、大型の液晶表示パネル用
の検査装置のように、テレビカメラの視野を広くしなけ
ればならない検査装置においては、測定ステージとテレ
ビカメラとの間の寸法が大きくなるから、検査装置の高
さ寸法が建築物の一階分の高さ寸法より大きくなり、建
造物を改造しなければならない。

【０００５】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、検査装置の
高さ寸法を小さくするとともに、撮像状態の修正作業を
容易にすることにある。

【０００６】

【解決手段、作用、効果】本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、
該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像する
テレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テ
レビカメラに向ける光反射面を有する光路変更手段と、
該光路変更手段に対する光の入射角および反射角を変更
可能に前記光路変更手段を支持する支持手段とを含む。
支持手段は、前記光路変更手段を前記光反射面と直交す
る軸線に対して交差するとともに互いに交差する方向へ
伸びる第１および第２の軸線の周りに角度的に回転可能
に支持する支持手段と、前記第１の軸線の周りにおける
前記光路変更手段の回転位置を調整する第１の調整機構
と、前記第２の軸線の周りにおける前記光路変更手段の
回転位置を調整する第２の調整機構とを含む。

【０００７】液晶表示パネルからの光が光路変更手段に
よりテレビカメラに向けて指向されるから、テレビカメ
ラを測定ステージに関してたとえば水平方向の適宜な位
置に配置することができる。

【０００８】液晶表示パネルから光路変更手段を介して
テレビカメラに達する光路長は、光路変更手段の全ての
光反射部位で同じであることが望ましい。光路変更手段
を経る光路長が光反射部位毎に異なると、テレビカメラ
による撮像画像にゆがみが生じる。

【０００９】しかし、第１および第２の軸線の周りにお
ける光路変更手段の角度的回転位置を第１および第２の
調整機構により変更すると、光路変更手段に対する光線
の入射角度および反射角度が変化するから、液晶表示パ
ネルおよびテレビカメラに対する光路変更手段の姿勢が
変化し、その結果光反射部位を経る光路長が変化する。
したがって、液晶表示パネルおよびテレビカメラに対す
る光路変更手段の姿勢を第１および第２の調整機構によ
り２次元的に調整して、テレビカメラによる撮影画像を
２次元的に調整することができる。

【００１０】本発明によれば、液晶表示パネルからの光
をテレビカメラに向ける光路変更手段を設けたから、テ
レビカメラを測定ステージの上方に設ける必要がなく、
したがって従来装置に比べ、装置の高さ寸法が小さくな
る。また、第１および第２の軸線の周りにおける光路変
更手段の角度的回転位置をそれぞれ調節する第１および
第２の調整機構を設けたから、テレビカメラによる撮像
状態を容易に修正することができる。

【００１１】好ましい実施例においては、支持機構は、
光路変更手段を前記第１の軸線の周りに角度的に回転可
能に支持する第１の支持体と、該第１の支持体を第２の
軸線の周りに角度的に回転可能に支持する第２の支持体
とを備え、第１の調整機構は第１の軸線の周りにおける
光路変更手段の回転位置を第１の支持体に対して調整
し、第２の調整機構は第２の軸線の周りにおける光路変
更手段の回転位置を調整すべく第２の軸線の周りにおけ
る第１の調整機構の回転位置を調整する。

【００１２】第１の調整機構は、第１の支持体に螺合さ
れて先端を前記光路変更手段に当接された第１の調整ね
じと、光路変更手段を第１の調整ねじの先端に押圧する
第１の弾性体とを備え、第２の調整機構は、第２の支持
体に螺合されて先端を第１の支持体に当接された第２の
調整ねじと、第１の支持体を第２の調整ねじの先端に押
圧する第２の弾性体とを備えることができる。これによ
り、簡単な支持機構および調整機構により、光路変更手
段に対する光線の入射角度および反射角度を正確に調整
することができる。

【００１３】さらに、第１および第２の調整機構を操作
するときに液晶表示パネルの代わりに前記測定ステージ
に配置されるマークプレートであってテレビカメラで撮
像可能の基準マークが形成されたマークプレートと、テ
レビカメラの出力信号を用いて基準マークに対応するマ
ーク画像と基準マークとを目視可能に重ねて表示する処
理手段とを含むことができる。これにより、マーク画像
が処理手段上において基準マークと一致するように、第
１および第２の調整機構を操作することにより、テレビ
カメラによる撮影画像を正確かつ容易に調整することが
できる。

