JPH09267489A - プリンタ装置 - Google Patents
プリンタ装置Info
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- JPH09267489A JPH09267489A JP10335996A JP10335996A JPH09267489A JP H09267489 A JPH09267489 A JP H09267489A JP 10335996 A JP10335996 A JP 10335996A JP 10335996 A JP10335996 A JP 10335996A JP H09267489 A JPH09267489 A JP H09267489A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure chamber
- forming layer
- printer device
- vibrating plate
- Prior art date
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- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ノズルピツチを容易に微細化し得るプリンタ装
置を実現し難かつた。 【解決手段】プリンタ装置において、圧力室内に圧力を
与える振動板を、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の材
料からなる薄膜状の第１の形成層と、対応する圧力室と
第１の形成層を介して対向するように第１の形成層上に
形成された、圧力室よりも小さい幅及び長さを有する単
数又は複数の第２の形成層とから構成するようにしたこ
とにより、振動板を大きく変位させ得るようにすること
ができ、かくして圧力室の配置密度を高めることができ
る。かくするにつき各圧力室とそれぞれ連通するノズル
の間隔を狭くすることができ、かくしてノズルピツチを
容易に微細化し得るプリンタ装置を実現できる。
置を実現し難かつた。 【解決手段】プリンタ装置において、圧力室内に圧力を
与える振動板を、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の材
料からなる薄膜状の第１の形成層と、対応する圧力室と
第１の形成層を介して対向するように第１の形成層上に
形成された、圧力室よりも小さい幅及び長さを有する単
数又は複数の第２の形成層とから構成するようにしたこ
とにより、振動板を大きく変位させ得るようにすること
ができ、かくして圧力室の配置密度を高めることができ
る。かくするにつき各圧力室とそれぞれ連通するノズル
の間隔を狭くすることができ、かくしてノズルピツチを
容易に微細化し得るプリンタ装置を実現できる。
Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 発明の属する技術分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１〜図１３） 発明の実施の形態 （１）第１実施例 （１−１）インクジエツトプリンタ装置の構成（図１及
び図２） （１−２）インクジエツトプリントヘツドの構成（図１
〜図６） （１−３）インクジエツトプリントヘツドの製造手順
（図７及び図８） （１−４）第１実施例の動作及び効果（図１〜図８） （１−５）インクジエツトプリントヘツドの他の製造手
順（図７〜図１０） （２）第２実施例 （２−１）「キヤリアジエツト」プリンタ装置の構成
（図１、図２、図１１〜図１３） （２−２）第２実施例の動作及び効果（図１、図２、図
１１〜図１３） （３）他の実施例 発明の効果
び図２） （１−２）インクジエツトプリントヘツドの構成（図１
〜図６） （１−３）インクジエツトプリントヘツドの製造手順
（図７及び図８） （１−４）第１実施例の動作及び効果（図１〜図８） （１−５）インクジエツトプリントヘツドの他の製造手
順（図７〜図１０） （２）第２実施例 （２−１）「キヤリアジエツト」プリンタ装置の構成
（図１、図２、図１１〜図１３） （２−２）第２実施例の動作及び効果（図１、図２、図
１１〜図１３） （３）他の実施例 発明の効果
【０００２】
【発明の属する技術分野】本発明はプリンタ装置に関
し、記録信号に応じてインク液滴をノズルより吐出し
て、紙やフイルムなどの記録媒体に記録するプリンタ装
置に適用して好適なものである。
し、記録信号に応じてインク液滴をノズルより吐出し
て、紙やフイルムなどの記録媒体に記録するプリンタ装
置に適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、いわゆるオンデマンド型インクジ
エツトプリンタ装置においては、記録信号に応じてイン
ク液滴をノズルより吐出することにより、記録信号に基
づく文字及び図形等を紙やフイルム等の記録媒体に記録
し得るようになされており、近年では小型化、低コスト
化が可能なため急速に普及しつつある。
エツトプリンタ装置においては、記録信号に応じてイン
ク液滴をノズルより吐出することにより、記録信号に基
づく文字及び図形等を紙やフイルム等の記録媒体に記録
し得るようになされており、近年では小型化、低コスト
化が可能なため急速に普及しつつある。
【０００４】このオンデマンド型インクジエツトプリン
タ装置において、インク液滴を吐出する方法としては、
例えばピエゾ素子等の圧電素子を用いる方法や発熱素子
を用いる方法が一般的である。実際上例えば圧電素子を
用いる方法では、圧電素子の変形によりプリントヘツド
の圧力室に充填されたインクに圧力を与え、かくしてこ
れを圧力室と連通するように設けられたノズルを介して
外部に吐出させることにより行われる。また発熱素子を
用いる方法は、発熱素子によりインクを加熱沸騰させ、
かくして発生した泡の圧力でインクを外部に吐出させる
ことにより行われる。
タ装置において、インク液滴を吐出する方法としては、
例えばピエゾ素子等の圧電素子を用いる方法や発熱素子
を用いる方法が一般的である。実際上例えば圧電素子を
用いる方法では、圧電素子の変形によりプリントヘツド
の圧力室に充填されたインクに圧力を与え、かくしてこ
れを圧力室と連通するように設けられたノズルを介して
外部に吐出させることにより行われる。また発熱素子を
用いる方法は、発熱素子によりインクを加熱沸騰させ、
かくして発生した泡の圧力でインクを外部に吐出させる
ことにより行われる。
【０００５】一方最近では、インクジエツトプリンタの
欠点である階調表現を得るプリンタ装置として、吐出さ
れるインク液滴のインク濃度を変化させることによりド
ツト内に階調をもたせ得るようになされたもの（以下、
これを「キヤリアジエツト」プリンタ装置と呼ぶ）が提
案されている。この場合この種のプリンタ装置において
も、インク液滴を吐出する方法として様々な方法が提案
されているが、従来のインクジエツトプリンタ装置と同
様に、圧電素子を用いる方法や発熱素子を用いる方法が
一般的である。
欠点である階調表現を得るプリンタ装置として、吐出さ
れるインク液滴のインク濃度を変化させることによりド
ツト内に階調をもたせ得るようになされたもの（以下、
これを「キヤリアジエツト」プリンタ装置と呼ぶ）が提
案されている。この場合この種のプリンタ装置において
も、インク液滴を吐出する方法として様々な方法が提案
されているが、従来のインクジエツトプリンタ装置と同
様に、圧電素子を用いる方法や発熱素子を用いる方法が
一般的である。
【０００６】なお圧電素子の変形によりインク液滴を吐
出する方法としては、従来、積層された圧電素子を、圧
力室の一壁面を形成する可撓材からなる振動板に対して
垂直な方向に変形させて当該振動板を押すことにより圧
力室内のインクに圧力を与える方法や、振動板に貼り合
わされた単板の又は２層に積層された圧電素子に電圧を
与え、当該圧電素子を振動板と共に湾曲させて振動板を
押すことによりインク室内のインクに圧力を与える方法
がある。
出する方法としては、従来、積層された圧電素子を、圧
力室の一壁面を形成する可撓材からなる振動板に対して
垂直な方向に変形させて当該振動板を押すことにより圧
力室内のインクに圧力を与える方法や、振動板に貼り合
わされた単板の又は２層に積層された圧電素子に電圧を
与え、当該圧電素子を振動板と共に湾曲させて振動板を
押すことによりインク室内のインクに圧力を与える方法
がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、振動板に貼
り合わされた単板の圧電素子又は２層に積層された圧電
素子に電圧を与えることにより振動板を湾曲させる方法
には、高価な積層された圧電素子を使用しないという利
点があるが、このような構成のプリントヘツドを製造す
るに際し、例えば切断された圧電素子を振動板上に貼り
合わせる方法を用いる場合には微細ピツチを達成し難い
問題があつた。また上述のようなプリントヘツドを製造
するに際し、振動板上にペースト上の圧電素子を印刷な
どの手段により配置しその後焼成する方法を用いた場合
には、振動板の耐熱性のために焼成温度を1000〔°Ｃ〕
以上にすることが困難であり、圧電材料の特性を十分に
発揮させ得ない問題があつた。
り合わされた単板の圧電素子又は２層に積層された圧電
素子に電圧を与えることにより振動板を湾曲させる方法
には、高価な積層された圧電素子を使用しないという利
点があるが、このような構成のプリントヘツドを製造す
るに際し、例えば切断された圧電素子を振動板上に貼り
合わせる方法を用いる場合には微細ピツチを達成し難い
問題があつた。また上述のようなプリントヘツドを製造
するに際し、振動板上にペースト上の圧電素子を印刷な
どの手段により配置しその後焼成する方法を用いた場合
には、振動板の耐熱性のために焼成温度を1000〔°Ｃ〕
以上にすることが困難であり、圧電材料の特性を十分に
発揮させ得ない問題があつた。
【０００８】さらに上述のようなプリントヘツドを製造
するに際し、振動板に圧電素子を貼り合わせた後に切断
を行う方法を用いた場合には、振動板を傷つけることな
く圧電素子のみを切断することが困難であり、さらに絶
えず一定な深さで切断をすることは工具の磨耗および工
作機械の位置精度を考えると容易でない問題があつた。
さらにこの方法では、圧電素子の厚みが薄いと扱いづら
く、圧電素子の厚みが大きいと振動板の変位が少なくな
るために圧電素子への印加電圧を大きくせねばならず、
さらに振動板と圧電素子を貼り合わせるための接着剤の
厚さに起因して、振動板の変位量が変移するおそれもあ
る。
するに際し、振動板に圧電素子を貼り合わせた後に切断
を行う方法を用いた場合には、振動板を傷つけることな
く圧電素子のみを切断することが困難であり、さらに絶
えず一定な深さで切断をすることは工具の磨耗および工
作機械の位置精度を考えると容易でない問題があつた。
さらにこの方法では、圧電素子の厚みが薄いと扱いづら
く、圧電素子の厚みが大きいと振動板の変位が少なくな
るために圧電素子への印加電圧を大きくせねばならず、
さらに振動板と圧電素子を貼り合わせるための接着剤の
厚さに起因して、振動板の変位量が変移するおそれもあ
る。
【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、ノズルピツチを容易に微細化し得るプリンタ装置を
提案しようとするものである。
で、ノズルピツチを容易に微細化し得るプリンタ装置を
提案しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め第１の発明においては、プリンタ装置において、圧力
室形成部に設けられたインク貯蔵用の圧力室を覆う振動
板を、圧力室形成部の一面上に積層された、ヤング率が
10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる第１の振動板形成
層と、対応する圧力室と第１の振動板形成層を介して対
向するように第１の振動板形成層上に積層形成された、
当該圧力室よりも小さい幅及び長さを有する単数又は複
数の第２の振動板形成層とで形成するようにした。
め第１の発明においては、プリンタ装置において、圧力
室形成部に設けられたインク貯蔵用の圧力室を覆う振動
板を、圧力室形成部の一面上に積層された、ヤング率が
10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる第１の振動板形成
層と、対応する圧力室と第１の振動板形成層を介して対
向するように第１の振動板形成層上に積層形成された、
当該圧力室よりも小さい幅及び長さを有する単数又は複
数の第２の振動板形成層とで形成するようにした。
【００１１】また第２の発明においては、プリンタ装置
において、圧力室形成部に設けられたインク貯蔵用の第
１の圧力室及び希釈液貯蔵用の第２の圧力室を覆う振動
板を、圧力室形成部の一面上に積層された、ヤング率が
10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる第１の振動板形成
層と、第１及び第２の圧力室にそれぞれ対応させて、対
応する第１又は第２の圧力室と第１の振動板形成層を介
して対向するように第１の振動板形成層上に積層形成さ
れた、対応する第１又は第２の圧力室よりも小さい幅及
び長さを有する複数の第２の振動板形成層とで形成する
ようにした。
において、圧力室形成部に設けられたインク貯蔵用の第
１の圧力室及び希釈液貯蔵用の第２の圧力室を覆う振動
板を、圧力室形成部の一面上に積層された、ヤング率が
10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる第１の振動板形成
層と、第１及び第２の圧力室にそれぞれ対応させて、対
応する第１又は第２の圧力室と第１の振動板形成層を介
して対向するように第１の振動板形成層上に積層形成さ
れた、対応する第１又は第２の圧力室よりも小さい幅及
び長さを有する複数の第２の振動板形成層とで形成する
ようにした。
【００１２】この場合第１の発明においては、振動板を
第１の振動板形成層と、対応する圧力室と第１の振動板
形成層を介して対向するように第１の振動板形成層上に
積層形成された第２の振動板形成層とで構成すると共
に、第２の振動板形成層を対応する圧力室よりも小さい
幅及び長さを有するようにしたことにより、圧力室内の
圧力を高めるために必要な振動板の変位を得るにあたり
負荷として第１の振動板のみとすることができる。
第１の振動板形成層と、対応する圧力室と第１の振動板
形成層を介して対向するように第１の振動板形成層上に
積層形成された第２の振動板形成層とで構成すると共
に、第２の振動板形成層を対応する圧力室よりも小さい
幅及び長さを有するようにしたことにより、圧力室内の
圧力を高めるために必要な振動板の変位を得るにあたり
負荷として第１の振動板のみとすることができる。
【００１３】このとき第１の振動板は、ヤング率が10×
1010〔N/m2〕以下の材料から形成されると共に薄膜化さ
れているため、振動板の変位を大きくとることができ
る。従つて、従来、振動板の変位強度を弱くするために
広くとられていた圧力室の幅を小さくできるため、圧力
室の配置密度を高めることができ、この結果各圧力室と
それぞれ連通するノズルの間隔を狭くすることができ
る。
1010〔N/m2〕以下の材料から形成されると共に薄膜化さ
れているため、振動板の変位を大きくとることができ
る。従つて、従来、振動板の変位強度を弱くするために
広くとられていた圧力室の幅を小さくできるため、圧力
室の配置密度を高めることができ、この結果各圧力室と
それぞれ連通するノズルの間隔を狭くすることができ
る。
【００１４】また第２の発明においても、これと同様に
して振動板の変位を大きくとることができるため、第１
及び第２の圧力室の幅を小さくでき、かくして第１及び
第２の圧力室の配置密度を高めることができることによ
り、各第１又は第２の圧力室と連通する第１及び第２の
ノズルの間隔を狭くすることができる。
して振動板の変位を大きくとることができるため、第１
及び第２の圧力室の幅を小さくでき、かくして第１及び
第２の圧力室の配置密度を高めることができることによ
り、各第１又は第２の圧力室と連通する第１及び第２の
ノズルの間隔を狭くすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。 （１）第１実施例 （１−１）インクジエツトプリンタ装置の構成 図１において、１は全体として本発明を適用したシリア
