JPH06331571A - 基板半田付け状態検査装置 - Google Patents
基板半田付け状態検査装置Info
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- JPH06331571A JPH06331571A JP5144347A JP14434793A JPH06331571A JP H06331571 A JPH06331571 A JP H06331571A JP 5144347 A JP5144347 A JP 5144347A JP 14434793 A JP14434793 A JP 14434793A JP H06331571 A JPH06331571 A JP H06331571A
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- ray
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- circuit board
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板半田付け状態検査装置において、X線撮
影範囲に対するプリント基板の検査部位の位置合わせが
容易にでき、またX線撮像部等の経時変化による画質の
劣化を防止でき、さらにX線検査画像のゆがみを除去す
る。 【構成】 テレビカメラ6をプリント基板13の電子部
品が搭載された側にてX線撮像部3による撮影範囲より
広い範囲を撮影し得るものとし、第二の表示器5bの表
示画像の中にプリント基板13に対するX線撮影範囲を
表示する手段(7)を設け、上記X線照射領域内に線量
計9を設け、またX線の撮像領域内に校正用試料10を
設け、さらに上記X線撮像部3はXYテーブル1と平行
して同期移動するXY駆動機構11に取り付けると共
に、このXY駆動機構11とXYテーブル1との間には
同期駆動回路12を設けたものである。
影範囲に対するプリント基板の検査部位の位置合わせが
容易にでき、またX線撮像部等の経時変化による画質の
劣化を防止でき、さらにX線検査画像のゆがみを除去す
る。 【構成】 テレビカメラ6をプリント基板13の電子部
品が搭載された側にてX線撮像部3による撮影範囲より
広い範囲を撮影し得るものとし、第二の表示器5bの表
示画像の中にプリント基板13に対するX線撮影範囲を
表示する手段(7)を設け、上記X線照射領域内に線量
計9を設け、またX線の撮像領域内に校正用試料10を
設け、さらに上記X線撮像部3はXYテーブル1と平行
して同期移動するXY駆動機構11に取り付けると共
に、このXY駆動機構11とXYテーブル1との間には
同期駆動回路12を設けたものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物としてのプ
リント基板にX線を照射しその透過X線像を撮影して上
記プリント基板への電子部品の半田付け状態を検査する
基板半田付け状態検査装置に関し、特にX線撮影範囲に
対するプリント基板の検査部位の位置合わせが容易にで
き、またX線撮像部等の経時変化による画質の劣化を防
止でき、さらにX線検査画像のゆがみを除去することが
できる基板半田付け状態検査装置に関する。
リント基板にX線を照射しその透過X線像を撮影して上
記プリント基板への電子部品の半田付け状態を検査する
基板半田付け状態検査装置に関し、特にX線撮影範囲に
対するプリント基板の検査部位の位置合わせが容易にで
き、またX線撮像部等の経時変化による画質の劣化を防
止でき、さらにX線検査画像のゆがみを除去することが
できる基板半田付け状態検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、プリント基板に対してIC(集積
回路)等の電子部品を実装した際の半田付け状態を検査
するのに、X線を利用する技術が開発されつつある。こ
れは、従来の肉眼による目視検査あるいはテレビカメラ
を用いた画像検査では、実装された電子部品のリード等
についてプリント基板の裏面側については、そのプリン
ト基板の表面側からは観察できない部分が生ずるためで
ある。このような最近開発されているプリント基板検査
装置は、従来の医療用のX線診断装置又は工業用に利用
されているX線透視装置などを改良したものであり、例
えば特開平2-31144号公報に記載されたもの、或いは特
開平3-218408号公報に記載されたもの等がある。
回路)等の電子部品を実装した際の半田付け状態を検査
するのに、X線を利用する技術が開発されつつある。こ
れは、従来の肉眼による目視検査あるいはテレビカメラ
を用いた画像検査では、実装された電子部品のリード等
についてプリント基板の裏面側については、そのプリン
ト基板の表面側からは観察できない部分が生ずるためで
ある。このような最近開発されているプリント基板検査
装置は、従来の医療用のX線診断装置又は工業用に利用
されているX線透視装置などを改良したものであり、例
えば特開平2-31144号公報に記載されたもの、或いは特
開平3-218408号公報に記載されたもの等がある。
【0003】前者の特開平2-31144号公報に記載された
プリント基板検査装置は、両面実装プリント基板へX線
を照射するX線発生手段と、上記両面実装プリント基板
のX線透過画像を生成するX線撮像手段と、上記両面実
装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光学撮像
手段とを備えているが、上記X線撮像手段(イメージイ
ンテンシファイア)も光学撮像手段(光学カメラ)もそ
れぞれ上記両面実装プリント基板の検査のための画像特
徴量を抽出するものであった。従って、特に光学カメラ
については、プリント基板への電子部品の半田付け部を
詳細に高い解像度で撮影するために、その撮影範囲が狭
く設定してあった。
プリント基板検査装置は、両面実装プリント基板へX線
を照射するX線発生手段と、上記両面実装プリント基板
のX線透過画像を生成するX線撮像手段と、上記両面実
装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光学撮像
手段とを備えているが、上記X線撮像手段(イメージイ
ンテンシファイア)も光学撮像手段(光学カメラ)もそ
れぞれ上記両面実装プリント基板の検査のための画像特
徴量を抽出するものであった。従って、特に光学カメラ
については、プリント基板への電子部品の半田付け部を
詳細に高い解像度で撮影するために、その撮影範囲が狭
く設定してあった。
【0004】また、後者の特開平3-218408号公報に記載