【００１４】第１および第２の軸線は互いに直交する方
向へ伸びるとともに、光反射面と直交する軸線に対して
直交する方向へ伸びる軸線とすることができる。また、
光路変更手段は、光の光路を上下方向に対し角度を有す
る方向へ変更することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、検査装
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスター
部１８とを含む。ローダ部１６は本体部１４の右側に配
置されており、テスター部１８は本体部１４の左側に配
置されている。

【００１６】本体部１４は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と、検査用のプローブユ
ニット２４と、液晶表示パネル１２からの光２６の光路
を変更する光路変更手段２８とが配置されている。

【００１７】筐体２０の前面上部は測定ステージ２２お
よび液晶表示パネル１２を目視するための開口とされて
おり、該開口は筐体２０に蝶着された一対の扉３０によ
り両開き式に開放可能に閉鎖されている。

【００１８】測定ステージ２２は、液晶表示パネル１２
をほぼ水平の状態に支持する上向きの受け部２２ａを有
する。受け部２２ａの位置は、３次元的に（前後、左右
および上下の３方向へ）調整可能である。受け部２２ａ
は、また、受け部２２ａ上の液晶表示パネル１２と垂直
の軸線の周りの角度的回転位置を調整可能である。受け
部２２ａは、液晶表示パネル１２を変位不能に受ける真
空チャックのような適宜な手段により形成される。

【００１９】プローブユニット２４は、測定ステージ２
２の受け部２２ａの上側に配置されており、また液晶表
示パネル１２の端子に当接される検査用の複数のプロー
ブを備えており、さらに扉３０を開いて測定ステージ２
２上の液晶表示パネル１２を上側から目視するための矩
形の開口を有する。

【００２０】光路変更手段２８は、測定ステージ２２上
の液晶表示パネル１２からの光２６をテスター部１８の
上部に向けてほぼ水平に指向させるように、筐体２０の
内側に支持手段３２を介して組み付けられている。光路
変更手段２８は、光２６の光路を９０度変更する。支持
手段３２に関しては、図３および図４を参照して後に説
明する。

【００２１】図示の例では、測定ステージ２２上の液晶
表示パネル１２に垂直の軸線に対する光路変更手段２８
の傾斜角度は、４５度であるが、他の角度であってもよ
く、したがって光路変更手段２８に対する光２６の入射
角および反射角は４５度以外の角度であってもよい。ま
た光路変更手段２８は、図示の例では反射鏡であるが、
プリズムのような他の手段であってもよい。

【００２２】ローダ部１６は、カセット設置台３４と、
架台３６と、該架台に左右方向へ移動可能に受けられた
ロボット３８とを備える。カセット設置台３４は、複数
の液晶表示パネルを収容した複数のカセット４０を上面
に受ける。ロボット３８は、検査のたびに、検査すべき
液晶表示パネルをカセット設置台３４上の適宜なカセッ
ト４０から取り出して測定ステージ２２に搬送し、検査
の終了した液晶表示パネルを測定ステージ２２から受け
取ってカセット設置台３４上の所定のカセット４０に移
すまたは戻す。

【００２３】テスター部１８の上部には、カメラステー
ジ４２が配置されている。カメラステージ４２は、テレ
ビカメラ４４をその光軸がほぼ水平となる姿勢に支持す
る取付部４２ａを有する。カメラステージ４２の取付部
４２ａの位置は、３次元的に（前後、左右および上下の
３方向へ）調整可能である。

【００２４】テレビカメラ４４は、その光軸が光路変更
手段２８による反射光の軸線と一致するように、光路変
更手段２８から測定ステージ２２上の液晶表示パネル１
２と平行の水平方向へ離れた箇所に横向きに支持されて
いる。取付部４２ａは、また、テレビカメラ４４の光軸
の周りの回転角度すなわち角度的回転位置を調整可能で
あるとともに、上下方向へ伸びる軸線の周りの角度的回
転位置を調整可能である。

【００２５】検査時、筐体２０の開口が扉３０により閉
鎖されて筐体２０内が外部の光から遮断された状態で、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２が駆動され
る。これにより、液晶表示パネル１２からの光２６は光
路変更手段２８により反射されてテレビカメラ４４に向
けて指向されており、液晶表示パネル１２の像は光路変
更手段２８によりテレビカメラ４４に反射されている。