ル型のインクジエツトプリンタ装置を示し、モータ２か
らプーリ３、ベルト４及びプーリ５を順次介してドラム
６に与えられる回転出力に基づいて当該ドラム６を回転
駆動し得るようになされている。
施例を詳述する。 （１）第１実施例 （１−１）インクジエツトプリンタ装置の構成 図１において、１は全体として本発明を適用したシリア
ル型のインクジエツトプリンタ装置を示し、モータ２か
らプーリ３、ベルト４及びプーリ５を順次介してドラム
６に与えられる回転出力に基づいて当該ドラム６を回転
駆動し得るようになされている。
【００１６】このドラム６の外周には、当該ドラム６の
軸方向と平行に紙押さえ７が配設されており、ドラム６
に巻回された被印刷物としてのプリント紙８をこの紙押
さえ７により当該ドラム６に押さえ付け得るようになさ
れている。またドラム６の外周には送りねじ９がドラム
６の軸方向と平行に配置されておると共に、当該送りね
じ９にはインクジエツトプリントヘツド１０が螺合され
ており、かくして送りねじ９を回転駆動させることによ
つてこのインクジエツトプリントヘツド１０をドラム６
の軸方向に移動させ得るようになされている。
軸方向と平行に紙押さえ７が配設されており、ドラム６
に巻回された被印刷物としてのプリント紙８をこの紙押
さえ７により当該ドラム６に押さえ付け得るようになさ
れている。またドラム６の外周には送りねじ９がドラム
６の軸方向と平行に配置されておると共に、当該送りね
じ９にはインクジエツトプリントヘツド１０が螺合され
ており、かくして送りねじ９を回転駆動させることによ
つてこのインクジエツトプリントヘツド１０をドラム６
の軸方向に移動させ得るようになされている。
【００１７】ここでこのインクジエツトプリンタ装置１
の場合、これらモータ２、送りねじ９の駆動モータ（図
示せず）及びインクジエツトプリントヘツド１０は、全
て制御部１１に供給される印画データ及び制御信号から
なる入力信号Ｓ１に基づいて当該制御部１１により駆動
制御される。実際上制御部１１は、図２に示すように、
ＣＰＵ（Central Processing Unit）又はＤＳＰ（Digit
al Signal Proccessor ）を含むマイクロコンピユータ
構成の信号処理制御回路２０を有し、供給される入力信
号Ｓ１に基づいて信号処理制御回路２０が駆動信号Ｓ２
を生成し、これをドライバ２１を介して駆動信号Ｓ３と
してインクジエツトプリントヘツド１０に与えることに
より、当該インクジエツトプリントヘツド１０を駆動さ
せ、かくして入力信号Ｓ１に基づく文字及び図形等をプ
リント紙８に記録させるようになされている。
の場合、これらモータ２、送りねじ９の駆動モータ（図
示せず）及びインクジエツトプリントヘツド１０は、全
て制御部１１に供給される印画データ及び制御信号から
なる入力信号Ｓ１に基づいて当該制御部１１により駆動
制御される。実際上制御部１１は、図２に示すように、
ＣＰＵ（Central Processing Unit）又はＤＳＰ（Digit
al Signal Proccessor ）を含むマイクロコンピユータ
構成の信号処理制御回路２０を有し、供給される入力信
号Ｓ１に基づいて信号処理制御回路２０が駆動信号Ｓ２
を生成し、これをドライバ２１を介して駆動信号Ｓ３と
してインクジエツトプリントヘツド１０に与えることに
より、当該インクジエツトプリントヘツド１０を駆動さ
せ、かくして入力信号Ｓ１に基づく文字及び図形等をプ
リント紙８に記録させるようになされている。
【００１８】この際信号処理制御回路２０は、入力信号
Ｓ１に基づいて得られる印画データを必要に応じてライ
ンバツフアメモリ又はフレームメモリ構成のメモリ２２
に記録し、この後これを適宜読み出すことにより印画デ
ータを印画順番に並べ替える一方、必要に応じて補正回
路２３にＲＯＭ（read only memory）マツプ型式で格納
された補正データを読み出し、当該補正データに基づい
て印画データのγ補正やカラーの場合の色補正等を行う
ようになされている。
Ｓ１に基づいて得られる印画データを必要に応じてライ
ンバツフアメモリ又はフレームメモリ構成のメモリ２２
に記録し、この後これを適宜読み出すことにより印画デ
ータを印画順番に並べ替える一方、必要に応じて補正回
路２３にＲＯＭ（read only memory）マツプ型式で格納
された補正データを読み出し、当該補正データに基づい
て印画データのγ補正やカラーの場合の色補正等を行う
ようになされている。
【００１９】また信号処理制御回路２０は、入力信号Ｓ
１に基づいて制御信号Ｓ４を生成し、これらをそれぞれ
駆動制御部２４を介して駆動制御信号Ｓ５として対応す
るモータ２又は送りねじ９の駆動モータに送出すること
によりこれらモータ２及び送りねじ９の駆動モータを駆
動制御し、かくしてドラム６及び送りねじ９の回転動作
を制御するようになされている。
１に基づいて制御信号Ｓ４を生成し、これらをそれぞれ
駆動制御部２４を介して駆動制御信号Ｓ５として対応す
るモータ２又は送りねじ９の駆動モータに送出すること
によりこれらモータ２及び送りねじ９の駆動モータを駆
動制御し、かくしてドラム６及び送りねじ９の回転動作
を制御するようになされている。
【００２０】かくしてこのインクジエツトプリンタ装置
１では、動作時、インクジエツトプリントヘツド１０が
原点位置に位置した状態において、送りねじ９の駆動モ
ータが制御部１１から供給される駆動制御信号Ｓ５に基
づいて駆動して送りねじ９を所定の角速度で回転させる
ことによりインクジエツトプリントヘツド１０を一定速
度でドラム６の軸方向に移動させると共に、このときイ
ンクジエツトプリントヘツド１０が制御部１１から供給
される駆動信号Ｓ３に基づいて駆動することにより、プ
リント紙８に入力信号Ｓ１に基づく文字や図形等を１行
分だけ印字する。
１では、動作時、インクジエツトプリントヘツド１０が
原点位置に位置した状態において、送りねじ９の駆動モ
ータが制御部１１から供給される駆動制御信号Ｓ５に基
づいて駆動して送りねじ９を所定の角速度で回転させる
ことによりインクジエツトプリントヘツド１０を一定速
度でドラム６の軸方向に移動させると共に、このときイ
ンクジエツトプリントヘツド１０が制御部１１から供給
される駆動信号Ｓ３に基づいて駆動することにより、プ
リント紙８に入力信号Ｓ１に基づく文字や図形等を１行
分だけ印字する。
【００２１】次いでこの１行分の印字が終了すると、モ
ータ２が制御部１１から供給される駆動制御信号Ｓ５に
基づき駆動してドラム６を所定角度だけ回転させること
によりプリント紙８を１行分だけ送らせると共に、この
際送りねじ９の駆動モータが制御部１１から供給される
駆動制御信号Ｓ５に基づき駆動して送りねじ９を回転さ
せることにより、インクジエツトプリントヘツド１０を
原点位置に戻し、この後同様の動作を繰り返す。
ータ２が制御部１１から供給される駆動制御信号Ｓ５に
基づき駆動してドラム６を所定角度だけ回転させること
によりプリント紙８を１行分だけ送らせると共に、この
際送りねじ９の駆動モータが制御部１１から供給される
駆動制御信号Ｓ５に基づき駆動して送りねじ９を回転さ
せることにより、インクジエツトプリントヘツド１０を
原点位置に戻し、この後同様の動作を繰り返す。
【００２２】このようにしてこのインクジエツトプリン
タ装置１においては、制御部１１に供給される入力信号
Ｓ１に基づいてプリント紙８に１行ずつの印字を順次行
うようになされ、かくして入力信号Ｓ１に基づく文字及
び図形等をプリント紙８に印字し、印画し得るようにな
されている。
タ装置１においては、制御部１１に供給される入力信号
Ｓ１に基づいてプリント紙８に１行ずつの印字を順次行
うようになされ、かくして入力信号Ｓ１に基づく文字及
び図形等をプリント紙８に印字し、印画し得るようにな
されている。
【００２３】（１−２）インクジエツトプリントヘツド
の構成 ここでこのインクジエツトプリンタ装置１の場合、イン
クジエツトプリントヘツド１０は、図３〜図５のように
構成されている。すなわちインクジエツトプリントヘツ
ド１０においては、複数のノズル３０が穿設されたオリ
フイスプレート３１の一面３１上に、開口部でなる複数
の圧力室３２が設けられた基台３３と２層構造の振動板
３４とが順次貼り付けられると共に、この振動板３４上
に各圧力室３２にそれぞれ対応させて、それぞれ対応す
る圧力室３２と振動板３４を介して対向するように複数
の圧電素子３５が接着されることにより構成されてい
る。
の構成 ここでこのインクジエツトプリンタ装置１の場合、イン
クジエツトプリントヘツド１０は、図３〜図５のように
構成されている。すなわちインクジエツトプリントヘツ
ド１０においては、複数のノズル３０が穿設されたオリ
フイスプレート３１の一面３１上に、開口部でなる複数
の圧力室３２が設けられた基台３３と２層構造の振動板
３４とが順次貼り付けられると共に、この振動板３４上
に各圧力室３２にそれぞれ対応させて、それぞれ対応す
る圧力室３２と振動板３４を介して対向するように複数
の圧電素子３５が接着されることにより構成されてい
る。
【００２４】この場合オリフイスプレート３１の各ノズ
ル３０は、Ｘ方向（矢印ｘ1 ）に沿つて所定ピツチで順
次形成されると共に、基台３３の各圧力室３２は、これ
ら各ノズル３０にそれぞれ対応させて、対応するノズル
３０と連通するように、かつＸ方向に沿つてノズル３０
と同じピツチで並ぶように設けられている。
ル３０は、Ｘ方向（矢印ｘ1 ）に沿つて所定ピツチで順
次形成されると共に、基台３３の各圧力室３２は、これ
ら各ノズル３０にそれぞれ対応させて、対応するノズル
３０と連通するように、かつＸ方向に沿つてノズル３０
と同じピツチで並ぶように設けられている。
【００２５】また基台３３には、特に図４及び図５にお
いて明らかなように、各圧力室３２にそれぞれ対応させ
て、対応する圧力室３２を図示しないインクタンクと連
通する複数のインク供給路３６が設けられており、かく
してこれら各インク供給路３６をそれぞれ介して各圧力
室３２にインクタンクからのインクを供給し得る一方、
これら各圧力室３２からそれぞれ対応するノズル３０を
介してインクを外部に吐出し得るようになされている。
いて明らかなように、各圧力室３２にそれぞれ対応させ
て、対応する圧力室３２を図示しないインクタンクと連
通する複数のインク供給路３６が設けられており、かく
してこれら各インク供給路３６をそれぞれ介して各圧力
室３２にインクタンクからのインクを供給し得る一方、
これら各圧力室３２からそれぞれ対応するノズル３０を
介してインクを外部に吐出し得るようになされている。
【００２６】一方振動板３４においては、基台３３の一
面３３Ａを覆う薄膜状の第１の振動板形成層３４Ａと、
第１の振動板形成層３４Ａを介してそれぞれ対応する圧
力室３２と対向するように当該第１の振動板形成層３４
Ａの一面３４ＡＸ上に分割形成された複数の第２の振動
板形成層３４Ｂとから構成されている。
面３３Ａを覆う薄膜状の第１の振動板形成層３４Ａと、
第１の振動板形成層３４Ａを介してそれぞれ対応する圧
力室３２と対向するように当該第１の振動板形成層３４
Ａの一面３４ＡＸ上に分割形成された複数の第２の振動
板形成層３４Ｂとから構成されている。
【００２７】この場合各第２の振動板形成層３４Ｂは、
図４からも明らかなように、それぞれその長さｌ1 が対
向する圧力室３２の長さＬ1 よりも小さく選定されると
共に、図６に示すように、その幅ｗ1 が圧力室３２の幅
Ｗ1 よりも小さく選定されており、かくして第１の振動
板形成層３４Ａが第２の振動板形成層３４Ｂに邪魔され
ることなく各圧力室３２の内側に自在に変位し得るよう
になされている。
図４からも明らかなように、それぞれその長さｌ1 が対
向する圧力室３２の長さＬ1 よりも小さく選定されると
共に、図６に示すように、その幅ｗ1 が圧力室３２の幅
Ｗ1 よりも小さく選定されており、かくして第１の振動
板形成層３４Ａが第２の振動板形成層３４Ｂに邪魔され
ることなく各圧力室３２の内側に自在に変位し得るよう
になされている。
【００２８】さらに各圧電素子３５においては、接着剤
からなる接着層３７を介して振動板３４の対応する第２
の振動板形成層３４Ｂの表面上に固着されており、図３
における上下面にそれぞれ電極が設けられている。この
場合各圧電素子３５の下面（接着層３７との当接面）の
電極はアース接地されていると共に、上面（接着層３７
との当接面と対向する面）には、上述の制御部１１（図
１及び図２）から供給される駆動信号Ｓ３が印加される
ようになされている。
からなる接着層３７を介して振動板３４の対応する第２
の振動板形成層３４Ｂの表面上に固着されており、図３
における上下面にそれぞれ電極が設けられている。この
場合各圧電素子３５の下面（接着層３７との当接面）の
電極はアース接地されていると共に、上面（接着層３７
との当接面と対向する面）には、上述の制御部１１（図
１及び図２）から供給される駆動信号Ｓ３が印加される
ようになされている。
【００２９】かくしてこのインクジエツトプリントヘツ
ド１０においては、制御部１１（図１及び図２）から各
圧電素子３５の電極に供給される駆動信号Ｓ５に基づい
て、対応する圧電素子３５が振動板３４とのバイモルフ
効果により、図６（Ｂ）に示すように振動板３４の第１
の振動板形成層３４Ａを圧力室３２の内側に変位させる
ように湾曲し、対応する圧力室３２内のインク３８に圧
力を与えることにより、当該圧力室３２内のインク３８
を対応するノズル３０を介して外部に吐出させるように
なされている。
ド１０においては、制御部１１（図１及び図２）から各
圧電素子３５の電極に供給される駆動信号Ｓ５に基づい
て、対応する圧電素子３５が振動板３４とのバイモルフ
効果により、図６（Ｂ）に示すように振動板３４の第１
の振動板形成層３４Ａを圧力室３２の内側に変位させる
ように湾曲し、対応する圧力室３２内のインク３８に圧
力を与えることにより、当該圧力室３２内のインク３８
を対応するノズル３０を介して外部に吐出させるように
なされている。
【００３０】かかる構成に加えこのインクジエツトプリ
ントヘツド１０の場合、振動板３４の第１の振動板形成
層３４Ａは、ヤング率が金属（10×1010〔N/m2〕程度以
上）に比べて小さい（10×1010〔N/m2〕以下、さらに望
ましくは１×1010〔N/m2〕以下）、例えば樹脂系材料の
ような柔らかい材料を用いて形成されている。この場合
例えば振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａが金属の
ような堅い材料を用いて形成されていると、圧電素子３
５と振動板３４とのバイモルフ効果により振動板３４が
圧電素子３５と一体に湾曲する際、主としてノズル３０
の配列方向（Ｘ方向）の振動モードが支配的に作用する
ことが多い。
ントヘツド１０の場合、振動板３４の第１の振動板形成
層３４Ａは、ヤング率が金属（10×1010〔N/m2〕程度以
上）に比べて小さい（10×1010〔N/m2〕以下、さらに望
ましくは１×1010〔N/m2〕以下）、例えば樹脂系材料の
ような柔らかい材料を用いて形成されている。この場合
例えば振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａが金属の
ような堅い材料を用いて形成されていると、圧電素子３
５と振動板３４とのバイモルフ効果により振動板３４が
圧電素子３５と一体に湾曲する際、主としてノズル３０
の配列方向（Ｘ方向）の振動モードが支配的に作用する
ことが多い。
【００３１】これに対してこのインクジエツトプリント
ヘツド１０のように、振動板３４の第１の振動板形成層
３４Ａが金属に比べて柔らかい材料を用いて形成されて
いる場合には、振動板３４は圧力室３２の長手方向（Ｙ
方向（矢印ｙ1 ））の振動モードが支配的に作用して湾
曲し、この結果振動板３４の湾曲がノズル３０の配列方
向（Ｘ方向）に比べて圧力室３２の長手方向（Ｙ方向）
の方が大きくなることが本願特許出願人によつて確認さ
れている。
ヘツド１０のように、振動板３４の第１の振動板形成層
３４Ａが金属に比べて柔らかい材料を用いて形成されて
いる場合には、振動板３４は圧力室３２の長手方向（Ｙ
方向（矢印ｙ1 ））の振動モードが支配的に作用して湾
曲し、この結果振動板３４の湾曲がノズル３０の配列方
向（Ｘ方向）に比べて圧力室３２の長手方向（Ｙ方向）
の方が大きくなることが本願特許出願人によつて確認さ
れている。
【００３２】従つてこのインクジエツトプリントヘツド
