JP2000280474A - インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの板材の製造方法 - Google Patents

インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの板材の製造方法

Info

Publication number
JP2000280474A
JP2000280474A JP11329241A JP32924199A JP2000280474A JP 2000280474 A JP2000280474 A JP 2000280474A JP 11329241 A JP11329241 A JP 11329241A JP 32924199 A JP32924199 A JP 32924199A JP 2000280474 A JP2000280474 A JP 2000280474A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal plate
recording head
plate
jet recording
ink jet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11329241A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3570495B2 (ja
Inventor
Tomoaki Takahashi
智明 高橋
Minoru Watanabe
實 渡邊
Atsushi Furuhata
淳 古畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP32924199A priority Critical patent/JP3570495B2/ja
Priority to US09/489,893 priority patent/US6666547B1/en
Priority to AT00101419T priority patent/ATE242125T1/de
Priority to EP00101419A priority patent/EP1024001B1/en
Priority to DE60003088T priority patent/DE60003088T2/de
Publication of JP2000280474A publication Critical patent/JP2000280474A/ja
Priority to US10/692,747 priority patent/US7159315B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3570495B2 publication Critical patent/JP3570495B2/ja
Priority to US11/604,686 priority patent/US20070067991A1/en
Priority to US12/137,081 priority patent/US7946682B2/en
Priority to US12/137,056 priority patent/US8458903B2/en
Priority to US13/896,498 priority patent/US20130242002A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14274—Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1612—Production of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826—Assembling or joining
    • Y10T29/49906—Metal deforming with nonmetallic bonding

