JP2001030164A - 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置 - Google Patents

複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置

Info

Publication number
JP2001030164A
JP2001030164A JP20483999A JP20483999A JP2001030164A JP 2001030164 A JP2001030164 A JP 2001030164A JP 20483999 A JP20483999 A JP 20483999A JP 20483999 A JP20483999 A JP 20483999A JP 2001030164 A JP2001030164 A JP 2001030164A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating
sun gear
rotation
gear
internal gear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20483999A
Other languages
English (en)
Inventor
Soichi Yokoyama
宗一 横山
Yasuhiro Shirokura
康弘 白倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsugami Corp
Original Assignee
Tsugami Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsugami Corp filed Critical Tsugami Corp
Priority to JP20483999A priority Critical patent/JP2001030164A/ja
Publication of JP2001030164A publication Critical patent/JP2001030164A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラップ部材に磨耗の偏りや目詰まりを少なく
するためにラップ盤のワークホルダを逆転させる複数回
転軸ラップ盤用回転制御方法及びその装置を提供する。 【解決手段】 複数回転軸ラップ盤用回転制御法は、ラ
ップ盤用1の上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びイン
ターナルギヤ12の内の他と独立して回転できるものの
少なくとも1つを逆転可能にしてワークホルダ17を正
転から逆転に転換する方法から成り、複数回転軸ラップ
盤用回転制御装置は、このような逆転を行う制御部30
を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数軸ラップ盤用
回転制御方法及び複数軸ラップ盤用回転制御装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、上下定盤、サンギヤ及びイン
ターナルギヤ又は上下定盤及びサンギヤをそれらの軸を
中心にして所定方向へ所定速度で回転しワークにラップ
加工を行う遊星歯車方式のラップ盤が存在している。
【0003】このラップ盤では、所定の時間前段ラップ
加工をした後に、上下定盤、サンギヤ及びインターナル
ギヤ又は上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの回
転方向を変えずに自動的に回転速度を変えて本ラップ加
工を行い、その後にこれらを停止することを1バッチで
行うことができる。この1バッチによる加工のタイムチ
ャートが図4に示されている。この図で、ステップ1で
は上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤが回転し始
め図示の前段ラップ回転速度に達し、所定時間それらの
回転が持続する状態を示し、ステップ2はステップ1の
状態から上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの全
ての速度が増加した本ラップ回転速度に達し、それが所
定時間継続して最後には上下定盤、サンギヤ及びインタ
ーナルギヤの回転が停止されるまでの状態を示してい
る。
【0004】所で、サンギヤとインターナルギヤと噛合
しているワークホルダが、上下定盤又は下定盤に設けら
れた例えば砥石などに対して常に同じ方向に自転と公転
を行うと、このワークホルダに装着されたワークが砥石
に対して同じ方向へ回転する。この回転を長時間行う
と、このワークの砥石に対する速度は砥石の内周側と外
周側とで異なるために、砥石のラップ面は中高又は外周
が高い円錐台に摩耗してしまいワークの平行度等の精度
が出にくくなる。又、砥石に対して同方向にワークを削
るため砥石に目詰まりが生じて砥石を早い時期に成形し
なければならなくなる。
【0005】これを避けるために、ワークのワークホル
ダの自転及び公転に伴うワークの回転を時々逆にする方
法があるが、それは、上下定盤、サンギヤ及びインター
ナルギヤの少なくとも1個を逆転させることによって達
成できる。しかし、従来は、上下定盤、サンギヤ及びイ
ンターナルギヤの少なくとも1個をそれまで回転されて
いた方向とは逆に自動的に回転させるということは行わ
れておらず、この逆転のためにラップ盤を停止し、上下
定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの当該の少なくと
も1個の回転を所望の逆の回転速度に設定する必要があ
った。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑み
