JP2000006074A - 基板搬送用ハンド - Google Patents
基板搬送用ハンドInfo
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Abstract
平に搬送するときも基板のたわみを少なくすることがで
きる。 【解決手段】 基板14を把持して移送する基板搬送用
ロボット9に使用するハンド1であって、先端にV字状
の切欠き部1aを有する4角形状をしており、前記V字
状の切欠き部1aの両側とハンド中間部の両側とに基板
14に吸着する吸盤4を有し、かつ、前記V字状の切欠
き部1aの両側の各先端に、起立して基板14の先端を
把持する起伏可能な先端フック5を有し、ハンド内部に
先端をリンク17を介して先端フック5に連結するとと
もに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装置7
に連結した連結ロッド6を有し、ハンド後端の両側に先
端フック5と対峙するように設けられ、ばね力により基
板14の後端部を押える後端フック13を有する基板押
え装置8を配設した。
Description
に係り、特にクリーンルーム内におけるPDP(プラズ
マ・ディスプレイ・パネル)用ガラス基板等を移送する
基板搬送用ハンドに関するものである。
セットの斜視図である。このカセットaは、基板bの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚(15〜20枚)収納するように
なっている。
る。上記カセットaから基板bを取り出すのに、基板移
載用ロボットc(多関節アームロボット)が使用されて
いる。基板移載用ロボットcは、2本の関節アームdを
有し、関節アームdの先端には薄いハンドeを有してお
り、このハンドeをカセットaの基板bの間に水平に挿
入し、基板bの下面から支持したのち、わずかに上方に
持ち上げてカセットaから取り出すようになっている。
合、このように水平に載置されたカセットから基板を取
り出し、水平に把持して水平な検査台等に移載してい
た。
ンルームのレイアウト上、基板を収納したカセットを斜
めまたは垂直に載置しなければならないことがある。ま
た、基板のサイズが大きくなるとたわみ等によって、基
板を水平に把持して移載するのがむずかしくなるなどの
問題がある。
案されたものである。すなわち、本発明は、斜めまたは
垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出すこ
とができるとともに、基板を斜めまたは垂直に把持して
搬送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板
のたわみを少なくすることができる基板搬送用ハンドを
提供することを目的とする。
本発明は、基板を把持して移送する基板搬送用ロボット
に使用するハンドであって、先端にV字状の切欠き部を
有する4角形状をしており、前記V字状の切欠き部の両
側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を有
し、かつ、前記V字状の切欠き部の両側の各先端に、起
立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを有
し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに連
結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド
押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の両
側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え装
置を配設した基板搬送用ハンドを提供する。
吸盤は、上記ハンド上面の凹部内に設けられ、底板の上
面周縁部に環状の突起を有するとともに、中央に貫通孔
を有する有底円筒状の基板受け部材と、底板の下面に固
着され、中央に前記貫通孔に連通する貫通孔を有し、杯
を伏せた形状の弾性支持部材とからなり、ハンド上面の
凹部の底には支持部材内部に連通する空気吸引通路が設
けられている。
上記吸盤の環状の突起の上面に環状のシールリングを嵌
着している。
上記先端フックは、先端に突起を有し、後端は回転軸に
支持されており、かつ、中間にはリンクおよびスライド
部材を介して連結ロッドの先端に連結したピンを設けて
いる。
上記基板押え装置は、基板の後端を押える先方に突出し
た後端フックと、該後端フックを移動する伸縮シリンダ
と、後端フックと伸縮シリンダとの間に介在させたスプ
リングボックスとからなる。
上記連結ロッドは、複数の連結ロッドを連結してY字状
に形成している。
ドは先端に切欠き部を有し、後端は基板移載用ロボット
(多関節アームロボット)の手首の先端に接続される。