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造工程における板材の変形を可及的に抑
え、もって製造工程の簡素化を図ること。 【解決手段】 流路ユニットを構成する板材６は、エッ
チング可能な材料を圧延して製造された金属板１５と、
一方の面に積層された高分子フィルム１６とからなり、
長辺６ａが金属板１５の圧延方向Ａに直交していて、圧
延方向の直交方向の大きな剛性により長手方向に生じや
すい反りを抑える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、縦振動モードの
圧電振動子を駆動源とするインクジェット式記録ヘッ
ド、より詳細には圧電振動子の変位に起因する圧力を受
ける弾性板の構造と、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】記録ヘッドの記録密度の向上を図るため
にノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあり、この
ためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチングし、
これに他の方法で製作されたノズルプレートや弾性板を
接着剤で固定して流路ユニットを構成し、この流路ユニ
ットに圧電振動子の変位を伝達して圧力発生室に圧力を
発生させ、この圧力によりインク滴をノズル開口から吐
出させるように構成されている。
【０００３】このように圧力発生室の配列密度が大きく
なると、圧力発生室の幅が極めて小さくなるるため、圧
力発生室の長手方向全体を効率的に変形させる必要上、
弾性板の表面に圧力発生室の長手方向に延びる凸部、い
わゆるアイランド部を形成し、このアイランド部を介し
て圧電振動子の変位を圧力発生室を封止している弾性板
の広い領域に伝達するように構成されている。
【０００４】このような弾性板として高分子フィルムや
金属の薄板を使用し、これの表面に弾性板の剛性を確保
する比較的厚みが大きな金属板材、例えばステンレス板
を積層して、ステンレス板をエッチングして圧電振動子
の変位を圧力発生室全体に伝達させるアイランド部と、
アイランド部の変位により弾性変形して圧力発生室の容
積を変化させるダイヤフラム部とを形成することが提案
されている（ＷＯ９３／２５３９０号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、弾性板
となる板材、特に高分子フィルムと剛性を確保する金属
板との熱膨張率に大きな隔たりがあり、また製造工程中
の加熱により高分子材料が収縮するため、流路ユニット
の製造工程において、板材がたわみ変形して流路形成基
板との間に位置誤差が生じるという問題がある。本発明
はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは製造工程における板材の変形を可及
的に抑え、もって製造工程の簡素化を図ることができる
インクジェット式記録ヘッドを提供することである。ま
た、本発明の第２の目的は、上記板材の製造方法を提案
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口、圧力発生室、
リザ-バ及びインク供給口とを備え、少なくとも圧力発
生室またはリザーバが一部弾性変形可能な板材により封
止されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記板
材が、外部圧力により弾性変形可能でかつ耐インク性を
備えた弾性板と、エッチング可能な金属材料を圧延して
製造された圧延製金属板とを積層した略長方形の母材に
より構成され、かつ前記母材の長手方向が前記圧延製金
属板の圧延方向に直交している。
【０００７】
【作用】一般的に金属材料は、圧延方向と直交する方向
の剛性が大きいため、長手方向に生じやすい反りを圧延
の方向性で増大した剛性で抑える。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は、本発明のインクジェット
式記録ヘッドの一実施例を示すものであって、流路ユニ
ット１と圧電振動ユニット２をヘッドホルダ３を介して
一体に固定して構成されている。流路ユニット１は、ノ
ズルプレート４、流路形成基板５、及び板材６を積層
し、圧電振動子ユニット２の個々の圧電振動子７の伸縮
により圧力発生室８を縮小、膨張させてインク滴を吐出
するように構成されている。
【０００９】ノズルプレート４には圧力発生室８に連通
するノズル開口９が穿設されており、また流路形成基板
５には圧力発生室８、インク供給口１０、及びリザ-バ
１１が形成されている。
【００１０】板材６は、圧電振動子７の先端に当接する
アイランド部１２と、弾性変形可能なダイヤフラム部１
３と各圧力発生室８に対向するように形成し、またリザ
-バ１１に対向する領域にも上述のダイヤフラム部１３
と同様のダイヤフラム部１４が構成されている。
【００１１】本発明が特徴とする板材６は、図２に示し
たように剛性が高く、かつエッチングが可能な材料、例
えばステンレス鋼を一方向に圧延した厚さ１０乃至３０
μｍ程度の圧延製金属板１５に、圧電振動子７の変位に
より弾性変形が可能で、インクに対する耐蝕性を備えた
例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂等の
高分子フィルム１６を熱溶着、または接着してラミネー
トしたものを母材として構成されている。
【００１２】なお、高分子フィルム１６は、軟化しない
程度の温度、例えば８０乃至１５０°Ｃ程度の温度で予
めアニール処理した後、金属板１５に積層すると、アニ
ール処理により収縮が完了しているため、後の工程での
収縮がなく、反りを大幅に抑えることができて望まし
い。
【００１３】この母材を圧延製金属板１５の圧延方向
（図中、矢印Ａの方向）に対して直交する方向が、個々