てなされたものであり、その課題は、ラップ盤上で1バ
ッチのラップ加工中に砥石などのラップ部材に対しワー
クホルダをそれまでと逆の方向へ回転可能にして、砥石
などに対するワークの回転を1バッチのラップ加工中に
行う複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸
ラップ盤用回転制御装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御方
法は、共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ部材を有
する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲繞するイ
ンターナルギヤとを設け、該サンギヤと該インターナル
ギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに噛合する
ワークホルダを円周方向に配設し、該上及び下定盤、サ
ンギヤ並びにインターナルギヤがそれらの軸を中心にし
て他とは独立に回転する第1の場合では該上及び該下定
盤、該サンギヤ並びに該インターナルギヤを回転する第
1回転手段、第2回転手段、第3回転手段及び第4回転
手段を、前記上及び下定盤、サンギヤ並びにインターナ
ルギヤがそれらの軸を中心にして回転し該下定盤、サン
ギヤ及びインターナルギヤが他とは独立に回転する第2
の場合では該下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤを
回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4回転手段
を、前記インターナルギヤが回転せず、前記上定盤、下
定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他とは独立
に回転する第3の場合では前記上定盤、下定盤及びサン
ギヤを回転する第1回転手段、第2回転手段及び第3回
転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、前記下定
盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他とは独立に
回転する第4の場合は、前記下定盤及びサンギヤを回転
する第2回転手段及び第3回転手段を備えた複数回転軸
ラップ盤に用いられ、前記第1乃至第4の場合におい
て、他とは独立に回転される回転手段の内の少なくとも
1つを逆の方向へ回転させる逆転工程から構成される。
【0008】前記逆転工程は、前記複数回転軸ラップ盤
のラップ加工開始から所定の時間経過後に行われること
が望ましい。
【0009】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転
制御装置は、共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ部
材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲繞
するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該インタ
ーナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに噛
合するワークホルダを円周方向に配設して成り、該上及
び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸
を中心にして他とは独立に回転する第1の場合には該上
及び下定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤを所定回
転方向に所定回転速度で回転する第1回転手段、第2回
転手段、第3回転手段及び第4回転手段を、前記上及び
下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内、前記下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸を中心
にして他から独立に回転する第2の場合には該下定盤、
サンギヤ及びインターナルギヤを所定回転方向に所定回
転速度で回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4
回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず前記上定
盤、下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他と
は独立して回転する第3の場合には該上定盤、下定盤及
びサンギヤを所定方向に所定回転速度で回転する第1回
転手段、第2回転手段及び第3回転手段を、前記インタ
ーナルギヤが回転せず前記下定盤及びサンギヤが相互に
独立に回転する第4の場合には該下定盤及びサンギヤを
所定方向に所定速度で回転する第2回転手段及び第3回
転手段を具備する複数回転軸ラップ盤に用いられ、前記
第1の場合は、前記第1乃至第4回転手段それぞれに接
続されて対応回転手段に所定の回転方向と回転速度を与
える第1操作手段、第2操作手段、第3操作手段及び第
4操作手段と、前記第2の場合は、前記第2乃至第4回
転手段それぞれに接続される第2操作手段、第3操作手
段及び第4操作手段と、前記第3の場合は、前記第1乃
至第3回転手段に接続される第1操作手段、第2操作手
段及び第3操作手段と、前記第4の場合は前記第2及び
第3回転手段に接続される第2操作手段及び第3操作手
段とを有し、前記第1乃至第4操作手段に接続され対応
の回転手段の回転方向及び回転速度に対応する操作信号
を対応の操作手段に送り、前記第1の場合は前記第1及
び第4回転手段の内の少なくとも1つを、前記第2の場