されたプリント基板検査装置は、検査対象にX線を照射
するX線源と、基板に電子部品のリードを半田付けした
検査対象を位置決めする試料ステージと、上記X線源よ
り照射され基板に斜めに入射するX線による透過画像を
撮影するX線撮像器(イメージインテンシファイア等)
と、このX線撮像器により撮影されるX線透過画像に基
づいて検査対象となる半田付け部の位置を抽出する半田
付け部位置抽出手段とを備えており、上記基板の表面側
と裏面側の検査対象が重ならないように該基板に対する
X線照射方向を傾けて撮影するようになっていた。
されたプリント基板検査装置は、検査対象にX線を照射
するX線源と、基板に電子部品のリードを半田付けした
検査対象を位置決めする試料ステージと、上記X線源よ
り照射され基板に斜めに入射するX線による透過画像を
撮影するX線撮像器(イメージインテンシファイア等)
と、このX線撮像器により撮影されるX線透過画像に基
づいて検査対象となる半田付け部の位置を抽出する半田
付け部位置抽出手段とを備えており、上記基板の表面側
と裏面側の検査対象が重ならないように該基板に対する
X線照射方向を傾けて撮影するようになっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記前者の従
来例においては、光学カメラのプリント基板に対する撮
影範囲が検査部位及びその周辺程度に狭く設定してあっ
たので、上記プリント基板の広い範囲にわたっては撮影
できないものであった。従って、光学カメラによる広い
範囲の撮影画像を観察しながらプリント基板の検査部位
に対してX線撮影の範囲を位置合わせすることはほとん
どできなかった。このことから、X線撮影の範囲をプリ
ント基板の所望の検査部位に合わせるのに時間がかか
り、検査効率が低下するものであった。
来例においては、光学カメラのプリント基板に対する撮
影範囲が検査部位及びその周辺程度に狭く設定してあっ
たので、上記プリント基板の広い範囲にわたっては撮影
できないものであった。従って、光学カメラによる広い
範囲の撮影画像を観察しながらプリント基板の検査部位
に対してX線撮影の範囲を位置合わせすることはほとん
どできなかった。このことから、X線撮影の範囲をプリ
ント基板の所望の検査部位に合わせるのに時間がかか
り、検査効率が低下するものであった。
【0006】また、前記後者の従来例においては、基板
に対するX線照射方向を傾けて撮影するようになってい
たので、基板面からX線撮像器の撮像面までの距離が上
記基板面上の位置によって違うこととなり、特に該基板
面とX線撮像器との距離が遠くなる部分において解像度
が低下すると共に、X線検査画像がゆがむことがあっ
た。従って、電子部品の半田付け状態の検査が正確に行
えないものであった。
に対するX線照射方向を傾けて撮影するようになってい
たので、基板面からX線撮像器の撮像面までの距離が上
記基板面上の位置によって違うこととなり、特に該基板
面とX線撮像器との距離が遠くなる部分において解像度
が低下すると共に、X線検査画像がゆがむことがあっ
た。従って、電子部品の半田付け状態の検査が正確に行
えないものであった。
【0007】さらに、上記いずれの従来例においても、
X線による検査を開始してから終了まで常時X線を照射
し続けており、長時間の検査又は繰り返しの検査によ
り、X線撮像手段(イメージインテンシファイア等)が
劣化することがあり、その経時変化によって、得られる
X線検査画像の画質が劣化することがあった。このこと
からも半田付け状態の検査がしにくくなることがあっ
た。
X線による検査を開始してから終了まで常時X線を照射
し続けており、長時間の検査又は繰り返しの検査によ
り、X線撮像手段(イメージインテンシファイア等)が
劣化することがあり、その経時変化によって、得られる
X線検査画像の画質が劣化することがあった。このこと
からも半田付け状態の検査がしにくくなることがあっ
た。
【0008】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、X線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位の
位置合わせが容易にでき、また、X線撮像部等の経時変
化による画質の劣化を防止でき、さらにX線検査画像の
ゆがみを除去することができる基板半田付け状態検査装
置を提供することを目的とする。
処し、X線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位の
位置合わせが容易にでき、また、X線撮像部等の経時変
化による画質の劣化を防止でき、さらにX線検査画像の
ゆがみを除去することができる基板半田付け状態検査装
置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による基板半田付け状態検査装置は、上面に
プリント基板を載置し二次元平面内で移動し得るXYテ
ーブルと、上記プリント基板の検査部位にX線を照射す
るX線源と、上記XYテーブルを間に挟んでX線源と対
向配置され上記プリント基板の透過X線像を撮影し電気
信号に変換するX線撮像部と、このX線撮像部からの出
力信号を検査画像として表示する第一の表示器と、上記
XYテーブルの一側面がわに設けられプリント基板の実
装状態を光学的に撮影して電気信号に変換するテレビカ
メラと、このテレビカメラからの出力信号を画像として
表示する第二の表示器とを有し、上記第一の表示器に表
示される検査画像によりプリント基板への電子部品の半
田付け状態を検査する基板半田付け状態検査装置におい
て、上記テレビカメラは、プリント基板の電子部品が搭
載された側にて上記X線撮像部による撮影範囲より広い
範囲を撮影し得るものとし、上記第二の表示器の表示画
像の中にプリント基板に対するX線撮影範囲を表示する
手段を設けたものである。
に、本発明による基板半田付け状態検査装置は、上面に
プリント基板を載置し二次元平面内で移動し得るXYテ
ーブルと、上記プリント基板の検査部位にX線を照射す
るX線源と、上記XYテーブルを間に挟んでX線源と対
向配置され上記プリント基板の透過X線像を撮影し電気
信号に変換するX線撮像部と、このX線撮像部からの出
力信号を検査画像として表示する第一の表示器と、上記
XYテーブルの一側面がわに設けられプリント基板の実
装状態を光学的に撮影して電気信号に変換するテレビカ
メラと、このテレビカメラからの出力信号を画像として
表示する第二の表示器とを有し、上記第一の表示器に表
示される検査画像によりプリント基板への電子部品の半