の板材６の長辺６ａとなるように切断し、要所に貫通孔
からなる位置決め孔１７、１７を穿設してから、ダイヤ
フラム部１３、１４を形成すべき領域をエッチングして
圧延製金属板１５によりアイランド部１２を形成する
か、または大判の状態で板材としての長辺側となるよう
にダイヤフラム部１３、１４を形成すべき領域をエッチ
ングして圧延製金属板１５によりアイランド部１２を形
成し、要所に位置決め孔１７、１７を穿設し、最後に圧
延製金属板１５の圧延方向が板材６の短辺６ｂとなるよ
うに裁断する。
【００１４】このように形成された板材６は、一方の面
にノズルプレート４が積層された流路形成基板５の他方
の面に、各アイランド部１２、及びダイヤフラム部１３
が圧力発生室８に対して規定の位置となるように位置決
め孔１７、１７を用いて位置合わせして積層される。
【００１５】この積層工程において、板材６は、圧延製
金属板１５の圧延方向に直角な方向が長辺６ａとなるよ
うに構成されているため、金属板１５の長辺方向の剛性
が短辺方向の剛性よりも１０％程度大きな剛性を有する
ため、反りが、従来のものに比較して３０％程度小さく
なるため、板材６を流路形成基板５、より詳細にはアイ
ランド部１２やダイヤフラム部１３を各圧力発生室８に
対して正確に位置決めすることができ、また板材６と流
路形成基板５との間に空隙を残すことなく接着すること
が可能となる。
【００１６】また、高分子延伸フィルム１６は、予めア
ニール処理が施されているため、圧延製金属板１５との
接着作業時に加熱を受けたとしても収縮せず、板材６と
しての反りを小さく抑えることができる。さらに、接着
前とほぼ同等の弾性率を維持しているから、インク滴吐
出時にインク供給口からリザ-バ１１に逆流したインク
による圧力によりダイヤフラム部１４が充分に変形して
大きなコンプライアンスにより圧力変動を確実に吸収す
る。
【００１７】なお、上述の実施例においては、板材６を
構成する金属板１５の圧延方向に直交する方向にリザ-
バ及びアイランド部の列を配置しているが、図３に示し
たように１列に多数のアイランド部１２が形成され、か
つ列数が少なく、したがってアイランド部１２の配列方
向が長尺化する場合には、アイランド部１２の配列方
向、つまり長辺６ａ’が金属板１５の圧延方向（図中、
矢印Ａ方向）に直交、したがって短辺６ｂが圧延方向に
一致するように金属板１５を切り出しても同様の作用を
奏する。
【００１８】上述の実施例においては、高分子フィルム
１６の一方の面にのみ圧延製金属板１５を積層している
が、図４に示したように高分子フィルム１６の両面に圧
延製金属板１５を積層し、高分子フィルム１６を対称面
とするようにエッチングして、圧力発生室８に陥入する
ように第２のアイランド部１２’を形成し、またリザ-
バ１１に対向する内面の金属板をエッチングで除去して
ダイヤフラム部１４を確保しても同様の作用を奏する。
【００１９】また、上述の実施例においては、ダイヤフ
ラム部１３にアイランド部１２だけを形成しているが、
図５に示したように隣接する圧力発生室８を区画する壁
に対向する領域を非エッチング領域としてブリッジッ部
１８を形成すると、このブリッジ部１８が補強材として
機能する。
【００２０】ところで、本発明は、基材となる圧延製金
属板の圧延加工による剛性の異方性を、インクジェット
記録ヘッドの構造に好適に応用するものであるから、上
述した形式の記録ヘッド、つまり軸方向に伸縮する圧電
素子により圧力発生室を膨張、収縮させる形式の記録ヘ
ッドばかりでなく、板状の圧電振動子を用いてたわみ変
位によりインク滴を吐出させる記録ヘッドの構成部材に
適用しても同様の作用を奏する。
【００２１】すなわち、図６に示したように複数のグル
ープに分離されたノズル開口列が形成された１つの流路
ユニット２０に、インクを加圧するアクチュエータユニ
ット２１を複数、この実施例では３個装着して構成され
た記録ヘッドにも適用することができる。図７は、上述
の記録ヘッドを構成する部材を分離して示すものであっ
て、流路ユニット２０は、ノズル開口２２が穿設された
ノズルプレート２３と、リザーバ２４を形成する通孔が
穿設されたリザーバ形成基板２５と、リザーバの他方の
面を封止してリザーバ２４とアクチュエータユニット２
１とのインク流路２６を形成し、かつアクチュエータユ
ニット２１の取付け部材となる板材２７とを積層して構
成されている。
【００２２】一方、アクチュエータユニット２１は、封
止基板２８と圧力発生室形成基板２９と振動板３０とを
順次積層して構成されいる。振動板３０の表面にはそれ
ぞれの圧力発生室３１に対応して、個別に分離された下
部電極３２が形成されていて、この下部電極３２の表面
に対応して電歪材料からなる圧電振動子３３の層が形成
され、さらに圧電振動子３３の表面には上部電極３４が
形成され、フレキシブルケーブル３５により駆動信号の
供給を受けるように構成されている。
【００２３】このように構成された記録ヘッドの板材２
７として前述の部材を使用することができる。図８は、
上述の部材を使用したインクジェット記録ヘッドの一実
施例を示すものであって、図中符号３６は、剛性が高
く、かつエッチングが可能な材料、例えばステンレス鋼
を一方向に圧延した厚さ１０乃至３０μｍ程度の圧延製
金属板３７に、リザーバ２４のインク圧力の変動により
弾性変形してコンプライアンスを発現し、かつインクに
対する耐蝕性を備えた例えばポリフェニレンサルファイ
ド（ＰＰＳ）樹脂等の高分子フィルム３８を熱溶着、ま
たは接着してラミネートしたものを母材として構成され
ている。なお、高分子フィルム３８は、軟化しない程度
の温度、例えば８０乃至１５０°Ｃ程度の温度で予めア
ニール処理した後、金属板３７に積層すると、アニール
処理により収縮が完了しているため、後の工程での収縮
がなく、反りを大幅に抑えることができて望ましい。
【００２４】この母材を圧延製金属板３７の圧延方向に
直交する方向が、流路ユニット２１の配列方向が長辺と