先端に設けられたV字状の切欠き部は、カセットから基
板を取り出す際や基板を検査台等に載置する際、基板を
支持する基板支持部材に干渉しないように設けられてい
る。斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を取
り出すときは、基板移載用ロボットを作動してハンドを
カセット内に収納されている基板の下側に挿入し、ハン
ドをわずかに上方に持ち上げてハンドの凹部内に設けら
れた吸盤の環状の突起で基板の下面を支持すると同時
に、連結ロッド押引装置により連結ロッドを引っ張り、
ハンド先端に伏していた先端フックを起立させ、基板を
把持して、対峙して設けられた基板押え装置の後端フッ
クとの間で押える。吸盤の弾性支持部材のスカート内を
スカート内に連通した空気吸引通路から空気を吸引して
弾性支持部材内を真空として基板を吸盤により吸着して
固定する。なお、基板を吸盤により吸着して固定するの
は、斜めまたは垂直に支持するときは、基板の自重が先
端フックにかかるので、先端フックと後端フックで押え
るだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板の
自重が先端フックにかからず横ずれを起こしやすいの
で、それを防止するためである。移送後、ハンドから検
査台等へ基板を移載するときは、前記基板の固定と反対
の操作により弾性支持部材内の空気の吸引を停止して基
板の固定を開放すると同時に、連結ロッド押引装置によ
り連結ロッドを押し出して先端フックの先端を伏せて基
板の先端部を開放する。なお、吸盤の環状の突起の上面
に環状のシールリング(Oリング)を配設しておけば、
基板と吸盤との間をより気密にすることができる。
を、後端に連結ロッド押引装置と後端フックを有する基
板押え装置を、上面に吸盤を配置しているので、斜めま
たは垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り出
すことができるとともに、斜めまたは垂直に把持して搬
送するときも、水平な検査台等に移載するときも基板の
たわみを少なくすることができる。
態について図面を参照して説明する。図1は本発明の基
板搬送用ハンドを接続して使用する基板移載用ロボット
の側面図、図2は基板搬送用ハンドの平面図、図3は基
板搬送用ハンドの側面断面図で、(A)は図2のA−A
矢視図、(B)は図2のB−B矢視図、図4は先端フッ
クの平面図、図5は図4のC−C矢視図、図6は基板押
え装置の平面図、図7は図6のD−D矢視図、図8は吸
盤の側面断面図である。
把持して移送する基板搬送用ロボット9に使用する基板
搬送用ハンド(以下「ハンド」という)であって、先端
にV字状の切欠き部1aを有する4角形状をしており、
V字状の切欠き部1aの両側とハンド中間部の両側とに
基板14に吸着する吸盤4を有し、かつ、前記V字状の
切欠き部1aの両側の各先端に、起立して基板14の先
端を把持する起伏可能な先端フック5を有し、ハンド内
部に先端をリンク17を介して先端フック5に連結する
とともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装
置7に連結した連結ロッド6を有し、ハンド後端の両側
に先端フック5と対峙するように設けられ、ばね力によ
り基板14の後端部を押える後端フック13を有する基
板押え装置8を配設している。
切欠き部1aの両側の先端に先端ハンド1bが設けられ
ている。また、ハンド1および先端ハンド1bの下面側
は所定部をくり抜いて下方を開放した凹部1dを設ける
とともに、その凹部1dを下側からハンドカバー3,3
aにより塞いで軽量化を図るようにしている(図5,図
7,図8)。2はハンド1の後端に設けた接続部で、図
1に示すように、基板移載用ロボット(多関節アームロ
ボット)9の2本の関節アーム9a,9bの先端に設け
られた自由角度手首9cの先端に接続されている。基板
移載用ロボット9は、2本の関節アーム9a,9bによ
ってハンド1を斜めまたは垂直に傾斜させることがで
き、また、先端アーム9bの手首9cによってハンド1
を水平にすることもできるようになっている。14はハ
ンド1上に支持した基板である(図2の1点鎖線)。
下方向に所定間隔をもって複数枚(15〜20枚)収納
したカセット11を載置するカセット受10aを有し、
かつ、カセット受10aをシリンダ10bにより斜め、
水平および垂直(図1の2点鎖線)に傾動可能に設けて
いる。12は移動可能な基板検査台で、カセット11か
ら基板移載用ロボット9のハンド1によって取り出さ
れ、把持されて搬送された基板14を載置するようにな
っている(図1)。
示すように、ハンド1の切欠き部1aの両側の先端ハン
ド1bの手前側とハンド1の中間部の両側に計4個設け
られている。この吸盤4は、図8に示すように、ハンド
1に設けられた上方を開放した凹部1c内に設けられて
いる。また、吸盤4は、底板26aの上面周縁部に環状