田付け状態を検査する基板半田付け状態検査装置におい
て、上記テレビカメラは、プリント基板の電子部品が搭
載された側にて上記X線撮像部による撮影範囲より広い
範囲を撮影し得るものとし、上記第二の表示器の表示画
像の中にプリント基板に対するX線撮影範囲を表示する
手段を設けたものである。
【0010】また、前記X線源からのX線の照射領域内
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力して前記X線撮像部のゲインを調
整する手段を設け、その画像濃度を常に一定とするよう
にしてもよい。
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力して前記X線撮像部のゲインを調
整する手段を設け、その画像濃度を常に一定とするよう
にしてもよい。
【0011】さらに、前記X線源とX線撮像部との間
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料
に対応する画像の濃度が一定となるように補償するよう
にしてもよい。
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料
に対応する画像の濃度が一定となるように補償するよう
にしてもよい。
【0012】また、前記X線撮像部を、XYテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設け、X線源によるX線照射中心より側方に
ずれた位置にX線撮像部を移動してXYテーブル上のプ
リント基板の検査部位を撮影し得るようにしてもよい。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設け、X線源によるX線照射中心より側方に
ずれた位置にX線撮像部を移動してXYテーブル上のプ
リント基板の検査部位を撮影し得るようにしてもよい。
【0013】
【作用】このように構成された基板半田付け状態検査装
置は、X線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し
得るテレビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載
された側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられ
た表示手段により該表示器の表示画像の中に上記プリン
ト基板に対するX線撮影範囲を表示するように動作す
る。これにより、上記プリント基板を載置したXYテー
ブルを移動して上記X線撮影範囲内に該プリント基板の
検査部位を位置合わせし、撮影位置を容易に決定するこ
とができる。
置は、X線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し
得るテレビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載
された側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられ
た表示手段により該表示器の表示画像の中に上記プリン
ト基板に対するX線撮影範囲を表示するように動作す
る。これにより、上記プリント基板を載置したXYテー
ブルを移動して上記X線撮影範囲内に該プリント基板の
検査部位を位置合わせし、撮影位置を容易に決定するこ
とができる。
【0014】また、前記X線源からのX線の照射領域内
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してX線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、X線検査画像
を見易くすることができる。
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してX線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、X線検査画像
を見易くすることができる。
【0015】さらに、前記X線源とX線撮像部との間
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
【0016】また、前記X線撮像部を、XYテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、X線源によるX線照
射中心より側方にずれた位置にX線撮像部を移動してX
Yテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のX線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、X線源によるX線照
射中心より側方にずれた位置にX線撮像部を移動してX
Yテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のX線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図1は本発明による基板半田付け状態
検査装置の実施例を示す全体構成図である。この基板半
田付け状態検査装置は、検査対象物としてのプリント基
板にX線を照射しその透過X線像を撮影して上記プリン
ト基板への電子部品の半田付け状態を検査するもので、
図に示すように、XYテーブル1と、X線源2と、X線
撮像部3と、X線カメラコントローラ4と、第一の表示
器5aと、テレビカメラ6と、表示回路7と、シャッタ
8と、第二の表示器5bとを有し、さらに線量計9と、
校正用試料10と、XY駆動機構11と、同期駆動回路
12とを備えて成る。
詳細に説明する。図1は本発明による基板半田付け状態
検査装置の実施例を示す全体構成図である。この基板半
田付け状態検査装置は、検査対象物としてのプリント基
板にX線を照射しその透過X線像を撮影して上記プリン
ト基板への電子部品の半田付け状態を検査するもので、
図に示すように、XYテーブル1と、X線源2と、X線
撮像部3と、X線カメラコントローラ4と、第一の表示
器5aと、テレビカメラ6と、表示回路7と、シャッタ
8と、第二の表示器5bとを有し、さらに線量計9と、
校正用試料10と、XY駆動機構11と、同期駆動回路
12とを備えて成る。
【0018】上記XYテーブル1は、その上面に検査対
象物としてのプリント基板13を載置して二次元平面内
でX方向及びY方向に移動し得るもので、中央部には検
査用の開口部14があけられており、従来公知の二次元
方向の移動機構(図示省略)に取り付けられている。X
