JPH02222557A - 真空ピンセット - Google Patents
真空ピンセットInfo
- Publication number
- JPH02222557A JPH02222557A JP1044310A JP4431089A JPH02222557A JP H02222557 A JPH02222557 A JP H02222557A JP 1044310 A JP1044310 A JP 1044310A JP 4431089 A JP4431089 A JP 4431089A JP H02222557 A JPH02222557 A JP H02222557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- switch
- vacuum
- handle
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体ウェハの吸着、離脱を行う真空ピン
セットの改良に関するものである。
セットの改良に関するものである。
従来のこの種の真空ピンセットの構造を第４図を用いて
説明する０図において、１は真空ピンセットをつかむ取
手、２はこの取手の適宜個所（操作し易い個所）に配置
された真空の０Ｎ−ＯＦＦ切換え用のスイッチ、３はウ
ェハ裏面に密着する吸着部で、その表面には吸着溝４が
めぐらされており、この吸着部３と上記取手１とはアー
ム５で連結されている。なお上記吸着部３及びアーム部
５は、ウェハカセット内に並べられた間隔の狭いウェハ
の隙間に挿入するために取手部１より細く形成されてい
る。６は吸着溝にて真空引きを行うための真空チューブ
である。
説明する０図において、１は真空ピンセットをつかむ取
手、２はこの取手の適宜個所（操作し易い個所）に配置
された真空の０Ｎ−ＯＦＦ切換え用のスイッチ、３はウ
ェハ裏面に密着する吸着部で、その表面には吸着溝４が
めぐらされており、この吸着部３と上記取手１とはアー
ム５で連結されている。なお上記吸着部３及びアーム部
５は、ウェハカセット内に並べられた間隔の狭いウェハ
の隙間に挿入するために取手部１より細く形成されてい
る。６は吸着溝にて真空引きを行うための真空チューブ
である。
次に第５図を用いてウェハの吸着動作について説明する
。
。
上記スイッチ２は、スイッチを押したままの状態が真空
ＯＮ状態であり、スイッチを離すとＯＦＦとなり、吸着
が切れる仕組になっている。従って図のようにスイッチ
を押したまま吸着部３をウェハ７の裏面に密着させるこ
とでウェハを吸着し、そのままウェハを持ちあげ、次に
ウェハ離脱時にはスイッチを離すものである。
ＯＮ状態であり、スイッチを離すとＯＦＦとなり、吸着
が切れる仕組になっている。従って図のようにスイッチ
を押したまま吸着部３をウェハ７の裏面に密着させるこ
とでウェハを吸着し、そのままウェハを持ちあげ、次に
ウェハ離脱時にはスイッチを離すものである。
ウェハの吸着炭は、吸着部の大きさあるいは吸着溝の面
積に関係し、重量の大きいウェハを吸着させるには、吸
着部を大きくし、真空度を増やさねばならない０通常６
″φウェハでは、吸着部が３９ｓ Ｘ ２６ｍで、真空
度１０ｃｍＨＨの場合、保持力は２５０ｇであり、これ
が８″φウエハに対応するには、吸着部が３５ｍ Ｘ
３２Ｍで、真空度も４０ｃｍＨｇ必要となる。
積に関係し、重量の大きいウェハを吸着させるには、吸
着部を大きくし、真空度を増やさねばならない０通常６
″φウェハでは、吸着部が３９ｓ Ｘ ２６ｍで、真空
度１０ｃｍＨＨの場合、保持力は２５０ｇであり、これ
が８″φウエハに対応するには、吸着部が３５ｍ Ｘ
３２Ｍで、真空度も４０ｃｍＨｇ必要となる。
従来の真空ピンセットは以上のように構成されており、
ウェハの大きさが小さい（５″φまで）場合は良いが、
ウェハが大口径（８″φ等）で重量が重い場合、吸着部
が１点であるため、ウェハ吸着後、非常に不安定で、吸
着中にウェハを落下させる恐れがある。また吸着部を大
きくし、吸着炭を増やそうとしても、形状が大きく操作
性が悪くなるとともに、ウェハへの吸着時の接触が困難
になるという問題点があった。
ウェハの大きさが小さい（５″φまで）場合は良いが、
ウェハが大口径（８″φ等）で重量が重い場合、吸着部
が１点であるため、ウェハ吸着後、非常に不安定で、吸
着中にウェハを落下させる恐れがある。また吸着部を大
きくし、吸着炭を増やそうとしても、形状が大きく操作
性が悪くなるとともに、ウェハへの吸着時の接触が困難
になるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、吸着時は従来と同様の操作性を有し、しかも
吸着後は安定してウェハを移動できる真空ピンセットを
得ることを目的とする。
たもので、吸着時は従来と同様の操作性を有し、しかも
吸着後は安定してウェハを移動できる真空ピンセットを
得ることを目的とする。
この発明に係る真空ピンセットは、１つの取手及びスイ
ッチに対し、複数の吸着部を具備したものである。
ッチに対し、複数の吸着部を具備したものである。
この発明における真空ピンセットは、吸着部が複数ある
ため、１度にウェハを吸着する接触部、つまり支点が複
数あることになるので、面積、重量が大きいウェハでも
安定して吸着し移動ができる。
ため、１度にウェハを吸着する接触部、つまり支点が複
数あることになるので、面積、重量が大きいウェハでも
安定して吸着し移動ができる。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、１．２．６は第４図のものと同様であ
るが、取手１に連結されるアームが取手１の付は根より
二叉５ａ、５ｂの複数に分岐されており、その各々の先
端に吸着溝４ａ、４ｂを有する吸着部３ａ。
るが、取手１に連結されるアームが取手１の付は根より
二叉５ａ、５ｂの複数に分岐されており、その各々の先
端に吸着溝４ａ、４ｂを有する吸着部３ａ。
３ｂが設けられている。またスイッチ２は従来同様１つ
で、スイッチを押した状態で上記の吸着部３ａ。
で、スイッチを押した状態で上記の吸着部３ａ。
３ｂが同時に吸引し、スイッチを離すと、真空がＯＦＦ
になるようになっている。
になるようになっている。
次にウェハの吸着動作を第２図を用いて説明する。ウェ
ハ７への接触動作、離脱動作及びスイッチの使い方等は
従来の真空ピンセットと同じであるが、本実施例の場合
、図のように吸着部のウェハへの接触箇所が２個所であ
り、双方の吸着部がウェハ裏面に密着した時のみウェハ
を吸着でき、その場合、従来の真空ピンセットと同じ大
きさの吸着部であっても、より安定してウェハを移動す
ることができる。
ハ７への接触動作、離脱動作及びスイッチの使い方等は
従来の真空ピンセットと同じであるが、本実施例の場合
、図のように吸着部のウェハへの接触箇所が２個所であ
り、双方の吸着部がウェハ裏面に密着した時のみウェハ
を吸着でき、その場合、従来の真空ピンセットと同じ大
きさの吸着部であっても、より安定してウェハを移動す
ることができる。
なお上記実施例では、アーム部及び吸着部が２つの場合
を示したが、それ以上の吸着部をもつようにしても良い
。
を示したが、それ以上の吸着部をもつようにしても良い
。
また上記実施例では、２本のアームを二叉の形状にし、
その各々の先端に吸着部を設けたが、第３図に示したよ
うに、１本のアームに複数の吸着部を設けた形状にして
も良い。
その各々の先端に吸着部を設けたが、第３図に示したよ
うに、１本のアームに複数の吸着部を設けた形状にして
も良い。
以上のようにこの発明によれば、１つの取手とスイッチ
に対し、複数の吸着部を設けたので、大きなウェハを取
扱う場合でも、吸着部の形状を大きくする必要がなく、
操作性も良く、しがち吸着後非常に安定してウェハを移
動できる効果がある。
に対し、複数の吸着部を設けたので、大きなウェハを取
扱う場合でも、吸着部の形状を大きくする必要がなく、
操作性も良く、しがち吸着後非常に安定してウェハを移
動できる効果がある。
第１図は、この発明の一実施例に係る真空ピンセットを
示す外！ｌＩ図、第２図はその動作説明図、第３図はこ
の発明の他の実施例に係る真空ピンセットを示す外ａ図
、第４図は従来の真空ピンセットを示す外観図、第５図
はその動作説明図である。 図中、１は取手、２はスイッチ、３ａ、３ｂは吸着部、
４ａ、４ｂは吸着溝、５ａ、５ｂはアーム、６は真空チ
ューブである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
示す外！ｌＩ図、第２図はその動作説明図、第３図はこ
の発明の他の実施例に係る真空ピンセットを示す外ａ図
、第４図は従来の真空ピンセットを示す外観図、第５図
はその動作説明図である。 図中、１は取手、２はスイッチ、３ａ、３ｂは吸着部、
４ａ、４ｂは吸着溝、５ａ、５ｂはアーム、６は真空チ
ューブである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウェハの吸着及び離脱を行う真空ピンセットにお
いて、１つの取手及びスイッチに対して複数の真空吸着
部を有することを特徴とする真空ピンセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1044310A JPH02222557A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 真空ピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1044310A JPH02222557A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 真空ピンセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222557A true JPH02222557A (ja) | 1990-09-05 |
Family
ID=12687919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1044310A Pending JPH02222557A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 真空ピンセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02222557A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833288A (en) * | 1996-07-16 | 1998-11-10 | Nec Corporation | Vacuum suction forceps |
| GB2470035A (en) * | 2009-05-06 | 2010-11-10 | Belron Hungary Kft Zug Branch | Elongate Suction Lifting Device |
| JP2012043974A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sumco Corp | 半導体ウェーハ吸着保持装置 |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP1044310A patent/JPH02222557A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833288A (en) * | 1996-07-16 | 1998-11-10 | Nec Corporation | Vacuum suction forceps |
| GB2470035A (en) * | 2009-05-06 | 2010-11-10 | Belron Hungary Kft Zug Branch | Elongate Suction Lifting Device |
| GB2470035B (en) * | 2009-05-06 | 2013-12-18 | Belron Hungary Kft Zug Branch | Suction lifting device for glazing panels with cantilever handle |
| JP2012043974A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sumco Corp | 半導体ウェーハ吸着保持装置 |
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