の突起26bを有するとともに、中央に貫通孔26cを
有する有底円筒状の基板受け部材26と、底板26aの
下面に固着され、中央に貫通孔26cに連通する貫通孔
27aを有し、杯を伏せた形状の弾性支持部材27とか
ら構成されている。27bは弾性支持部材27のばねと
シールを兼ねた環状のスカートである。28は吸盤4の
環状の突起26aの上面に嵌着したシールリング(Oリ
ング)である。吸盤4は環状の吸盤押え板29によりハ
ンド1にわずかに上下動可能に設けられている。
27の内部に連通する空気吸引通路1fが設けられてい
る。31は空気吸引通路1fを形成するための塞ぎ板
で、この塞ぎ板31の下面をハンドカバー3が覆うよう
に固定されている(図5,図7、図8)。1gはハンド
1の両側に設けた空気吸引通路で、空気吸引通路1fと
連通するように設けられている。
た起伏可能な先端フックで、図2ないし図5に示すよう
に、先端に基板14の先端を把持する突起5aを有し、
後端は先端ハンド1bに先端ハンド1bと直交するよう
に設けた回転軸15により回転可能に支持されており、
中間にはリンク17およびスライド部材18を介して連
結ロッド6cの先端に連結したピン16を設けている。
リンク17とスライド部材18とはピン16aを介して
連結されている。
本の後端ロッド6a,2本のV字状の中間ロッド6b,
2本の平行な先端ロッド6cを連結してY字状に形成し
ている。
ロッド6cに連結し、かつ、幅方向の両端部に貫通孔1
8aを設けており、この貫通孔18aに先端連結ロッド
6cに沿うように設けたガイドロッド19を貫通して支
持され、連結ロッド6によって押し引きされる際、スラ
イド部材18が常に水平に摺動できるようになってい
る。また、ガイドロッド19の後端側にはコイルばね2
0が外嵌されており、連結ロッド6の引っ張りを開放し
た際、ばね力によってスライド部材18およびリンク1
7を先方に移動させて先端フック5を伏せるようになっ
ている。
られた連結ロッド押引装置(伸縮シリンダ)で、伸縮シ
リンダの先端は、図2および図3(A)に示すように、
連結ロッド6の後端に連結されており、連結ロッド6の
押し引きによって、先端フック5の起伏を行うようにな
っている。
た凹部1e内に設けられた基板押え装置で、図2,図6
および図7に示すように、基板14の後端を押える上方
に突出した後端フック13と、この後端フック13を移
動する伸縮シリンダ25と、後端フック13と伸縮シリ
ンダ25との間に介在させたスプリングボックス21と
から構成されている。後端フック13は、後端フック取
付部材13aの中間に設けられている。後端フック取付
部材13aの両端に設けられたスプリングボックス21
は、一端を後端フック取付部材13aの両端に設けたボ
ルト22と、ボルト22に外嵌したコイルばね24と、
このコイルばね24に外嵌し、先端を後端フック取付部
材13aに固定した摺動ガイド(内筒)23と、摺動ガ
イド(内筒)23に外嵌した摺動ガイド(外筒)23a
とから構成されている。また、摺動ガイド(外筒)23
a同士は、連結部材23bによって連結されており、か
つ、連結部材23bは、図6に示すように、3本のロッ
ドを有する伸縮シリンダ25の先端に連結されている。
スプリングボックス21のコイルばね24は、後端フッ
ク13を先方に押し出すようになっており、連結ロット
6を引っ張って先端フック5を起立させたとき、後端フ
ック13により基板14の後端を把持し、基板14を水
平な基板検査台12に載置するときは、後端フック13
が基板14の載置の障害にならないように、後端フック
13を伸縮シリンダ25によって後端フック13を後方
に移動させて後端フック13を基板14から開放し、基
板検査台12の上に水平に載置できるようになってい
る。
サーで、ハンド1上に基板14が有るか否かを検知する
(図2)。
する。ハンド1は先端に切欠き部1aを有し、後端は基
板移載用ロボット(多関節アームロボット)9の手首9
cの先端に接続される。先端に設けられたV字上の切欠
き部1aは、カセット11から基板14を取り出す際や
基板14を検査台12等に載置する際、基板14を支持
する図示しない基板支持部材に干渉しないように設けら
れている。斜めまたは垂直に載置されたカセット11か
ら基板14を取り出すときは、基板移載用ロボット9を
作動してハンド1をカセット11内に収納されている基
板14の下側に挿入し、ハンド1をわずかに上方に持ち
上げてハンド1の凹部1c内に設けられた吸盤4の環状
の突起26bで基板14の下面を支持すると同時に、連
結ロッド押引装置7により連結ロッド6を引っ張り、ハ
ンド1先端に伏していた先端フック5を起立させ、基板
14を把持して、対峙して設けられた基板押え装置8の
後端フックとの間で押える。基板14を吸盤4の突起2
6bで支持したのち、吸盤4の弾性支持部材27のスカ
ート27b内をスカート27b内に連通した空気吸引通
路1fから空気を吸引して弾性支持部材27内を真空と