線源2は、上記XYテーブル1の開口部14に位置合わ
せしてその縁部が載置固定されたプリント基板13の検
査部位にX線を照射するもので、X線管装置から成り、
例えば上記XYテーブル1の下方に設けられている。X
線撮像部3は、上記プリント基板13に照射されたX線
による透過X線像を撮影して電気信号に変換するもの
で、例えば「ビジコン」と呼ばれる高解像度の撮像管か
ら成り、上記XYテーブル1を間に挟んでX線源2と対
向配置されている。そして、第一の表示器5aは、上記
X線撮像部3から出力されたビデオ信号をX線カメラコ
ントローラ4を介して入力し検査画像として表示するも
ので、例えば白黒又はカラーのテレビモニタから成る。
象物としてのプリント基板13を載置して二次元平面内
でX方向及びY方向に移動し得るもので、中央部には検
査用の開口部14があけられており、従来公知の二次元
方向の移動機構(図示省略)に取り付けられている。X
線源2は、上記XYテーブル1の開口部14に位置合わ
せしてその縁部が載置固定されたプリント基板13の検
査部位にX線を照射するもので、X線管装置から成り、
例えば上記XYテーブル1の下方に設けられている。X
線撮像部3は、上記プリント基板13に照射されたX線
による透過X線像を撮影して電気信号に変換するもの
で、例えば「ビジコン」と呼ばれる高解像度の撮像管か
ら成り、上記XYテーブル1を間に挟んでX線源2と対
向配置されている。そして、第一の表示器5aは、上記
X線撮像部3から出力されたビデオ信号をX線カメラコ
ントローラ4を介して入力し検査画像として表示するも
ので、例えば白黒又はカラーのテレビモニタから成る。
【0019】また、テレビカメラ6は、上記プリント基
板13への電子部品の実装状態を光学的に撮影して電気
信号に変換するもので、上記XYテーブル1の例えば下
面側に設けられ、光源15の発光により照らし出された
プリント基板13の電子部品が搭載された面を撮影する
ようになっている。そして、第二の表示器5bは、上記
テレビカメラ6から出力されたビデオ信号を表示回路7
を介して入力し画像として表示するもので、例えば白黒
又はカラーのテレビモニタから成る。
板13への電子部品の実装状態を光学的に撮影して電気
信号に変換するもので、上記XYテーブル1の例えば下
面側に設けられ、光源15の発光により照らし出された
プリント基板13の電子部品が搭載された面を撮影する
ようになっている。そして、第二の表示器5bは、上記
テレビカメラ6から出力されたビデオ信号を表示回路7
を介して入力し画像として表示するもので、例えば白黒
又はカラーのテレビモニタから成る。
【0020】なお、前記X線源2からXYテーブル1上
のプリント基板13に対するX線の照射方向の前方に
は、シャッタ8が設けられている。このシャッタ8は、
上記プリント基板13に対するX線による検査時以外は
閉じてX線源2からのX線の照射を遮るもので、図2に
示すように、X線源2からのX線の照射領域を横断して
開閉可能とされたシャッタ板21を有し、シャッタコン
トローラ22からの駆動信号により上記シャッタ板21
が進退されるようになっている。
のプリント基板13に対するX線の照射方向の前方に
は、シャッタ8が設けられている。このシャッタ8は、
上記プリント基板13に対するX線による検査時以外は
閉じてX線源2からのX線の照射を遮るもので、図2に
示すように、X線源2からのX線の照射領域を横断して
開閉可能とされたシャッタ板21を有し、シャッタコン
トローラ22からの駆動信号により上記シャッタ板21
が進退されるようになっている。
【0021】ここで、本発明においては、上記テレビカ
メラ6は、プリント基板13の電子部品16,16(図
2参照)が搭載された側にて前記X線撮像部3による撮
影範囲より広い範囲を撮影し得るものとされている。す
なわち、前記XYテーブル1の下面側にて下方に所定の
距離だけ離れて設けられており、例えば二つのミラー1
7,17により導かれた光18を入射するようになって
いる。このとき、上記テレビカメラ6のレンズがプリン
ト基板13を見込む角度は、図1に示すように、X線源
2からX線撮像部3に向けて放射されるX線ビーム19
の広がり角度よりも大きくされており、この結果、上記
X線撮像部3による撮影範囲より広い範囲を撮影できる
こととなる。さらに、表示回路7の内部には、上記第二
の表示器5bの表示画像の中にプリント基板13に対す
るX線撮影範囲を表示する手段が設けられている。これ
により、図2に示すように、第二の表示器5bの画面に
は、プリント基板13に電子部品16,16が実装され
た状態の画像16′,16′と共に、X線撮影範囲を示
す枠20が表示されることとなる。なお、この枠20
は、実線又は破線による表示に限らず、上記枠20内に
相当する部分の画像の輝度又は色調をそれ以外の部分と
変えて表示するようにしてもよい。
メラ6は、プリント基板13の電子部品16,16(図
2参照)が搭載された側にて前記X線撮像部3による撮
影範囲より広い範囲を撮影し得るものとされている。す
なわち、前記XYテーブル1の下面側にて下方に所定の
距離だけ離れて設けられており、例えば二つのミラー1
7,17により導かれた光18を入射するようになって
いる。このとき、上記テレビカメラ6のレンズがプリン
ト基板13を見込む角度は、図1に示すように、X線源
2からX線撮像部3に向けて放射されるX線ビーム19
の広がり角度よりも大きくされており、この結果、上記
X線撮像部3による撮影範囲より広い範囲を撮影できる
こととなる。さらに、表示回路7の内部には、上記第二
の表示器5bの表示画像の中にプリント基板13に対す
るX線撮影範囲を表示する手段が設けられている。これ
により、図2に示すように、第二の表示器5bの画面に
は、プリント基板13に電子部品16,16が実装され
た状態の画像16′,16′と共に、X線撮影範囲を示
す枠20が表示されることとなる。なお、この枠20
は、実線又は破線による表示に限らず、上記枠20内に
相当する部分の画像の輝度又は色調をそれ以外の部分と
変えて表示するようにしてもよい。
【0022】また、前記X線源2からのX線の照射領域
内には、線量計9が設けられている。この線量計9は、
図3に示すように、X線源2からプリント基板13に向
けて照射されるX線の線量を測定するもので、例えば電
離箱又は計数管などから成り、そのセンサ部分がX線の
照射領域内に達している。そして、X線カメラコントロ
ーラ4の内部には、上記線量計9から出力される測定信
号を入力して前記X線撮像部3からの画像のゲインを調
整する手段が設けられている。この場合、上記線量計9