なるように切断し、リザーバ２４に対向する領域の金属
板３７をエッチングにより除去してコンプライアンス付
与部３９を形成して板材３６が構成されている。
【００２５】このように形成された板材３６は、コンプ
ライアンス付与部３９の高分子フィルム３８の一方の面
がリザーバ２４に、また金属板３７が除去された凹部３
７ａから露出している他方の面が接着剤層４０による空
隙Ｇを介してアクチュエータユニット２１に対向する。
これにより、圧電振動子３３の変位により圧力発生室３
１で加圧されたインクが連通孔４１から逆流してリザー
バ２４の圧力を上昇させた場合にも、高分子フィルム３
８により形成されているコンプライアンス付与部３９が
変位してリザーバ２４の圧力変動を吸収する。
【００２６】もとより、板材３６を構成している金属板
３７の圧延方向が、短辺方向であるため、たとえ複数の
アクチュエータユニット２１の列設方向の辺長が大きく
なっても剛性を維持できて、反りなどを可及的に抑制で
きる。
【００２７】なお、上述の実施例においては、圧延製金
属板としてステンレス鋼を使用しているが、圧延加工及
びエッチングが可能で、しかも接着性が高い他の金属、
例えば銅、ニッケル、鉄を使用しても同様の作用を奏す
る。
【００２８】また、上述の実施例においては高分子フィ
ルムとしてポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂
を用いているが、他の高分子材料、例えば、ポリイミド
（ＰＩ）樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ポ
リアミドイミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリバラバン酸（ＰＰ
Ａ）樹脂、ポリサルホン（ＰＳＦ）樹脂、ポリエーテル
サルホン（ＰＥＳ）樹脂樹脂、ポリエーテルケトン（Ｐ
ＥＫ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）
樹脂、ポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂、ポリエチレンナ
フタレート（ＰＥＮ）樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピ
レン樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等
を用いることもできる。
【００２９】さらに、上述の実施例においては、耐エッ
チング性を備え、かつ弾性変形可能な層を高分子フィル
ムにより形成しているが、耐エッチング性を備え、かつ
リザーバのインク圧力の変動や、圧電振動子の変位によ
り弾性変形可能な他の材料、例えばアルミナや金属を使
用しても同様の作用を奏することは明らかである。
【００３０】弾性変形領域を金属材料により構成する場
合には、図９に示したように圧延製金属板４０と、弾性
変形領域を構成する金属板４１とを耐エッチング性を備
えた接着剤層４２を介して積層し、圧延製金属板４０の
表面４０ａからエッチングすることにより接着剤層４２
をエッチングストッパとして機能させて、圧延製金属板
４０だけを選択的に加工することができる。
【００３１】また、図９（ｂ）に示したように圧延製金
属板４３を予めエッチング加工した後、接着剤を形成す
るフィルム４４により弾性変形領域となる金属板４５に
積層してもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ノズル開口、圧力発生室、リザ-バ及びインク供給
口とを備え、少なくとも圧力発生室またはリザーバが一
部弾性変形可能な板材により封止されたインクジェット
式記録ヘッドにおいて、板材が、外部圧力により弾性変
形可能でかつ耐インク性を備えた弾性板と、エッチング
可能な金属材料を圧延して製造された圧延製金属板とを
積層した略長方形の母材により構成され、かつ母材の長
手方向が圧延製金属板の圧延方向に直交しているので、
圧延方向と直交する方向の剛性が大きく、長手方向に生
じやすい反りを圧延の方向性で増大した剛性で抑えるこ
とができ、組立工程における位置決め精度を確保するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、圧力発生室の長手方向の断面で示す図である。
【図２】同上記録ヘッドに使用する弾性板の一実施例を
示す図である。
【図３】同上記録ヘッドに使用する弾性板の他の実施例
を示す図である。
【図４】本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の実
施例を、圧力発生室の長手方向の断面で示す図である。
【図５】本発明の他の実施例を弾性板のアイランド部を
拡大して示す図である。
【図６】本発明が適用可能なたわみ振動子を駆動源とし
たインクジェット記録ヘッドの概要を示す図である。
【図７】同上記録ヘッドの構造を示す組立斜視図であ
る。
【図８】同上記録ヘッドに本発明を適用した場合の構造
を示す断面図である。
【図９】図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ金属板により弾
性領域を形成する場合に製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１ 流路ユニット ２ 圧電振動ユニット ３ ヘッドホルダ ４ ノズルプレート ５ 流路形成基板 ６ 板材 ７ 圧電振動子 １２ アイランド部 １３ ダイヤフラム部１３
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古畑 淳 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF70 AF93 AG14 AG45 AG55 AP02 AP16 AP31 AP77 AQ06 BA04 BA14