１０では、振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａを金
属を用いて形成した場合に比べて振動板３４の変位をよ
り大きくすることができ、その分各圧電素子３５に対す
る印加電圧（駆動信号Ｓ５のパルス電圧）をより小さく
することができるようになされている。またこのインク
ジエツトプリントヘツド１０では、振動板３４の変位を
大きくとれる分、圧電素子３５の厚みを厚くすることが
でき、かくして圧電素子３５を振動板３４に貼り付ける
際の当該圧電素子３５の扱いを容易にすることができる
ようになされている。
１０では、振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａを金
属を用いて形成した場合に比べて振動板３４の変位をよ
り大きくすることができ、その分各圧電素子３５に対す
る印加電圧（駆動信号Ｓ５のパルス電圧）をより小さく
することができるようになされている。またこのインク
ジエツトプリントヘツド１０では、振動板３４の変位を
大きくとれる分、圧電素子３５の厚みを厚くすることが
でき、かくして圧電素子３５を振動板３４に貼り付ける
際の当該圧電素子３５の扱いを容易にすることができる
ようになされている。
【００３３】さらにノズル３０の配列方向（Ｘ方向）の
振動板３４の湾曲が支配的である振動モードの場合、圧
電素子３５と振動板３４との間の接着剤の厚み（接着層
３７の厚み）に対して振動板３４の変位が大きく変化
し、接着剤が厚くなると振動板３４の変位が急激に減少
する。これに対して圧力室３２の長手方向（Ｙ方向）の
振動モードが支配的な場合には、接着剤としてエポキシ
など樹脂系の柔らかい接着剤を用いても、接着剤の厚み
に対して振動板３４の変位量はあまり変化せず、特に接
着剤の厚みが数〔μm〕〜数十〔μm 〕の範囲ではほと
んど変化しないことが本願特許出願人によつて確認され
ている。
振動板３４の湾曲が支配的である振動モードの場合、圧
電素子３５と振動板３４との間の接着剤の厚み（接着層
３７の厚み）に対して振動板３４の変位が大きく変化
し、接着剤が厚くなると振動板３４の変位が急激に減少
する。これに対して圧力室３２の長手方向（Ｙ方向）の
振動モードが支配的な場合には、接着剤としてエポキシ
など樹脂系の柔らかい接着剤を用いても、接着剤の厚み
に対して振動板３４の変位量はあまり変化せず、特に接
着剤の厚みが数〔μm〕〜数十〔μm 〕の範囲ではほと
んど変化しないことが本願特許出願人によつて確認され
ている。
【００３４】実際上実験によれば、振動板３４の第１の
振動板形成層３４Ａとして25〔μm〕のポリイミドを用
いると共に、圧電素子３５として厚さ50〔μm 〕のピエ
ゾ素子を用い、かつ圧力室３２の大きさを0.4 ×1.5
〔mm〕とした場合、接着剤の厚みが10〔μm 〕のときに
は振動板３４の変位量が約0.55〔μm 〕であり、接着剤
の厚みが30〔μm 〕のときには振動板３４の変位量が約
0.058 〔μm 〕と、５〔％〕しか変化せず、充分なマー
ジンがとれることが確認できた。従つてこのインクジエ
ツトプリントヘツド１０においては、圧電素子３５を振
動板３４に接着する際の接着剤の厚み制御を大まかにす
ることができ、その分容易に製造することができること
が分かつた。
振動板形成層３４Ａとして25〔μm〕のポリイミドを用
いると共に、圧電素子３５として厚さ50〔μm 〕のピエ
ゾ素子を用い、かつ圧力室３２の大きさを0.4 ×1.5
〔mm〕とした場合、接着剤の厚みが10〔μm 〕のときに
は振動板３４の変位量が約0.55〔μm 〕であり、接着剤
の厚みが30〔μm 〕のときには振動板３４の変位量が約
0.058 〔μm 〕と、５〔％〕しか変化せず、充分なマー
ジンがとれることが確認できた。従つてこのインクジエ
ツトプリントヘツド１０においては、圧電素子３５を振
動板３４に接着する際の接着剤の厚み制御を大まかにす
ることができ、その分容易に製造することができること
が分かつた。
【００３５】（１−３）インクジエツトプリントヘツド
の製造手順 ここで実際上このインクジエツトプリントヘツドは、図
７（Ａ）〜図８（Ｃ）に示す以下の手順により製造する
ことができる。すなわち、まず図７（Ａ）に示すよう
に、２層構造の振動板３４と、圧電素子３５とを用意す
る。この場合振動板３４としては、第１の振動板形成層
３４Ａがこの後行われる第２の振動板形成層３４Ｂの溶
解又はエツチングの際に溶解又はエツチングされず、か
つ微小な穴が存在し難い材質が柔らかい材料を用いて形
成され、かつ第２の振動板形成層３４Ｂが望ましくは導
電性であるものを用いるようにする。
の製造手順 ここで実際上このインクジエツトプリントヘツドは、図
７（Ａ）〜図８（Ｃ）に示す以下の手順により製造する
ことができる。すなわち、まず図７（Ａ）に示すよう
に、２層構造の振動板３４と、圧電素子３５とを用意す
る。この場合振動板３４としては、第１の振動板形成層
３４Ａがこの後行われる第２の振動板形成層３４Ｂの溶
解又はエツチングの際に溶解又はエツチングされず、か
つ微小な穴が存在し難い材質が柔らかい材料を用いて形
成され、かつ第２の振動板形成層３４Ｂが望ましくは導
電性であるものを用いるようにする。
【００３６】より具体的には第１の振動板形成層３４Ａ
が例えば厚みが200 〔μm 〕以下のポリイミドを主成分
し、かつ第２の振動板形成層３４Ｂが例えば厚みが20
〔μm〕以上の銅、ニツケル、チタン又はステンレスを
主成分とする金属泊からなる振動板３４を用いるように
する。また圧延により形成された材料の方が後のピツト
（微小な穴）が存在する可能性が少ないため、振動板３
４としては、第１の振動板形成層３４Ａを形成する第１
の素材と、第２の振動板形成層３４Ｂを形成する第２の
素材とをそれぞれ個別に圧延し、これら圧延した第１及
び第２の素材を真空雰囲気中において接合することによ
り形成されたものを使用するようにする。
が例えば厚みが200 〔μm 〕以下のポリイミドを主成分
し、かつ第２の振動板形成層３４Ｂが例えば厚みが20
〔μm〕以上の銅、ニツケル、チタン又はステンレスを
主成分とする金属泊からなる振動板３４を用いるように
する。また圧延により形成された材料の方が後のピツト
（微小な穴）が存在する可能性が少ないため、振動板３
４としては、第１の振動板形成層３４Ａを形成する第１
の素材と、第２の振動板形成層３４Ｂを形成する第２の
素材とをそれぞれ個別に圧延し、これら圧延した第１及
び第２の素材を真空雰囲気中において接合することによ
り形成されたものを使用するようにする。
【００３７】なお以下の説明においては、圧電素子３５
として単層のものを用いるようにする場合について述べ
るが、圧電材及び導電材を順次積層することにより形成
された積層圧電素子を用いるようにしても良い。次いで
図７（Ｂ）に示すように、この振動板３４の第２の振動
板形成層３４Ｂの表面上に接着剤３９を塗布する。なお
この際、接着剤３９を圧電素子３５の振動板３４との対
向面に塗布するようにしても良く、さらには圧電素子３
５及び振動板３４の両方に接着剤を塗布するようにして
も良い。またこの場合接着剤３９としては、この後行わ
れる圧電素子３５の切断工程において耐え得る程度の強
度を有するものを用いるようにする。さらに接着剤３９
としては、導電性を有していることが望ましく、より具
体的にはエポキシ接着剤に金属などの導電性粒子を混合
したものを使用するようにする。
として単層のものを用いるようにする場合について述べ
るが、圧電材及び導電材を順次積層することにより形成
された積層圧電素子を用いるようにしても良い。次いで
図７（Ｂ）に示すように、この振動板３４の第２の振動
板形成層３４Ｂの表面上に接着剤３９を塗布する。なお
この際、接着剤３９を圧電素子３５の振動板３４との対
向面に塗布するようにしても良く、さらには圧電素子３
５及び振動板３４の両方に接着剤を塗布するようにして
も良い。またこの場合接着剤３９としては、この後行わ
れる圧電素子３５の切断工程において耐え得る程度の強
度を有するものを用いるようにする。さらに接着剤３９
としては、導電性を有していることが望ましく、より具
体的にはエポキシ接着剤に金属などの導電性粒子を混合
したものを使用するようにする。
【００３８】なおこの際接着剤３９の塗布を安定させる
ために、この工程の前に予め振動板３４の第２の振動板
形成層３４Ｂ上に所定材からなる層を設けるようにして
も良い。例えば酸化シリコンなどを数10〔nm〕程度の厚
みで振動板３４の第１の振動板形成層３４Ｂ上に積層形
成することによつて、接着剤３９の塗布時に当該接着剤
３９中に含まれる可能性のある泡を減少させることがで
きる。
ために、この工程の前に予め振動板３４の第２の振動板
形成層３４Ｂ上に所定材からなる層を設けるようにして
も良い。例えば酸化シリコンなどを数10〔nm〕程度の厚
みで振動板３４の第１の振動板形成層３４Ｂ上に積層形
成することによつて、接着剤３９の塗布時に当該接着剤
３９中に含まれる可能性のある泡を減少させることがで
きる。
【００３９】続いて図７に（Ｃ）に示すように、圧電素
子３５を接着剤３９を介して振動板３４に載せ、この圧
電素子３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂを
強固に接着させるように、かつ接着剤３９の厚みを薄く
（例えば50〔μm 〕以下）するように圧電素子３５を振
動板３４に押しつける。なおこの工程は、当該工程を行
わなくても接着剤３９の厚みが安定し、かつ強固に圧電
素子３５と振動板３４とを接着し得る方法を用いた場合
には省略することができる。続いて図７（Ｄ）に示すよ
うに、接着剤３９としてエポキシ系を用いた場合におい
て、当該接着剤３９を熱硬化させる。
子３５を接着剤３９を介して振動板３４に載せ、この圧
電素子３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂを
強固に接着させるように、かつ接着剤３９の厚みを薄く
（例えば50〔μm 〕以下）するように圧電素子３５を振
動板３４に押しつける。なおこの工程は、当該工程を行
わなくても接着剤３９の厚みが安定し、かつ強固に圧電
素子３５と振動板３４とを接着し得る方法を用いた場合
には省略することができる。続いて図７（Ｄ）に示すよ
うに、接着剤３９としてエポキシ系を用いた場合におい
て、当該接着剤３９を熱硬化させる。
【００４０】さらに図８（Ａ）に示すように、振動板３
４上に固定された圧電素子３５をダイシングにより切断
する。この場合切断は、分割形成される圧電素子３５の
うち、振動板３４の変位に寄与するものの長さが上述の
圧力室３２の長さＬ1 （図２）よりも短くなるように、
かつこの圧電素子３５及び振動板３４からなるユニツト
を振動板３４の変位に寄与する圧電素子３５が圧力室３
２と対向するように位置決めして貼り合わせたときに当
該圧電素子３５以外の圧電素子３５が圧力室３２上に位
置しないように行う。またこの際圧電素子３５と一緒に
振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂをも５〜10〔μ
m 〕程度の厚みを残して切れ目を入れるようにする。な
お圧電素子３５の切断はダイヤモンド粒子を含む砥石に
より行うことができる。また図８においては、元の圧電
素子３５を３分割した場合を示しているが、これ以外の
数に分割するようにしても良い。
４上に固定された圧電素子３５をダイシングにより切断
する。この場合切断は、分割形成される圧電素子３５の
うち、振動板３４の変位に寄与するものの長さが上述の
圧力室３２の長さＬ1 （図２）よりも短くなるように、
かつこの圧電素子３５及び振動板３４からなるユニツト
を振動板３４の変位に寄与する圧電素子３５が圧力室３
２と対向するように位置決めして貼り合わせたときに当
該圧電素子３５以外の圧電素子３５が圧力室３２上に位
置しないように行う。またこの際圧電素子３５と一緒に
振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂをも５〜10〔μ
m 〕程度の厚みを残して切れ目を入れるようにする。な
お圧電素子３５の切断はダイヤモンド粒子を含む砥石に
より行うことができる。また図８においては、元の圧電
素子３５を３分割した場合を示しているが、これ以外の
数に分割するようにしても良い。
【００４１】次いでこの振動板３４及び圧電素子３５か
らなるユニツトを、振動板３４の第２の振動板形成層３
４Ｂだけを溶解又はエツチングし、かつ第１の振動板形
成層３４Ａを溶解又はエツチングしない溶液に浸すこと
により、図８（Ｂ）のように圧電素子３４をマスクとし
て、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂのうち、各
圧電素子３５の下層以外の部分を振動板３４の第１の振
動板形成層３４Ａ上から除去する。
らなるユニツトを、振動板３４の第２の振動板形成層３
４Ｂだけを溶解又はエツチングし、かつ第１の振動板形
成層３４Ａを溶解又はエツチングしない溶液に浸すこと
により、図８（Ｂ）のように圧電素子３４をマスクとし
て、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂのうち、各
圧電素子３５の下層以外の部分を振動板３４の第１の振
動板形成層３４Ａ上から除去する。
【００４２】実際上例えば振動板３４として、第２の振
動板形成層３４Ｂが銅を主成分とする材料から形成さ
れ、かつ第１の振動板形成層３４Ａがポリイミドを主成
分とした材料から形成されているものを用いた場合に
は、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂの不要部分
を圧電素子３５をマスクとしてエツチングにより除去す
ることができる。また振動板３４として、第２の振動板
形成層３４Ｂがニツケルを用いて形成されたものを用い
る場合にも、上述の場合と同様にして、振動板３４の第
２の振動板形成層３４Ｂの不要部分を圧電素子３５をマ
スクとしてエツチングにより除去することができる。
動板形成層３４Ｂが銅を主成分とする材料から形成さ
れ、かつ第１の振動板形成層３４Ａがポリイミドを主成
分とした材料から形成されているものを用いた場合に
は、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂの不要部分
を圧電素子３５をマスクとしてエツチングにより除去す
ることができる。また振動板３４として、第２の振動板
形成層３４Ｂがニツケルを用いて形成されたものを用い
る場合にも、上述の場合と同様にして、振動板３４の第
２の振動板形成層３４Ｂの不要部分を圧電素子３５をマ
スクとしてエツチングにより除去することができる。
【００４３】次いで図８（Ｃ）に示すように、この圧電
素子３５及び振動板３４からなるユニツトをオリフイス
プレート３１上に基台３２が貼り付けられてなる圧力室
形成部４０上に、振動板３４の変位に寄与する圧電素子
３５が圧力室形成部４０の対応する圧力室３２と振動板
３４の第１の振動板形成層３４Ａを介してかつ前後左右
に隙間を残して対向するように位置決めして接着する。
これにより図３及び図４に示すインクジエツトプリント
ヘツド１０を得ることができる。
素子３５及び振動板３４からなるユニツトをオリフイス
プレート３１上に基台３２が貼り付けられてなる圧力室
形成部４０上に、振動板３４の変位に寄与する圧電素子
３５が圧力室形成部４０の対応する圧力室３２と振動板
３４の第１の振動板形成層３４Ａを介してかつ前後左右
に隙間を残して対向するように位置決めして接着する。
これにより図３及び図４に示すインクジエツトプリント
ヘツド１０を得ることができる。
【００４４】（１−４）第１実施例の動作及び効果 以上の構成において、このインクジエツトプリンタ装置
１では、制御部１１が供給される入力信号Ｓ１に基づい
て駆動信号Ｓ３を形成し、これをインクジエツトプリン
トヘツド１０に送出することにより、当該インクジエツ
トプリントヘツド１０の各圧電素子３５に駆動信号Ｓ３
を印加する。この結果対応する圧電素子３５が振動板３
４と一体に湾曲して振動板３４の第１の振動板形成層３
４Ａを対応する圧力室３２の内側に変位させることによ
り当該圧力室３２内のインク３８（図６）に圧力を与
え、かくして当該インク３８をノズル３０を介して外部
に吐出させる。
１では、制御部１１が供給される入力信号Ｓ１に基づい
て駆動信号Ｓ３を形成し、これをインクジエツトプリン
トヘツド１０に送出することにより、当該インクジエツ