は、X線源2の発生X線量を測定してそのX線量に応じ
た出力信号をX線カメラコントローラ4に送る。する
と、このX線カメラコントローラ4は、上記線量計9か
ら入力した測定結果に応じて、X線撮像部3の画像のゲ
インを調整する。すなわち、X線源2からの発生X線量
が少ない場合はゲインを高め、発生X線量が多い場合は
ゲインを低めるようにする。これにより、上記X線撮像
部3で撮影され第一の表示器5aに表示される検査画像
の濃度が常に一定となるように制御される。
内には、線量計9が設けられている。この線量計9は、
図3に示すように、X線源2からプリント基板13に向
けて照射されるX線の線量を測定するもので、例えば電
離箱又は計数管などから成り、そのセンサ部分がX線の
照射領域内に達している。そして、X線カメラコントロ
ーラ4の内部には、上記線量計9から出力される測定信
号を入力して前記X線撮像部3からの画像のゲインを調
整する手段が設けられている。この場合、上記線量計9
は、X線源2の発生X線量を測定してそのX線量に応じ
た出力信号をX線カメラコントローラ4に送る。する
と、このX線カメラコントローラ4は、上記線量計9か
ら入力した測定結果に応じて、X線撮像部3の画像のゲ
インを調整する。すなわち、X線源2からの発生X線量
が少ない場合はゲインを高め、発生X線量が多い場合は
ゲインを低めるようにする。これにより、上記X線撮像
部3で撮影され第一の表示器5aに表示される検査画像
の濃度が常に一定となるように制御される。
【0023】さらに、前記X線源2とX線撮像部3との
間には、図4に示すように、校正用試料10が設けられ
ている。この校正用試料10は、上記X線撮像部3の感
度が経時変化により低下するので、この感度低下を補償
するために画像の濃度を校正するためのもので、図5に
示すように、例えばX線吸収係数が一定で板厚がt1,
t2,t3,t4,t5(t1>t2>t3>t4>t5)のよ
うに順次変化する板材から成り、駆動部23によりX線
の撮像領域内に進退可能に設けられている。そして、X
線カメラコントローラ4の内部には、上記の校正用試料
10をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像の
ゲインとガンマ値を調整する手段が設けられている。
間には、図4に示すように、校正用試料10が設けられ
ている。この校正用試料10は、上記X線撮像部3の感
度が経時変化により低下するので、この感度低下を補償
するために画像の濃度を校正するためのもので、図5に
示すように、例えばX線吸収係数が一定で板厚がt1,
t2,t3,t4,t5(t1>t2>t3>t4>t5)のよ
うに順次変化する板材から成り、駆動部23によりX線
の撮像領域内に進退可能に設けられている。そして、X
線カメラコントローラ4の内部には、上記の校正用試料
10をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像の
ゲインとガンマ値を調整する手段が設けられている。
【0024】この場合、まず、上記駆動部23により校
正用試料10をX線撮像部3の撮像領域内に進め、その
入射面の前方に位置させる。次に、XYテーブル1上に
は何も載せない状態でX線源2からX線を放射し、上記
校正用試料10を透過したX線像をX線撮像部3で撮影
する。このとき、線量計9でX線源2の発生X線量を測
定してその信号をX線カメラコントローラ4に送る。す
ると、X線カメラコントローラ4は、上記X線撮像部3
及び線量計9からの信号を入力して、上記校正用試料1
0のそれぞれの板厚t1〜t5と画像上の輝度の変化との
関係を初期値として記録しておく。その後、適宜の時間
間隔で上記の校正用試料10を用いて、その板厚と画像
上の輝度変化との関係が上記の初期値と等しくなるよう
にX線カメラコントローラ4のゲインとガンマ値を調整
すればよい。これにより、X線撮像部3が経時変化によ
り感度低下するのを補償することができる。
正用試料10をX線撮像部3の撮像領域内に進め、その
入射面の前方に位置させる。次に、XYテーブル1上に
は何も載せない状態でX線源2からX線を放射し、上記
校正用試料10を透過したX線像をX線撮像部3で撮影
する。このとき、線量計9でX線源2の発生X線量を測
定してその信号をX線カメラコントローラ4に送る。す
ると、X線カメラコントローラ4は、上記X線撮像部3
及び線量計9からの信号を入力して、上記校正用試料1
0のそれぞれの板厚t1〜t5と画像上の輝度の変化との
関係を初期値として記録しておく。その後、適宜の時間
間隔で上記の校正用試料10を用いて、その板厚と画像
上の輝度変化との関係が上記の初期値と等しくなるよう
にX線カメラコントローラ4のゲインとガンマ値を調整
すればよい。これにより、X線撮像部3が経時変化によ
り感度低下するのを補償することができる。
【0025】なお、上記校正用試料10は、駆動部23
により進退可能とされたシャッタのような形式として示
したが、これに限らず、例えばXYテーブル1の適当な
箇所に試料となる板材を取り付けておき校正時にはこの
板材を撮影するようにしてもよいし、或いはプリント基
板13自体を校正用の板材として校正のための初期値を
求めるようにしてもよい。
により進退可能とされたシャッタのような形式として示
したが、これに限らず、例えばXYテーブル1の適当な
箇所に試料となる板材を取り付けておき校正時にはこの
板材を撮影するようにしてもよいし、或いはプリント基
板13自体を校正用の板材として校正のための初期値を
求めるようにしてもよい。
【0026】また、前記X線撮像部3は、XY駆動機構
11に取り付けられており、このXY駆動機構11と前
記XYテーブル1との間には同期駆動回路12が設けら
れている。上記XY駆動機構11は、図6に示すよう
に、X線撮像部3を二次元平面内でX方向及びY方向に
移動させるもので、XYテーブル1に平行に設けられ、
従来公知の二次元方向の移動機構から成る。そして、同
期駆動回路12は、上記XY駆動機構11の移動に対し
一定の割合でXYテーブル1を同じ方向に同期して移動
させるもので、それぞれの駆動部(図示省略)に対して
同期信号を送出するようになっている。これは、X線撮
像部3としてビジコン等の高解像度の撮像管を用いた場
合は、上記X線撮像部3の入射面をなるべくプリント基
板13に接近させる必要があるが、該X線撮像部3の入
射面とプリント基板13との距離を変えることなくその
プリント基板13や搭載電子部品への透過X線の角度を
変えるようにするため、X線撮像部3の入射面がプリン
ト基板13の板面と平行を保ったまま二次元平面内で任