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ノズル開口、圧力発生室、リザ-バ及び
    インク供給口とを備え、少なくとも圧力発生室またはリ
    ザーバが一部弾性変形可能な板材により封止されたイン
    クジェット式記録ヘッドにおいて、 前記板材が、外部圧力により弾性変形可能でかつ耐イン
    ク性を備えた弾性板と、エッチング可能な金属材料を圧
    延して製造された圧延製金属板とを積層した略長方形の
    母材により構成され、かつ前記母材の長手方向が前記圧
    延製金属板の圧延方向に直交しているインクジェット式
    記録ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記弾性板が、高分子フィルムにより構
    成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  3. 【請求項３】 前記弾性板が、前記圧延製金属板との積
    層以前にアニール処理された高分子フィルムにより構成
    されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
    ド。
  4. 【請求項４】 前記弾性板が、外部圧力により弾性変形
    可能でかつ耐インク性を備えた金属板により構成され、
    接着剤層を介して前記圧延製金属板に積層されている請
    求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  5. 【請求項５】 ノズル開口、圧力発生室、リザ-バ及び
    インク供給口とを備え、前記圧力発生室に対向するアイ
    ランド部、及びダイヤフラム部を備えた板材により封止
    された流路ユニットと、前記アイランド部に当接してイ
    ンク滴を吐出させる圧電振動子とからなるインクジェッ
    ト式記録ヘッドにおいて、 前記板材が、前記圧電素子の変位により弾性変形可能で
    かつ耐インク性を備えた弾性板と、エッチング可能な金
    属材料を圧延して製造された圧延製金属板とを積層した
    略長方形の母材により構成され、かつ前記母材の長手方
    向が前記圧延製金属板の圧延方向に直交しているインク
    ジェット式記録ヘッド。
  6. 【請求項６】 前記弾性板が、高分子フィルムにより構
    成されている請求項５に記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  7. 【請求項７】 前記弾性板が、前記圧延製金属板との積
    層以前にアニール処理された高分子フィルムにより構成
    されている請求項５に記載のインクジェット式記録ヘッ
    ド。
  8. 【請求項８】 前記弾性板が、外部圧力により弾性変形
    可能でかつ耐インク性を備えた金属板により構成され、
    接着剤層を介して前記圧延製金属板に積層されている請
    求項５に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  9. 【請求項９】 前記圧延製金属板が、前記アイランド部
    を形成するようにエッチングされている請求項５に記載
    の記載のインクジェット式記録ヘッド。
  10. 【請求項１０】 前記リザ-バに対向する領域の前記圧
    延製金属板がエッチングにより除去されてダイヤフラム
    部が形成されている請求項５に記載のインクジェット式
    記録ヘッド。
  11. 【請求項１１】 前記アイランド部の列が、前記長手方
    向に複数配列されている請求項５に記載のインクジェッ
    ト式記録ヘッド。
  12. 【請求項１２】 前記アイランド部の列が、前記長手方
    向に直交するように配列されている請求項５に記載のイ
    ンクジェット式記録ヘッド。
  13. 【請求項１３】 ノズル開口が穿設されたノズルプレー
    トと、リザーバを形成する通孔が穿設されたリザーバ形
    成基板と、リザーバの他方の面を封止してリザーバとア
    クチュエータとのインク流路を形成し、かつアクチュエ
    ータユニットの取付け部材となる板材とを積層して構成
    された流路ユニットの、前記板材の表面に、封止基板と
    圧力発生室形成基板と振動板とを順次積層して構成され
    たアクチュエータユニットを複数個固定して構成された
    インクジェット式記録ヘッドにおいて、 前記板材が、前記リザーバの圧力により弾性変形可能
    で、かつ耐インク性を備えた弾性板と、エッチング可能
    な金属材料を圧延して製造された圧延製金属板とを積層
    した略長方形の母材により構成され、前記アクチュエー
    タユニットが、前記圧延製金属板の圧延方向に直交する
    方向に複数配置されいるインクジェット式記録ヘッド。
  14. 【請求項１４】 前記弾性板が前記リザーバに対向する
    面に配置され、また前記圧延製金属板が、前記リザーバ
    に対向する領域をエッチングにより除去されている請求
    項９に記載の記載のインクジェット式記録ヘッド。
  15. 【請求項１５】 前記弾性板が、高分子フィルムにより
    構成されている請求項１３に記載のインクジェット式記
    録ヘッド。
  16. 【請求項１６】 前記弾性板が、前記圧延製金属板との
    積層以前にアニール処理された高分子フィルムにより構
    成されている請求項１３に記載のインクジェット式記録
    ヘッド。
  17. 【請求項１７】 前記弾性板が、外部圧力により弾性変
    形可能でかつ耐インク性を備えた金属板により構成さ
    れ、接着剤層を介して前記圧延製金属板に積層されてい
    る請求項１３に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  18. 【請求項１８】 前記圧延製金属板が、前記リザーバに
    コンプライアンス部を形成するようにエッチングされて
    いる請求項１３に記載の記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  19. 【請求項１９】 高分子フィルムと、圧延製金属板とを
    積層、接着して母材を形成する工程と、 前記圧延製金属板の圧延方向が、弾性板としての長辺側
    となるように前記圧延製金属板をエッチングして弾性変
    形領域となる貫通孔を形成する工程と、 からなるインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方
    法。
  20. 【請求項２０】 予めアニール処理が施された高分子フ
    ィルムと、圧延製金属板とを積層、接着して母材を形成
    する工程と、 前記圧延製金属板の圧延方向が、弾性板としての長辺側
    となるように前記圧延製金属板をエッチングして弾性変
    形領域となる貫通孔を形成する工程と、 からなるインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方
    法。
  21. 【請求項２１】 弾性変形可能な金属板と、圧延製金属
    板とを耐エッチング性を備えた接着剤層を介して積層、
    接着して母材を形成する工程と、 前記圧延製金属板の圧延方向が、弾性板としての長辺側
    となるように前記圧延製金属板の表面からエッチングし
    て弾性変形領域となる貫通孔を形成する工程と、 からなるインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方
    法。
  22. 【請求項２２】 圧延製金属板の圧延方向が、弾性板と
    しての長辺側となるように前記圧延製金属板に貫通孔を
    形成し、接着剤層を介して弾性変形可能な金属板と接合
    するインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法。
JP32924199A 1999-01-29 1999-11-19 インクジェット式記録ヘッド Expired - Fee Related JP3570495B2 (ja)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32924199A JP3570495B2 (ja) 1999-01-29 1999-11-19 インクジェット式記録ヘッド
US09/489,893 US6666547B1 (en) 1999-01-29 2000-01-24 Ink jet recording head and method of producing a plate member for an ink jet recording head
EP00101419A EP1024001B1 (en) 1999-01-29 2000-01-25 Ink jet recording head and method of producing a plate member for an ink jet recording head
DE60003088T DE60003088T2 (de) 1999-01-29 2000-01-25 Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zur Herstellung einer Platte dafür
AT00101419T ATE242125T1 (de) 1999-01-29 2000-01-25 Tintenstrahldruckkopf und verfahren zur herstellung einer platte dafür
US10/692,747 US7159315B2 (en) 1999-01-29 2003-10-27 Method of producing an elastic plate for an ink jet recording head
US11/604,686 US20070067991A1 (en) 1999-01-29 2006-11-28 Method of producing an elastic plate for an ink jet recording head
US12/137,081 US7946682B2 (en) 1999-01-29 2008-06-11 Plate member for a liquid jet head
US12/137,056 US8458903B2 (en) 1999-01-29 2008-06-11 Method of producing an elastic plate member for a liquid jet head
US13/896,498 US20130242002A1 (en) 1999-01-29 2013-05-17 Method of producing an elastic plate member for a liquid jet head