【００２６】上記の状態で、テレビカメラ４４が駆動さ
れて液晶表示パネル１２を光路変更手段２８を介して撮
影すなわち撮像する。テレビカメラ４４の出力信号は、
図示しない処理回路において液晶表示パネル１２の良否
の判定に用いられる。検査時、筐体２０の開口が扉３０
により閉鎖されているから、外部の光が筐体２０内へ入
ることがなく、したがって液晶表示パネル１２をテレビ
カメラ４４により正しく撮像することができる。

【００２７】光路変更手段２８は、液晶表示パネル１２
からの光２６の光路をテレビカメラ４４に向かう水平方
向へ変更する。これにより、テレビカメラ４４を測定ス
テージ２２の上方に設ける必要性をなくなり、テレビカ
メラを測定ステージの上方に設けた装置に比べ、装置の
高さ寸法が小さくなる、という利点をもたらす。しか
し、光路変更手段２８は、液晶表示パネル１２およびテ
レビカメラ４４に対する光路変更手段２８の姿勢によっ
ては、液晶表示パネル１２から光路変更手段２８を介し
てテレビカメラ４４に達する光路長が光路変更手段２８
の光反射部位毎に異なる不利益を招くおそれがある。

【００２８】光路変更手段２８を経る光路長が光反射部
位毎に異なると、テレビカメラによる撮像画像にゆがみ
が生じるから、光路変更手段２８を経る光路長は、光路
変更手段２８の全ての光反射部位で同じであることが望
ましい。しかし、実際には、測定ステージ２２、光路変
更手段２８およびカメラステージ４２が別々に組み立て
られるから、全ての光反射部位の光路長が同じになるよ
うに、検査装置を組み立てることは難しい。

【００２９】上記課題を解決するために、支持手段３２
は、液晶表示パネル１２およびテレビカメラ４４に対す
る光路変更手段２８の姿勢を２次元的に調整することが
できるように、光路変更手段２８を支持する。より詳細
には、支持手段３２は、図３および図４に示すように、
光路変更手段２８の光反射面４６と直交する軸線４８と
直交しかつ互いに直交する第１および第２の軸線５０お
よび５２に対する回転角度を調整可能に支持する支持機
構と、第１の軸線５０の周りにおける光路変更手段２８
の回転位置を調整する第１の調整機構と、第２の軸線５
２の周りにおける光路変更手段２８の回転位置を調整す
る第２の調整機構とを含む。

【００３０】図３および図４を参照するに、支持機構
は、光路変更手段２８を第１の軸線５０の周りに角度的
に回転可能に支持する第１の支持体５４と、該第１の支
持体を第２の軸線５２の周りに角度的に回転可能に支持
する第２の支持体５６とを備える。第１の調整機構は、
第１の支持体５４のねじ穴に螺合されて先端を光路変更
手段２８に当接する第１の調整ねじ５８と、光路変更手
段２８を第１の調整ねじ５８の先端に押圧する第１の弾
性体６０とを備える。第２の調整機構は、第２の支持体
５６に螺合されて先端を第１の支持体５４に当接する第
２の調整ねじ６２と、第１の支持体５４を第２の調整ね
じ６２の先端に押圧する第２の弾性体６４とを備える。

【００３１】第１および第２の支持体５４および５６
は、それぞれ、各一対の枢軸ピン６６および６８により
光路変更手段２８および第１の支持体５４を第１および
第２の軸線５０および５２の周りに角度的に回転可能に
支持する。第１および第２の弾性体６４および６６は、
図示の例では引っ張りコイルばねであるが、圧縮コイル
ばね、ゴム等の他の弾性部材であってもよい。

【００３２】支持体５４への調整ねじ５８のねじ込み量
を変化させると、光路変更手段２８が軸線５０の周りに
角度的に回転されて、軸線５０の周りにおける光路変更
手段２８の角度的回転位置が変化する。また、支持体５
６への調整ねじ６２のねじ込み量を変化させると、支持
体５４が光路変更手段２８とともに軸線５２の周りに角
度的に回転されて、軸線５２の周りにおける支持体５４
および光路変更手段２８の角度的回転位置が変化する。