意に移動できるようにするためである。
11に取り付けられており、このXY駆動機構11と前
記XYテーブル1との間には同期駆動回路12が設けら
れている。上記XY駆動機構11は、図6に示すよう
に、X線撮像部3を二次元平面内でX方向及びY方向に
移動させるもので、XYテーブル1に平行に設けられ、
従来公知の二次元方向の移動機構から成る。そして、同
期駆動回路12は、上記XY駆動機構11の移動に対し
一定の割合でXYテーブル1を同じ方向に同期して移動
させるもので、それぞれの駆動部(図示省略)に対して
同期信号を送出するようになっている。これは、X線撮
像部3としてビジコン等の高解像度の撮像管を用いた場
合は、上記X線撮像部3の入射面をなるべくプリント基
板13に接近させる必要があるが、該X線撮像部3の入
射面とプリント基板13との距離を変えることなくその
プリント基板13や搭載電子部品への透過X線の角度を
変えるようにするため、X線撮像部3の入射面がプリン
ト基板13の板面と平行を保ったまま二次元平面内で任
意に移動できるようにするためである。
【0027】この場合の同期駆動回路12による移動制
御は次のようになる。いま、X方向の移動制御をすると
して、X線源2のX線放射の焦点からXYテーブル1の
上面までの距離をL1,X線撮像部3の入射面までの距
離をL2とし、上記X線源2によるX線照射中心からの
プリント基板13のX方向の移動距離をx1,X線撮像
部3のX方向の移動距離をx2とすると、これらの間に
次の関係が成立するように制御する。 x2:x1=L2:L1 これにより、移動前も移動後もプリント基板13上の同
じ位置を撮影することができる。
御は次のようになる。いま、X方向の移動制御をすると
して、X線源2のX線放射の焦点からXYテーブル1の
上面までの距離をL1,X線撮像部3の入射面までの距
離をL2とし、上記X線源2によるX線照射中心からの
プリント基板13のX方向の移動距離をx1,X線撮像
部3のX方向の移動距離をx2とすると、これらの間に
次の関係が成立するように制御する。 x2:x1=L2:L1 これにより、移動前も移動後もプリント基板13上の同
じ位置を撮影することができる。
【0028】この状態で、図7に示すように、プリント
基板13に実装された電子部品16のリード24の半田
付け状態を検査するのに、X線の透過経路25がプリン
ト基板13に対して垂直な場合は、上記リード24の立
上り部によるX線吸収が大きくなるので、該リード24
下部の半田27の接着状態はよくわからない。しかし、
図6においてプリント基板13及びX線撮像部3を例え
ば左側方にそれぞれx1,x2だけ移動すると、図7に示
すように、X線の透過経路26がプリント基板13に対
して斜めに傾くこととなり、この場合はリード24をX
線が透過する距離が短くなって該リード24によるX線
吸収が小さくなり、そのリード24下部の半田27の接
着状態をよく観察することができる。
基板13に実装された電子部品16のリード24の半田
付け状態を検査するのに、X線の透過経路25がプリン
ト基板13に対して垂直な場合は、上記リード24の立
上り部によるX線吸収が大きくなるので、該リード24
下部の半田27の接着状態はよくわからない。しかし、
図6においてプリント基板13及びX線撮像部3を例え
ば左側方にそれぞれx1,x2だけ移動すると、図7に示
すように、X線の透過経路26がプリント基板13に対
して斜めに傾くこととなり、この場合はリード24をX
線が透過する距離が短くなって該リード24によるX線
吸収が小さくなり、そのリード24下部の半田27の接
着状態をよく観察することができる。
【0029】次に、このように構成された基板半田付け
状態検査装置の全体的な動作について説明する。まず、
プリント基板13の検査に先立って、図4に示すよう
に、XYテーブル1上にプリント基板13を載せること
なく、校正用試料10をX線撮像部3の撮像領域内にセ
ットし、X線源2からX線を放射して上記校正用試料1
0を撮影する。そして、X線カメラコントローラ4によ
り、X線撮像部3及び線量計9からの信号を入力して、
上記校正用試料10を用いた場合の輝度変化の状態を初
期値として記録しておく。
状態検査装置の全体的な動作について説明する。まず、
プリント基板13の検査に先立って、図4に示すよう
に、XYテーブル1上にプリント基板13を載せること
なく、校正用試料10をX線撮像部3の撮像領域内にセ
ットし、X線源2からX線を放射して上記校正用試料1
0を撮影する。そして、X線カメラコントローラ4によ
り、X線撮像部3及び線量計9からの信号を入力して、
上記校正用試料10を用いた場合の輝度変化の状態を初
期値として記録しておく。
【0030】この状態で、図1において、XYテーブル
1上にプリント基板13を載置固定する。このとき、上
記プリント基板13に実装された電子部品16がテレビ
カメラ6の設置してある側に向くようにする。次に、光
源15の点灯により光を上記プリント基板13に照射
し、この基板面からの光をミラー17,17で導いてテ
レビカメラ6で撮影し、図2に示すように、電子部品1
6の実装された面の画像を第二の表示器5bに表示す
る。このとき、上記第二の表示器5bの画面には、同時
にX線撮影範囲を示す枠20が表示される。そこで、操
作者は、この表示器5bの画面を見ながらXYテーブル
1を移動操作し、図2に示す第二の表示器5bの枠20
内にプリント基板13の検査部位、すなわち目的とする
電子部品16のリード24の周辺の画像が位置するよう
にセットする。これにより、所望の検査部位がX線撮像
部3による撮影範囲内に正しく位置合わせされる。な
お、この検査部位の位置合わせのときは、図2に示すよ
うにシャッタ板21を進出させてシャッタ8が閉じられ
ている。従って、X線源2から放射されているX線は上
記シャッタ8により遮られ、プリント基板13及びX線
撮像部3には照射されない。このことから、X線撮像部
3の劣化を防止することができる。
1上にプリント基板13を載置固定する。このとき、上
記プリント基板13に実装された電子部品16がテレビ
カメラ6の設置してある側に向くようにする。次に、光
源15の点灯により光を上記プリント基板13に照射
し、この基板面からの光をミラー17,17で導いてテ
レビカメラ6で撮影し、図2に示すように、電子部品1
6の実装された面の画像を第二の表示器5bに表示す
る。このとき、上記第二の表示器5bの画面には、同時
にX線撮影範囲を示す枠20が表示される。そこで、操
作者は、この表示器5bの画面を見ながらXYテーブル
1を移動操作し、図2に示す第二の表示器5bの枠20
内にプリント基板13の検査部位、すなわち目的とする
電子部品16のリード24の周辺の画像が位置するよう
にセットする。これにより、所望の検査部位がX線撮像
部3による撮影範囲内に正しく位置合わせされる。な
お、この検査部位の位置合わせのときは、図2に示すよ
うにシャッタ板21を進出させてシャッタ8が閉じられ
ている。従って、X線源2から放射されているX線は上
記シャッタ8により遮られ、プリント基板13及びX線
撮像部3には照射されない。このことから、X線撮像部
3の劣化を防止することができる。
【0031】その後、シャッタ板21を後退させて上記
シャッタ8を開く。すると、図1に示すように、X線源
2から放射されているX線がプリント基板13に照射さ
れ、そのX線透過像がX線撮像部3で撮影されて第一の
表示器5aに検査画像が表示される。そして、この第一
の表示器5aに表示されるX線検査画像を観察して、上
記プリント基板13への電子部品16の半田付け状態が
良好か否か検査する。このとき、図7に示すように、電
子部品16のリード24の立上り部とX線の照射方向が
重なって接着状態がよくわからない場合は、図6に示す
ようにX線撮像部3とプリント基板13とを同期して移
動させ、X線の透過経路26を斜めに傾けるとよい。な
お、上記のようにX線撮像部3とプリント基板13とを
同期して移動させるときは、図2に示すようにシャッタ
板21を進出させてシャッタ8を閉じておく。移動が終
ったら、上記シャッタ8を開いて検査を再開する。
シャッタ8を開く。すると、図1に示すように、X線源
2から放射されているX線がプリント基板13に照射さ
れ、そのX線透過像がX線撮像部3で撮影されて第一の
表示器5aに検査画像が表示される。そして、この第一
の表示器5aに表示されるX線検査画像を観察して、上
記プリント基板13への電子部品16の半田付け状態が
良好か否か検査する。このとき、図7に示すように、電
子部品16のリード24の立上り部とX線の照射方向が
重なって接着状態がよくわからない場合は、図6に示す
ようにX線撮像部3とプリント基板13とを同期して移
動させ、X線の透過経路26を斜めに傾けるとよい。な
お、上記のようにX線撮像部3とプリント基板13とを
同期して移動させるときは、図2に示すようにシャッタ
板21を進出させてシャッタ8を閉じておく。移動が終
ったら、上記シャッタ8を開いて検査を再開する。
【0032】上記の動作により、プリント基板13への
電子部品16の半田付け状態が検査されるが、適宜の使
用間隔又は時間間隔ごとに図4に示す校正用試料10を
用いて、X線撮像部3が経時変化により感度低下するの
を補償すればよい。
電子部品16の半田付け状態が検査されるが、適宜の使
用間隔又は時間間隔ごとに図4に示す校正用試料10を
用いて、X線撮像部3が経時変化により感度低下するの
を補償すればよい。
【0033】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
X線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し得るテ
レビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載された
側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられた表示
手段により該表示器の表示画像の中に上記プリント基板
に対するX線撮影範囲を表示することができる。これに
より、上記プリント基板を載置したXYテーブルを移動
して上記X線撮影範囲内に該プリント基板の検査部位を
位置合わせし、撮影位置を容易に決定することができ
る。
X線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し得るテ
レビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載された
側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられた表示
手段により該表示器の表示画像の中に上記プリント基板
に対するX線撮影範囲を表示することができる。これに
より、上記プリント基板を載置したXYテーブルを移動
して上記X線撮影範囲内に該プリント基板の検査部位を
位置合わせし、撮影位置を容易に決定することができ
る。
【0034】また、前記X線源からのX線の照射領域内
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してX線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、X線検査画像
を見易くすることができる。
にX線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してX線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、X線検査画像
を見易くすることができる。
【0035】さらに、前記X線源とX線撮像部との間
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
に、該X線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
X線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をX線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
【0036】また、前記X線撮像部を、XYテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、X線源によるX線照
射中心より側方にずれた位置にX線撮像部を移動してX
Yテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のX線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構
に取り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、X線源によるX線照
射中心より側方にずれた位置にX線撮像部を移動してX
Yテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のX線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
【図1】本発明による基板半田付け状態検査装置の実施
例を示す全体構成図である。
例を示す全体構成図である。
【図2】テレビカメラの動作及びその画像を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図3】線量計の動作を説明するための図である。
【図4】校正用試料の動作を説明するための図である。
【図5】上記校正用試料の形状を示す説明図である。
【図6】XYテーブルとXY駆動機構の動作を説明する
ための図である。
ための図である。
【図7】プリント基板に実装された電子部品のリードに
対するX線の透過経路の変化を示す説明図である。
対するX線の透過経路の変化を示す説明図である。
1…XYテーブル 2…X線源 3…X線撮像部 4…X線カメラコントローラ 5a,5b…表示器 6…テレビカメラ 7…表示回路 9…線量計 10…校正用試料 11…XY駆動機構 12…同期駆動回路 13…プリント基板 16…電子部品 20…枠
Claims (4)
- 【請求項1】 上面にプリント基板を載置し二次元平面
内で移動し得るXYテーブルと、上記プリント基板の検
査部位にX線を照射するX線源と、上記XYテーブルを
間に挟んでX線源と対向配置され上記プリント基板の透
過X線像を撮影し電気信号に変換するX線撮像部と、こ
のX線撮像部からの出力信号を検査画像として表示する
第一の表示器と、上記XYテーブルの一側面がわに設け
られプリント基板の実装状態を光学的に撮影して電気信
号に変換するテレビカメラと、このテレビカメラからの
出力信号を画像として表示する第二の表示器とを有し、
上記第一の表示器に表示される検査画像によりプリント
基板への電子部品の半田付け状態を検査する基板半田付
け状態検査装置において、上記テレビカメラは、プリン
ト基板の電子部品が搭載された側にて上記X線撮像部に
よる撮影範囲より広い範囲を撮影し得るものとし、上記
第二の表示器の表示画像の中にプリント基板に対するX
線撮影範囲を表示する手段を設けたことを特徴とする基
板半田付け状態検査装置。 - 【請求項2】 前記X線源からのX線の照射領域内にX
線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線量計
の出力信号を入力して前記X線撮像部のゲインを調整す
る手段を設け、その画像濃度を常に一定とするようにし
たことを特徴とする請求項1記載の基板半田付け状態検
査装置。 - 【請求項3】 前記X線源とX線撮像部との間に、該X
線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料をX線の撮
像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試料をX線
の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲインとガ
ンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料に対応す
る画像の濃度が一定となるように補償するようにしたこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の基板半田付け状態
検査装置。 - 【請求項4】 前記X線撮像部を、XYテーブルに平行
に設けられ二次元平面内で移動し得るXY駆動機構に取
り付けると共に、このXY駆動機構の移動に対し一定の
割合で上記XYテーブルを同期して移動させる同期駆動
回路を設け、X線源によるX線照射中心より側方にずれ
た位置にX線撮像部を移動してXYテーブル上のプリン
ト基板の検査部位を撮影し得るようにしたことを特徴と
する請求項1,2又は3記載の基板半田付け状態検査装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5144347A JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5144347A JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06331571A true JPH06331571A (ja) | 1994-12-02 |
JP2696471B2 JP2696471B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=15359996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5144347A Expired - Fee Related JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2696471B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
WO2003046532A1 (fr) * | 2001-11-26 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif d'examen radiographique, procedes de commande et de reglage associes |
JP2005181242A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Shimadzu Corp | X線透視装置 |
JP2007192598A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Saki Corp:Kk | 被検査体の検査装置 |
JP2007198740A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
FR2919396A1 (fr) * | 2007-07-27 | 2009-01-30 | Clara Vision Sarl | Boitier et systeme de prise de vue, notamment pour le controle de qualite de cordon de soudure. |
JP2012122895A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Yamaha Motor Co Ltd | 画像処理装置、検査装置、測定装置、画像処理方法、測定方法 |
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