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2145099 1999-01-29
JP11-21450 1999-01-29
JP32924199A JP3570495B2 (ja) 1999-01-29 1999-11-19 インクジェット式記録ヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000280474A true JP2000280474A (ja) 2000-10-10
JP3570495B2 JP3570495B2 (ja) 2004-09-29

Family

ID=26358511

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32924199A Expired - Fee Related JP3570495B2 (ja) 1999-01-29 1999-11-19 インクジェット式記録ヘッド

Country Status (5)

Country Link
US (6) US6666547B1 (ja)
EP (1) EP1024001B1 (ja)
JP (1) JP3570495B2 (ja)
AT (1) ATE242125T1 (ja)
DE (1) DE60003088T2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008023929A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Brother Ind Ltd 液体移送装置
JP2008023930A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド
US7387373B2 (en) 2002-09-30 2008-06-17 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2009051145A (ja) * 2007-08-28 2009-03-12 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出装置
JP2009196342A (ja) * 2008-01-22 2009-09-03 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法
JP2009196343A (ja) * 2008-01-22 2009-09-03 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法
US7690770B2 (en) 2003-07-08 2010-04-06 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sheet-member stacked structure, lead frame, lead-frame stacked structure, sheet-member stacked and adhered structure, and ink jet printer head
JP2015502019A (ja) * 2011-11-21 2015-01-19 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＯｓｒａｍ Ｏｐｔｏ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ ＧｍｂＨ 光電子素子の製造方法、及び、光電子素子