トプリントヘツド１０の各圧電素子３５に駆動信号Ｓ３
を印加する。この結果対応する圧電素子３５が振動板３
４と一体に湾曲して振動板３４の第１の振動板形成層３
４Ａを対応する圧力室３２の内側に変位させることによ
り当該圧力室３２内のインク３８（図６）に圧力を与
え、かくして当該インク３８をノズル３０を介して外部
に吐出させる。
【００４５】この場合このインクジエツトプリントヘツ
ド１０では、振動板３４が各圧力室３２を覆う第１の振
動板形成層３４Ａと、この第１の振動板形成層３４Ａを
介して対応する圧力室３２と対向するように当該第１の
振動板形成層３４Ａ上に分割形成された第２の振動板形
成層３４Ｂとから形成されると共に、当該第２の振動板
形成層３４Ｂの幅ｗ1 及び長さｌ1 が圧力室３２の幅Ｗ
1 及び長さＬ1 よりも小さく選定されており、従つて圧
力室３２内のインク圧を高めるために必要な振動板３４
の変位を得るに際して負荷としては振動板３４の第１の
振動板形成層３４Ａのみとなる。
ド１０では、振動板３４が各圧力室３２を覆う第１の振
動板形成層３４Ａと、この第１の振動板形成層３４Ａを
介して対応する圧力室３２と対向するように当該第１の
振動板形成層３４Ａ上に分割形成された第２の振動板形
成層３４Ｂとから形成されると共に、当該第２の振動板
形成層３４Ｂの幅ｗ1 及び長さｌ1 が圧力室３２の幅Ｗ
1 及び長さＬ1 よりも小さく選定されており、従つて圧
力室３２内のインク圧を高めるために必要な振動板３４
の変位を得るに際して負荷としては振動板３４の第１の
振動板形成層３４Ａのみとなる。
【００４６】しかしながらこの振動板３４の第１の振動
板形成層３４Ａは、上述のようにヤング率が10×10
10〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて薄膜状に形成さ
れているために金属のような堅い材料を用いて形成する
場合に比べて変位量が大きく、従つて振動板３４の変位
を大きくとることができる。従つてこのインクジエツト
プリントヘツド１０では、従来のインクジエツトプリン
トヘツドの構成において振動板３４の変位に対する強度
を弱くするために広く設けられていた圧力室３２の幅Ｗ
1 を圧電素子３５の幅ｗ1 に比較して狭くすることがで
きる。かくするにつき圧力室３２の幅Ｗ1 を小さくする
ことができ、圧力室３２の配置密度を高めることができ
ることにより、各圧力室３２とそれぞれ連通する各ノズ
ル３０の間隔を小さくすることができる。
板形成層３４Ａは、上述のようにヤング率が10×10
10〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて薄膜状に形成さ
れているために金属のような堅い材料を用いて形成する
場合に比べて変位量が大きく、従つて振動板３４の変位
を大きくとることができる。従つてこのインクジエツト
プリントヘツド１０では、従来のインクジエツトプリン
トヘツドの構成において振動板３４の変位に対する強度
を弱くするために広く設けられていた圧力室３２の幅Ｗ
1 を圧電素子３５の幅ｗ1 に比較して狭くすることがで
きる。かくするにつき圧力室３２の幅Ｗ1 を小さくする
ことができ、圧力室３２の配置密度を高めることができ
ることにより、各圧力室３２とそれぞれ連通する各ノズ
ル３０の間隔を小さくすることができる。
【００４７】またこのインクジエツトプリントヘツド１
０では、振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａをヤン
グ率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて形
成しており、従つて上述のように振動板３４の変位を大
きくとることができるため、圧電素子３５の駆動電圧を
小さくできると共に、圧電素子３５の厚みを大きくする
ことができる分、当該圧電素子３５を扱い易くすること
ができ、さらには圧電素子３５及び振動板３４間の接着
層３７の厚みむらによる振動板３４の変位に対する影響
が少ないため、製造プロセス上の接着層３７の厚みむら
の影響を少なくすることができる。
０では、振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａをヤン
グ率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて形
成しており、従つて上述のように振動板３４の変位を大
きくとることができるため、圧電素子３５の駆動電圧を
小さくできると共に、圧電素子３５の厚みを大きくする
ことができる分、当該圧電素子３５を扱い易くすること
ができ、さらには圧電素子３５及び振動板３４間の接着
層３７の厚みむらによる振動板３４の変位に対する影響
が少ないため、製造プロセス上の接着層３７の厚みむら
の影響を少なくすることができる。
【００４８】一方、このように構成されたインクジエツ
トプリントヘツド１０では、上述のバイモルフ効果によ
り振動板３４を変形させる場合において、実際上負荷と
して寄与するのは、振動板３４の圧電素子３５と接着層
３７を介して対向しない部位（第１の振動板形成層３４
Ａ）の断面２次モーメントであるが、これは当該部位の
厚さの３乗に比例する大きさとなる。この場合この実施
例のインクジエツトプリントヘツド１０を製造するに際
して、例えば図８（Ｂ）について説明したような圧電素
子３５をマスクとした溶解又はエツチングを行わず、先
行する切断工程（図８（Ａ））までで振動板３４を形成
した場合には、切断時における刃物の磨耗や切断機の性
能に起因する刃物の高さ精度によつて、振動板３４の変
形に寄与する部位の厚みが決定されることとなる。
トプリントヘツド１０では、上述のバイモルフ効果によ
り振動板３４を変形させる場合において、実際上負荷と
して寄与するのは、振動板３４の圧電素子３５と接着層
３７を介して対向しない部位（第１の振動板形成層３４
Ａ）の断面２次モーメントであるが、これは当該部位の
厚さの３乗に比例する大きさとなる。この場合この実施
例のインクジエツトプリントヘツド１０を製造するに際
して、例えば図８（Ｂ）について説明したような圧電素
子３５をマスクとした溶解又はエツチングを行わず、先
行する切断工程（図８（Ａ））までで振動板３４を形成
した場合には、切断時における刃物の磨耗や切断機の性
能に起因する刃物の高さ精度によつて、振動板３４の変
形に寄与する部位の厚みが決定されることとなる。
【００４９】そしてこの精度が例えば１〔μm 〕以下で
あつたとしても、振動板３４の変形に寄与する部位の厚
みの目標値が10〔μm 〕の場合には、当該部位の厚みが
10〔％〕程度ばらつくこととなり、結果的に振動板３４
の変形に寄与する部位の断面２次モーメントに30〔％〕
程度のばらつきが生じることになる。つまり図８（Ｂ）
について説明したような圧電素子３５をマスクとした溶
解又はエツチングを行わず、先行する切断工程（図８
（Ａ））までで振動板３４を形成した場合には、30
〔％〕のばらつきが振動板３４の負荷として存在するた
め、インク３８（図６）の吐出量が著しくばらついてし
まうことになる。
あつたとしても、振動板３４の変形に寄与する部位の厚
みの目標値が10〔μm 〕の場合には、当該部位の厚みが
10〔％〕程度ばらつくこととなり、結果的に振動板３４
の変形に寄与する部位の断面２次モーメントに30〔％〕
程度のばらつきが生じることになる。つまり図８（Ｂ）
について説明したような圧電素子３５をマスクとした溶
解又はエツチングを行わず、先行する切断工程（図８
（Ａ））までで振動板３４を形成した場合には、30
〔％〕のばらつきが振動板３４の負荷として存在するた
め、インク３８（図６）の吐出量が著しくばらついてし
まうことになる。
【００５０】これに対してこの実施例によるインクジエ
ツトプリントヘツド１０の製造方法では、図８（Ｂ）に
ついて説明したように、圧電素子３５をマスクとした溶
解又はエツチングを行つているため、振動板３４の変位
に寄与する部位の厚みを振動板３４の第１の振動板形成
層３４Ａの厚みでなる所定値にすることができる。つま
りこの実施例による製造方法を用いて製造されたインク
ジエツトプリントヘツド１０では、振動板３４の変形に
寄与する部位の断面２次モーメントを一定にすることが
でき、その分複数存在する各圧力室３２内のインク３８
にそれぞれほぼ均一な圧力を与えることができる。
ツトプリントヘツド１０の製造方法では、図８（Ｂ）に
ついて説明したように、圧電素子３５をマスクとした溶
解又はエツチングを行つているため、振動板３４の変位
に寄与する部位の厚みを振動板３４の第１の振動板形成
層３４Ａの厚みでなる所定値にすることができる。つま
りこの実施例による製造方法を用いて製造されたインク
ジエツトプリントヘツド１０では、振動板３４の変形に
寄与する部位の断面２次モーメントを一定にすることが
でき、その分複数存在する各圧力室３２内のインク３８
にそれぞれほぼ均一な圧力を与えることができる。
【００５１】従つて上述のインクジエツトプリントヘツ
ド１０を製造するに際し、この実施例の製造方法を用い
ることによつて、インク吐出時の振動板３４を変位させ
る場合の負荷となる振動板３４の厚さを薄くかつ安定に
製造することができることから各圧力室３２の大きさを
小さくすることができ、かくして圧力室３２の配置密度
を高めることができることにより、結果的に各圧力室３
２とそれぞれ連通する各ノズル３０の間隔をより小さく
することができる。
ド１０を製造するに際し、この実施例の製造方法を用い
ることによつて、インク吐出時の振動板３４を変位させ
る場合の負荷となる振動板３４の厚さを薄くかつ安定に
製造することができることから各圧力室３２の大きさを
小さくすることができ、かくして圧力室３２の配置密度
を高めることができることにより、結果的に各圧力室３
２とそれぞれ連通する各ノズル３０の間隔をより小さく
することができる。
【００５２】またこの実施例によるインクジエツトプリ
ントヘツド１０の製造方法によれば、従来の薄板部分の
形成をダイシングのみにより行う従来の製造方法に比べ
て薄板部分の板厚制御の精度を高めることができるた
め、結果的に高精度のダイシング装置を用いることな
く、高精度の板厚管理を行うことができる。さらにこの
実施例によるインクジエツトプリントヘツド１０の製造
方法によれば、圧電素子３５として予め焼成された圧電
素子を用いることができるため、圧電材料の特性を十分
に発揮させることができる。
ントヘツド１０の製造方法によれば、従来の薄板部分の
形成をダイシングのみにより行う従来の製造方法に比べ
て薄板部分の板厚制御の精度を高めることができるた
め、結果的に高精度のダイシング装置を用いることな
く、高精度の板厚管理を行うことができる。さらにこの
実施例によるインクジエツトプリントヘツド１０の製造
方法によれば、圧電素子３５として予め焼成された圧電
素子を用いることができるため、圧電材料の特性を十分
に発揮させることができる。
【００５３】以上の構成によれば、振動板３４を、基台
３３の一面３３Ａを覆う第１の振動板形成層３４Ａと、
この第１の振動板形成層３４Ａを介して対応する圧力室
３２と対向するように、当該圧力室３２に比べて幅ｗ1
及び長さｌ1 が小さくなるように当該第１の振動板形成
層３４Ａ上に分割形成された第２の振動板形成層３４Ｂ
とから形成すると共に、第１の振動板形成層３４Ａをヤ
ング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて
形成するようにしたことにより、振動板３４の変位を大
きくとることができる。かくするにつき各圧力室３２の
幅Ｗ1 を小さくすることができ、圧力室３２の配置密度
を高めることができることにより、各圧力室３２とそれ
ぞれ連通する各ノズル３０の間隔を小さくすることがで
き、かくしてノズルピツチを容易に微細化し得るプリン
タ装置を実現できる。
３３の一面３３Ａを覆う第１の振動板形成層３４Ａと、
この第１の振動板形成層３４Ａを介して対応する圧力室
３２と対向するように、当該圧力室３２に比べて幅ｗ1
及び長さｌ1 が小さくなるように当該第１の振動板形成
層３４Ａ上に分割形成された第２の振動板形成層３４Ｂ
とから形成すると共に、第１の振動板形成層３４Ａをヤ
ング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用いて
形成するようにしたことにより、振動板３４の変位を大
きくとることができる。かくするにつき各圧力室３２の
幅Ｗ1 を小さくすることができ、圧力室３２の配置密度
を高めることができることにより、各圧力室３２とそれ
ぞれ連通する各ノズル３０の間隔を小さくすることがで
き、かくしてノズルピツチを容易に微細化し得るプリン
タ装置を実現できる。
【００５４】（１−５）インクジエツトプリントヘツド
の他の製造手順 図７（Ａ）〜図８（Ｃ）との対応部分に同一符号を付し
て示す図９（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、上述のインクジエ
ツトプリントヘツド１０の他の製造手順を示すものであ
り、まず図９（Ａ）に示すように、第１実施例と同様の
第１及び第２の振動板形成層３４Ａ、３４Ｂからなる振
動板３４及び圧電素子３５を準備する。
の他の製造手順 図７（Ａ）〜図８（Ｃ）との対応部分に同一符号を付し
て示す図９（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、上述のインクジエ
ツトプリントヘツド１０の他の製造手順を示すものであ
り、まず図９（Ａ）に示すように、第１実施例と同様の
第１及び第２の振動板形成層３４Ａ、３４Ｂからなる振
動板３４及び圧電素子３５を準備する。
【００５５】次いで図９（Ｂ）に示すように、この振動
板３４の第２の振動板形成層３４Ａ上にガリウムを成分
として有する液体金属接着剤５０を塗布する。この際例
えば圧電素子３５に液体金属接着剤５０を塗布するよう
にしても良く、さらには圧電素子３５及び振動板３４の
両方に液体金属接着剤５０を塗布するようにしても良
い。
板３４の第２の振動板形成層３４Ａ上にガリウムを成分
として有する液体金属接着剤５０を塗布する。この際例
えば圧電素子３５に液体金属接着剤５０を塗布するよう
にしても良く、さらには圧電素子３５及び振動板３４の
両方に液体金属接着剤５０を塗布するようにしても良
い。
【００５６】ここで実際上、液体金属接着剤５０として
は、ガリウムと、インジウム、錫及び亜鉛のうちの１つ
以上とを有する２元以上の成分を有し、室温近傍又は10
0 〔°Ｃ〕以下の温度において液体となり、さらに振動
板３４の第２の振動板形成層３４Ｂを構成する材料に対
して拡散反応を生じ、合金化がなされるものを使用する
ようにする。なお上述の液体金属に、金、銀及びパラジ
ウムのうちの１種以上を成分として有する金属粉末を添
加することにより製造され、温室近傍又は100〔°Ｃ〕
以下の温度において振動板３４の第２の振動板形成層を
構成する材料に対して拡散反応を生じ、合金化がなされ
るものを使用するようにしても良い。
は、ガリウムと、インジウム、錫及び亜鉛のうちの１つ
以上とを有する２元以上の成分を有し、室温近傍又は10
0 〔°Ｃ〕以下の温度において液体となり、さらに振動
板３４の第２の振動板形成層３４Ｂを構成する材料に対
して拡散反応を生じ、合金化がなされるものを使用する
ようにする。なお上述の液体金属に、金、銀及びパラジ
ウムのうちの１種以上を成分として有する金属粉末を添
加することにより製造され、温室近傍又は100〔°Ｃ〕
以下の温度において振動板３４の第２の振動板形成層を
構成する材料に対して拡散反応を生じ、合金化がなされ
るものを使用するようにしても良い。
【００５７】次いで図９（Ｃ）に示すように、圧電素子
３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ａに対して
より強固に接着し得るように、かつ液体金属接着剤５０
の厚みを薄く（例えば５〔μm 〕以下）するようにプレ
ス処理又はローラ処理により圧電素子３５を振動板３４
に押しつける。なおこの工程は、プレス処理又はローラ
処理を行わなくても液体金属接着剤５０の厚みが安定
し、かつ圧電素子３５を振動板３４に対して強固に固定
し得る方法を用いた場合には省略することができる。
３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ａに対して
より強固に接着し得るように、かつ液体金属接着剤５０
の厚みを薄く（例えば５〔μm 〕以下）するようにプレ