【００３３】上記のように、第１および第２の軸線５０
および５２の周りにおける光路変更手段２８の角度的回
転位置が変化すると、光路変更手段２８に対する光２６
の入射角度および反射角度が変化するから、液晶表示パ
ネル１２およびテレビカメラ４４に対する光路変更手段
２８の姿勢が変化し、その結果光路変更手段２８の光反
射部位を経る光路長が変化する。したがって、液晶表示
パネル１２およびテレビカメラ４４に対する光路変更手
段２８の姿勢を調整ねじ５８，６２により２次元的に調
整することができ、その結果テレビカメラ４４による撮
影画像のゆがみを容易に修正することができる。

【００３４】テレビカメラの撮像状態をより容易に修正
するために、検査装置１０は、図３に示すように、マー
クプレート７０と、テレビカメラ４４の出力信号を処理
する画像処理装置７２と、画像処理装置７２を再生する
モニタ７４とを含む。マークプレート７０は、テレビカ
メラ４４で撮像可能の田の字状の基準マークを有してお
り、また調整ねじ５８，６２を操作するときに液晶表示
パネルの代わりに、ローダ部１６により測定ステージ２
２の受け部２２ａに配置される。

【００３５】画像処理装置７２は、図５に示すように、
マークプレート７０が受け部２２ａに配置されていると
きのテレビカメラ４４の出力信号を画像処理して、マー
クプレート７０の基準マークに対応するマーク画像７６
とメモりに予め記憶されている基準マーク７８とをモニ
タ７４に目視可能に表示させるとともに、マーク画像７
６と基準マーク７８とのＸＹ座標上の差に対応する文字
をモニタ７４に目視可能に表示させる。基準マーク７８
は、マークプレート７０が受け部２２ａに正しく配置さ
れているときのマークプレート７０の基準マークと一致
するように記憶されている。

【００３６】たとえば図５に示すように、マーク画像７
６と基準マーク７８とは、両者の原点（Ｘ₀ ，Ｙ₀ ）を
一致させた状態で重畳した状態に表示することができ
る。また、ＸＹ座標上におけるマーク画像７６と基準マ
ーク７８との差は、田の字状のマークの各角部の座標値
の差（Ｘ＝±α，Ｙ＝±β）として算出し、算出した値
を表示することができる。

【００３７】修正時、マークプレート７０がローダ部１
６により受け部２２ａに所定の状態に配置され、受け部
２２ａ上のマークプレート７０がテレビカメラ４４によ
り撮像され、テレビカメラ４４の出力信号が画像処理装
置７２により処理される。これにより、たとえば、図５
（Ａ）および（Ｂ）に示す画像がモニタ７４に表示され
る。

【００３８】このため、作業者は、田の字状のマークの
各角部の座標値の差がゼロになるように、調整ねじ５
８，６２のねじ込み量を調整することにより、液晶表示
パネル１２およびテレビカメラ４４に対する光路変更手
段２８の姿勢を２次元的に調整し、テレビカメラ４４の
撮像状態およびテレビカメラ４４による撮影画像のゆが
みを容易にかつ正確に修正することができる。

【００３９】図５（Ａ）に示すように、マーク画像７６
が基準マーク７８に対して大きく歪んでいるときは、マ
ーク画像７６と基準マーク７８を肉眼で識別可能である
から、作業者はモニタ７４の画像を観察しつつ、マーク
画像７６が基準マーク７８に接近するように調整ねじ５
８，６２により光路変更手段２８の姿勢を調整すること
ができる。したがって、この場合は、マーク画像７６と
基準マーク７８とのＸＹ座標上の差に対応する文字をモ
ニタ７４に表示してもよいし、表示しなくてもよい。

【００４０】しかし、図５（Ｂ）に示すように、マーク
画像７６が基準マーク７８に接近しているときは、マー
ク画像７６と基準マーク７８を肉眼で識別不能であるか
ら、作業者は、モニタ７４に表示された座標値の差（Ｘ
＝±α，Ｙ＝±β）がゼロになるように、調整ねじ５
８，６２により光路変更手段２８の姿勢を調整すること
ができる。

【００４１】支持手段３２を筐体２０に組み付ける代わ
りに、支持手段３２を他の手段に組み付けてもよい。ま
た、液晶表示パネル１２を測定ステージ２２にほぼ水平
の状態に受ける代わりに、液晶表示パネル１２を測定ス
テージ２２に傾斜した状態に受けるようにしてもよい。
液晶表示パネル１２を測定ステージ２２に傾斜した状態
に受ける検査装置８０の一実施例を図６および図７に示
す。

【００４２】図６および図７を参照するに、検査装置８
０は、ローダ部１６を本体部１４の後側に配置し、テス
ター部１８を本体部１４の左側に配置している。筐体２
０の前側上部は傾斜した傾斜部８２とされており、傾斜
部８２は測定ステージ２２およびプローブユニット２４
の配置位置に対応する箇所に開口を有する。プローブユ
ニット２４は、測定ステージ２２の受け部２２ａに対し
傾斜部８２の開口の側に配置されている。

【００４３】測定ステージ２２およびプローブユニット
２４は、液晶表示パネル１２を受け部２２ａで水平線お
よび鉛直線に対して斜めに受けるように、傾斜されてい
る。受け部２２ａも、筐体２０の傾斜部８２と平行とな
るように、斜め上向きとされている。したがって、液晶
表示パネル１２は前方および上方に向く状態に支持され
る。

【００４４】図６および図７の実施例の場合、受け部２
２ａの位置は、傾斜部８２と平行の面内の互いに直交す
る２つの軸線の方向と、測定ステージ２２の上面に対し
直交する軸線の方向とに３次元的に調整可能である。ま
た、受け部２２ａは、受け部２２ａ上の液晶表示パネル
１２と垂直の軸線の周りの角度的回転位置を調整可能で
ある。

【００４５】傾斜部８２の開口は、測定ステージ２２お
よびプローブユニット２４より大きい面積を有してお
り、また筐体２０内を外部から遮光する箱状のシールド
カバー８４により開閉可能に閉鎖されている。カバー８
４は、図示の例では、上部において１以上のヒンジ８６
により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられている。
しかし、カバー８４を図６において、左端部、右端部、
下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位において筐体２
０に蝶着してもよい。

【００４６】光路変更手段２８は、図３および図４に示
す支持手段３２により、カバー８４に組み付けられてい
る。このため、光路変更手段２８は、第１および第２の
軸線５０，５２の周りの角度的回転位置を調整可能であ
る。光路変更手段２８は、測定ステージ２２上の液晶表
示パネル１２からの光２６をテスター部１８の上部に向
けてほぼ水平に指向させるように、カバー８４の内側に
配置されており、また光２６の光路を９０度変更する。

【００４７】自動検査時、筐体２０の開口は、図６およ
び図７に実線で示すように、カバー８４により閉鎖され
ている。このため、光路変更手段２８は、図６および図
７に破線で示すように、測定ステージ２２に配置された
液晶表示パネル１２からの光２６をテレビカメラ４４に
向けて指向させる第１の位置に移動されており、またそ
の液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４４に反射さ
せている。この状態で、液晶表示パネル１２が駆動さ
れ、テレビカメラ４４が光路変更手段２８を介して液晶
表示パネル１２を撮影すなわち撮像する。

【００４８】目視検査時、カバー８４が図７において２
点鎖線で示すようにヒンジ８６の枢軸線の周りに回転さ
れて、傾斜部８２の開口が開放される。これにより、光
路変更手段２８が液晶表示パネル１２から光路変更手段
２８への入射光路から外れた第２の位置へ移動されるか
ら、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２を開口か
ら肉眼で目視し、検査することができる。カバー８４
は、液晶表示パネル１２を目視することを妨げない位置
に図示しない適宜なストッパにより解除可能に維持され
る。

【００４９】人手による目視検査は、テレビカメラを用
いる自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な
場合に行ってもよいし、それ以外の場合、たとえば検査
すべき液晶表示パネルが少ない場合に行ってもよい。後
者の場合、液晶表示パネル１２を人手により、測定ステ
ージ２２に配置し、測定ステージ２２から取り除いても
よい。また、目視検査により不良と判断された液晶表示
パネルを、ロボット３８を利用することなく、人手によ
り測定ステージ２２または受渡し機構から取り除いても
よい。

【００５０】液晶表示パネル１２およびテレビカメラ４
４に対する光路変更手段２８の姿勢を既に述べたように
支持手段３２により２次元的に調整することができ、し
たがって光路変更手段２８に起因する撮影画像のゆがみ
を調整ねじ５８，６２により修正することができる。

【００５１】検査装置８０によれば、開口が筐体２０の
前面上方に形成されており、また液晶表示パネル１２が
水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢にすなわち開口
と対向する姿勢に支持されるから、液晶表示パネル１２
を検査装置１０の正面において斜め上方から目視するこ
とができ、したがって液晶表示パネル１２を容易にかつ
正しく目視することができる。

【００５２】支持手段３２による光路変更手段２８の姿
勢の調整は、検査装置の組立立てたときのみならず、受
け部２２ａを交換したとき、テレビカメラ４４を交換し
たとき、テレビカメラの位置を変更したとき、保守点検
時等、組立後の適宜な時期ににも行うことができる。

【００５３】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、光路変更手段２８による光路の変更方向は、正
確な水平方向である必要はなく、斜めであってもよい。
また、検査装置５０において、光路変更手段２８を支持
するカバー８４を、筐体２０の傾斜部８２に対し左右ま
たは上下の方向へ移動させるようにしてもよいし、筐体
２０から取り外すようにしてもよい。さらに、軸線４
８，５０，５２は、それらが直交する軸線である必要は
なく、それらが互いに交差する軸線であってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の実施例を示す正面図で
ある。

【図２】図１の検査装置の平面図である。

【図３】光路変更手段のための支持手段の一実施例を示
す図である。

【図４】図３に示す支持手段を斜め右上方から見た図で
ある。

【図５】光路変更手段の姿勢の修正方法を説明するため
の図である。

【図６】本発明に係る検査装置の他の実施例を示す右側
面図である。

【図７】図６の検査装置の平面図である。

【符号の説明】

１０，８０検査装置１２液晶表示パネル１４本体部１６ローダ部１８テスター部２０筐体２２測定ステージ２４検査用のプローブユニット２６液晶表示パネルからの光２８光路変更手段３２光路変更手段のための支持手段４２カメラステージ４４テレビカメラ４６光路変更手段の光反射面４８光路変更手段の光反射面に直角の軸線５０，５２第１および第２の軸線５４，５６第１および第２の支持体５８，６２第１および第２の調整ねじ６０，６４第１および第２の弾性体８４シールドカバー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示パネルを配置する測定ステージ
と、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像
するテレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前
記テレビカメラに向ける光反射面を有する光路変更手段
と、該光路変更手段に対する光の入射角および反射角を
変更可能に前記光路変更手段を支持する支持手段とを含
み、前記支持手段は、前記光路変更手段を前記光反射面
と直交する軸線に対して交差するとともに互いに交差す
る方向へ伸びる第１および第２の軸線の周りに角度的に
回転可能に支持する支持機構と、前記第１の軸線の周り
における前記光路変更手段の回転位置を調整する第１の
調整機構と、前記第２の軸線の周りにおける前記光路変
更手段の回転位置を調整する第２の調整機構とを含む、
液晶表示パネルの検査装置。
【請求項２】前記支持機構は、前記光路変更手段を前
記第１の軸線の周りに角度的に回転可能に支持する第１
の支持体と、該第１の支持体を前記第２の軸線の周りに
角度的に回転可能に支持する第２の支持体とを備え、前
記第１の調整機構は前記第１の軸線の周りにおける前記
光路変更手段の回転位置を前記第１の支持体に対して調
整し、前記第２の調整機構は前記第２の軸線の周りにお
ける前記光路変更手段の回転位置を調整すべく前記第２
の軸線の周りにおける前記第１の調整機構の回転位置を
調整する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】前記第１の調整機構は、前記第１の支持
体に螺合されて先端を前記光路変更手段に当接された第
１の調整ねじと、前記光路変更手段を前記第１の調整ね
じの先端に押圧する第１の弾性体とを備え、前記第２の
調整機構は、前記第２の支持体に螺合されて先端を前記
第１の支持体に当接された第２の調整ねじと、前記第１
の支持体を前記第２の調整ねじの先端に押圧する第２の
弾性体とを備える、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】さらに、前記第１および第２の調整機構
を操作するときに液晶表示パネルの代わりに前記測定ス
テージに配置されるマークプレートであって前記テレビ
カメラで撮像可能の基準マークが形成されたマークプレ
ートと、前記テレビカメラの出力信号を用いて前記基準
マークに対応するマーク画像と基準マークとを目視可能
に重ねて表示する処理手段とを含む、請求項１，２また
は３に記載の検査装置。
【請求項５】前記第１および第２の軸線は互いに直交
する方向へ伸びるとともに、前記光反射面と直交する軸
線に対して直交する方向へ伸びる、請求項１〜４のいず
れか１項に記載の検査装置。
【請求項６】前記光路変更手段は、前記光の光路を上
下方向に対し角度を有する方向へ変更する、請求項１〜
５のいずれか１項に記載の検査装置。