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3339569B2 (ja) * 1999-03-26 2002-10-28 富士ゼロックス株式会社 インクジェット記録ヘッド
JP3389987B2 (ja) 1999-11-11 2003-03-24 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
US6808254B2 (en) * 2000-11-30 2004-10-26 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink jet printer head
JP4581579B2 (ja) * 2004-09-14 2010-11-17 セイコーエプソン株式会社 金属基板の加工方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
US7618129B2 (en) * 2004-09-15 2009-11-17 Fujifilm Corporation Liquid ejection head and image forming apparatus comprising same
EP1769919B1 (en) * 2005-09-30 2010-11-03 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of producing nozzle plate and method of producing liquid-droplet jetting apparatus
JP2007216633A (ja) * 2006-02-20 2007-08-30 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP5052810B2 (ja) * 2006-03-31 2012-10-17 富士フイルム株式会社 液体吐出ヘッド、画像形成装置、および、液体吐出ヘッドの製造方法
JP4821466B2 (ja) * 2006-07-03 2011-11-24 富士ゼロックス株式会社 液滴吐出ヘッド
CN102202895B (zh) * 2008-10-31 2014-06-25 惠普开发有限公司 静电液体喷射致动机构及静电液体喷射装置
JP2012210774A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
WO2015082508A1 (en) * 2013-12-06 2015-06-11 Oce-Technologies B.V. Scanning inkjet printing system
JP6569195B2 (ja) * 2014-08-22 2019-09-04 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法
US9505216B2 (en) 2014-08-22 2016-11-29 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid ejecting device and method of manufacturing liquid ejecting device
CN114614021A (zh) * 2022-03-30 2022-06-10 珠海中科先进技术研究院有限公司 一种具有聚合物涂层的集流体及其制备方法和应用

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL98999C (ja) * 1953-11-18
US3527667A (en) * 1962-01-02 1970-09-08 Phillips Petroleum Co Anti-oxidant free 1-olefin coated metal substrate and method for coating same
JPS56135076A (en) 1980-03-25 1981-10-22 Fujitsu Ltd Manufacture of head for ink jet printer
DE3326580A1 (de) 1983-07-23 1985-01-31 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren und anordnung zur herstellung einer duesenplatte fuer tintenstrahldrucker
US4650730A (en) * 1985-05-16 1987-03-17 W. R. Grace & Co. Battery separator
JPH0731982B2 (ja) * 1986-07-04 1995-04-10 株式会社東芝 シャドウマスク
US5189437A (en) * 1987-09-19 1993-02-23 Xaar Limited Manufacture of nozzles for ink jet printers
JP2806386B2 (ja) * 1988-02-16 1998-09-30 富士電機株式会社 インクジェット記録ヘッド
US5008689A (en) 1988-03-16 1991-04-16 Hewlett-Packard Company Plastic substrate for thermal ink jet printer
JPH02247008A (ja) * 1989-03-17 1990-10-02 Furukawa Electric Co Ltd:The 導電性樹脂用金属繊維の製造方法及び金属繊維組成物
JP3092134B2 (ja) * 1990-02-15 2000-09-25 セイコーエプソン株式会社 インクジェットヘッド用ノズル形成部材の製造方法
DE4135839A1 (de) * 1991-10-31 1993-05-06 Huels Troisdorf Ag, 5210 Troisdorf, De Verfahren zur herstellung einer mehrlagigen gedruckten schaltung sowie mehrlagige gedruckte schaltung
US5506608A (en) * 1992-04-02 1996-04-09 Hewlett-Packard Company Print cartridge body and nozzle member having similar coefficient of thermal expansion
US5537133A (en) * 1992-04-02 1996-07-16 Hewlett-Packard Company Restraining element for a print cartridge body to reduce thermally induced stress
ATE151120T1 (de) 1992-05-14 1997-04-15 Henkel Corp Verfahren zum reinigen von aluminium bei niedrigen temperaturen
JP3120565B2 (ja) 1992-06-05 2000-12-25 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法
WO1993025390A1 (en) 1992-06-11 1993-12-23 Seiko Epson Corporation Ink jet head and method of manufacturing ink jet head
US5595835A (en) * 1993-07-22 1997-01-21 Japan Storage Battery Co., Ltd. Sealed type battery
JP3277413B2 (ja) * 1993-08-17 2002-04-22 ソニー株式会社 角形バッテリー
US5388326A (en) * 1993-09-07 1995-02-14 Hewlett-Packard Corporation Self aligning orifice construction for thermal ink-jet printheads
JPH07156385A (ja) 1993-12-09 1995-06-20 Fujitsu Ltd インクジェットヘッド
JPH08166580A (ja) 1994-12-14 1996-06-25 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd 耐熱性光学プラスチック積層シート及びその製造方法
JP3503661B2 (ja) 1995-01-09 2004-03-08 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法
JPH0933722A (ja) 1995-07-14 1997-02-07 Fuji Photo Film Co Ltd 偏光板及び液晶表示装置
JP3487089B2 (ja) 1995-08-23 2004-01-13 セイコーエプソン株式会社 積層型インクジェット式記録ヘッド
US5963234A (en) * 1995-08-23 1999-10-05 Seiko Epson Corporation Laminated ink jet recording head having flow path unit with recess that confronts but does not communicate with common ink chamber
JP3084352B2 (ja) * 1995-08-28 2000-09-04 太陽インキ製造株式会社 銅箔ラミネート方式ビルドアップ用絶縁樹脂組成物とこれを用いた多層プリント配線板の製造方法
JP3402349B2 (ja) * 1996-01-26 2003-05-06 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド
JP2787435B2 (ja) * 1996-03-01 1998-08-20 株式会社技研製作所 地下駐車場
JPH09267489A (ja) 1996-03-31 1997-10-14 Sony Corp プリンタ装置
JPH09325390A (ja) 1996-06-05 1997-12-16 Nikon Corp カメラ
JP3374893B2 (ja) * 1997-01-10 2003-02-10 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド
JPH1121450A (ja) 1997-05-08 1999-01-26 Toray Ind Inc エンジン冷却水系部品用ポリアミド樹脂組成物および成形体
US5840538A (en) 1997-08-06 1998-11-24 Smithkline Beecham Corporation Lgt
JPH11255587A (ja) * 1998-03-12 1999-09-21 Sumitomo Metal Ind Ltd 単結晶引き上げ用炭素繊維強化炭素材るつぼおよびその製造方法
JPH11329241A (ja) 1998-05-06 1999-11-30 Matsushita Electron Corp ランプ用管体の洗浄方法
US6254223B1 (en) * 1998-10-21 2001-07-03 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd Ink jet printer head actuator and manufacturing method thereof