ス処理又はローラ処理により圧電素子３５を振動板３４
に押しつける。なおこの工程は、プレス処理又はローラ
処理を行わなくても液体金属接着剤５０の厚みが安定
し、かつ圧電素子３５を振動板３４に対して強固に固定
し得る方法を用いた場合には省略することができる。
【００５８】なおこの際液体金属接着剤５０の塗布を安
定させるために、この工程の前に予め振動板３４の第２
の振動板形成層３４Ｂ上に所定材からなる層を設けるよ
うにしても良い。例えば酸化シリコンなどを数10〔nm〕
程度の厚みで振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上
に積層形成することによつて、液体金属接着剤５０の塗
布時に当該液体金属接着剤５０中に含まれる可能性のあ
る泡を減少させることができる。
定させるために、この工程の前に予め振動板３４の第２
の振動板形成層３４Ｂ上に所定材からなる層を設けるよ
うにしても良い。例えば酸化シリコンなどを数10〔nm〕
程度の厚みで振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上
に積層形成することによつて、液体金属接着剤５０の塗
布時に当該液体金属接着剤５０中に含まれる可能性のあ
る泡を減少させることができる。
【００５９】続いて図９（Ｄ）に示すように、この振動
板３４上に圧電素子３５が接着されてなるユニツトを、
液体金属接着剤５０の拡散合金反応が終了するまで室温
又は200 〔°Ｃ〕以下の雰囲気のもとで放置する。なお
ここで、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂとして
銅を主成分とする金属材を用いた場合においては、拡散
合金化反応により融点が300 〔°Ｃ〕以上の銅とガリウ
ムとの合金層５１が徐々に生成される。さらに放置時間
を十分にとつた場合においては、液体金属が完全に固体
金属中（振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ中）に
拡散し、全てが高融点の合金となることにより、圧電素
子３５と振動板３４とが強固に接合される。
板３４上に圧電素子３５が接着されてなるユニツトを、
液体金属接着剤５０の拡散合金反応が終了するまで室温
又は200 〔°Ｃ〕以下の雰囲気のもとで放置する。なお
ここで、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂとして
銅を主成分とする金属材を用いた場合においては、拡散
合金化反応により融点が300 〔°Ｃ〕以上の銅とガリウ
ムとの合金層５１が徐々に生成される。さらに放置時間
を十分にとつた場合においては、液体金属が完全に固体
金属中（振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ中）に
拡散し、全てが高融点の合金となることにより、圧電素
子３５と振動板３４とが強固に接合される。
【００６０】続いて図１０（Ａ）に示すように、振動板
３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上に固定された圧電素
子３５をダイシングにより切断する。この場合切断は、
分割された圧電素子３５のうち、振動板３４の変位に寄
与するものの長さが上述の圧力室３２の長さＬ1 よりも
長さが短くなるように、かつ振動板３４及び圧電素子３
５からなるこのユニツトを振動板３４の変位に寄与する
圧電素子３５が圧力室３２と対向するように位置決めし
て貼り合わせたときに当該圧電素子３５以外の分割され
た圧電素子３５が圧力室３２上に位置しないように行
う。またこの際圧電素子３５と一緒に振動板３４の第２
の振動板形成層３４Ｂをも５〜10〔μm 〕程度の厚みを
残して切れ目を入れるようにする。なお圧電素子３５の
切断はダイヤモンド粒子を含む砥石により行うことがで
きる。また図１０においては、元の圧電素子３５を３分
割した場合を示しているが、これ以外の数に分割するよ
うにしても良い。
３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上に固定された圧電素
子３５をダイシングにより切断する。この場合切断は、
分割された圧電素子３５のうち、振動板３４の変位に寄
与するものの長さが上述の圧力室３２の長さＬ1 よりも
長さが短くなるように、かつ振動板３４及び圧電素子３
５からなるこのユニツトを振動板３４の変位に寄与する
圧電素子３５が圧力室３２と対向するように位置決めし
て貼り合わせたときに当該圧電素子３５以外の分割され
た圧電素子３５が圧力室３２上に位置しないように行
う。またこの際圧電素子３５と一緒に振動板３４の第２
の振動板形成層３４Ｂをも５〜10〔μm 〕程度の厚みを
残して切れ目を入れるようにする。なお圧電素子３５の
切断はダイヤモンド粒子を含む砥石により行うことがで
きる。また図１０においては、元の圧電素子３５を３分
割した場合を示しているが、これ以外の数に分割するよ
うにしても良い。
【００６１】次いでこの振動板３４及び圧電素子３５か
らなるユニツトを、振動板３４の第２の振動板形成層３
４Ｂだけを溶解又はエツチングし、かつ振動板３４の第
１の振動板形成層３４Ａを溶解又はエツチングしない溶
液に浸すことにより、図１０（Ｂ）に示すように、圧電
素子３５をマスクとして、振動板３４の第２の振動板形
成層３４Ｂのうち、各圧電素子３５の下層以外の部分を
振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａ上から除去す
る。
らなるユニツトを、振動板３４の第２の振動板形成層３
４Ｂだけを溶解又はエツチングし、かつ振動板３４の第
１の振動板形成層３４Ａを溶解又はエツチングしない溶
液に浸すことにより、図１０（Ｂ）に示すように、圧電
素子３５をマスクとして、振動板３４の第２の振動板形
成層３４Ｂのうち、各圧電素子３５の下層以外の部分を
振動板３４の第１の振動板形成層３４Ａ上から除去す
る。
【００６２】実際上振動板３４として、第２の振動板形
成層３４Ｂが銅を主成分とする材料を用いて形成される
と共に、第１の振動板形成層３４Ａがニツケルを主成分
とする材料を用いて形成されたものを用いた場合におい
ては、このユニツトを５〜40〔％〕の塩化第２の鉄水溶
液に数分又は数１０秒浸すことによつて、各圧電素子３
５をマスクとしてエツチングにより振動板３４の第２の
振動板形成層３４Ｂの不要部分を除去することができ
る。
成層３４Ｂが銅を主成分とする材料を用いて形成される
と共に、第１の振動板形成層３４Ａがニツケルを主成分
とする材料を用いて形成されたものを用いた場合におい
ては、このユニツトを５〜40〔％〕の塩化第２の鉄水溶
液に数分又は数１０秒浸すことによつて、各圧電素子３
５をマスクとしてエツチングにより振動板３４の第２の
振動板形成層３４Ｂの不要部分を除去することができ
る。
【００６３】次いで図１０（Ｃ）に示すように、この振
動板３４及び圧電素子３５からなるユニツトをオリフイ
スプレート３１上に基台３３が貼り付けられてなる圧力
室形成部４０上に、振動板３４の変位に寄与する圧電素
子３５が圧力室形成部４０の対応する圧力室３２と振動
板３４の第１の振動板形成層３４Ａを介して、かつ前後
左右に隙間を残して対向するように位置決めして接着す
る。これにより図３及び図４に示すインクジエツトプリ
ントヘツド１０を得ることができる。
動板３４及び圧電素子３５からなるユニツトをオリフイ
スプレート３１上に基台３３が貼り付けられてなる圧力
室形成部４０上に、振動板３４の変位に寄与する圧電素
子３５が圧力室形成部４０の対応する圧力室３２と振動
板３４の第１の振動板形成層３４Ａを介して、かつ前後
左右に隙間を残して対向するように位置決めして接着す
る。これにより図３及び図４に示すインクジエツトプリ
ントヘツド１０を得ることができる。
【００６４】この場合この製造方法によると、圧電素子
３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上に接着
する接着剤としてガリウムを成分とする液体金属接着剤
５０を用いており、従つて上述のように圧電素子３５及
び振動板３４がこの液体金属接着剤５０により形成され
る合金層５１を介して接合されるため、接着剤として例
えばエポキシなどの樹脂系のものを用いた場合に比べて
より高いバイモルフ効果を得ることができる。
３５を振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂ上に接着
する接着剤としてガリウムを成分とする液体金属接着剤
５０を用いており、従つて上述のように圧電素子３５及
び振動板３４がこの液体金属接着剤５０により形成され
る合金層５１を介して接合されるため、接着剤として例
えばエポキシなどの樹脂系のものを用いた場合に比べて
より高いバイモルフ効果を得ることができる。
【００６５】またこの液体金属接着剤５０に基づいて形
成された合金層５１は、樹脂系の接着剤からなる接着層
に比べて変位を吸収し難いため、より高く得られたバイ
モルフ効果を有効に対応する圧力室３２に伝達すること
ができる。従つて上述のインクジエツトプリントヘツド
１０を製造するに際してこの第２実施例の製造方法を用
いることによつて、上述した第１実施例によるインクジ
エツトプリントヘツド１０の製造方法を用いたときに得
られる効果に加え、圧電素子３５を振動板３４の第２の
振動板形成層３４Ｂ上に接着する接着剤として樹脂系の
接着剤を用いた場合に比べてより低い印加電圧で圧電素
子３５を駆動させ得る効果を得ることができる。
成された合金層５１は、樹脂系の接着剤からなる接着層
に比べて変位を吸収し難いため、より高く得られたバイ
モルフ効果を有効に対応する圧力室３２に伝達すること
ができる。従つて上述のインクジエツトプリントヘツド
１０を製造するに際してこの第２実施例の製造方法を用
いることによつて、上述した第１実施例によるインクジ
エツトプリントヘツド１０の製造方法を用いたときに得
られる効果に加え、圧電素子３５を振動板３４の第２の
振動板形成層３４Ｂ上に接着する接着剤として樹脂系の
接着剤を用いた場合に比べてより低い印加電圧で圧電素
子３５を駆動させ得る効果を得ることができる。
【００６６】さらにこの製造方法によれば、上述のよう
に圧電素子３５及び振動板３４間に形成される接着層３
７に対して加熱処理する必要がなく、圧電素子３５及び
振動板３４からなるユニツトを所定温度を保つた状態で
放置するだけで接着層３７を強固な合金化することがで
きるため、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂの材
料として圧電素子３５を形成する材料と熱膨張率差が大
きい材料を選択した場合においても、振動板３４及び圧
電素子３５に反りが発生することがない。
に圧電素子３５及び振動板３４間に形成される接着層３
７に対して加熱処理する必要がなく、圧電素子３５及び
振動板３４からなるユニツトを所定温度を保つた状態で
放置するだけで接着層３７を強固な合金化することがで
きるため、振動板３４の第２の振動板形成層３４Ｂの材
料として圧電素子３５を形成する材料と熱膨張率差が大
きい材料を選択した場合においても、振動板３４及び圧
電素子３５に反りが発生することがない。
【００６７】従つて上述のインクジエツトプリントヘツ
ド１０の製造方法として、この製造方法を用いることに
よつて、圧電素子３５及び振動板３４に対する材料選択
の自由度を高めることができる。
ド１０の製造方法として、この製造方法を用いることに
よつて、圧電素子３５及び振動板３４に対する材料選択
の自由度を高めることができる。
【００６８】（２）第２実施例 （２−１）「キヤリアジエツト」プリンタ装置の構成 図１との対応部分に同一符号を付して示す図１１は、第
２実施例によるシリアル型の「キヤリアジエツト」プリ
ンタ装置６０を示すものであり、インクジエツトプリン
トヘツト１０（図１）に代えて「キヤリアジエツト」プ
リントヘツド６１を用いている点と、これに伴い制御部
１１（図１）に変えて制御部７０を用いている点とを除
いて第１実施例のインクジエツトプリンタ装置１（図
１）と同様に構成されている。
２実施例によるシリアル型の「キヤリアジエツト」プリ
ンタ装置６０を示すものであり、インクジエツトプリン
トヘツト１０（図１）に代えて「キヤリアジエツト」プ
リントヘツド６１を用いている点と、これに伴い制御部
１１（図１）に変えて制御部７０を用いている点とを除
いて第１実施例のインクジエツトプリンタ装置１（図
１）と同様に構成されている。
【００６９】この場合「キヤリアジエツト」プリントヘ
ツド６１は、図１２に示すように、一対の第１及び第２
のノズル６２Ａ、６２ＢがＸ方向（矢印ｘ2 ）に沿つて
所定ピツチで複数対形成されたオリフイスプレート６３
の一面６３Ａ上に、各第１及び第２のノズル６２Ａ、６
２Ｂにそれぞれ対応させて一対の第１及び第２の開口部
でなる第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４ＢがＸ方向に
沿つて複数対形成された基台６５と、２層構造の振動板
６６とを順次積層すると共に、当該振動板６６上に各第
１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそれぞれ対応させ
て、対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそ
れぞれ振動板３４を介して対向するように一対の第１及
び第２の圧電素子６７Ａ、６７ＢがＹ方向に沿つて複数
対接着されることにより形成されている。
ツド６１は、図１２に示すように、一対の第１及び第２
のノズル６２Ａ、６２ＢがＸ方向（矢印ｘ2 ）に沿つて
所定ピツチで複数対形成されたオリフイスプレート６３
の一面６３Ａ上に、各第１及び第２のノズル６２Ａ、６
２Ｂにそれぞれ対応させて一対の第１及び第２の開口部
でなる第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４ＢがＸ方向に
沿つて複数対形成された基台６５と、２層構造の振動板
６６とを順次積層すると共に、当該振動板６６上に各第
１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそれぞれ対応させ
て、対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそ
れぞれ振動板３４を介して対向するように一対の第１及
び第２の圧電素子６７Ａ、６７ＢがＹ方向に沿つて複数
対接着されることにより形成されている。
【００７０】このときオリフイスプレート６３の各一対
の第１及び第２のノズル６２Ａ、６２Ｂは、それぞれＹ
方向（矢印ｙ2 ）に沿つて並設されており、このうち第
１のノズル６２Ａはオリフイスプレート６３の他面６３
Ｂ側に行くに従つて第２のノズル６２Ｂに近づくように
傾きをもつて形成されている。
の第１及び第２のノズル６２Ａ、６２Ｂは、それぞれＹ
方向（矢印ｙ2 ）に沿つて並設されており、このうち第
１のノズル６２Ａはオリフイスプレート６３の他面６３
Ｂ側に行くに従つて第２のノズル６２Ｂに近づくように
傾きをもつて形成されている。
【００７１】また基台６５の各一対の第１及び第２の圧
力室６４Ａ、６４Ｂは、それぞれＸ方向に沿つて並ぶよ
うに、かつそれぞれ対応する第１又は第２のノズル６２
Ａ、６２Ｂと連通するように形成されており、それぞれ
基台６５に設けられた第１又は第２の供給路６５Ａ、６
５Ｂを介して図示しないインクタンク又は希釈液タンク
と接続されている。
力室６４Ａ、６４Ｂは、それぞれＸ方向に沿つて並ぶよ
うに、かつそれぞれ対応する第１又は第２のノズル６２
Ａ、６２Ｂと連通するように形成されており、それぞれ
基台６５に設けられた第１又は第２の供給路６５Ａ、６
５Ｂを介して図示しないインクタンク又は希釈液タンク
と接続されている。
【００７２】これによりこの「キヤリアジエツト」プリ
ントヘツド６１においては、第１の供給路６５Ａを介し
て第１の圧力室６４Ａ内にインクタンクからインクを供
給し、かつ当該インクを第１の圧力室６４Ａから第１の
ノズル６２Ａを介して外部に吐出し得る一方、第２の供
給路６５Ｂを介して第２の圧力室６４Ｂ内に希釈液タン
クから希釈液を供給し、かつ当該希釈液を第２の圧力室
６４Ｂから第２のノズル６２Ｂを介して外部に吐出し得
るようになされている。
ントヘツド６１においては、第１の供給路６５Ａを介し