して基板14を吸盤4により吸着して固定する。なお、
基板14を吸盤4により吸着して固定するのは、斜めま
たは垂直に支持するときは、基板14の自重が先端フッ
ク5にかかるので、先端フック5と後端フック13で押
えるだけで十分であるが、水平に支持するときは、基板
14の自重が先端フック5にかからず横ずれを起こしや
すいので、それを防止するためである。移送後、ハンド
1から検査台12等へ基板14を移載するときは、前記
基板14の固定と反対の操作により弾性支持部材27内
の空気の吸引を停止して基板14の固定を開放すると同
時に、連結ロッド押引装置7により連結ロッド6を押し
出して先端フック5の先端を伏せて基板14の先端部を
開放する。なお、吸盤4の環状の突起26bの上面に環
状のシールリング(Oリング)18を配設しておけば、
基板14と吸盤4との間をより気密にすることができ
る。
を、後端に連結ロッド押引装置7と後端フック13を有
する基板押え装置8を、上面に吸盤4を配置するように
なっているので、斜めまたは垂直に載置されたカセット
11から基板14を容易に取り出すことができるととも
に、斜めまたは垂直に把持して搬送するときも、水平な
検査台等12に移載するときも基板14のたわみを少な
くすることができる。
ものではなく、Y字状の連結ロッドに替えて、ハンドの
両幅側の長手方向に設けた2本の連結ロッドにしてもよ
いなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得
ることは勿論である。
れば、斜めまたは垂直に載置されたカセットから基板を
容易に取り出すことができるとともに、斜めまたは垂直
に把持して搬送するときも、水平な検査台等に移載する
ときも基板のたわみを少なくすることができるなどの優
れた効果を奏する。
基板移載用ロボット(多関節アームロボット)の側面図
である。
2のA−A矢視図、(B)は図2のB−B矢視図であ
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 基板を把持して移送する基板搬送用ロボ
ットに使用するハンドであって、先端にV字状の切欠き
部を有する4角形状をしており、前記V字状の切欠き部
の両側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を
有し、かつ、前記V字状の切欠き部の両側の各先端に、
起立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを
有し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに
連結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッ
ド押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の
両側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力に
より基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え
装置を配設したことを特徴とする基板搬送用ハンド。 - 【請求項2】 上記吸盤は、上記ハンド上面の凹部内に
設けられ、底板の上面周縁部に環状の突起を有するとと
もに、中央に貫通孔を有する有底円筒状の基板受け部材
と、底板の下面に固着され、中央に前記貫通孔に連通す
る貫通孔を有し、杯を伏せた形状の弾性支持部材とから
なり、ハンド上面の凹部の底には支持部材内部に連通す
る空気吸引通路が設けられている請求項1記載の基板搬
送用ハンド。 - 【請求項3】 上記吸盤の環状の突起の上面に環状のシ
ールリングを嵌着した請求項1または請求項2記載の基
板搬送用ハンド。 - 【請求項4】 上記先端フックは、先端に突起を有し、
後端は回転軸に支持されており、かつ、中間にはリンク
およびスライド部材を介して連結ロッドの先端に連結し
たピンを設けている請求項1ないし請求項3記載の基板
搬送用ハンド。 - 【請求項5】 上記基板押え装置は、基板の後端を押え
る先方に突出した後端フックと、該後端フックを移動す
る伸縮シリンダと、後端フックと伸縮シリンダとの間に
介在させたスプリングボックスとからなる請求項1ない
し請求項4記載の基板搬送用ハンド。 - 【請求項6】 上記連結ロッドは、複数の連結ロッドを
連結してY字状に形成している請求項1ないし請求項5
記載の基板搬送用ハンド。
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JP17821698A JP3900229B2 (ja) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | 基板搬送用ハンド |
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