合は前記第2乃至第4回転手段の内の少なくとも1つ
を、前記第3の場合は前記第1乃至第3回転手段の内の
少なくとも1つを、前記第4の場合は前記第2及び第3
回転手段の内の少なくとも1つを逆転させる逆転信号を
対応の操作手段に送る制御手段とから成る制御部を具備
して成る。
【0010】前記逆転信号は、逆転方向と所定の回転速
度に対応する信号である。
【0011】また、前記制御手段は前記逆転信号を前記
複数軸ラップ盤がラッピング加工を開始してから所定の
時間後に対応の操作手段へ送るようになっていることが
望ましい。
【0012】前記第1乃至第4回転手段はサーボモータ
から成り、前記第1乃至4操作手段は操作信号に応じた
動力を発生するサーボアンプから成り、前記第1乃至第
4検知手段は対応のサーボモータの回転数を検出する回
転数検出器から成ることが望ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図1乃至図3を参照して本
発明を1実施形態に基づいて説明する。図1は、本発明
の1実施形態の概略図であり、図2は本発明が適用され
る双頭ラップ盤の主要部の、上定盤を外した時の平面図
である。
【0014】図1及び図2に示すように、双頭ラップ盤
1は、上面に環状の砥石2を有する円盤状下定盤3とこ
れと共軸にその上方に配置でき下面環状の砥石4を有す
る上定盤5とを備えている。下定盤3は下定盤主軸
(軸)6と歯車列8を介してサーボモータ7により回転
される。下定盤3の上方にこれと共軸にサンギヤ9を設
けている。図1に示すように、このサンギヤ9は、例え
ば、下定盤主軸6を貫通するサンギヤ主軸(軸)10を
介してサーボモータ11により回転される。
【0015】図1及び2に示すように、インターナルギ
ヤ12が、サンギヤ9を囲繞してこれと共軸にラップ盤
機台13上に配設されている。このインターナルギヤ1
2は外周に外歯14が形成されており、これにサーボモ
ータ15の歯車16に噛合して、このサーボモータ15
により自らの軸を中心にして回転される。
【0016】サンギヤ9とインターナルギヤ12との間
の環状空間に円盤状の複数のワークホルダ17が円周方
向に配設されており、それらの外周に形成された外歯歯
車部18がサンギヤ9及びインターナルギヤ12に噛合
しており、両ギヤ9及び12の相対的な回転運動によっ
てワークホルダ17が自転と公転を行うようになってい
る。各ワークホルダ17にワーク19を挿入するワーク
挿入孔20が円周方向に配設されている。
【0017】図1を参照して、上定盤5は、サンギヤ主
軸10と共軸に設置できる上定盤主軸(軸)21を有す
る。この主軸21は図示していない定盤主軸ハウジング
に回転可能に支承された円筒状の主軸受け22を挿通し
ている。主軸受け22の上端に歯車23を設け、これに
サーボモータ24の歯車25が噛合している。主軸受け
22の下端にフランジ26を設けている。主軸21にフ
ランジ26の下方に位置するフランジ27が形成され、
スライダ28によって、フランジ27フランジ26の下
方に位置するフランジ27にスライダ28に対し不回転
であるが昇降可能に接続されている。従って、サーボモ
ータ24の回転によって、主軸受け22、フランジ2
6、スライダ28及びフランジ27を介して上定盤主軸
21が回転され、上定盤21即ち砥石4を同方向速度で
回転させる。なお、サーボモータ24、7、11及び1
5は、それぞれ、第1、第2、第3及び第4回転手段の
例である。
【0018】上定盤主軸21の上端に、ピストン−シリ
ンダ・アセンブリー29が設けられており、上定盤主軸
21と共に上定盤5と砥石4を昇降させるようになって
いる。そして、ピストン−シリンダ・アセンブリー29
によって上定盤5を下降させて砥石4の下面をワーク1
9に押圧することができる。
【0019】次に、この双頭ラップ盤1に用いられる制
御部30を説明する。図1において、制御部30は、制
御手段を構成するメインコントローラ31と、サーボア
ンプ32、33、34及び35と、回転数検出器36、
37、38及び39とから成る。
【0020】サーボアンプ32、33、34及び35
は、それらの出力側が、それぞれ、サーボモータ11、
24、15及び7の入力側に接続され、これらのサーボ
モータは、操作信号に応じた動力を発生し、特に、対応
のサーボモータの回転速度に対応する電圧増幅を行う。
対応のサーボモータは増幅された電圧を受けて所定の方
向に所定の回転速度で回転する。ここで、サーボアンプ
33、35、32及び34は、それぞれ、第1操作手
段、第2操作手段、第3操作手段及び第4操作手段の例
である。
【0021】回転数検出器37、39、36及び38
は、それぞれ、サーボモータ24、7、11及び15に
接続されて、対応のサーボモータの回転速度を検出する
ものであって、それぞれ、第1回転数検知手段、第2回
転数検知手段、第3回転数検知手段及び第4回転数検知
手段の例である。
【0022】メインコントローラ31は、サーボアンプ
32、33、34及び35の入力部に接続され、同時に
対応のサーボアンプに対応のサーボモータの所定方向及
び定速度に対応する回転信号を出す。そして、各サーボ
モータの回転数が所定の大きさになるまでと他の所定速
度になるまでと所定の速度から零になるまでこれらの回
転数を同期して増加させ、減少させる機能を有する。
【0023】メインコントローラ31は、又、回転数検
出器36、37、38及び39の出力側に接続され、こ
れらの検出器から出力された対応のサーボモータの回転
速度及び回転方向を示す信号と予め設定されている対応
のサーボモータの回転速度及び回転方向と比較し、相違
があれば、補正の信号をサーボアンプ33に送って対応
のサーボモータの回転速度と回転方向を補正する機能を
有する。
【0024】メインコントローラ31は、精密圧力方向
制御弁40を介してピストン−シリンダ・アセンブリー
29の上下動を所定時間に制御するようになっている。
【0025】このメインコントローラ31は、今まで行
われてきた上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びインタ
ーナルギヤ12の内の少なくとも1つを所定回転速度で
逆転させる機能を有する。この場合は、メインコントロ
ーラ31は、全サーボモータを対応のサーボアンプを介
して停止し、上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びイン
ターナルギヤ12の内の上記の少なくとも1つの回転方
向及び回転速度を設定し直し、上定盤5、下定盤3、サ
ンギヤ9及びインターナルギヤ12の運転を再開する。
この逆転の回転速度は、ワークホルダ17を今までとは
逆方向に所定の速度で自転及び公転させるように選定さ
れる。そして、この逆転の時間もメインコントローラ3
1で制御される。ワークホルダ17内のワーク19も対
向面が砥石2及び4のラップ面に圧接されてワークホル
ダ17と同じに回転される。このため、砥石2及び4の
ラップ面が凹状又は凸状の円錐台形に摩耗したり、目詰
まりを起こしてしまって成形し直さなければならないこ
とが、操作者がこの逆転時に上定盤5、下定盤3、サン
ギヤ9及びインターナルギヤ12の上記の少なくとも1
つの逆転と速度を設定し直すことをせずに、長期にわた
って避けられる。このことは、砥石の次の成形作業まで
の時間間隔を長大にすることと、逆転回転のためのロス
時間を極端に減少させるためにラップ盤の生産性を高め
るばかりでなく、人件費のコストダウンになる。
【0026】以下に、図4のタイムチャートを参照し
て、本発明の方法と装置の作動について説明する。ま
ず、時間Aですべてのサーボモータ7、11、15及び
24の回転を開始する。メインコントローラ31の回転
制御信号により上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びイ
ンターナルギヤ12の回転は同調が取られて増加し、時
間Bで図示のように所定の前段の回転速度に達し、所定
の時間Cに達するまで持続する。ここで、時間Aから時
間C間でのステップをステップ1と名付ける。
【0027】次に、時間Cから時間Dまでの間にメイン
コントローラ31の回転制御信号により、下定盤3、サ
ンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転を増加させ、
時間Dで本番の回転数に達し、これが時間Eまで持続さ
れ、本番のラップ加工が行われる。ここで、時間Cから
時間Eまでのステップをステップ2と名付ける。
【0028】時間Eでサンギヤ9と上定盤5がメインコ
ントローラ31によって逆転される共に下定盤3及びイ
ンターナルギヤ12の回転が減少するが方向は同じであ
る。時間Eから時間Fまで上定盤5、下定盤3、サンギ
ヤ9及びインターナルギヤ12の回転が同調を取られて
変化し図示の所定値に達する。ここで、上定盤5、下定
盤3、サンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転数は
図示の通りになり、時間Gまで維持される。時間Fから
時間Gまでの間にワークホルダ17は所定回転速度で逆
回転し、砥石面が傾斜して磨耗したり、これに目詰まり
が生じるのを長期間阻止できる。時間Gから上定盤5、
下定盤3、サンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転
は漸次減少され、時間Hで停止する。ここで、時間Eか
ら時間Hまでのステップをステップ3と名付ける。
【0029】以上の各ステップにおける上下盤、サンギ
ヤ、インターナルギヤの回転数、ワークホルダの自転及
び公転、加工時間の例は次の通りである。ステップ 1 上定盤の回転数 −18 回転/分 下定盤の回転数 20 回転/分 サンギヤの回転数 −12 回転/分 インターナルギヤの回転数 12 回転/分 ワークホルダの公転 6 回転/分 ワークホルダの自転 18 回転/分 加工時間 150 秒ステップ 2 上定盤の回転数 −23 回転/分 下定盤の回転数 25 回転/分 サンギヤの回転数 −18 回転/分 インターナルギヤの回転数 18 回転/分 ワークホルダの公転 9 回転/分 ワークホルダの自転 27 回転/分 加工時間 100 秒ステップ 3 上定盤の回転数 −20 回転/分 下定盤の回転数 20 回転/分 サンギヤの回転数 10 回転/分 インターナルギヤの回転数 −18 回転/分 ワークホルダの公転 −11 回転/分 ワークホルダの自転 −21 回転/分 加工時間 150 秒 この例によると、ワークホルダの自転及び公転は、サン
ギヤ9とインターナルギヤ12の逆転によって、逆転さ
れることが分かる。
【0030】図3の例では、1バッチに工程は、前段加
工のステップ1、本加工のステップ2と逆転加工のステ
ップ3の3ステップになっているが、これに限らず、ラ
ップ加工条件に応じて、正転ステップ数を増減したり、
逆転ステップ数を増加させたりすることができる。
【0031】更に、ワークホルダの逆回転を行うこと
は、インターナルギヤを機台に固定して回転させず、上
下定盤及びサンギヤを互いから独立して回転させる形式
の双頭ラップ盤では、上下定盤及びサンギヤの内の少な
くとも1つを所定方向へ逆転させることによって達成す
ることができる。
【0032】また、下定盤、サンギヤ及びインターナル
ギヤを他から独立に回転し、上定盤を下定盤、サンギヤ
及びインターナルギヤの回転によって定められる公転に
合わせて回転し、定盤下面に回転自在に設けられた押し
板でワークを加圧する形式の片面ラップ盤では、下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内の少なくとも1
つを所定回転で逆転させればよい。
【0033】さらに、インターナルギヤを機台に固定し
て回転させず、下定盤及びサンギヤ他から独立に回転
し、上定盤を下定盤、サンギヤの回転によって定められ
る公転に合わせて回転し、定盤下面に回転自在に設けら
れた押し板でワークを加圧する形式の片面ラップ盤で
は、下定盤及びサンギヤの内の少なくとも1つを所定回
転で逆転させることによって、ワークホルダを逆転させ
ることができる。
【0034】定盤に設けるラップ材は、砥石のみならず
研磨布などでも良く、これらを総称してラップ部材と称
することにする。
【0035】
【発明の効果】本発明においては、上下定盤、サンギヤ
及びインターナルギヤの内の他から独立して回転するも
のの少なくとも1つを逆転させてワークホルダの自転及
び公転を逆転させるものであるから、ラップ部材の偏っ
た磨耗や目詰まりを長期に渡って防止できるという効果
がある。また、これによって再成形までの期間を長くす
ることができるという効果もある。さらに、これらの効
果に加えて、正逆転がタイムロス無しに行われることに
よりラップ盤の生産性を向上させるという効果もある。
更に、上記に切換が人手無しに自動的に行われることか
ら人件費を低減できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御
装置の1実施形態の概略説明図である。
【図2】図1のラップ盤の、上定盤を外した時の平面図
である。
【図3】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御
法の実施形態の1例のタイムチャートである。
【図4】従来の実施例のタイムチャートである。
【符号の説明】
1 双頭ラップ盤 2 砥石 3 下定盤 4 砥石 5 上定盤 6 下定盤主軸 7 サーボモータ 9 サンギヤ 10 サンギヤ主軸 11 サーボモータ 12 インターナルギヤ 13 ラップ盤機台 14 外歯 15 サーボモータ 17 ワークホルダ 18 外歯歯車部 19 ワーク 20 ワーク挿入孔 21 上定盤主軸 24 サーボモータ 29 ピストン−シリンダ・アセンブリー 30 制御部 31 メインコントローラ 32−35 サーボアンプ 36−39 回転数検出器 40 精密圧力方向制御弁

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ
    部材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲
    繞するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該イン
    ターナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに
    噛合するワークホルダを円周方向に配設し、該上及び下
    定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤがそれらの軸を
    中心にして他とは独立に回転する第1の場合では該上及
    び該下定盤、該サンギヤ並びに該インターナルギヤを回
    転する第1回転手段、第2回転手段、第3回転手段及び
    第4回転手段を、前記上及び下定盤、サンギヤ並びにイ
    ンターナルギヤがそれらの軸を中心にして回転し該下定
    盤、サンギヤ及びインターナルギヤが他とは独立に回転
    する第2の場合では該下定盤、サンギヤ及びインターナ
    ルギヤを回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4
    回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、前記上
    定盤、下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他
    とは独立に回転する第3の場合では前記上定盤、下定盤
    及びサンギヤを回転する第1回転手段、第2回転手段及
    び第3回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、
    前記下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他と
    は独立に回転する第4の場合は、前記下定盤及びサンギ
    ヤを回転する第2回転手段及び第3回転手段を備えた複
    数回転軸ラップ盤の複数回転軸の回転制御方法であっ
    て、 前記第1乃至第4の場合において、他とは独立に回転さ
    れる回転手段の内の少なくとも1つを逆の方向へ回転さ
    せる逆転工程を含む複数回転軸ラップ盤用回転制御方
    法。
  2. 【請求項2】 前記逆転工程は、前記複数回転軸ラップ
    盤のラップ加工開始から所定の時間経過後に行われる請
    求項1に記載の複数回転軸ラップ盤用回転制御方法。
  3. 【請求項3】 共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ
    部材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲
    繞するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該イン
    ターナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに
    噛合するワークホルダを円周方向に配設して成り、該上
    及び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの
    軸を中心にして他とは独立に回転する第1の場合には該
    上及び下定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤを所定
    回転方向に所定回転速度で回転する第1回転手段、第2
    回転手段、第3回転手段及び第4回転手段を、前記上及
    び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内、前記下
    定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸を中
    心にして他から独立に回転する第2の場合には該下定
    盤、サンギヤ及びインターナルギヤを所定回転方向に所
    定回転速度で回転する第2回転手段、第3回転手段及び
    第4回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず前記
    上定盤、下定盤及びサンギヤがこれらの軸を中心にして
    他とは独立して回転する第3の場合には該上定盤、下定
    盤及びサンギヤを所定方向に所定回転速度で回転する第
    1回転手段、第2回転手段及び第3回転手段を、前記イ
    ンターナルギヤが回転せず前記下定盤及びサンギヤが相
    互に独立に回転する第4の場合には該下定盤及びサンギ
    ヤを所定方向に所定速度で回転する第2回転手段及び第
    3回転手段を具備する複数回転軸ラップ盤用回転制御装
    置であって、 前記第1の場合は、前記第1乃至第4回転手段それぞれ
    に接続されて対応回転手段に所定の回転方向と回転速度
    を与える第1操作手段、第2操作手段、第3操作手段及
    び第4操作手段と、前記第2の場合は、前記第2乃至第
    4回転手段それぞれに接続される第2操作手段、第3操
    作手段及び第4操作手段と、前記第3の場合は、前記第
    1乃至第3回転手段に接続される第1操作手段、第2操
    作手段及び第3操作手段と、前記第4の場合は前記第2
    及び第3回転手段に接続される第2操作手段及び第3操
    作手段と、 前記第1乃至第4操作手段に接続され対応の回転手段の
    回転方向及び回転速度に対応する操作信号を対応の操作
    手段に送り、前記第1の場合は前記第1乃至第4回転手
    段の内の少なくとも1つを、前記第2の場合は前記第2
    乃至第4回転手段の内の少なくとも1つを、前記第3の
    場合は前記第1乃至第3回転手段の内の少なくとも1つ
    を、前記第4の場合は前記第2及び第3回転手段の内の
    少なくとも1つを逆転させる逆転信号を対応の操作手段
    に送る制御手段とから成る制御部を具備する複数回転軸
    ラップ盤用制御装置。
  4. 【請求項4】 前記逆転信号は、逆転方向と所定の回転
    速度に対応する信号である請求項3に記載の複数回転軸
    ラップ盤制御装置。
  5. 【請求項5】 前記制御手段は前記逆転信号を前記複数
    軸ラップ盤がラッピング加工を開始してから所定の時間
    後に対応の操作手段へ送る請求項3又は4に記載の複数
    軸ラップ盤用回転制御装置。
  6. 【請求項6】 前記第1乃至第4回転手段はサーボモー
    タから成り、前記第1乃至4操作手段は操作信号に応じ
    た動力を発生するサーボアンプから成り、前記第1乃至
    第4検知手段は対応のサーボモータ回転数を検出する回
    転数検出器から成る請求項3乃至5のいずれかの1に記
    載の複数軸ラップ盤用回転制御装置。
JP20483999A 1999-07-19 1999-07-19 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置 Pending JP2001030164A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20483999A JP2001030164A (ja) 1999-07-19 1999-07-19 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20483999A JP2001030164A (ja) 1999-07-19 1999-07-19 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001030164A true JP2001030164A (ja) 2001-02-06

Family

ID=16497253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20483999A Pending JP2001030164A (ja) 1999-07-19 1999-07-19 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001030164A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002254301A (ja) * 2001-02-28 2002-09-10 Speedfam Co Ltd 研磨方法及び研磨装置
WO2010140595A1 (ja) * 2009-06-04 2010-12-09 旭硝子株式会社 板状体の研磨方法
JP2011067901A (ja) * 2009-09-25 2011-04-07 Hoya Corp 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
WO2013121718A1 (ja) * 2012-02-15 2013-08-22 信越半導体株式会社 ウェーハの両面研磨方法
CN108481184A (zh) * 2018-06-08 2018-09-04 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 一种研磨机的停车控制***及控制方法
CN117464473A (zh) * 2023-11-23 2024-01-30 盐城市山川金属加工有限公司 一种打磨抛光机床设备
CN117532480A (zh) * 2023-11-14 2024-02-09 苏州博宏源机械制造有限公司 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002254301A (ja) * 2001-02-28 2002-09-10 Speedfam Co Ltd 研磨方法及び研磨装置
WO2010140595A1 (ja) * 2009-06-04 2010-12-09 旭硝子株式会社 板状体の研磨方法
JP2011067901A (ja) * 2009-09-25 2011-04-07 Hoya Corp 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
WO2013121718A1 (ja) * 2012-02-15 2013-08-22 信越半導体株式会社 ウェーハの両面研磨方法
JP2013188860A (ja) * 2012-02-15 2013-09-26 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウェーハの両面研磨方法
US9266215B2 (en) 2012-02-15 2016-02-23 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Method of double-side polishing wafer
KR101846926B1 (ko) * 2012-02-15 2018-04-10 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 웨이퍼의 양면 연마방법
CN108481184A (zh) * 2018-06-08 2018-09-04 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 一种研磨机的停车控制***及控制方法
CN108481184B (zh) * 2018-06-08 2023-05-19 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 一种研磨机的停车控制***及控制方法
CN117532480A (zh) * 2023-11-14 2024-02-09 苏州博宏源机械制造有限公司 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置
CN117532480B (zh) * 2023-11-14 2024-04-16 苏州博宏源机械制造有限公司 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置
CN117464473A (zh) * 2023-11-23 2024-01-30 盐城市山川金属加工有限公司 一种打磨抛光机床设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5205077A (en) Apparatus for controlling operation of a lapping, honing or polishing machine
JP5125406B2 (ja) 旋回装置およびそれを備えた円筒研削盤
JP2564214B2 (ja) 均一速度両面研磨装置及びその使用方法
JPH05337828A (ja) 輪郭研削砥石のドレッシングの方法および装置
JPS6258870B2 (ja)
JP2020504022A (ja) 偏心的に動かされるドレッサブルなカップ研削砥石を用いてかさ歯車を機械加工するための方法
JP2001030164A (ja) 複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸ラップ盤用回転制御装置
JPS6341705B2 (ja)
JP2009095911A (ja) 旋回装置およびそれを備えた円筒研削盤
JP6303568B2 (ja) 円すいころの研削装置及び円すいころの研削方法
JP4154526B2 (ja) ラップ加工用キャリアの厚み加工方法
JPH07227716A (ja) ギアホーニング加工装置の砥石停止制御装置
JPH04141355A (ja) 研削方法
JP2006224240A (ja) ホーニング砥石のドレス方法及びドレス装置
JP2003011058A (ja) 研磨装置および研磨方法および光学部品の製造方法
JPH02139117A (ja) Nc歯車研削方法とnc歯車研削盤用ギャップエリミネータ
JP3944640B2 (ja) 片面研削方法および装置
JP2007098554A (ja) 両頭平面研削装置及びその制御方法
JP7207771B2 (ja) 両頭平面研削盤および研削方法
JPH03251363A (ja) ラップ加工方法および両面ラップ盤
JPH0970757A (ja) 両頭平面研削盤のドレッシング方法
JP3108457B2 (ja) 球体ラッピング装置
JPS6210778B2 (ja)
JP2006200687A (ja) 遊星ギヤ機構を用いた移動装置及び平面研磨機
JPH0271972A (ja) 総型砥石修正装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060616

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080403

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080408

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080609

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090310