て第１の圧力室６４Ａ内にインクタンクからインクを供
給し、かつ当該インクを第１の圧力室６４Ａから第１の
ノズル６２Ａを介して外部に吐出し得る一方、第２の供
給路６５Ｂを介して第２の圧力室６４Ｂ内に希釈液タン
クから希釈液を供給し、かつ当該希釈液を第２の圧力室
６４Ｂから第２のノズル６２Ｂを介して外部に吐出し得
るようになされている。
【００７３】一方振動板６６においては、基台６５の一
面６５Ｃを覆う薄膜状の第１の振動板形成層６６Ａと、
この第１の振動板形成層６６Ａを介してそれぞれ対応す
る第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂと対向するよう
に当該第１の振動板形成層６６Ａ上に分割形成された複
数の第２の振動板形成層６６Ｂとから構成されている。
面６５Ｃを覆う薄膜状の第１の振動板形成層６６Ａと、
この第１の振動板形成層６６Ａを介してそれぞれ対応す
る第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂと対向するよう
に当該第１の振動板形成層６６Ａ上に分割形成された複
数の第２の振動板形成層６６Ｂとから構成されている。
【００７４】この場合各第２の振動板形成層６６Ａは、
図１２からも明らかなように、それぞれ対向する第１又
は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂよりも幅が小さくかつ長
さが短く形成されており、かくして第１の振動板形成層
６６Ａが第２の振動板形成層６６Ｂに邪魔されることな
く対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に自在に変位し得るようになされている。
図１２からも明らかなように、それぞれ対向する第１又
は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂよりも幅が小さくかつ長
さが短く形成されており、かくして第１の振動板形成層
６６Ａが第２の振動板形成層６６Ｂに邪魔されることな
く対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に自在に変位し得るようになされている。
【００７５】さらに各第１及び第２の圧電素子６７Ａ、
６７Ｂにおいては、それぞれ振動板６６と対向する一面
が振動板６６の対応する第２の振動板形成層６６Ｂの表
面と同じ大きさの直方体状に形成され、それぞれ接着剤
からなる接着層６８Ａ、６８Ｂを介して振動板６６の対
応する第２の振動板形成層６６Ｂの表面上に固着されて
いる。
６７Ｂにおいては、それぞれ振動板６６と対向する一面
が振動板６６の対応する第２の振動板形成層６６Ｂの表
面と同じ大きさの直方体状に形成され、それぞれ接着剤
からなる接着層６８Ａ、６８Ｂを介して振動板６６の対
応する第２の振動板形成層６６Ｂの表面上に固着されて
いる。
【００７６】この場合各第１及び第２の圧電素子６７
Ａ、６７Ｂの一面側はそれぞれアース接地されると共
に、他面側はそれぞれ図示しない電極がそれぞれ設けら
れており、制御部７０から供給される対応する第１又は
第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂがそれぞれこの電極
に印加されるようになされている。
Ａ、６７Ｂの一面側はそれぞれアース接地されると共
に、他面側はそれぞれ図示しない電極がそれぞれ設けら
れており、制御部７０から供給される対応する第１又は
第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂがそれぞれこの電極
に印加されるようになされている。
【００７７】かくしてこの「キヤリアジエツト」プリン
トヘツド６１においては、制御部７０から各第１及び第
２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの電極にそれぞれ供給され
る第１及び第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂに基づい
て、対応する第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂを
１組として、各組ごとに第１及び第２の圧電素子６７
Ａ、６７Ｂがそれぞれ振動板６６とのバイモルフ効果に
より、それぞれ振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａ
を対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に変位させるように湾曲し、それぞれ第１の圧力室６４
Ａ内のインク又は第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液に圧力
を与えることにより、当該第１の圧力室６４Ａ内のイン
クを対応する第１のノズル６２Ａを介して外部に吐出さ
せる一方、このとき第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液を対
応する第２のノズル６２Ｂを介して外部に吐出させ、か
くしてこれらを混合して１つの液滴として吐出し得るよ
うになされている。
トヘツド６１においては、制御部７０から各第１及び第
２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの電極にそれぞれ供給され
る第１及び第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂに基づい
て、対応する第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂを
１組として、各組ごとに第１及び第２の圧電素子６７
Ａ、６７Ｂがそれぞれ振動板６６とのバイモルフ効果に
より、それぞれ振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａ
を対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に変位させるように湾曲し、それぞれ第１の圧力室６４
Ａ内のインク又は第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液に圧力
を与えることにより、当該第１の圧力室６４Ａ内のイン
クを対応する第１のノズル６２Ａを介して外部に吐出さ
せる一方、このとき第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液を対
応する第２のノズル６２Ｂを介して外部に吐出させ、か
くしてこれらを混合して１つの液滴として吐出し得るよ
うになされている。
【００７８】従つてこの「キヤリアジエツト」プリント
ヘツド６１においては、１つの組の第１及び第２の圧電
素子６７Ａ、６７Ｂに印加する電圧を変えて、第１のノ
ズル６２Ａから吐出するインクと第２のノズル６２Ｂか
ら吐出する希釈液との混合比を変えることにより、吐出
させる液滴の濃度を変調し得るようになされている。
ヘツド６１においては、１つの組の第１及び第２の圧電
素子６７Ａ、６７Ｂに印加する電圧を変えて、第１のノ
ズル６２Ａから吐出するインクと第２のノズル６２Ｂか
ら吐出する希釈液との混合比を変えることにより、吐出
させる液滴の濃度を変調し得るようになされている。
【００７９】かかる構成に加えこの「キヤリアジエツ
ト」プリントヘツド６１の場合、振動板６６の第１の振
動板形成層６６Ａは、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下
（望ましくは１×1010〔N/m2〕以下）の、例えば樹脂系
材料のような柔らかい材料を用いて形成されている。
ト」プリントヘツド６１の場合、振動板６６の第１の振
動板形成層６６Ａは、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下
（望ましくは１×1010〔N/m2〕以下）の、例えば樹脂系
材料のような柔らかい材料を用いて形成されている。
【００８０】これによりこの「キヤリアジエツト」プリ
ントヘツド６１においては、第１実施例の場合と同様
に、振動板６６の変位を大きくとることができると共
に、第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに与える印
加電圧を小さくすることができ、さらには圧電素子６７
Ａ、６７Ｂの厚みを厚くすることができる分、当該第１
及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの製造工程時におけ
る扱いを容易にし得るようになされている。
ントヘツド６１においては、第１実施例の場合と同様
に、振動板６６の変位を大きくとることができると共
に、第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに与える印
加電圧を小さくすることができ、さらには圧電素子６７
Ａ、６７Ｂの厚みを厚くすることができる分、当該第１
及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの製造工程時におけ
る扱いを容易にし得るようになされている。
【００８１】なおこの実施例の場合、この「キヤリアジ
エツト」プリントヘツド６１は、図７（Ａ）〜図８
（Ｃ）について説明した第１実施例によるインクジエツ
トプリントヘツド１０の製造方法を利用して、２層構造
の振動板６６に対する各第１及び第２の圧電素子６７
Ａ、６７Ｂの貼合せ工程と、これら各第１及び第２の圧
電素子６７Ａ、６７Ｂの切断工程と、第１及び第２の圧
電素子６６Ａ、６６Ｂをマスクとした振動板６６の第２
の振動板形成層６６Ｂのエツチング工程と、当該第１及
び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂ並びに振動板６６から
なるユニツトのオリフイスプレート６３及び基台６５か
らなる圧力室形成部４０に対する貼合せ工程とを経て製
造することができる。
エツト」プリントヘツド６１は、図７（Ａ）〜図８
（Ｃ）について説明した第１実施例によるインクジエツ
トプリントヘツド１０の製造方法を利用して、２層構造
の振動板６６に対する各第１及び第２の圧電素子６７
Ａ、６７Ｂの貼合せ工程と、これら各第１及び第２の圧
電素子６７Ａ、６７Ｂの切断工程と、第１及び第２の圧
電素子６６Ａ、６６Ｂをマスクとした振動板６６の第２
の振動板形成層６６Ｂのエツチング工程と、当該第１及
び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂ並びに振動板６６から
なるユニツトのオリフイスプレート６３及び基台６５か
らなる圧力室形成部４０に対する貼合せ工程とを経て製
造することができる。
【００８２】一方制御部７０においては、図２との対応
部分に同一符号を付した図１３に示すように、信号処理
制御回路７１の構成と、「キヤリアジエツト」プリント
ヘツド６１のドライバ７２Ａ、７２Ｂが第１及び第２の
圧電素子６７Ａ、６７Ｂにそれぞれ対応させて２つ設け
られている点とを除いて第１実施例の制御部１１（図
２）と同様に構成されている。
部分に同一符号を付した図１３に示すように、信号処理
制御回路７１の構成と、「キヤリアジエツト」プリント
ヘツド６１のドライバ７２Ａ、７２Ｂが第１及び第２の
圧電素子６７Ａ、６７Ｂにそれぞれ対応させて２つ設け
られている点とを除いて第１実施例の制御部１１（図
２）と同様に構成されている。
【００８３】この場合信号処理制御回路７１は、第１実
施例の信号処理制御部１１（図２）と同様にして、供給
される入力信号Ｓ１に基づいてパルス電圧値が一定の駆
動信号Ｓ１１Ａを生成し、これを第１のドライバ７２Ａ
を介して上述の第１の駆動Ｓ１０Ａとして「キヤリアジ
エツト」プリントヘツド６１の対応する第１の圧電素子
６７Ａの電極に与えるようになされている。
施例の信号処理制御部１１（図２）と同様にして、供給
される入力信号Ｓ１に基づいてパルス電圧値が一定の駆
動信号Ｓ１１Ａを生成し、これを第１のドライバ７２Ａ
を介して上述の第１の駆動Ｓ１０Ａとして「キヤリアジ
エツト」プリントヘツド６１の対応する第１の圧電素子
６７Ａの電極に与えるようになされている。
【００８４】これにより信号処理制御回路７１は、この
第１の駆動信号Ｓ１０Ａに基づいて、対応する第１の圧
電素子６７Ａを、振動板６６の第１の振動板形成層６６
Ａが対応する第１の圧力室６４Ａの内側に所定量変位す
るように駆動させることにより、当該第１の圧力室６４
Ａ内のインクに所定の圧力を与るようになされ、かくし
て当該第１の圧力室６４Ａと連通する第１のノズル６２
Ａから一定量のインクを吐出させるようになされてい
る。
第１の駆動信号Ｓ１０Ａに基づいて、対応する第１の圧
電素子６７Ａを、振動板６６の第１の振動板形成層６６
Ａが対応する第１の圧力室６４Ａの内側に所定量変位す
るように駆動させることにより、当該第１の圧力室６４
Ａ内のインクに所定の圧力を与るようになされ、かくし
て当該第１の圧力室６４Ａと連通する第１のノズル６２
Ａから一定量のインクを吐出させるようになされてい
る。
【００８５】またこのとき信号処理制御回路７１は、供
給される入力信号Ｓ１に基づいて、各ドツトごとに指定
された階調をもたせるために「キヤリアジエツト」プリ
ントヘツド６１の対応する第２のノズル６２Ｂからそれ
ぞれ吐出させるべき希釈液の液量を算出し、当該算出さ
れた液量の希釈液を吐出させるためのパルス電圧値を有
するパルスからなる駆動信号Ｓ１２を生成し、これを第
２のドライバ７２Ｂを介して上述の第２の駆動信号Ｓ１
０Ｂとして「キヤリアジエツト」プリントヘツド６１の
対応する第２の圧電素子６７Ｂに与えるようになされて
いる。
給される入力信号Ｓ１に基づいて、各ドツトごとに指定
された階調をもたせるために「キヤリアジエツト」プリ
ントヘツド６１の対応する第２のノズル６２Ｂからそれ
ぞれ吐出させるべき希釈液の液量を算出し、当該算出さ
れた液量の希釈液を吐出させるためのパルス電圧値を有
するパルスからなる駆動信号Ｓ１２を生成し、これを第
２のドライバ７２Ｂを介して上述の第２の駆動信号Ｓ１
０Ｂとして「キヤリアジエツト」プリントヘツド６１の
対応する第２の圧電素子６７Ｂに与えるようになされて
いる。
【００８６】これにより信号処理制御回路７１は、この
第２の駆動信号Ｓ１０Ｂに基づいて、対応する第２の圧
電素子６７Ｂを、振動板６６の第１の振動板形成層６６
Ａが対応する第２の圧力室６４Ｂの内側に上述の算出結
果に応じた量だけ変位するように駆動させることによ
り、当該第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液に振動板６６の
第１の振動板形成層６６Ａの変位量に応じた大きさの圧
力を与えるようになされ、かくして当該第２の圧力室６
４Ｂと連通する第２のノズル６２Ｂから上述の算出した
量の希釈液を吐出させるようになされている。
第２の駆動信号Ｓ１０Ｂに基づいて、対応する第２の圧
電素子６７Ｂを、振動板６６の第１の振動板形成層６６
Ａが対応する第２の圧力室６４Ｂの内側に上述の算出結
果に応じた量だけ変位するように駆動させることによ
り、当該第２の圧力室６４Ｂ内の希釈液に振動板６６の
第１の振動板形成層６６Ａの変位量に応じた大きさの圧
力を与えるようになされ、かくして当該第２の圧力室６
４Ｂと連通する第２のノズル６２Ｂから上述の算出した
量の希釈液を吐出させるようになされている。
【００８７】（２−２）第２実施例の動作及び効果 以上の構成において、この「キヤリアジエツト」プリン
タ装置６０では、制御部７０が供給される入力信号Ｓ１
に基づいて第１及び第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂ
をそれぞれ生成し、これを「キヤリアジエツト」プリン
トヘツド６１に送出することにより、当該「キヤリアジ
エツト」プリントヘツド６１の対応する一対の第１及び
第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに第１又は第２の駆動信
号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂに応じた駆動電圧をそれぞれ印加
する。
タ装置６０では、制御部７０が供給される入力信号Ｓ１
に基づいて第１及び第２の駆動信号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂ
をそれぞれ生成し、これを「キヤリアジエツト」プリン
トヘツド６１に送出することにより、当該「キヤリアジ
エツト」プリントヘツド６１の対応する一対の第１及び
第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに第１又は第２の駆動信
号Ｓ１０Ａ、Ｓ１０Ｂに応じた駆動電圧をそれぞれ印加
する。
【００８８】この結果「キヤリアジエツト」プリントヘ
ツド６１では、これら一対の第１及び第２の圧電素子６
７Ａ、６７Ｂが振動板６６と一体に湾曲して振動板６６
を対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に変位させることにより、それぞれ当該第１又は第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂ内のインク又は希釈液に圧力を与
え、このインク又は希釈液を当該第１又は第２の圧力室
６４Ａ、６４Ｂと連通する第１又は第２のノズル６２
Ａ、６２Ｂをそれぞれ介して吐出させ、かくしてこれら
を混合させて１つの液滴として外部に吐出する。
ツド６１では、これら一対の第１及び第２の圧電素子６
７Ａ、６７Ｂが振動板６６と一体に湾曲して振動板６６
を対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの内側
に変位させることにより、それぞれ当該第１又は第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂ内のインク又は希釈液に圧力を与
え、このインク又は希釈液を当該第１又は第２の圧力室
６４Ａ、６４Ｂと連通する第１又は第２のノズル６２
Ａ、６２Ｂをそれぞれ介して吐出させ、かくしてこれら
を混合させて１つの液滴として外部に吐出する。
【００８９】この場合この「キヤリアジエツト」プリン
トヘツド６１では、振動板６６が基台６５の一面６５Ａ
を覆う第１の振動板形成層６６Ａと、各第１及び第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂにそれぞれ対応させて、これらと
振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａを介して対向す
るように当該第１の振動板形成層６６Ａ上に分割形成さ
れた複数の第２の振動板形成層６６Ｂとから構成されて
おり、各第２の振動板形成層６６Ｂの幅及び長さが対向
する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅及び長さ
よりも小さく形成されているため、第１及び第２の圧力
室６４Ａ、６４Ｂ内の液圧を高めるために必要な振動板
６６の変位を得るに際して負荷としては振動板６６の第
１の振動板形成層６６Ａのみとなる。
トヘツド６１では、振動板６６が基台６５の一面６５Ａ
を覆う第１の振動板形成層６６Ａと、各第１及び第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂにそれぞれ対応させて、これらと
振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａを介して対向す
るように当該第１の振動板形成層６６Ａ上に分割形成さ
れた複数の第２の振動板形成層６６Ｂとから構成されて
おり、各第２の振動板形成層６６Ｂの幅及び長さが対向
する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅及び長さ
よりも小さく形成されているため、第１及び第２の圧力
室６４Ａ、６４Ｂ内の液圧を高めるために必要な振動板
６６の変位を得るに際して負荷としては振動板６６の第
１の振動板形成層６６Ａのみとなる。
【００９０】従つてこの「キヤリアジエツト」プリント
ヘツド６１では、第１実施例のインクジエツトプリント
ヘツド１０（図１）と同様に、従来提案されていた「キ
ヤリアジエツト」プリントヘツドの構成において振動板
６６の変位に対する強度を弱くするために広げられてい
た第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を対応する
第１又は第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの幅に比較して
狭くすることができる。かくするにつき第１及び第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を小さくすることができ、こ
れにより第１及び第２の圧力室６４、６４Ｂの配置密度
を高めることができる分、第１又は第２の圧力室６４
Ａ、６４Ｂとそれぞれ連通する第１及び第２のノズル６
２Ａ、６２Ｂの間隔を小さくすることができる。
ヘツド６１では、第１実施例のインクジエツトプリント
ヘツド１０（図１）と同様に、従来提案されていた「キ
ヤリアジエツト」プリントヘツドの構成において振動板
６６の変位に対する強度を弱くするために広げられてい
た第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を対応する
第１又は第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの幅に比較して
狭くすることができる。かくするにつき第１及び第２の
圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を小さくすることができ、こ
れにより第１及び第２の圧力室６４、６４Ｂの配置密度
を高めることができる分、第１又は第２の圧力室６４
Ａ、６４Ｂとそれぞれ連通する第１及び第２のノズル６
２Ａ、６２Ｂの間隔を小さくすることができる。
【００９１】またこの「キヤリアジエツト」プリントヘ
ツド６１では、振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａ
がヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用
いて形成されており、従つて上述のように振動板６６の
変位を大きくとることができため、第１実施例の場合と
同様に、第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに対す
る印加電圧を小さくすることができる。また第１及び第
２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの厚みを大きくすることが
できる分、製造プロセス上における第１及び第２の圧電
素子６７Ａ、６７Ｂの扱いを容易にすることができ、さ
らには第１、第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂ及び振動板
６６間の接着剤の厚みむらに対して振動板６６の変位に
対する影響が少ないため、製造プロセス上での接着剤の
厚みむらの影響を少なくすることができる。
ツド６１では、振動板６６の第１の振動板形成層６６Ａ
がヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を用
いて形成されており、従つて上述のように振動板６６の
変位を大きくとることができため、第１実施例の場合と
同様に、第１及び第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂに対す
る印加電圧を小さくすることができる。また第１及び第
２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂの厚みを大きくすることが
できる分、製造プロセス上における第１及び第２の圧電
素子６７Ａ、６７Ｂの扱いを容易にすることができ、さ
らには第１、第２の圧電素子６７Ａ、６７Ｂ及び振動板
６６間の接着剤の厚みむらに対して振動板６６の変位に
対する影響が少ないため、製造プロセス上での接着剤の
厚みむらの影響を少なくすることができる。
【００９２】以上の構成によれば、振動板６６を、基台
６５の一面６５Ｃを覆う第１の振動板形成層６６Ａと、
この第１の振動板形成層６６Ａを介して対応する第１又
は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂと対向するように、かつ
幅及び長さが対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６
４Ｂの幅及び長さよりも小さくなるように当該第１の振
動板形成層６６Ａ上に分割形成された第２の振動板形成
層６６Ｂとで形成すると共に、第１の振動板形成層６６
Ａをヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を
用いて形成するようにしたことにより、振動板６６の変
位を大きくとることができる。かくするにつき、第１及
び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を小さくすることが
でき、第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの配置密度
を高めることができることにより、これら第１又は第２
の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそれぞれ連通する第１及び第
２のノズル６２Ａ、６２Ｂの間隔を小さくすることがで
き、かくしてノズルピツチを容易に微細化し得る「キヤ
リアジエツト」プリンタ装置を実現できる。
６５の一面６５Ｃを覆う第１の振動板形成層６６Ａと、
この第１の振動板形成層６６Ａを介して対応する第１又
は第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂと対向するように、かつ
幅及び長さが対応する第１又は第２の圧力室６４Ａ、６
４Ｂの幅及び長さよりも小さくなるように当該第１の振
動板形成層６６Ａ上に分割形成された第２の振動板形成
層６６Ｂとで形成すると共に、第１の振動板形成層６６
Ａをヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の柔らかい材料を
用いて形成するようにしたことにより、振動板６６の変
位を大きくとることができる。かくするにつき、第１及
び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの幅を小さくすることが
でき、第１及び第２の圧力室６４Ａ、６４Ｂの配置密度
を高めることができることにより、これら第１又は第２
の圧力室６４Ａ、６４Ｂとそれぞれ連通する第１及び第
２のノズル６２Ａ、６２Ｂの間隔を小さくすることがで
き、かくしてノズルピツチを容易に微細化し得る「キヤ
リアジエツト」プリンタ装置を実現できる。
【００９３】（３）他の実施例 なお上述の第１及び第２実施例においては、本発明をシ
リアル型のプリンタ装置に適用するようにした場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、パラレル型のプ
リンタ装置等この他種々のプリンタ装置に適用すること
ができる。
リアル型のプリンタ装置に適用するようにした場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、パラレル型のプ
リンタ装置等この他種々のプリンタ装置に適用すること
ができる。
【００９４】また上述の第１実施例においては、圧電素
子３５を振動板３４に接着する際に使用する接着剤を例
えばエポキシ接着剤に金属などの導電性粒子を混合した
ものを適用するようにした場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、この他種々の導電性を有する接着剤
を適用することができる。このように接着剤として導電
性を有するものを使用することにより、振動板３４を各
圧電素子３５に駆動電圧を印加する際の共通電極とする
ことができ、かくして共通電極の端子を設ける場所を節
約することができると共に、端子数を省略させることが
できる。
子３５を振動板３４に接着する際に使用する接着剤を例
えばエポキシ接着剤に金属などの導電性粒子を混合した
ものを適用するようにした場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、この他種々の導電性を有する接着剤
を適用することができる。このように接着剤として導電
性を有するものを使用することにより、振動板３４を各
圧電素子３５に駆動電圧を印加する際の共通電極とする
ことができ、かくして共通電極の端子を設ける場所を節
約することができると共に、端子数を省略させることが
できる。
【００９５】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、圧力室３２、６４Ａ、６４Ｂを圧力室形成部４０に
設けるようにした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、振動板３４、６６側に圧力室を設けるように
しても良い。この場合振動板３４、６６を３層以上の構
造とし、最下層の振動板形成層にエツチングなどの方法
を用いて圧力室を形成するようにし、これにノズル３
０、６２Ａ、６２Ｂが形成されたプレートを固着するよ
うにしてプリントヘツドを構成すれば良い。なおこの場
合における圧力室形成部は、この振動板の最下層と、オ
リフイスプレート３１、６３となる。
は、圧力室３２、６４Ａ、６４Ｂを圧力室形成部４０に
設けるようにした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、振動板３４、６６側に圧力室を設けるように
しても良い。この場合振動板３４、６６を３層以上の構
造とし、最下層の振動板形成層にエツチングなどの方法
を用いて圧力室を形成するようにし、これにノズル３
０、６２Ａ、６２Ｂが形成されたプレートを固着するよ
うにしてプリントヘツドを構成すれば良い。なおこの場
合における圧力室形成部は、この振動板の最下層と、オ
リフイスプレート３１、６３となる。
【００９６】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、振動板３４、６６を２層構造とするようにした場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、３層以上の
構造とするようにしても良い。このようにすることによ
つて、各ノズル、各圧力室、各圧電素子間の位置合わせ
精度を格段的に向上させることができ、結果的に振動板
を変形させる場合において、負荷として働く振動板の断
面２次モーメント値だけでなく、振動板の変形がなされ
る長さまでも安定に形成することができる。なおこの場
合の圧力室形成部は、各ノズルが形成された層と、各圧
力室を形成する層とで構成される。
は、振動板３４、６６を２層構造とするようにした場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、３層以上の
構造とするようにしても良い。このようにすることによ
つて、各ノズル、各圧力室、各圧電素子間の位置合わせ
精度を格段的に向上させることができ、結果的に振動板
を変形させる場合において、負荷として働く振動板の断
面２次モーメント値だけでなく、振動板の変形がなされ
る長さまでも安定に形成することができる。なおこの場
合の圧力室形成部は、各ノズルが形成された層と、各圧
力室を形成する層とで構成される。
【００９７】さらに上述の第２実施例においては、その
製造方法として図７（Ａ）〜図８（Ｃ）を用いて説明し
た方法を適用するようにした場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、例えば図９（Ａ）〜図１０（Ｃ）
を用いて説明した方法を適用するようにしても良い。
製造方法として図７（Ａ）〜図８（Ｃ）を用いて説明し
た方法を適用するようにした場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、例えば図９（Ａ）〜図１０（Ｃ）
を用いて説明した方法を適用するようにしても良い。
【００９８】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、各圧力室３２、６４Ａ、６４Ｂ内に供給されたイン
ク又は希釈液に対して振動板３４、６６を介して圧力を
与える加圧手段として圧電素子３５、３７Ａ、３７Ｂを
用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、この他種々の加圧手段を適用できる。
は、各圧力室３２、６４Ａ、６４Ｂ内に供給されたイン
ク又は希釈液に対して振動板３４、６６を介して圧力を
与える加圧手段として圧電素子３５、３７Ａ、３７Ｂを
用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、この他種々の加圧手段を適用できる。
【００９９】
【発明の効果】上述のように第１及び第２の発明によれ
ば、プリンタ装置において、圧力室内に圧力を与える振
動板を、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の材料からな
る薄膜状の第１の振動板形成層と、対応する圧力室と第
１の振動板形成層を介して対向するように第１の振動板
形成層上に形成された、圧力室よりも小さい幅及び長さ
を有する単数又は複数の第２の振動板形成層とから構成
するようにしたことにより、振動板を大きく変位させ得
るようにすることができ、かくして圧力室の配置密度を
高めることができる。かくするにつき各圧力室とそれぞ
れ連通するノズルの間隔を狭くすることができ、かくし
てノズルピツチを容易に微細化し得るプリンタ装置を実
現できる。
ば、プリンタ装置において、圧力室内に圧力を与える振
動板を、ヤング率が10×1010〔N/m2〕以下の材料からな
る薄膜状の第１の振動板形成層と、対応する圧力室と第
１の振動板形成層を介して対向するように第１の振動板
形成層上に形成された、圧力室よりも小さい幅及び長さ
を有する単数又は複数の第２の振動板形成層とから構成
するようにしたことにより、振動板を大きく変位させ得
るようにすることができ、かくして圧力室の配置密度を
高めることができる。かくするにつき各圧力室とそれぞ
れ連通するノズルの間隔を狭くすることができ、かくし
てノズルピツチを容易に微細化し得るプリンタ装置を実
現できる。
【図１】第１実施例によるシリアル型のインクジエツト
プリント装置の構成を示す略線的な斜視図である。
プリント装置の構成を示す略線的な斜視図である。
【図２】第１実施例によるインクジエツトプリント装置
の制御部の構成を示すブロツク図である。
の制御部の構成を示すブロツク図である。
【図３】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図４】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図５】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
構成を示す略線図である。
構成を示す略線図である。
【図６】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図７】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
製造手順を示す断面図である。
製造手順を示す断面図である。
【図８】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
製造手順を示す断面図である。
製造手順を示す断面図である。
【図９】第１実施例のインクジエツトプリントヘツドの
他の製造手順を示す断面図である。
他の製造手順を示す断面図である。
【図１０】第１実施例のインクジエツトプリントヘツド
の他の製造手順を示す断面図である。
の他の製造手順を示す断面図である。
【図１１】第２実施例によるシリアル型の「キヤリアジ
エツト」プリント装置の構成を示す略線的な斜視図であ
る。
エツト」プリント装置の構成を示す略線的な斜視図であ
る。
【図１２】第２実施例の「キヤリアジエツト」プリント
ヘツドの構成を示す断面図である。
ヘツドの構成を示す断面図である。
【図１３】第２実施例による「キヤリアジエツト」プリ
ント装置の制御部の構成を示すブロツク図である。
ント装置の制御部の構成を示すブロツク図である。
１……インクジエツトプリンタ装置、１０……インクジ
エツトプリントヘツド、１１……制御部、２０、７１…
…信号処理制御回路、３１、６３……オリフイスプレー
ト、３０、６２Ａ、６２Ｂ……ノズル、３２、６４Ａ、
６４……圧力室、３３、６５……基台、３４、６６……
振動板、３４Ａ、６６Ａ……第１の振動板形成層、３４
Ｂ、６６Ｂ……第２の振動板形成層、３５、６７Ａ、６
７Ｂ……圧電素子、Ｓ１……入力信号、Ｓ３、Ｓ１０
Ａ、Ｓ１０Ｂ……駆動信号。
エツトプリントヘツド、１１……制御部、２０、７１…
…信号処理制御回路、３１、６３……オリフイスプレー
ト、３０、６２Ａ、６２Ｂ……ノズル、３２、６４Ａ、
６４……圧力室、３３、６５……基台、３４、６６……
振動板、３４Ａ、６６Ａ……第１の振動板形成層、３４
Ｂ、６６Ｂ……第２の振動板形成層、３５、６７Ａ、６
７Ｂ……圧電素子、Ｓ１……入力信号、Ｓ３、Ｓ１０
Ａ、Ｓ１０Ｂ……駆動信号。
Claims (20)
- 【請求項１】一面に凹部でなるインク貯蔵用の圧力室が
設けられると共に、上記圧力室を外部と連通するノズル
が設けられた圧力室形成部と、 上記圧力室形成部の上記一面上に上記圧力室を覆うよう
に積層された振動板と、 対応する上記圧力室内に供給されたインクに対して上記
振動板を介して圧力を与える加圧手段とを具え、 上記振動板は、 上記圧力室形成部の上記一面上に積層された、ヤング率
が10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる薄膜状の第１の
振動板形成層と、 対応する上記圧力室と上記第１の振動板形成層を介して
対向するように上記第１の振動板形成層上に積層形成さ
れた、当該圧力室よりも小さい幅及び長さを有する単数
又は複数の第２の振動板形成層とを有することを特徴と
するプリンタ装置。 - 【請求項２】上記振動板の上記第１の振動板形成層は、
ヤング率が１×1010〔N/m2〕以下の上記材料からなるこ
とを特徴とする請求項１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項３】上記振動板の上記第１の振動板形成層は、
樹脂材を用いて形成されたことを特徴とする請求項２に
記載のプリンタ装置。 - 【請求項４】上記振動板の上記第１の振動板形成層は、
ポリイミドを用いて形成されたことを特徴とする請求項
３に記載のプリンタ装置。 - 【請求項５】上記振動板の上記第２の振動板形成層は、
金属材からなることを特徴とする請求項１に記載のプリ
ンタ装置。 - 【請求項６】上記金属材は、銅、ニツケル、チタン又は
ステンレスを主成分とすることを特徴とする請求項５に
記載のプリンタ装置。 - 【請求項７】上記加圧手段は、 上記圧力室形成部の対応する上記圧力室と上記振動板を
介して対向するように当該振動板に固着された、当該対
応する圧力室よりも小さい幅及び長さを有する圧電素子
でなり、 上記振動板の上記第２の振動板形成層は、上記圧電素子
をマスクとした溶解又はエツチングにより、対応する上
記圧力室の幅及び長さよりも小さい幅及び長さに形成さ
れたことを特徴とする請求項１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項８】上記加圧手段は、 対応する圧力室よりも小さい幅及び長さを有する圧電素
子でなり、当該対応する上記圧力室と上記振動板を介し
て対向するように、上記振動板に導電性の接着剤を用い
て接着されたことを特徴とする請求項１に記載のプリン
タ装置。 - 【請求項９】上記加圧手段は、 対応する圧力室よりも小さい幅及び長さを有する圧電素
子でなり、当該対応する上記圧力室と上記振動板を介し
て対向するように、上記振動板にガリウムを成分として
有する液体金属接着剤を用いて接着されたことを特徴と
する請求項１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１０】上記振動板は、 上記第１の振動板形成層を形成する第１の素材と、上記
第２の振動板形成層を形成する第２の素材とをそれぞれ
個別に圧延し、当該圧延された第１及び第２の素材を真
空雰囲気中において接合することにより形成されたこと
を特徴とする請求項１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１１】一面に凹部でなるインク貯蔵用の第１の
圧力室及び希釈液貯蔵用の第２の圧力室がそれぞれ設け
られると共に、互いに異なる第１又は第２の圧力室を外
部と連通する第１及び第２のノズルが近接して設けられ
た圧力室形成部と、 上記圧力室形成部の上記一面上に上記第１及び第２の圧
力室を覆うように積層された振動板と、 上記圧力室形成部の上記第１及び第２の圧力室とそれぞ
れ対応させて設けられ、対応する上記第１又は第２の圧
力室内に供給されたインク又は希釈液に対して上記振動
板を介して圧力を与える複数の加圧手段とを具え、 上記振動板は、 上記圧力室形成部の上記一面上に積層された、ヤング率
が10×1010〔N/m2〕以下の材料からなる薄膜状の第１の
振動板形成層と、 上記第１及び第２の圧力室にそれぞれ対応させて、対応
する上記第１又は第２の圧力室と上記第１の振動板形成
層を介して対向するように上記第１の振動板形成層上に
積層形成された、対応する第１又は第２の圧力室よりも
小さい幅及び長さを有する複数の第２の振動板形成層と
を有することを特徴とするプリンタ装置。 - 【請求項１２】上記振動板の上記第１の振動板形成層
は、ヤング率が１×1010〔N/m2〕以下の上記材料からな
ることを特徴とする請求項１１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１３】上記振動板の上記第１の振動板形成層
は、樹脂材を用いて形成されたことを特徴とする請求項
１２に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１４】上記振動板の上記第１の振動板形成層
は、ポリイミドを用いて形成されたことを特徴とする請
求項１３に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１５】上記振動板の上記第２の振動板形成層
は、金属材からなることを特徴とする請求項１１に記載
のプリンタ装置。 - 【請求項１６】上記金属材は、銅、ニツケル、チタン又
はステンレスを主成分とすることを特徴とする請求項１
５に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１７】各上記加圧手段は、 上記圧力室形成部の対応する上記第１又は第２の圧力室
と上記振動板を介して対向するように当該振動板に固着
された、当該対応する第１又は第２の圧力室よりも小さ
い幅及び長さを有する圧電素子でなり、 上記振動板の上記第２の振動板形成層は、上記圧電素子
をマスクとした溶解又はエツチングにより、対応する上
記第１又は第２の圧力室の幅及び長さよりも小さい幅及
び長さに形成されたことを特徴とする請求項１１に記載
のプリンタ装置。 - 【請求項１８】上記加圧手段は、 対応する第１又は第２の圧力室よりも小さい幅及び長さ
を有する圧電素子でなり、当該対応する第１又は第２の
圧力室と上記振動板を介して対向するように、上記振動
板に導電性の接着剤を用いて接着されたことを特徴とす
る請求項１１に記載のプリンタ装置。 - 【請求項１９】上記加圧手段は、 対応する第１又は第２の圧力室よりも小さい幅及び長さ
を有する圧電素子でなり、当該対応する第１又は第２の
圧力室と上記振動板を介して対向するように、上記振動
板にガリウムを成分として有する液体金属接着剤を用い
て接着されたことを特徴とする請求項１１に記載のプリ
ンタ装置。 - 【請求項２０】上記振動板は、上記第１の振動板形成層
を形成する第１の素材と、上記第２の振動板形成層を形
成する第２の素材とをそれぞれ個別に圧延し、当該圧延
された第１及び第２の素材を真空雰囲気中において接合
することにより形成されたことを特徴とする請求項１１
に記載のプリンタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335996A JPH09267489A (ja) | 1996-03-31 | 1996-03-31 | プリンタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335996A JPH09267489A (ja) | 1996-03-31 | 1996-03-31 | プリンタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09267489A true JPH09267489A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=14351943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335996A Pending JPH09267489A (ja) | 1996-03-31 | 1996-03-31 | プリンタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09267489A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1291084A2 (en) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Composite nozzle, liquid drop emitter, and fabricating method thereof |
| US7159315B2 (en) | 1999-01-29 | 2007-01-09 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an elastic plate for an ink jet recording head |
| JP2010105383A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
1996
- 1996-03-31 JP JP10335996A patent/JPH09267489A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7159315B2 (en) | 1999-01-29 | 2007-01-09 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an elastic plate for an ink jet recording head |
| US7946682B2 (en) | 1999-01-29 | 2011-05-24 | Seiko Epson Corporation | Plate member for a liquid jet head |
| US8458903B2 (en) | 1999-01-29 | 2013-06-11 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an elastic plate member for a liquid jet head |
| EP1291084A2 (en) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Composite nozzle, liquid drop emitter, and fabricating method thereof |
| EP1291084A3 (en) * | 2001-09-05 | 2004-04-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Composite nozzle, liquid drop emitter, and fabricating method thereof |
| JP2010105383A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
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