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7387373B2 (en) 2002-09-30 2008-06-17 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US7690770B2 (en) 2003-07-08 2010-04-06 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sheet-member stacked structure, lead frame, lead-frame stacked structure, sheet-member stacked and adhered structure, and ink jet printer head
JP2008023929A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Brother Ind Ltd 液体移送装置
JP2008023930A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド
JP2009051145A (ja) * 2007-08-28 2009-03-12 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出装置
JP2009196342A (ja) * 2008-01-22 2009-09-03 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法
JP2009196343A (ja) * 2008-01-22 2009-09-03 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法
JP2015502019A (ja) * 2011-11-21 2015-01-19 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＯｓｒａｍ Ｏｐｔｏ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ ＧｍｂＨ 光電子素子の製造方法、及び、光電子素子

Also Published As

Publication number Publication date
EP1024001B1 (en) 2003-06-04
US8458903B2 (en) 2013-06-11
JP3570495B2 (ja) 2004-09-29
US7159315B2 (en) 2007-01-09
US20070067991A1 (en) 2007-03-29
ATE242125T1 (de) 2003-06-15
US6666547B1 (en) 2003-12-23
EP1024001A3 (en) 2000-12-13
US20040085411A1 (en) 2004-05-06
DE60003088T2 (de) 2004-01-08
US20130242002A1 (en) 2013-09-19
DE60003088D1 (de) 2003-07-10
EP1024001A2 (en) 2000-08-02
US20080246806A1 (en) 2008-10-09
US7946682B2 (en) 2011-05-24
US20080244906A1 (en) 2008-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000280474A (ja) インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの板材の製造方法
JP2001277524A (ja) インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
JP2002361862A (ja) インクジェットプリントヘッド
JP4304881B2 (ja) インクジェットプリントヘッド
JP2006346867A (ja) インクジェットヘッド用の回路部材とその作製方法、及びインクジェットヘッドとその作製方法
JPH09300609A (ja) インクジェットヘッド
JPH10193612A (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP3419420B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JPH10166572A (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP2009154502A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
US7163279B2 (en) Inkjet head having relay member interposed between piezoelectric element and diaphragm
JP2003039669A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP7193334B2 (ja) ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法
JP2000043261A (ja) インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法
JP2002307679A (ja) インクジェットプリンタヘッド
JP2005131948A (ja) ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、ヘッドモジュールの製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JPH11129475A (ja) インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法
JP3552899B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法
JP2004188687A (ja) インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置
JP2003205612A (ja) インクジェットヘッド
JP2000000967A (ja) インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法
JPH11348279A (ja) ライン型インクジェットヘッド
JPH09131867A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP2003182077A (ja) インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
JP2001205805A (ja) インクジェット記録ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040225

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040615

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090702

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100702

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120702

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120702

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702

Year of fee payment: 9

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees